JP7472916B2 - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents

Description

本開示は、基板処理装置及び基板処理方法に関する。

半導体デバイスの製造工程においては、基板である半導体ウエハ（以下、ウエハと記載する）に対して基板処理装置により、フォトリソグラフィなどの各種の処理が行われる。ウエハは搬送容器であるキャリアに収納された状態で、装置間を搬送される。

上記の基板処理装置の例として、特許文献１には塗布、現像装置が記載されている。当該塗布、現像装置は、装置内に対してウエハの搬入出を行うためにキャリアが載置されるキャリア載置部と、基板処理装置間でキャリアを搬送する天井搬送機構によってキャリアが搬送されるキャリア仮置き部と、を備えている。そして、塗布、現像装置に設けられるキャリアの移動機構により、キャリア載置部とキャリア仮置き部との間でキャリアが移載される。

特開２０１０－１７１２７６号公報

本開示は、基板処理装置に対しての基板の搬入または搬出の滞りを防ぎ、装置のスループットの向上を図ることができる技術を提供する。

本開示の基板処理装置は、基板を収納する搬送容器であるキャリアが配置されるキャリアブロックと、
前記キャリアブロックとの間で前記基板が受け渡され、当該基板を処理する処理モジュールが設けられる処理ブロックと、を備える基板処理装置において、
前記基板処理装置に対して前記キャリアの搬入出を行うために当該キャリアが載置されるキャリア搬入ポート及びキャリア搬出ポートと、
前記キャリアブロックに設けられ、前記キャリアから前記処理ブロックへの前記基板の搬出及び前記処理ブロックから前記キャリアへの前記基板の搬入を行うために当該キャリアが載置される基板搬出ポート及び基板受入ポートと、
前記キャリアを仮置きするためのキャリア仮置き部と、
前記キャリア搬入ポートと、前記キャリア搬出ポートと、前記基板受入ポートと、前記基板搬出ポートと、前記キャリア仮置き部との間で前記キャリアを移載可能なキャリア移載機構と、
前記キャリアを前記キャリア搬入ポート、前記基板受入ポート、前記基板搬出ポート、前記キャリア搬出ポートの順で移載するにあたり、前記基板搬出ポートにおける前記キャリアからの基板の搬出状況または前記基板受入ポートにおける前記キャリアへの基板の搬入状況に基づいて、当該キャリアを移載元のポートから前記キャリア仮置き部を経由せずに次の移載先のポートへ移載するように制御信号を出力する制御部と、
を備え、
前記搬出状況は、前記基板搬出ポートに載置された前記キャリアから搬出予定の前記基板の枚数に基づいて算出される、当該搬出予定の基板の搬出が完了する搬出完了時間に対応する時間であり、
前記搬入状況は、前記基板受入ポートの前記キャリアに搬入予定の前記基板の枚数に基づいて算出される、当該搬入予定の基板の搬入が完了する搬入完了時間に対応する時間である。

本開示によれば基板処理装置に対しての基板の搬入または搬出の滞りを防ぎ、装置のスループットの向上を図ることができる。

本開示の一実施形態である塗布、現像装置の横断平面図である。 前記塗布、現像装置の縦断側面図である。 前記塗布、現像装置を構成するキャリアブロックの正面図である。 前記塗布、現像装置に設けられる受け渡しモジュールの側面図である。 前記塗布、現像装置におけるウエハの搬送経路を示す説明図である。 前記塗布、現像装置における制御部の構成を示す構成図である。 比較例の装置におけるキャリアの移載フローを示す説明図である。 前記比較例の装置におけるキャリアの移載手順を示すフローを示すチャート図である。 前記比較例の装置におけるキャリアの移載フローを示す説明図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載手順を示すフローを示すチャート図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記比較例の装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記塗布、現像装置及び前記比較例の装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記比較例の装置におけるキャリアの移載スケジュールを示すチャート図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載スケジュールを示すチャート図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記塗布、現像装置及び前記比較例の装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載の具体例を示す説明図である。 前記比較例の装置におけるキャリアの移載スケジュールを示すチャート図である。 前記塗布、現像装置におけるキャリアの移載スケジュールを示すチャート図である。

本開示の基板処理装置の一実施形態である塗布、現像装置１について、図１の平面図、図２の縦断側面図を夫々参照しながら説明する。塗布、現像装置１は、キャリアブロックＤ１と、処理ブロックＤ２と、インターフェイスブロックＤ３と、を横方向に一列に接続して構成されている。この列に沿った方向を前後方向とし、キャリアブロックＤ１側を前方側とする。これらのブロックＤ１～Ｄ３は互いに区画されている。インターフェイスブロックＤ３には、後方側に露光機Ｄ４が接続されている。

キャリアブロックＤ１は、塗布、現像装置１に対してウエハＷを搬入出するためのブロックである。ウエハＷは、例えばＦＯＵＰ(Front Opening Unify Pod）と呼ばれるキャリアＣに収納された状態で、当該キャリアブロックＤ１に対して搬入出される。即ち、キャリアＣは、ウエハＷを搬送するための搬送容器であり、キャリアブロックＤ１においては当該搬送容器が配置される。

図３にキャリアブロックＤ１を構成する筐体１１の正面を示している。当該筐体１１の正面には、ロードポートを構成すると共に開閉自在なウエハＷの搬送口１２が、例えばマトリクス状に配置されており、各搬送口１２の下方の前方側にはキャリアステージが設けられている。キャリアＣが載置されるこれらのキャリアステージは、前方側のアンロード位置と後方側のロード位置との間で移動する。アンロード位置にて、キャリアステージに対してキャリアＣの受け渡しが行われる。ロード位置はキャリアＣとキャリアブロックＤ１との間でウエハＷの受け渡しが行われる位置であり、当該ロード位置にて、搬送口１２を開閉する開閉機構１３により、キャリアＣの蓋の開閉も行われる。

キャリアブロックＤ１の筐体１１を正面から見て、左側の２つのキャリアステージについては、ウエハＷが収納されたキャリアＣが載置され、当該キャリアＣ内から装置へウエハＷが払い出し（送出）される。そのため、これらのキャリアステージを、センダーステージ１４と記載する。また、基板搬出ポートである２つのセンダーステージ１４のうち、上側を１４Ａ、下側を１４Ｂとして各々区別して示す場合が有る。キャリアブロックＤ１を正面から見て、右側の２つのキャリアステージについては、ウエハＷを装置に払い出し済みのキャリアＣが載置され、当該キャリアＣは装置からウエハＷを受け取る。そのため、これらのキャリアステージを、レシーバーステージ１５と記載する。また、基板受入ポートである２つのレシーバーステージ１５のうち、上側を１５Ａ、下側を１５Ｂとして各々区別して示す場合が有る。

