JP7477109B2 - 検出装置 - Google Patents
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Description
また、ステージ16は、複数の磁力発生部10(第1の磁力発生部101、第2の磁力発生部102及び第3の磁力発生部103)などを備える。
移動機構としてのピペット19は、プロセッサ111からの制御に従って移動する。
図2は、検出装置1の制御系を示すブロック図である。検出装置1は、電磁波発生部12、ビーム径調整部14、ステージ16、電磁波受信部18、ピペット19、プロセッサ111、メモリ112、アドレスデコーダ113、発生部ドライバ114、A/Dコンバータ115、モータドライバ116、調整ドライバ117、ポンプドライバ118、移動ドライバ119、アンプ120、ステージモータ121、調整モータ122、ポンプモータ123及び移動モータ124などを備える。
電磁波発生部12、ビーム径調整部14、ステージ16、電磁波受信部18及びピペット19は、前述の通りである。
たとえば、メモリ112は、制御プログラム及び制御データなどを記憶する。制御プログラム及び制御データは、検出装置1の仕様に応じて予め組み込まれる。たとえば、制御プログラムは、検出装置1で実現する機能をサポートするプログラムなどである。
図3及び図4が示すように、基板20は、基材21及び構造体22などから構成される。
基材21の素材及び外寸は、特定の構成に限定されるものではない。
たとえば、構造体22の厚さは、0.1μから50μmの範囲である。たとえば、構造体22の厚さは、0.2μmである。
なお、構造体22が有する空隙23の大きさ、形状又は個数は、特定の構成に限定されるものではない。
ここでは、メモリ112は、各磁力発生部10に対応するビームスポットのビーム径を予め格納しているものとする。
プロセッサ111は、メモリ112を参照して、被検出物の検出に用いる磁力発生部10に対応するビームスポットのビーム径を取得する。
たとえば、プロセッサ111は、電磁波発生部12に、照射波を基板20に照射させる。電磁波発生部12に照射波を照射させると、プロセッサ111は、電磁波受信部18を通じて、反射波の強度(反射強度)を取得する。
サンプルを乾燥させると、プロセッサ111は、滴下されたサンプル内の被検出物の量を検出する。
たとえば、プロセッサ111は、電磁波発生部12に、照射波を基板20に照射させる。電磁波発生部12に照射波を照射させると、プロセッサ111は、電磁波受信部18を通じて、反射強度を取得する。
図6は、検出装置1の動作例について説明するためのフローチャートである。
被検出物の量をメモリ112に格納すると、プロセッサ111は、動作を終了する。
また、検出装置1は、2つ又は4つ以上の磁力発生部10を備えてもよい。
また、電磁波発生部12は、複数の周波数を有する照射波を照射するものであってもよい。
また、検出装置1は、複数の磁力発生部の代わりに、発生する磁力を変更することができる磁力発生部(電磁石など)を備えてもよい。
Claims (5)
- 基板を支持する設置部と、
互いに発生する磁力が異なる複数の磁力発生部と、
前記基板に電磁波を照射する照射部と、
前記電磁波によって前記基板に形成されるビームスポットのビーム径を調整する調整部と、
前記基板からの反射波又は透過波の強度を検出する検出部と、
前記複数の磁力発生部から、規定量のサンプルに含まれる被検出物を引き寄せるために用いる磁力発生部を選択し、
前記調整部に、ビーム径を選択された前記磁力発生部に対応するビーム径に調整させ、
前記検出部を用いて前記規定量のサンプルが添付されている前記基板からの反射波又は透過波の強度を取得し、
前記強度に基づいて前記規定量のサンプルに含まれる被検出物の量を検出する、
プロセッサと、
を備える検出装置。 - 前記設置部は、前記複数の磁力発生部を備え、
前記プロセッサは、前記設置部に、選択された前記磁力発生部を前記基板の下部に移動させる、
請求項1に記載の検出装置。 - 前記サンプルを滴下するピペットを備え、
前記プロセッサは、
前記ピペットに、前記規定量よりも少ない量のサンプルを滴下させ、
所定の磁力発生部を用いて前記規定量よりも少ない量の前記サンプルに含まれる被検出物の量を検出し、
検出された前記被検出物の量に基づいて、前記複数の磁力発生部から、前記規定量のサンプルに含まれる被検出物を引き寄せるために用いる前記磁力発生部を選択する、
請求項1又は2に記載の検出装置。 - 前記所定の磁力発生部は、前記複数の磁力発生部の中で最も小さい磁力発生部である、
請求項3に記載の検出装置。 - 選択された前記磁力発生部に対応するビーム径は、選択された前記磁力発生部の磁力によって引き寄せられる被検出物を包含するビームスポットのビーム径である、
請求項1乃至4の何れか1項に記載の検出装置。
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JP2017142346A (ja) | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 西進商事株式会社 | 照明装置及び光学測定装置 |
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