JP7520615B2 - マーク形成方法、パターン形成方法、及びリソグラフィ装置 - Google Patents

Description

本発明は、マーク形成方法、パターン形成方法、及びリソグラフィ装置に関する。

近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造においては、ディスプレイの大きさが大型化しており、基板を無駄なく利用することが求められている。そのため、基板の利用効率を向上させるために、１枚の基板に異なるサイズのパネルを複数の装置を用いて形成する、いわゆるＭＭＧ（Ｍｕｌｔｉ Ｍｏｄｅｌ ｏｎ Ｇｌａｓｓ）と呼ばれる技術が注目されている。ＭＭＧ技術では、基板に形成された位置合わせ用のマークを計測することにより、複数の露光装置で露光されるそれぞれの領域の相対位置関係を保証することができる。

特許文献１には、位置合わせ用のマークの検出精度を向上させるために、パルスレーザーが照射される照射スポットをリング状に重ね合わせて照射し、樹脂誘電体層をリング状に掘削する内容が開示されている。

特開２００５－２４４１８２号公報

しかしながら、マーク形成時に発生する粉塵が周囲に飛散することによって、位置合わせ用のマークの検出精度を低下させてしまうおそれがある。例えば、掘削により形成したマークの近傍に粉塵が飛散してしまうと、マークの検出精度が低下してしまう。

そこで、本発明は、位置合わせ用のマークの検出精度の低下を抑制するために有利なマーク形成方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのマーク形成方法は、基板に照射光を照射することにより、前記基板にマークを形成するマーク形成方法であって、前記照射光の周走査を行い、前記マークが形成される前記基板の予定領域のうち、前記マークの外縁を含まない領域を照射する第１照射工程と、前記照射光の周走査を行い、前記基板の前記マークが形成される予定領域の外縁を含む領域を照射し、前記マークの形成を完了する第２照射工程と、を含み、前記照射光は、前記マークの外縁よりも内側の全領域を照射し、前記第２照射工程では、前記第１照射工程で照射した領域を含むように、前記照射光を照射することを特徴とする。

本発明によれば、例えば、位置合わせ用のマークの検出精度の低下を抑制するために有利なマーク形成方法を提供することができる。

露光装置の構成を示す概略図である。 基板へのアライメントマーク形成を示す図である。 アライメントマーク形成の手順を示す図である。 比較例におけるアライメントマーク形成を示す図である。 本実施形態におけるアライメントマーク形成を示す図である。 アライメントマークを用いてパターンを形成した基板を示す図である。 照射光の照射条件を決定するフローチャートである。 パターン形成方法のフローチャートである。

以下に、本発明の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。尚、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。

（リソグラフィ装置の構成）
本実施形態では、基板にパターンを形成するリソグラフィ装置の一例として、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用の露光装置によるマーク形成方法を説明する。露光装置は、原版（マスク、レチクル等）を照明し、原版のパターンを基板（ウエハ、ガラス基板等）に露光する装置である。露光装置は、例えば、投影光学系を用いて原版のパターンを、感光剤（レジスト）が塗布された基板に投影して、感光剤に潜像パターンを形成する。

図１は、第１実施形態の露光装置１０の概略図である。基板１６の表面に対して垂直な方向（鉛直方向）をＺ方向として、Ｚ方向に対して垂直な方向をそれぞれＸ、Ｙ方向とする。本実施形態の露光装置１０は、照明系１、原版３のパターンを基板１６に投影する投影光学系４を有する。また、露光装置１０は原版３と基板１６のアライメントマークを検出するアライメントスコープを有する。照明系１は、例えば、光源やレンズやミラーを含む。光源としては、例えば、水銀ランプやＬＥＤ光源が用いられる。

照明系１は所定の形状の照明領域を形成し、原版３の一部を照明する。投影光学系４は、照明系１によって照明される原版３のパターンの像を基板１６上に投影する。原版３は投影光学系４の物体面の位置に配置され、基板１６は投影光学系４の像面の位置に配置される。原版３は不図示のステージに保持されている。投影光学系４は、等倍、拡大及び縮小の結像光学系のいずれとしても構成されうる。図１には、ミラー１４、凹面鏡１２及び凸面鏡１５を有する投影光学系を示す。照明系１によって照明される原版３のパターンの像は、投影光学系４内のミラー１４、凹面鏡１２、凸面鏡１５、凹面鏡１２、ミラー１４を経て基板１６に結像する。ステージ１７は基板１６を保持するための保持機構を有する。