なお、図１では、センダーステージ１４Ａ、レシーバーステージ１５Ａが夫々アンロード位置、ロード位置に位置する状態を示しており、図２では、センダーステージ１４Ｂ、レシーバーステージ１５Ａがアンロード位置、ロード位置に夫々位置する状態を示している。また、センダーステージ１４に載置されているキャリアＣをセンダーキャリア、レシーバーステージ１５に載置されているキャリアＣをレシーバーキャリアとして、夫々記載する場合が有る。

筐体１１正面の中央部には、キャリア仮置き部であるストッカ１６が設けられており、当該ストッカ１６には、例えば複数個のキャリアＣを仮置き可能である。また、例えば筐体１１の前方側には棚１７が設けられており、当該棚１７には、ロードステージ１８及びアンロードステージ１９が設けられている。塗布、現像装置１が設置される工場が備える搬送機構であるＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）が、ロードステージ１８にキャリアＣを搬送し、アンロードステージ１９からキャリアＣを搬出する。つまり、ロードステージ１８には、塗布、現像装置１における処理前のウエハＷが格納されたキャリアＣが載置され、アンロードステージ１９には、塗布、現像装置１において処理済みのウエハＷが収納されたキャリアＣが載置される。従って、ロードステージ１８、アンロードステージ１９は、キャリア搬入ポート、キャリア搬出ポートとして夫々構成されている。

そして、キャリアブロックＤ１には、キャリア移載機構２１が設けられている。当該キャリア移載機構２１は、キャリアブロックＤ１の筐体１１と棚１７との間に設けられており、左右に延びる移動軸２２に沿って移動自在な昇降軸２３と、当該昇降軸２３に沿って昇降自在な関節アーム２４と、関節アーム２４の先端側に設けられた２つの爪部２５と、を備えている。キャリアＣの上部側に設けられる保持部Ｃ０を掴むことが可能なように、２つの爪部２５の間隔は変更自在である。キャリア移載機構２１により、センダーステージ１４Ａ、１４Ｂと、レシーバーステージ１５Ａ、１５Ｂと、ストッカ１６と、ロードステージ１８と、アンロードステージ１９との間で、キャリアＣを移載することができる。具体的にはこの移載動作は、移載元への爪部２５の下降、爪部２５による移載元のキャリアＣの掴持、移載先の直上へのキャリアＣの移動、爪部２５の下降によるキャリアＣの当該移載先への載置、掴持の解除という、一連の動作により行われる。

キャリアブロックＤ１の筐体１１内の左右の中央部には、上下に延びるタワーＴ１が設けられている。タワーＴ１には各種のモジュールが設けられているが、受け渡しモジュールＴＲＳ及びウエハＷの温度を調整する温度調整モジュールＳＣＰＬ以外の図示は省略している。なお、ウエハＷが載置される場所をモジュールとして記載する。温度調整モジュールＳＣＰＬや後述の現像モジュール３２及びレジスト膜形成モジュールなど、ウエハＷに処理を行うモジュールは、処理モジュールである。

詳しくは後述するが、処理ブロックＤ２は互いに積層された単位ブロックＥ１～Ｅ６により構成されている。単位ブロックＥ１～Ｅ６に対してウエハＷを搬入出できるように、上記のタワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳについては、複数設けられ、単位ブロックＥ１～Ｅ６に各々対応する高さに配置されている。各受け渡しモジュールＴＲＳについて、対応する高さの単位ブロックＥ１～Ｅ６と同じ数字を付して、ＴＲＳ１～ＴＲＳ６として示している。なお、図２では、１つの単位ブロックＥに対して、受け渡しモジュールＴＲＳが２つのみ設けられるように示している。ただし図４に示すように、１つの受け渡しモジュールＴＲＳは、上下に配置されると共に、各々ウエハＷを載置する複数の載置部２０を備えている。つまり、１つの単位ブロックＥに対応する高さに、多数のウエハＷを載置することができる。また、タワーＴ１では温度調整モジュールＳＣＰＬも、受け渡しモジュールＴＲＳと同様に単位ブロックＥ１～Ｅ６に各々対応する高さに設けられている。この温度調整モジュールＳＣＰＬについても、対応する高さの単位ブロックＥ１～Ｅ６と同じ数字を付すことで、図２中にＳＣＰＬ１～ＳＣＰＬ６として示している。

正面から見たタワーＴ１の左側、右側には、ウエハ搬送機構２７、２８が夫々設けられている。ウエハ搬送機構２７は、処理ブロックＤ２への送出用の搬送機構であり、タワーＴ１の各受け渡しモジュールＴＲＳと、センダーステージ１４に載置されたキャリアＣとの間でウエハＷを受け渡す。ウエハ搬送機構２８は、処理ブロックＤ２からの受け取り用の搬送機構であり、タワーＴ１の各受け渡しモジュールＴＲＳと、レシーバーステージ１５に載置されたキャリアＣとの間でウエハＷを受け渡す。図１に示すように、ウエハ搬送機構２７、２８はタワーＴ１を挟むように設けられるが、図２では図示の便宜上、ウエハ搬送機構２７、２８をタワーＴ１よりも前方寄りに示している。なお、ウエハ搬送機構２７、２８はウエハＷの保持部を２つずつ有し、キャリアＣに対して２枚のウエハＷを一括して受け渡すことができる。

このキャリアブロックＤ１については、上記のキャリア移載機構２１によって、ウエハＷが払い出されたキャリアＣをセンダーステージ１４から他の場所へ移載することができる。それにより、センダーステージ１４が長時間、同じキャリアＣに占有されることを防ぎ、当該センダーステージ１４に順次、後続のキャリアＣを移載して、装置内にウエハＷを払い出すことができる。また、キャリア移載機構２１によって、ウエハＷを払い出し済みのキャリアＣを順次、レシーバーステージ１５に移載し、ウエハＷを収納完了したキャリアＣについては当該レシーバーステージ１５から他の場所へ移載する。それにより、レシーバーステージ１５が長時間、同じキャリアＣに占有されることを防ぎ、装置内から各キャリアＣに順次ウエハＷを回収していくことができる。

