JP7478109B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
半導体装置製造用治具100は、半導体装置の製造において、半導体基板に電解めっきを行い、基板上に金属膜を形成するための治具である。半導体装置製造用治具100は、図1等に表した導電部材10を含む。後述するように、半導体装置製造用治具100は、めっき工程(図5(b)参照)において、導電部材10とカバー部材20とによって、基板30を挟持し、基板30に電流を流すものである。
図3(b)は、図3(a)のB-B線断面である。図3(a)及び図3(b)に表したようにカバー部材20は、環状部21と、凸部22と、を含む。
図4(b)は、図4(a)のC-C線断面である。めっき工程の処理対象である基板30は、表面30a(図4(b)において下面)と、裏面30b(図4(b)において上面)と、を有する。裏面30bは、表面30aとは反対側の面である。
図5(a)は、図5(b)に表した半導体装置製造用治具100及び基板30を矢印A2に沿って見た平面図である。図5(b)は、図5(a)に示すD-D線断面に対応する。
図5(a)及び図5(b)に表したように、めっき工程においては、基板30は、導電部材10とカバー部材20とによって挟持される。
図6に表したように、めっき工程においては、カバー部材20の凸部22を、導電部材10の溝13gに挿入することで、導電部材10とカバー部材20とを係合する。凸部22と溝13gとによって、導電部材10とカバー部材20との相対的位置が規定される。また、基板30の内側部31が、コンタクト部12cと、カバー部材20(環状部21)と、によって支持される。図6のように、溝13gと凸部22とが係合して基板30を挟持しているときに、基板30の外縁部32は、第2部分12と第3部分13との間に配置された状態である。
図7(a)に表したように、半導体パターン35が形成された基板30の表面30aに裏面研削用テープ61を貼り付ける。
図7(f)に表したように、ダイシングブレードを用いて、基板30の外縁部32を含む外周部を除去する(カット工程)。
図7(h)に表したように、基板30をダイシングして個片化する(ダイシング工程)。これにより、半導体装置200が形成される。
図8は、図7(c)に関して説明した電極形成工程を表す。電極形成工程には、例えばエッジクランプタイプのスパッタ装置を用いることができる。スパッタ装置のクランプ65は、外縁部32に接し、外縁部32及び斜面30sを覆う。この状態で、基板30の裏面30b側にスパッタを行う。これにより、内側部31にのみ導電層33が形成される。
図9(a)及び図9(b)は、図7(f)に関して説明したカット工程を表す。図9(b)は、図9(a)に示したカット位置P1近傍を拡大して示す。カット工程においては、チャックテーブル70上に載せた基板30を、ダイシングブレード71により、カット位置P1において、厚み方向にカットする。
図10は、参考例に係る半導体装置の製造方法を例示する模式的断面図である。
図10は、メンブレン31rと、メンブレン31rを囲むリム32rと、を有する基板30rに電解めっきを行うめっき工程を示す。参考例においては、シード層となる導電層33rがメンブレン31r及びリム32rの上に形成されている。また、治具の導電性のコンタクト部12rは、リム32r上の導電層33rに接触している。めっき工程においては、治具のコンタクト部12rから、リム32r及びメンブレン31rに設けられた導電層33rに電流が流される。この場合、めっきによる金属膜50rは、メンブレン31rの上だけでなく、リム32r及びリム端部34r(リム32rのメンブレン31rとの境界)にも形成される。参考例においては、金属膜50rの応力がリム端部34rに集中して、基板が割れやすくなる恐れがある。
以上説明したように、実施形態によれば、基板割れ又はチッピングなどの製造工程における不良を抑制することができる。
図11(a)~図11(d)及び図11(g)は、それぞれ、図7(a)~図7(d)及び図7(h)に関する説明と同様である。
図12(a)及び図12(b)は、図11(f)に関して説明したカット工程を表す。図12(b)は、図12(a)に示したカット位置P2近傍を拡大して示す。なお、図12(a)では、導電層33の図示を省略している。カット工程においては、チャックテーブル73上に載せた基板30をダイシングブレード75により、カット位置P2において、厚み方向にカットする。
10D…内径
11…第1部分
12…第2部分
12D…外径
12c、12r…コンタクト部
13…第3部分
13D…内径
13g…溝
20…カバー部材
20D…外径
21…環状部
21D…内径
22…凸部
30…基板
30D…外径
30a…表面
30b…裏面
30p…凸領域
30q…凹領域
30r…基板
30s…斜面
31…内側部
31D…外径
31f…第1面
31r…メンブレン
32…外縁部
32D…内径
32r…リム
33、33r…導電層
33a…外周部
33b…中央部
34…半導体部
34r…リム端部
35…半導体パターン
41…めっき液
42…アノード電極
43…保護テープ
44…クリップ
50、50r…金属膜
61…裏面研削用テープ
62…ダイシングテープ
63…テープ
64…ダイシングテープ
65…クランプ
70…チャックテーブル
71…ダイシングブレード
72…載置面
73…チャックテーブル
74…載置部
75…ダイシングブレード
100…半導体装置製造用治具
200…半導体装置
P1、P2…カット位置
Claims (3)
- 第1面を有する内側部と、前記内側部を囲み、前記第1面に対して垂直な方向において前記第1面よりも突出した環状の外縁部と、を含む基板の前記外縁部に、前記基板を挟持する治具の導電部材を接触させずに、前記基板の前記内側部の前記第1面の一部に前記導電部材を接触させて前記内側部に電流を流し、電解めっき法により前記内側部の前記第1面に金属膜を形成するめっき工程を備えた半導体装置の製造方法。
- 前記めっき工程の前に前記内側部の前記第1面にのみ導電層を形成する電極形成工程をさらに備え、
前記めっき工程は、前記導電層の一部に前記導電部材を接触させて前記導電層に電流を流す請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記めっき工程の後に、前記導電部材が接触した前記内側部の前記第1面の前記一部の位置において、前記基板をカットすることで、前記外縁部を除去するカット工程をさらに備えた請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
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