基板１６はステージ１７の保持機構に保持される。また、ステージ１７は、ステージ１７上において基板１６のＸ、Ｙ位置やＺ軸周りの角度を調整するための調整機構を有する。ステージ１７は制御部１８からの駆動指令に基づいて駆動され、基板１６の位置が制御される。制御部１８は、干渉計やエンコーダ等のポジションセンサによって計測されたステージ１７の位置や角度に基づいて、Ｘ、Ｙ及びＺ方向におけるステージ１７の位置やそれらの方向周りの回転角度の制御を行う。そして、露光装置１０は原版３に対して基板１６の位置合わせを行って、原版３と基板１６を所定の方向に同期して移動させながら基板１６に対して原版３のパターンを露光する。このとき、照明系１による照明領域が原版３上を移動して原版３のパターン全体が照明され、投影光学系４による投影領域が基板１６上を移動して基板１６が露光される。このように原版３と基板１６を同期して移動させながら基板１６が露光される領域を露光領域とする。

また、本実施形態の露光装置１０はマーク形成部１９を有する。制御部１８は、マーク形成部１９を制御する。制御部１８は、所定の位置にステージ１７を移動させ、マーク形成部１９が照射光を照射するように制御し、基板１６にアライメントマークが形成される。

マーク形成部１９は、投影光学系４を支持する構造体に固定して配置される。マーク形成部１９は、レーザー等の光源を用いて、ステージ１７上に保持されている基板１６に向かってレーザー光等のスポット状の光束の照射光を照射する。そして、マーク形成部１９は、光の照射によって位置合わせ用のアライメントマークを基板１６に形成する。制御部１８は、設定された照射条件で照射光を照射するようにマーク形成部１９を制御する。また、波長フィルタ、ＮＤフィルタ又はシャッタ（遮光板）、減衰器を用いて、照射光の照明条件を調整しても良い。

マーク形成部１９によって基板１６上に形成されたアライメントマークは計測部２０により計測される。計測部２０は、投影光学系４を支持する構造体に固定して配置される。マーク形成部１９と計測部２０との相対位置は既知の関係に配置されている。尚、マーク形成部１９と計測部２０は移動可能に構成されていても良い。計測部２０は光源を用いてアライメントマークを照明する照明系と、アライメントマークを撮像するセンサ（撮像部）を有する。計測光の波長は、例えば、５００～６００ｎｍである。センサとして、受光した光を電気信号に光電変換するエリアイメージセンサを用いることができる。制御部１８は、撮像されたアライメントマークを含む画像を取得して記憶する記憶部（メモリなど）と、取得した画像のデータを用いてアライメントマークの位置を算出する演算部（ＣＰＵなど）を有する。制御部１８は、その演算部によって算出されたアライメントマークの位置（計測結果）のデータを取得し、その計測結果に基づいて、Ｘ、Ｙ方向におけるステージ１７の位置やＺ方向周りの回転の制御を行い、原版３に対して基板１６の位置合わせを行う。そして、制御部１８は、照明系１、投影光学系４、ステージ１７等を制御して、位置合わせされた基板１６に対して原版３のパターンを露光する。

図２にマーク形成部１９を用いたアライメントマークの形成の様子を示す。図２（ａ）では、平坦な板状の基材（例えば、ガラス）１６ａと、基材１６ａの上部に塗布されている感光剤１６ｂにより構成された基板１６にアライメントマークを形成する様子を示している。図２（ｂ）では、基材１６ａと感光剤１６ｂの間に金属膜１６ｃが構成された基板１６にアライメントマークを形成する様子を示している。以下の説明では、基板１６の構成を図２（ａ）で図示した構成として説明するが、これに限らず、例えば、基板１６の上面が感光剤１６ｂ以外で構成されていても良い。マーク形成部１９から照射される照射光は、例えば、パルスレーザー光であり、スポット状の光束をパルス状に基板１６に向かって照射する。感光剤１６ｂの材料は、例えば樹脂を主成分とする感光性材料であり、樹脂としてノボラック型やレゾール型のフェノール樹脂が挙げられる。また、アライメントマークは、例えばアブレーション加工によって形成され、感光剤１６ｂの一部を除去することによりアライメントマークが形成されても良い。