センダーステージ１４は２つ設けられるので、一のセンダーステージ１４に載置したキャリアＣからのウエハＷの払い出しを行う一方で、他のセンダーステージ１４へキャリアＣを移載して、ロード位置で待機させておくことが可能となっている。そのようにキャリアＣを待機させておけば、ウエハ搬送機構２７は、一のセンダーステージ１４のキャリアＣからの払い出し終了後に待機すること無く、他のセンダーステージ１４のキャリアＣからのウエハＷの払い出しを開始することができる。そして、レシーバーステージ１５についても２つ設けられるので、一のレシーバーステージ１５に載置したキャリアＣへのウエハＷの収納を行う一方で、他のレシーバーステージ１５へキャリアＣを移載して、ロード位置で待機させておくことが可能となっている。そのようにキャリアＣを待機させておけば、ウエハ搬送機構２８は、一のレシーバーステージ１５のキャリアＣへのウエハＷの収納が終了した後に待機すること無く、他のレシーバーステージ１５へのウエハＷの収納を開始することができる。後に詳しく説明するが、このキャリアブロックＤ１においては、上記のウエハ搬送機構２７、２８の待機時間が無くなるようにキャリアＣの移載が行われ、それによりウエハＷの搬送における時間のロスが抑制される。

続いて、上記の処理ブロックＤ２の構成を説明する。処理ブロックＤ２は、互いに積層されると共に区画された６つの単位ブロックＥ１～Ｅ６が、番号順に下から積層されて構成されている。実際には、処理ブロックＤ２はウエハＷに対して各種の液処理を行うが、説明の煩雑化を避けるために、ここでは液処理としては、レジストの塗布、現像処理のみを行うものとする。各単位ブロックＥ（Ｅ１～Ｅ６）において、互いに並行してウエハＷの搬送及び処理が行われる。単位ブロックＥ１～Ｅ３が互いに同様の構成であり、単位ブロックＥ４～Ｅ６が互いに同様の構成である。

単位ブロックＥ１～Ｅ６のうち代表して、図１に示した単位ブロックＥ６について説明する。単位ブロックＥ６の左右の中央には、前後方向に伸びるウエハＷの搬送路３１が形成されている。搬送路３１の左右の一方側には、４つの現像モジュール３２が設けられている。搬送路３１の左右の他方側には、露光後、現像前の加熱処理であるＰＥＢ（Post Exposure Bake）を行う加熱モジュール３３が前後に多数並んで設けられている。また、上記の搬送路３１には、単位ブロックＥ６でウエハＷを搬送する搬送アームＦ６が設けられている。

単位ブロックＥ１～Ｅ３について、単位ブロックＥ６との差異点を中心に説明すると、単位ブロックＥ１～Ｅ３は、現像モジュール３２の代わりにレジスト膜形成モジュールを備えている。レジスト膜形成モジュールは、ウエハＷに薬液としてレジストを塗布してレジスト膜を形成する。また、単位ブロックＥ１～Ｅ３においては、加熱モジュール３３、３４の代わりに、レジスト膜形成後のウエハＷを加熱するための加熱モジュールが設けられる。図２では、搬送アームＦ６に相当する各単位ブロックＥ１～Ｅ５の搬送アームについて、Ｆ１～Ｆ５として示している。

続いて、インターフェイスブロックＤ３について説明する。インターフェイスブロックＤ３は、単位ブロックＥ１～Ｅ６に跨がるように上下に伸びるタワーＴ２～Ｔ４を備えている。このタワーＴ２は、多数の受け渡しモジュールＴＲＳが積層されて構成されている。単位ブロックＥ１～Ｅ６に対応する受け渡しモジュールＴＲＳを、図２中、ＴＲＳ１１～ＴＲＳ１６として示している。なお、タワーＴ２の左右に配置されるタワーＴ３、Ｔ４には、各種のモジュールが含まれるが、図示及び説明を省略する。

また、インターフェイスブロックＤ３は、各タワーＴ２～Ｔ４に対してウエハＷを搬送するウエハ搬送機構４１～４３を備えている。ウエハ搬送機構４１は、タワーＴ２及びタワーＴ３に対してウエハＷの受け渡しを行う。ウエハ搬送機構４２は、タワーＴ２及びタワーＴ４に対してウエハＷの受け渡しを行う。ウエハ搬送機構４３は、タワーＴ２と露光機Ｄ４との間でウエハＷの受け渡しを行う。

キャリアＣ毎に異なるロットのウエハＷが格納されており、以上に述べた塗布、現像装置１では、ロット毎に指定される搬送レシピによって、装置内でウエハＷが搬送される。つまり、ロット毎に異なる搬送経路で、ウエハＷが搬送される。このウエハＷの搬送経路のうち、第１の搬送経路Ｈ１及び第２の搬送経路Ｈ２について、これらの搬送経路の概略を示す図５も参照しながら説明する。

第１の搬送経路Ｈ１は、単位ブロックＥ１～Ｅ３のうちのいずれかと、単位ブロックＥ４～Ｅ６のいずれかと、をウエハＷが通過する搬送経路であり、当該ウエハＷにレジストパターンが形成される。センダーステージ１４に載置されたセンダーキャリアＣからウエハ搬送機構２８によってウエハＷが払い出され、処理ブロックＤ２への搬入用基板載置部である受け渡しモジュールＴＲＳ１～ＴＲＳ３に振り分けられる。そして、当該ウエハＷは、搬送アームＦ１～Ｆ３により受け取られ、温度調整モジュールＳＣＰＬ１～ＳＣＰＬ３→レジスト膜形成モジュール→加熱モジュールの順で搬送される。そのように搬送されてレジスト膜が形成されたウエハＷは、受け渡しモジュールＴＲＳ１１～ＴＲＳ１３に搬送され、ウエハ搬送機構４１、４２により、露光機Ｄ４へ搬送され、レジスト膜が露光される。

露光後のウエハＷは、ウエハ搬送機構４３により露光機Ｄ４から取り出され、タワーＴ４のモジュールを介してウエハ搬送機構４２に受け取られる。ウエハ搬送機構４２は、ウエハＷを受け渡しモジュールＴＲＳ１４～ＴＲＳ１６に振り分ける。そして、受け渡しモジュールＴＲＳ１４～ＴＲＳ１６に搬送されたウエハＷは、搬送アームＦ４～Ｆ６により加熱モジュール３３→温度調整モジュールＳＣＰＬ４～ＳＣＰＬ６→現像モジュール３２の順で搬送される。それにより、レジスト膜が現像され、ウエハＷにレジストパターンが形成される。現像されたウエハＷは、受け渡しモジュールＴＲＳ４～ＴＲＳ６に搬送される。そして、ウエハ搬送機構２８により、レシーバーステージ１５に載置されたキャリアＣに搬入される。

続いて、第２の搬送経路Ｈ２について説明する。この第２の搬送経路Ｈ２は、単位ブロックＥ１～Ｅ６のうち、単位ブロックＥ１～Ｅ３のいずれかのみをウエハＷが通過する搬送経路であり、ウエハＷにはレジスト膜の形成処理及び現像処理のうち、レジスト膜の形成処理のみが行われる。第１の搬送経路Ｈ１との差異点を中心に説明すると、ウエハＷがセンダーキャリアＣから受け渡しモジュールＴＲＳ１～ＴＲＳ３に搬送され、処理ブロックＤ２に搬入される。そして、当該ウエハＷは、温度調整モジュールＳＣＰＬ１～ＳＣＰＬ３→レジスト膜形成モジュール→加熱モジュールの順で搬送される。そして、処理済みのウエハＷは、受け渡しモジュールＴＲＳ１～ＴＲＳ３に搬送されて、ウエハ搬送機構２６により処理ブロックＤ２から搬出され、レシーバーステージ１５のキャリアＣに戻される。

上記の第１の搬送経路Ｈ１でウエハＷが搬送される場合は、受け渡しモジュールＴＲＳ４～ＴＲＳ６が、処理ブロックＤ２からの出口となる搬出用基板載置部である。第２の搬送経路Ｈ２でウエハＷが搬送される場合は、受け渡しモジュールＴＲＳ１～ＴＲＳ３が、処理ブロックＤ２からの出口となる搬出用基板載置部である。なおＴＲＳ１～ＴＲＳ３については上記のように複数設けられるが、処理ブロックＤ２への搬入と、処理ブロックＤ２からの搬出とで、互いに異なるものが用いられる。

上記したように各搬送経路でウエハＷを搬送するにあたり、基板搬送機構である搬送アームＦ（Ｆ１～Ｆ６）については、単位ブロックＥ（Ｅ１～Ｅ６）においてアクセスするモジュールの間を順番にサイクリックに移動する。そのように移動することで、ウエハＷを１枚ずつ、上流側のモジュールから下流側のモジュールへ受け渡すサイクル搬送が行われる。より具体的に述べると、搬送アームＦは独立して移動するウエハＷの保持部を２つ備え、一方の保持部でモジュールからウエハＷを受け取り、他方の保持部でモジュールにウエハＷを送出し、モジュールに対してウエハＷを順次入れ替えるように搬送する。従って、単位ブロックＥ６であれば、搬送アームＦ６が搬送路３１を繰り返し周回移動し、単位ブロックＥ６への搬入用モジュールである受け渡しモジュールＴＲＳ１６側から、搬出用モジュールである受け渡しモジュールＴＲＳ６へ向かうウエハＷの搬送が、繰り返し行われる。搬送アームＦが搬送路３１を１周する時間をサイクルタイムとし、各単位ブロックＥについて、共通のサイクルタイムが設定されている。搬送アームＦ以外の搬送機構もサイクルタイムに合わせてウエハＷを搬送し、後述する計算式によってキャリアＣに対するウエハＷの払い出し終了時間、収納終了時間を算出することができる。

そして、図６に示すように塗布、現像装置１は、コンピュータにより構成されている制御部５１を備えている。制御部５１はウエハ処理プログラム５２と、キャリア移載プログラム５３とを備えている。ウエハ処理プログラム５２は、上記したウエハＷの搬送、各モジュールでのウエハＷの処理が行われるようにステップ群が組まれており、そのように搬送及び処理が行われるように、各モジュールやウエハＷの各搬送機構に制御信号を出力する。キャリア移載プログラム５３は、後述するキャリアＣの移載を行うことができるようにステップ群が組まれており、当該移載が行われるようにキャリア移載機構２１に制御信号を出力する。ウエハ処理プログラム５２及びキャリア移載プログラム５３は、例えばコンパクトディスク、ハードディスク、ＤＶＤなどの記憶媒体に格納されて、制御部５１にインストールされる。

ウエハ処理プログラム５２、キャリア移載プログラム５３は連携しており、例えばウエハ処理プログラム５２から所定の指示が出力されたときに、キャリア移載プログラム５３は、それに応じたキャリア移載機構２１の動作が行われるようにステップ群が組まれている。この所定の指示の一つに、キャリア強制準備指示が有る。このキャリア強制準備指示とは、塗布、現像装置１内を搬送されるロットの先頭のウエハＷが、搬送経路中の所定のモジュールに到達した際に、当該ロットを収納すべきキャリアＣがレシーバーステージ１５に未載置である場合に出される。即ち、当該キャリアＣのレシーバーステージ１５への移載を促す指示である。

このようにキャリア強制準備指示は、塗布、現像装置１内のウエハＷの搬送状況に基づいて出される。図５で例示したように、ロット毎に搬送経路の長さが異なるので、キャリアＣの追い越し（後からキャリアブロックＤ１に搬送されたキャリアＣが、先に搬送されたキャリアＣよりも後段のステージに移載される）が起きるように移載を行うことが必要な場合が有る。つまりキャリアＣは、必ずしもウエハＷを払い出した順に移載されず、そのような追い越しが行われる場合が有り、例えばその追い越しに起因して当該キャリア強制準備指示が出される場合が有る。

また、制御部５１はキャリアブロックＤ１におけるキャリアＣの移載経路についての情報を格納するメモリ５４と、後述するキャリアの必要時間を格納するメモリ５５と、を備えている。そして制御部５１は、上位制御部５６に接続されている。上位制御部５６は、上記のＯＨＴの動作を制御する。この上位制御部５６は、ＯＨＴによってロードステージ１８へキャリアＣが搬送されたことを示すキャリア搬入情報、及びＯＨＴによってアンロードステージ１９からキャリアＣが搬出されたことを示すキャリア搬出情報を制御部５１に送信する。このようにキャリア搬入情報及びキャリア搬出情報は、キャリアブロックＤ１におけるキャリアＣの配置状況についての情報である。