図３にアライメントマークを形成するマーク形成方法を示す。マーク形成部１９は、感光剤１６ｂに光が吸収される波長の照射光をパルス状に照射する。まず、図３（ａ）に図示するように、マーク形成部１９から照射される第１パルスＰ１を感光剤１６ｂに照射する。このとき、第１パルスＰ１は、感光剤１６ｂを光エネルギーによって局所的に蒸散させる。第１パルスＰ１が照射された領域を、以下では第１スポットＳ１と呼ぶ。

次に、図３（ｂ）に図示するように、マーク形成部１９から照射される第２パルスＰ２を感光剤１６ｂに照射する。このとき、第２パルスＰ２が照射される領域である第２スポットＳ２が第１スポットＳ１の一部または全てと重なるように、第２パルスＰ２を照射する。その後も、同様に複数のパルスを照射することで、照射光で照射された領域の感光剤１６ｂが除去されることにより、照射光で照射されていない領域の感光剤１６ｂとは異なる光反射率となるアライメントマークが形成される。

マーク形成部１９の光源から照射された照射光は、例えば、駆動するミラーや、基板に照射光を集光させるためのレンズを経由して基板１６上に照射される。第１パルスＰ１で照射した第１スポットＳ１に対して第２パルスＰ２で照射する第２スポットＳ２の一部を重ね合わせるよう照射光を走査するために、制御部１８がミラーやレンズの位置や角度を制御し、照射光をＸ、Ｙ方向に駆動させる。また、照射光の走査にミラーやレンズを使用せずに、ステージ１７を駆動させて基板１６に照射される照射光の位置を変化させても良い。感光剤１６ｂの材質や厚みによって照射する条件を設定することで、感光剤１６ｂに過剰なエネルギーを与えることを制限し、検出精度の高いマークを形成することが可能となる。

また、照射光により蒸散した感光剤１６ｂは、デブリ（感光剤１６ｂの粉塵）として周囲に飛散する。デブリは、気体及び固体状のものを含む。デブリは、不図示の回収装置により吸引されて回収されても良いし、デブリに空気を吹き付けて飛ばした先の回収装置により回収されても良い。回収装置は、デブリを効率的に回収するために、形成されるアライメントマークに近い位置に配置されることが望ましい。

（マーク形成の比較例）
本実施形態のマーク形成の比較例について、図４を参照して説明する。図４は、リング状のアライメントマークを形成する例である。まず初めに、第１照射光である第１パルスＰ１で基板１６を照射することにより、スポットＳ１１を形成する。次に、形成されたスポットＳ１１の少なくとも一部を周方向に重ね合わせて第２照射光である第２パルスＰ２を照射し、スポットＳ１２を形成する。この工程を繰り返し、照射光を周走査することにより、スポットＳ１３、Ｓ１４やその後のスポットを形成していく。ここで、照射光の周走査とは、照射光により照射される照射位置が照射開始位置から周方向に移動し、再び照射開始位置に戻るようにループするような走査のことである。

比較例では、それぞれのスポットの中心の軌跡が、軌跡Ｃとなるように照射光を周走査しながら照射することで、リング状のアライメントマークＡＭ１を形成する。周走査を複数回行うことで、アライメントマークの検出精度を向上させても良い。

（本実施形態におけるマーク形成）
本実施形態におけるマーク形成について、図５を参照して説明する。図５は、円形状のアライメントマークＡＭ２を形成する例である。図５では、アライメントマークＡＭ２の外縁よりも内側の全領域に照射光を照射する例について説明するが、これに限らず、アライメントマークＡＭ２の外縁の内側領域に未照射領域が残っていても良い。

本実施形態におけるマーク形成も比較例におけるマーク形成と同様に、照射光を周走査させることにより、アライメントマークを形成する。尚、図５では、各スポットの中心の軌跡が、軌跡Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３となるように、照射光をマーク形成予定領域内における軌跡Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３の順番にそれぞれ周走査することで、アライメントマークを形成する。以下では軌跡Ｃ３での照射方法のみを詳細に説明するが、軌跡Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３のそれぞれでの照射光の照射方法は同様である。

まず初めに、各スポットの中心の軌跡が、軌跡Ｃ１となるように照射光を周走査し、基板１６を照射する。次に、各スポットの中心の軌跡が、軌跡Ｃ２となるように照射光を周走査し、基板１６を照射する。このとき、図５で示すように、軌跡Ｃ１の周走査で照射した領域を少なくとも一部を含むように軌跡Ｃ２の周走査を実行しても良いし、軌跡Ｃ１の周走査で照射した領域を含まないように軌跡Ｃ２の周走査を実行しても良い。

次に、各スポットの中心の軌跡が、軌跡Ｃ３となるように照射光を周走査し、基板１６を照射する。軌跡Ｃ３の照射は、第１照射光である第１パルスＰ１で基板１６を照射することにより、第１スポットＳ２１を形成する。次に、形成された第１スポットＳ２１の少なくとも一部を周方向に重ね合わせて第２照射光であるパルスＰ２を照射し、第２スポットＳ２２を形成する。この工程を繰り返し、照射光を周走査することにより、第３スポットＳ２３、第４スポットＳ２４と複数のスポットを形成していく。このとき、軌跡Ｃ２の周走査で照射した領域を少なくとも一部含むように、軌跡Ｃ３の周走査を実行する。軌跡Ｃ３の周走査を実行することにより、アライメントマークＡＭ２の形成が完了される。

照射光の照射条件は、制御部１８により制御される。照射光の照射条件とは、例えば、照射光の波長、照射光の周方向の重ね合わせ幅、照射光の径方向の重ね合わせ幅、照射光の照射強度、照射光の照射時間、周走査中に照射光を照射する回数、照射光を周走査する回数である。照射光の周方向の重ね合わせ幅とは、例えば、上記の説明の第１スポットＳ２１と第２スポットＳ２２が重複している幅である。照射光の径方向の重ね合わせ幅とは、例えば、軌跡Ｃ１と軌跡Ｃ２、軌跡Ｃ２と軌跡Ｃ３の周走査のように、隣り合う軌跡で照射光を周走査して照射された領域が径方向に重複している幅である。

照射光の照射条件は、照射対象物（例えば、感光剤１６ｂ）の材質、厚さ、特性、塗布条件等の基板情報に基づいて、事前にテストして決めることができる。例えば、アライメントマークを検出できる条件、感光剤１６ｂへの影響が少ない条件、デブリの少ない条件、基材１６ａへの影響が少ない条件などに基づいて、照射条件を決定することができる。照射光は、例えば、照射対象物となる感光剤１６ｂの吸収率の情報に基づき予め決定され、一般的な感光剤に吸収率を持つ３５５ｎｍの波長を含む光が用いられ得る。また、制御部１８は、照射対象物の物性の情報を取得する取得部を有し、取得部が取得した情報に基づいて照射光の照射条件が決定されても良い。

本実施形態のマーク形成では、同じ領域に複数回の周走査を実行しても良く、その場合には、比較的小さい照射光の照射強度で、検出精度の高いアライメントマークの形成を行うことができる。１回の周走査で、照射光の照射強度を大きくする場合には、照射した照射光により感光剤１６ｂの下層に位置する基材１６ａにも影響を与えて、基板１６のパターン形成に悪影響を及ぼす可能性がある。そのため、同じ領域に複数回の周走査を実行することが望ましい。また、軌跡Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３の順番に１回の周走査を複数回行うよりも、複数回の周走査を軌跡Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３の順番に実行する方が、アライメントマークＡＭ２を形成する時間を短縮できる点で有利である。

また、本実施形態のマーク形成では、軌跡Ｃ２の周走査で照射した領域と軌跡Ｃ３の周走査で照射した領域の少なくとも一部が径方向に重複している。一方、比較例では、リング状に感光剤１６ｂを除去することによりマークを形成している。アライメントマークの検出精度を低下させる要因は、マーク外縁付近に飛散するデブリであるため、マーク形成予定領域の外縁を含む周走査で除去する感光剤１６ｂの量が多い程、アライメントマークの検出精度の低下が問題となる。本実施形態のマーク形成では、既に照射された感光剤１６ｂの領域と径方向に重複するように次の周走査を実行している。そのため、マーク形成予定領域の外縁を含む領域を周走査で除去される感光剤１６ｂの量は、比較例における周走査で除去される感光剤１６ｂの量よりも少ない。したがって、本実施形態では、比較例と比べて、アライメントマークの外縁付近に飛散するデブリの量が抑制され、アライメントマークの検出精度の低下を抑制することができる。