さらに上位制御部５６は、制御部５１にキャリアアウト指示を送信する。このキャリアアウト指示は、キャリアＣについてアンロードステージ１９への移載を可とする指示であり、キャリアＣ毎に出される。即ち、ウエハＷを回収済みのキャリアＣのうち、キャリアアウト指示が出力済みのキャリアＣについては、アンロードステージ１９に移載可能であるが、キャリアアウト指示が未出力のキャリアＣについては、アンロードステージ１９への移載が不可であり、ストッカ１６へ移載されることになる。このようにキャリアアウト指示は、塗布、現像装置１からのキャリアＣの搬出可否情報である。

この図６で説明したキャリア強制準備指示、キャリア搬入情報、キャリア搬出情報、またはキャリアアウト指示によって、キャリア移載機構２１が行うように決定された動作がキャンセルされ、これらの指示または情報に応じた動作が行われる場合が有る。従って、これらの指示及び情報は、塗布、現像装置１の状態を表す情報であると共に、キャリア移載機構２１の動作を制御する割り込み指令に相当する。

以下、塗布、現像装置１のキャリアブロックＤ１における作用効果を明確に示すために、比較例の装置のキャリアブロックＤ１についての作用効果と適宜、対比させて説明を行う。比較例の装置については制御部の構成を除き、塗布、現像装置１と同様に構成されているものとする。比較例の装置において、キャリアＣは、ロードステージ１８→（ストッカ１６）→センダーステージ１４→ストッカ１６→レシーバーステージ１５→（ストッカ１６）→アンロードステージ１９の順で移載される。この比較例の移載経路において、キャリアＣは少なくともセンダーステージ１４からレシーバーステージ１５へ移載される前に、必ずストッカ１６に移載される。そして、この比較例の装置では、キャリアブロックＤ１に複数の移載可能なキャリアＣが有る場合、キャリアＣの配置に関する情報に基づいてのみ、移載対象のキャリアＣ及び移載先が決定される。

図７を参照して比較例の装置における移載対象のキャリアＣの決定について、より具体的に述べる。図７の上部側はキャリアブロックＤ１の概略図であり、説明の便宜上、既述の各図のレイアウトとは異なるレイアウトで、ステージ（センダーステージ１４、レシーバーステージ１５、ロードステージ１８及びアンロードステージ１９）及びストッカ１６を示している。図７中のキャリアブロックＤ１内に示した矢印は、上記したキャリアＣの移載経路中の各段の移載を示している。そして、この各段の移載には、制御部によって優先度が設定される。各矢印の近傍に表した丸で囲んだ番号で、その優先度を示しており、番号が小さいほど優先度が高い。なお図７の下部側は、図７の上部側で示しているキャリアＣの移載経路を、より簡略化して示したものである。

図７に示すように、センダーステージ１４への移載及びレシーバーステージ１５への移載のうちの一方が優先度１（最優先）、他方が優先度２である。レシーバーステージ１５、→アンロードステージ１９の移載が優先度３である。センダーステージ１４→ストッカ１６の移載、レシーバーステージ１５→ストッカ１６の移載、ロードステージ１８→ストッカ１６の移載、ストッカ１６→アンロードステージ１９の移載が、夫々優先度４、５、６、７である。センダーステージ１４への移載、レシーバーステージ１５への移載のうちどちらが優先されるか（優先度１になるか）は、例えば２つのレシーバーステージ１５のいずれも空いていない場合は、センダーステージ１４への移載が優先される。それ以外の場合は、レシーバーステージ１５への移載が優先される。制御部により、上記の移載経路について優先度が高い段から順に、移載元にキャリアＣが有り且つ移載先が空いている状態（キャリアＣが載置されていない箇所が有り、キャリアＣを移載できる状態）となっているか判定される。そして、そのような状態になっていると判定された段における移載が行われるように、移載対象のキャリアＣ及び移載先が決定される。

図８は、比較例の装置において、キャリアＣの移載を１回行うにあたり実行される工程を示すフローチャートである。先ず制御部により、上記したようにレシーバーステージ１５におけるキャリアＣの配置に基づき、センダーステージ１４への移載及びレシーバーステージ１５への移載のうち、いずれを優先するかが制御部により、判定される（ステップＳ１１）。センダーステージ１４への移載を優先すると判定した場合は、センダーステージ１４への移載を優先度１、レシーバーステージ１５への移載を優先度２として決定された搬送経路中の各段の優先度と、キャリアＣの配置とに基づいて判定が行われる。つまり、上記したように搬送経路について優先度が高い段から順に、移載元にキャリアＣが有り、且つ移載先が空いているようになっているかが判定されることで、移載対象のキャリアＣ及び移載先が決定される（ステップＳ１２）。

レシーバーステージ１５への移載を優先すると判定した場合は、レシーバーステージ１５への移載を優先度１、センダーステージ１４への移載を優先度２として決定された搬送経路中の各段の優先度と、キャリアＣの配置とに基づいて、ステップＳ１２と同様に判定が行われる。そして、移載対象のキャリアＣ及び移載先が決定される（ステップＳ１３）。

ステップＳ１２、Ｓ１３でのキャリアＣの移載先の決定は、メモリ５４に格納されるキャリアＣの移載経路の情報を参照して行われる。ただし、この移載経路は、図７で述べたように、ステージへの移載前にストッカ１６を経由する移載経路である。移載対象のキャリアＣ及び移載先の決定後は、キャリア移載機構２１が移載元となるステージまたはストッカ１６に載置されたキャリアＣの直上に移動し（ステップＳ１４）、当該キャリアＣを受け取り、移載先へと移載する（ステップＳ１５）。ステップＳ１５の後は、ステップＳ１１以降の工程が再度行われる。

このように比較例の装置については、移載元及び移載先のキャリアＣの有無に基づいて、どのキャリアＣを優先して移載するかが判定される。しかし、このような判定によって、ウエハＷの装置への払い出しを遅らせないためには本来、優先して移載すべきキャリアＣとは別のキャリアＣが移載されてしまう場合が有る。後にそのような状況を具体的に述べるので、ここでは簡単に事例を挙げておくと、ロードステージ１８→センダーステージ１４への移載を優先すべきところを、ストッカ１６→レシーバーステージ１５への移載が優先されてしまう場合が有る。そして、そのような不適切な移載がなされると、センダーステージ１４へのキャリアＣの移載が遅れ、結果として装置へのウエハＷの搬入が遅れてしまい、装置のスループットが低下してしまうおそれが有る。また、本来は不要な状況でも、キャリアＣは次のステージに移載される前に、一旦ストッカ１６に移載される場合が有る。この移載中は他のキャリアＣの移載を行えないため、センダーステージ１４、レシーバーステージ１５へのキャリアＣの移載が遅れるおそれが有る。その移載の遅れにより、装置のスループットが低下してしまうおそれが有る。