このとき、軌跡Ｃ２の周走査で照射した領域の径方向の幅をＲ、軌跡Ｃ２とＣ３の周走査で照射した領域のうち重複する領域の径方向の幅をｒとしたとき、以下の式（１）を満たすことが望ましい。

１／４≦ｒ／Ｒ≦３／４・・・（１）
式（１）の条件を満たさない場合には、本実施形態の効果を十分に得られない。例えば、ｒ／Ｒが１／４より小さい場合には、軌跡Ｃ２の周走査で照射した領域と軌跡Ｃ３の周走査で照射した領域の重複する面積が少ないため、軌跡Ｃ３の周走査で生じるデブリの量を十分に減少させることができない。また、ｒ／Ｒが３／４より大きい場合には、軌跡Ｃ２の周走査を実行した際に生じるデブリがアライメントマークＡＭ２の検出精度の低下に影響を与えてしまうおそれがある。

アライメントマークＡＭ２の検出精度の低下を更に抑制するためには、以下の式（２）を満たすことが望ましい。

２／５≦ｒ／Ｒ≦３／５・・・（２）
式（２）の条件を満たす場合には、アライメントマークＡＭ２の検出精度の低下を更に抑制することが期待される。

また、本実施形態のマーク形成では、周走査を軌跡Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３の順で行い、アライメントマークを形成する例について説明したが、軌跡Ｃ２、Ｃ１、Ｃ３の順で周走査を行い、アライメントマークを形成しても良い。

また、本実施形態のマーク形成では、比較例との対比のため、円形状のアライメントマークを形成する例について説明したが、これに限らず、四角、十字、ライン状等のマーク形状でも良いし、これらのマーク形状を組み合わせたアライメントマークでも良い。

（基板へのパターン形成処理）
本実施形態におけるパターン形成処理を説明する。本実施形態におけるパターン形成処理では、基板１６へ原版３のパターンを転写する前に、マーク形成部１９が転写すべき露光領域の外側に照射光を照射し、位置合わせ用のアライメントマークＡＭを形成する。

図６は、アライメントマークＡＭを用いて第１露光領域と第２露光領域の位置を決定し、パターン形成処理が行われた基板を示す図である。２つの第１露光領域のそれぞれは互いに面積が同じで、３つの第２露光領域のそれぞれも互いに面積が同じである。第１露光領域と第２露光領域とは互いに面積が異なる。そのため、第１露光領域の幅に合わせた照明領域で基板１６を露光することができる第１露光装置を用いて、基板をＹ方向に移動させながら２つの第１露光領域を露光する。次に、第２露光領域の幅に合わせた照明領域で基板を露光することができる第２露光装置を用いて、基板をＸ方向に移動させながら３つの第２露光領域を露光する。

尚、第１露光装置と第２露光装置は別の装置、つまり、それぞれの露光装置がチャンバー（筐体）で覆われている装置として説明した。ただし、同じチャンバー内に、１つの照明系と１つの投影系を一組（１ステーション）として複数組の光学系を配置して、複数組の光学系を用いて第１の露光領域と第２の露光領域を露光しても良い。または、同一の露光装置に、搬出した基板を９０度回転して再度搬入して、９０度回転した状態で露光しても良い。このような方法で第１露光領域と第２露光領域を露光することによって、デバイスやカラーフィルタなどの物品を製造することができ、多様な生産ニーズに応じた効率的な生産を行うことができる。

本実施形態のアライメントマークの形成における照射光の照射条件を決定するための処理について説明する。図７は、照射光の照射条件を決定するためのフローチャートである。以下では、使用する基板と同等の構成であるテスト基板に照射条件を変えながらマーク形成を行い、計測結果に基づいて事前に照射条件を決定する方法について説明しているが、これに限らず、パターン形成処理の工程の１つとして照射条件を決定しても良い。また、以下では、第１露光装置でアライメントマークの形成や計測を行っているが、露光装置とは別のマーク形成装置や計測装置を用いて照射光の照射条件を決定しても良い。

ステップＳ７０１では、制御部１８が基板情報を取得する。基板情報は、照射対象物（例えば、感光剤１６ｂ）の材質、厚さ、特性、塗布条件のうち、少なくとも１つを含む。基板情報は、例えば、ユーザが管理する管理サーバ上から取得しても良いし、ユーザに入力された情報に基づいて取得しても良いし、基板１６を第１露光装置の光センサ等により計測することにより取得しても良い。

ステップＳ７０２では、前記ステップＳ７０１で取得した基板情報に基づいて、照射光の照射条件を決定する。照射条件は、照射光の波長、照射光のスポット間の重ね合わせ幅、照射光の照射強度、照射光の照射時間、周走査中に照射光を照射する回数、照射光を周走査する回数のうち、少なくとも１つを含む。アライメントマークを形成する際にマーク近傍に飛散するデブリの量を抑制するために、例えば、照射光の照射強度は低く、照射光の周方向の重ね合わせ幅は小さい条件であることが好ましい。

ステップＳ７０３では、ステップＳ７０２で決定された照射条件に基づいて、制御部１８がマーク形成部１９を制御し、アライメントマークを形成する。

ステップＳ７０４では、ステップＳ７０３で形成されたアライメントマークが検出可能であるか否かを判定する。アライメントマークの検出が可能である場合は、照射光の照射条件の設定は終了となり、アライメントマークの検出が不可能である場合には、ステップＳ７０２へと戻る。また、アライメントマークの検出が不可能である場合には、その原因の分析を制御部１８が行い、その結果に基づいてステップＳ７０２のアライメントマーク形成が行われても良い。そして、照射光の照射条件が決定されるまでステップＳ７０２～Ｓ７０４の工程を繰り返す。

次に、本実施形態におけるパターン形成処理の一例として、第１露光装置と第２露光装置を使用して１つの基板にパターンを形成する処理について説明する。図８は、パターン形成処理のフローチャートである。図８に示すフローチャートの各工程は、制御部１８が各部を制御することにより実行される。

ステップＳ８０１では、基板１６を第１露光装置に搬入する。

ステップＳ８０２では、事前に決定された照射光の照射条件に基づいて、制御部１８がマーク形成部１９を制御し、第１露光装置の座標系のもとで、アライメントマークを形成する。

ステップＳ８０３では、ステップＳ８０２で形成されたアライメントマークを、制御部１８がマーク計測部２１を制御することにより計測する。マーク計測部２１は、第１露光装置の座標系のもとで、アライメントマークの位置情報を取得する。

ステップＳ８０４では、第１露光領域の位置を決定し、制御部１８が第１露光装置の各部を制御することにより、第１露光領域のパターン形成が実行される。

ステップＳ８０５では、制御部１８が、第１露光領域のパターンが形成された基板１６を第１露光装置から搬出するよう不図示の搬送装置を制御する。基板は第２露光装置へと搬送される。第２露光装置へと搬送される前に、Ｚ軸を中心として基板をＸＹ平面に対して９０度回転させる動作を行っても良い。

ステップＳ８０６では、ステップＳ８０２で形成されたアライメントマークを計測し、第２露光装置の座標系のもとで、アライメントマークの位置情報を取得する。

ステップＳ８０７では、ステップＳ８０３、Ｓ８０６で取得したアライメントマークの位置情報に基づいて、第２露光領域の位置を決定し、第２露光装置の制御部が各部を制御することにより、第２露光領域のパターン形成が実行される。

このとき、第１露光装置の座標系のもとで計測されたアライメントマークの位置と、第２露光装置の座標系のもとで計測されたアライメントマークの位置との差分を求める。当該差分に基づいて、第２露光装置の座標系のもとで基板１６に形成される第２露光領域を補正する。具体的には、第１露光装置と第２露光装置におけるパターン形成特性の個体差に起因する位置関係のずれが補正されるように、基板１６に形成される第２露光領域を決定する。パターン形成特性の個体差とは、例えば、装置座標系の誤差、基板１６が載置された際に生じる位置誤差、基板１６の温度変化により基板１６が伸縮しアライメントマーク位置がずれる温度倍率誤差、アライメントマークの計測誤差等である。

第２露光領域の位置を補正する方法として、例えば、第２露光装置の制御部が第２露光装置の投影光学系の構成要素の１つである光学素子（例えば、２枚の平行平板）の駆動や回転を制御する。光学素子の駆動や回転によって、基板１６の露光位置の補正（例えば、走査露光する方向であるＹ方向や、走査露光する方向に垂直な方向であるＸ方向の倍率の補正）が可能である。