続いて、塗布、現像装置１におけるキャリアＣの移載の概要を説明する。塗布、現像装置１では、ウエハＷの払い出し前のキャリアＣ、ウエハＷの払い出し後のキャリアＣを夫々いつまでにセンダーステージ１４、レシーバーステージ１５に移載する必要があるかという、キャリアＣの必要時間を算出する。つまり、任意のキャリアＣからのウエハＷの払い出しを終えた後、ウエハＷの払い出しが途絶えない（ウエハ搬送機構２７の待機時間が無くなる）ように後続のキャリアＣからウエハＷを払い出すには、その後続のキャリアＣをいつまでにセンダーステージ１４に移載する必要があるかという情報を取得する。同様に、任意のキャリアＣへのウエハＷの収納を終えた後、ウエハＷの収納が途絶えない（ウエハ搬送機構２６の待機時間が無くなる）ように後続のキャリアＣへのウエハＷの収納を行うには、その後続のキャリアＣをいつまでにレシーバーステージ１５に移載する必要があるか、という情報を取得する。

キャリアの必要時間とは上記のような時間であるため、センダーステージ１４のキャリアＣからの装置へのウエハＷの搬出状況、及びレシーバーステージ１５のキャリアＣへの装置からのウエハＷの搬入状況に基づいて決められる。装置へのウエハＷの搬出状況及び装置からのウエハＷの搬入状況としては、具体的には後述するセンダーキャリアについての払い出し終了時間及びレシーバーキャリアについての収納終了時間が含まれる。塗布、現像装置１では、キャリアＣの配置及び移載経路における各段の優先度に加え、当該キャリアの必要時間に基づいて、移載対象のキャリアＣ及び移載先の決定が行われる。つまり、装置へのウエハＷの搬出状況及びキャリアＣへのウエハＷの搬入状況に基づいて、キャリアＣの移載の制御が行われる。

図９は、塗布、現像装置１におけるキャリアＣの移載経路を示しており、図７に示した比較例の装置におけるキャリアＣの移載経路との差異点として、任意のステージから次のステージへ、ストッカ１６を経由しない（スキップする）移載が行われる場合が有る。つまり、ロードステージ１８→センダーステージ１４、センダーステージ１４→レシーバーステージ１５、レシーバーステージ１５→アンロードステージ１９の移載が行われる場合が有る。従って図６で説明した、制御部５１のメモリ５４に格納される移載経路の情報としては、この図９に示す移載経路の情報、即ちセンダーステージ１４→レシーバーステージ１５の経路を含むストッカ１６をスキップする経路の情報を含んだものとなっている。

図９の矢印の付近に表した丸で囲んだ数字は、図７と同じく移載経路中の各段の移載の優先度を示す。図中に示すように、ロードステージ１８またはストッカ１６→センダーステージ１４、及びセンダーステージ１４またはストッカ１６→レシーバーステージ１５の移載が優先度１（最優先）である。レシーバーステージ１５→アンロードステージ１９またはストッカ１６の移載、及びセンダーステージ１４→ストッカ１６への移載が優先度２である。ただし、レシーバーステージ１５→アンロードステージ１９またはストッカ１６の移載については、ストッカ１６への移載よりもアンロードステージ１９への移載の方が優位である。従って、レシーバーステージ１５からアンロードステージ１９、ストッカ１６の各々へキャリアＣを移載可能な場合は、アンロードステージ１９への移載が行われる。また、ロードステージ１８→ストッカ１６の移載が優先度３、ストッカ１６→アンロードステージ１９の移載が優先度４である。

このように、センダーステージ１４及びレシーバーステージ１５への移載の優先度、及びセンダーステージ１４及びレシーバーステージ１５からキャリアＣを移載する優先度が比較的高い一方で、ストッカ１６への移載の優先度は低い。後に具体的な事例を示すように、この塗布、現像装置１では、優先度が比較的高い動作が多く行われ、それによってキャリアＣのストッカ１６への移載頻度がさらに抑制されるように、キャリアＣの移載制御が行われる。

図１０は、塗布、現像装置１において、キャリアＣの移載を１回行うにあたり実行される工程を示すフローチャートである。制御部５１により、キャリアブロックＤ１に配置される各キャリアＣの必要時間が算出され、メモリ５５に記憶される。そのように各キャリアＣの必要時間が記憶されることで、メモリ５５にはどのキャリアＣをいつまでに移載しなければならないかという情報（キャリア移載必要時間情報）が記憶されることになる（ステップＳ１）。

そのメモリ５５に記憶された時間情報と、メモリ５４に記憶される移載経路の情報（どこからどこへ移載できるかの情報）と、図９で述べた移載経路の各段の優先度と、各キャリアＣの配置と、に基づき、移載対象のキャリアＣ及びその移載先について判定される（ステップＳ２）。このステップＳ２の実行時において、実行可能な移載の中で優先度が高い移載が行われるように判定されるが、後に具体例を挙げて示すように、その移載を待ち合わせ、後でより優先度が高い移載を行うケースが有る。また、図９で示したように、キャリアＣの移載経路において同一の優先度が設定されている段が有る。この同一の優先度の移載をいずれも実行可能な場合、このステップＳ２でいずれの移載を行うか決められる。これについても後に具体的に事例を示す。

移載対象のキャリアＣとして判定されたキャリアＣを受け取るために、当該キャリアＣの直上へキャリア移載機構２１が移動する（ステップＳ３）。そのようにキャリア移載機構２１の移動後、当該キャリア移載機構２１が下降してキャリアＣを掴持する前に、ステップＳ２で行った判定を再度実行する（ステップＳ４）。続いて、キャリア移載機構２１による移載が実行される（ステップＳ５）。このステップＳ５の移載は、ステップＳ４の判定によって、移載対象のキャリアＣ及び／または移載先が変更になった場合は、その変更に従って行う。移載対象のキャリアＣ及び／または移載先に変更無い場合は、ステップＳ２で決定された移載対象のキャリアＣを、ステップＳ２で決定された移載先に搬送する。ステップＳ５の実行後は、再度ステップＳ１が実行される。この一連のステップＳ１～Ｓ５における計算、判定及びキャリア移載機構２１の動作制御は、図６で説明したキャリア移載プログラム５３により行われる。

なお、このＳ２、Ｓ４の判定の実行時に、既述したキャリア強制準備指示が出されている場合は、そのキャリア強制準備指示に従った移載が優先して行われる。つまり、強制準備指示の対象となるキャリアＣのレシーバーステージ１５への移載、あるいはその移載に先んじてレシーバーステージ１５を空けるために、レシーバーステージ１５のキャリアＣのストッカ１６への移載が最優先で行われるように決定される。また、ステップＳ４について補足して説明しておくと、当該ステップＳ４を行うのは、キャリア移載機構２１の移動中に、図６で説明したキャリア搬入情報またはキャリア搬出情報が出される（即ち、キャリアＣの配置状況が変わる）場合や、キャリアアウト指示が出される場合が有るためである。つまり、これらキャリア搬入情報、キャリア搬出情報、キャリアアウト指示によって、キャリア移載機構２１の移動中に、より優先度の高い移載が可能になるケースが有るためである。さらにキャリア移載機構２１の移動中に、上記したようにキャリア強制準備指示が出される場合も有るので、それに対応した移載を行うためでもある。

ところで、後に具体的な事例を述べるが、移載対象のキャリアＣ及び移載先を判定するにあたり、キャリア移載機構２１の１回の移載工程に要する時間（移載時間）が用いられる場合が有る。制御部５１は、この移載時間を取得できるように構成されている。この移載時間については、例えば予め設定されたアルゴリズムに基づいて算出可能としてもよいし、あるいは定数として制御部５１を構成するメモリに予め記憶されてもよい。例えば移載元及び移載先に応じて移載経路長が異なるため、移載元及び移載先の組み合わせ毎に移載時間は若干異なるが、移載元及び移載先の違いに関わらず一定の値を用いてもよいし、移載元及び移載先に応じて異なった移載時間を用いてもよい。

以下、上記のステップＳ２で行われる移載対象のキャリアＣ及び移載先の決定について、具体例を示して、より詳しく説明する。図９で示したように、ロードステージ１８またはストッカ１６からセンダーステージ１４への移載、センダーステージ１４またはストッカ１６からレシーバーステージ１５への移載は、共に優先度１である。このセンダーステージ１４への移載、レシーバーステージ１５への移載が共に可能である場合について説明する。

図１０のフローで述べたキャリアの必要時間を算出するにあたり、制御部５１によって、以下のセンダーキャリア払い出し終了時間及びレシーバーキャリア収納終了時間が算出される。
センダーキャリア払い出し終了時間＝センダーキャリアＣにおけるウエハＷの払い出し残り枚数×サイクルタイム
レシーバーキャリア収納終了時間＝レシーバーキャリアＣにおけるウエハＷの残り収納枚数×サイクルタイム
従って、センダーキャリア払い出し終了時間は、キャリアＣから搬出予定のウエハＷの搬出が完了する搬出完了時間であり、レシーバーキャリア収納終了時間は、キャリアＣに搬入予定のウエハＷの搬入が完了する搬入完了時間である。これらのセンダーキャリア払い出し終了時間と、レシーバーキャリア収納終了時間との長さを比較し、センダーキャリア払い出し終了時間が短ければセンダーステージ１４への移載を優先し、レシーバーキャリア収納終了時間が短ければレシーバーステージ１５への移載を優先する。つまり、装置へのウエハＷの払い出し、装置からのウエハＷの受け取りのうち、より早く終了する方にキャリアＣを搬送し、払い出しまたは受け取りの間隔が長くなることを防止する。

そして、センダーキャリア払い出し終了時間とレシーバーキャリア収納終了時間との長さを比較した結果、互いの時間が同じである場合は、図１１の模式図で示すように、センダーステージ１４へのキャリアＣの移載を優先する。このようにセンダーステージ１４への移載を優先する理由を述べると、処理ブロックＤ２からウエハＷを搬出するための出口となる受け渡しモジュールＴＲＳにおいては、図４で述べた通り、複数枚のウエハＷを載置、滞留させることが可能である。つまり、受け渡しモジュールＴＲＳにウエハＷを滞留させておき、レシーバーキャリアＣが載置された後で、ウエハ搬送機構２８によって当該レシーバーキャリアＣに搬送を行うことができる。従って、塗布、現像装置１のスループットへの影響が抑えられる。その一方で、センダーステージ１４への移載が滞ると、塗布、現像装置１への新規のウエハＷの払い出し及びウエハＷの処理が遅れることになるので、当該装置のスループットが低下する。そのため、センダーステージ１４への移載を優先して行うようにしている。このように、塗布、現像装置１では、センダーキャリア払い出し終了時間と、レシーバーキャリア収納終了時間とを比較し、センダーステージ１４及びレシーバーステージ１５のうちのいずれにキャリアＣを移載するか決めることで、装置のスループットの低下が抑制されるようにしている。

ところで、センダーキャリア払い出し終了時間と、レシーバーキャリア収納終了時間との差分の時間について、上記の例では予め設定された値として０秒であったときのみ、センダーステージ１４への移載を優先していることにしている。そのように差分の時間が、設定値であったときのみセンダーステージ１４へ移載を優先することには限られず、予め範囲を設定しておき、その設定範囲内に上記の差分の時間が収まる場合は、センダーステージ１４への移載を優先することにしてもよい。当該設定範囲としては、例えば０秒を含むようにする。

続いて図１２、図１３を参照し、塗布、現像装置１では上記したようにセンダーキャリア払い出し終了時間、レシーバーキャリア収納終了時間に基づいて優先度が決まることで、比較例の装置に対して、同じ状況であっても移載されるキャリアＣが異なる場合が有ることを説明する。図１２は比較例の装置（１Ａとして表示している）におけるキャリアＣの移載、図１３は塗布、現像装置１におけるキャリアＣの移載を夫々示している。比較例の装置１Ａ及び塗布、現像装置１の両方において、ロードステージ１８にキャリアＣが載置され、２つのセンダーステージ１４は空いていて、レシーバーステージ１５については１５Ｂが空いており、１５ＡではウエハＷの収納が行われているとする。また、ストッカ１６にウエハＷを払い出し済みのキャリアＣが配置されているとする。従って、各装置において、センダーステージ１４へのキャリアＣの移載、レシーバーステージ１５ＢへのキャリアＣの移載が共に可能な状態となっている。