ステップＳ８０８では、第１露光領域と第２露光領域のパターンが形成された基板１６を第２露光装置から搬出する。

上述したように、本実施形態におけるパターン形成処理では、比較例と比べてアライメントマークのエッジ周辺に飛散するデブリの量が抑制される。そのため、アライメントマークの検出精度の低下を抑制することができる。その結果、本実施形態のパターン形成では、基板１６に形成するパターンの形成精度の悪化も抑制することができる。

（物品の処理の実施形態）
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板上に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程（基板を露光する工程）と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。

（その他の実施形態）
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

１０ 露光装置
１６ 基板
１８ 制御部
１９ マーク形成部

Claims (16)

1. 基板に照射光を照射することにより、前記基板にマークを形成するマーク形成方法であって、
   前記照射光の周走査を行い、前記マークが形成される前記基板の予定領域のうち、前記マークの外縁を含まない領域を照射する第１照射工程と、
   前記照射光の周走査を行い、前記基板の前記マークが形成される予定領域の外縁を含む領域を照射し、前記マークの形成を完了する第２照射工程と、を含み、
   前記照射光は、前記マークの外縁よりも内側の全領域を照射し、
   前記第２照射工程では、前記第１照射工程で照射した領域を含むように、前記照射光を照射することを特徴とするマーク形成方法。
2. 前記第２照射工程では、第１照射光を照射して形成される第１スポットを含むように、前記第１照射光の後に照射される第２照射光を照射して形成される第２スポットを形成することを特徴とする請求項１に記載のマーク形成方法。
3. 前記基板の基板情報に基づいて、前記照射光の照射条件を決定することを特徴とする請求項１又は２に記載のマーク形成方法。
4. 前記照射条件は、前記照射光の波長、前記照射光の周方向の重ね合わせ幅、前記照射光の径方向の重ね合わせ幅、前記照射光の照射強度、前記照射光の照射時間、前記周走査中に前記照射光を照射する回数、前記照射光を周走査する回数のうち、少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３に記載のマーク形成方法。
5. 前記基板情報は、パターン形成処理を行う前に取得された情報であることを特徴とする請求項３又は４に記載のマーク形成方法。
6. 前記基板情報は、前記基板に構成されている感光剤の材質、厚さ、特性、及び塗布条件のうち、少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載のマーク形成方法。
7. 前記マークは、前記基板に構成されている感光剤の一部を前記照射光で蒸散させることにより形成されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のマーク形成方法。
8. 前記照射光は、前記感光剤が吸収率を持つ波長を含む光であることを特徴とする請求項７に記載のマーク形成方法。
9. 前記マークは、円形状のマークであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のマーク形成方法。
10. 前記照射光は、パルスレーザー光であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のマーク形成方法。
11. 前記第１照射工程で前記照射光を周走査して照射した領域の幅をＲ、前記第１照射工程と前記第２照射工程で前記照射光を周走査して照射した領域のうち重複する領域の幅をｒとしたとき、
    １／４≦ｒ／Ｒ≦３／４
    となるように、前記第２照射工程において前記照射光を照射することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のマーク形成方法。
12. 原版のパターンの像を基板に露光するリソグラフィ装置であって、
    請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のマーク形成方法により基板にマークを形成することを特徴とするリソグラフィ装置。
13. 前記マークは、前記リソグラフィ装置でパターンを形成する第１露光領域と、前記リソグラフィ装置とは別のリソグラフィ装置でパターンを形成する第２露光領域との相対位置関係を決定するための位置合わせ用のマークであることを特徴とする請求項１２に記載のリソグラフィ装置。
14. 請求項１２又は１３に記載のリソグラフィ装置を用いて前記基板にパターンを形成する第１パターン形成工程と、
    前記リソグラフィ装置とは別のリソグラフィ装置を用いて前記基板にパターンを形成する第２パターン形成工程と、を含むパターン形成方法。
15. 請求項１４に記載のパターン形成方法により基板を露光する露光工程と、
    前記露光工程で露光された前記基板を現像する現像工程と、
    前記現像工程で現像された前記基板の処理を行う処理工程と、を含み、
    前記処理工程で処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
16. 請求項１４に記載のパターン形成方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。

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