比較例の装置１Ａでは、図７で説明したように優先度が設定されるので、図１２に示すようにストッカ１６のキャリアＣがレシーバーステージ１５Ｂへ移載されるように決定される。一方、塗布、現像装置１では、上記のようにセンダーキャリア払い出し終了時間及びレシーバーキャリア収納終了時間が算出される。レシーバーキャリアＣにウエハＷを収納中であるため、ウエハＷの収納枚数は１枚以上であるので、レシーバーキャリア収納終了時間は０秒より大きい。センダーキャリア払い出し終了時間は、センダーステージ１４にキャリアＣが無いため、ウエハＷの払い出し残り枚数は０枚であることから、センダーキャリア払い出し終了時間は０秒である。従って、センダーキャリア払い出し終了時間＜レシーバーキャリア収納終了時間であるので、センダーステージ１４への移載が優先されるように決定される。このようにセンダーステージ１４へ優先して移載されることで、既述したように装置へのウエハＷの搬入及び処理の遅れが防止され、高いスループットを確保することができる。

続いて、図９に戻って他の事例を説明する。２つのレシーバーステージ１５にキャリアＣが載置され、これらのレシーバーキャリア収納終了時間が同一であったとする。さらにそのときに、一方のレシーバーステージ１５のキャリアＣにはキャリアアウト指示が出ておらず、移載先がストッカ１６であり、他方のレシーバーステージ１５のキャリアＣにはキャリアアウト指示が出ていて、移載先がアンロードステージ１９であり、アンロードステージ１９は空いているものとする。つまり、レシーバーステージ１５からアンロードステージ１９への移載、ストッカ１６への移載のいずれも行える状態であるとする。その場合には、他方のレシーバーステージ１５のキャリアＣをアンロードステージ１９へ優先して移載するように決定される。

これは、仮に一方のレシーバーステージ１５のキャリアＣをストッカ１６に優先して移載すると、その後、当該キャリアＣをストッカ１６からアンロードステージ１９に移載することに１工程、他方のレシーバーステージ１５ＢのキャリアＣをアンロードステージ１９に移載する工程に１工程を要する。つまり、２つのキャリアＣをアンロードステージ１９へ移載するためのキャリア移載機構２１の移載工程数が３工程になる。一方、他方のレシーバーステージ１５のキャリアＣをアンロードステージ１９に優先して移載すると、その移載中に、一方のレシーバーステージ１５のキャリアＣについてもキャリアアウト指示が出てアンロードステージ１９への直接の移載が可能となる場合が有る。その場合には、２つのレシーバーステージ１５の各キャリアＣをロードステージ１８へ移載するためのキャリア移載機構２１の移載工程数が、２工程で済むためである。

さらに他の移載事例について説明する。図１０で説明したフローのステップＳ２の実行時、即ち移載対象のキャリアＣ及び移載先の判定を行う瞬間においては、優先度が低い移載しか行えない場合が有る。しかし、その優先度が低い移載を一定時間待ち合わせることで、より優先度が高い移載を行える場合が有る。制御部５１は、キャリアの必要時間に基づいて、そのような優先度が高い移載を行えるか否かを判断し、当該移載を行えると判断したときは、優先度が低い移載を待ち合わせ、待ち合わせ後に優先度が高い移載を行うように決定する。

このような移載事例をより具体的に、比較例の装置１Ａにおける移載と対比させながら、図１４～図１７を参照して説明する。図１４は、比較例の装置１Ａ及び塗布、現像装置１におけるキャリアＣの配置状況を示しており、移載不可のキャリアＣにハッチングを付している。２つのレシーバーステージ１５にウエハＷの収納が終了していないキャリアＣが配置されており、当該キャリアＣが移載不可であると共に、センダーステージ１４にウエハＷの払い出しが終了していないキャリアＣが配置されており、当該キャリアＣについても移載不可である。ただし、センダーステージ１４ＡのキャリアＣについては間もなくウエハＷの搬出が終了し、センダーステージ１４Ａから移載可能になる（アンロード位置に位置する）ものとする。また、ロードステージ１８には、新規にキャリアＣが搬入された状態である。説明の便宜上、センダーステージ１４Ａ、センダーステージ１４Ｂ、ロードステージ１８のキャリアＣを夫々Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３とする。図１４中のドットを付した矢印は、比較例の装置１Ａで設定される移載経路、ドットを付していない矢印は、塗布、現像装置１で設定される移載経路を表している。なお、各矢印付近に付した番号は、移載の順番を示す。

図１５、図１６は、比較例の装置１Ａ、塗布、現像装置１の夫々について、キャリアＣ１～Ｃ３の配置が変化する様子と、キャリア移載機構２１の動作と、を表すタイムチャートである。図１４で説明した状況は、チャート中の時刻ｊ１における状況であり、この時刻ｊ１にて、移載対象のキャリアＣ及び移載先の判定が行われるものとする。従って、塗布、現像装置１では図１０で示したフローのステップＳ２、比較例の装置１Ａでは図８で示したＳ１１～Ｓ１３の判定が行われる。各タイムチャートでは、センダーステージ１４Ａ、１４Ｂ及びロードステージ１８の夫々の状態を示しているが、これらのステージについて、キャリアＣ１～Ｃ３が載置されている期間を太枠で囲んで示している。そして、太枠内において、キャリアＣが移載不可である期間にハッチングを、移載可である期間にドットを夫々付して示している。また、キャリア移載機構２１については、動作している期間にドットを付し、待機している期間にドットを付していない。

比較例の装置１Ａについては図７で説明したように優先度が設定されていることから、図１５中の時刻ｊ１において、優先度６であるストッカ１６へのキャリアＣ３の移載が行われるように判定される。当該キャリアＣ３の移載を開始し（時刻ｊ２）、その後、当該キャリアＣ３の移載中に、キャリアＣ１の移載不可の期間が終了するものとする（時刻ｊ３）。従って、このキャリアＣ３の移載終了後は、優先度４である当該キャリアＣ１のストッカ１６への移載が行われるように決定される（時刻ｊ４）。そして、このキャリアＣ１の移載終了後に、優先度１であるキャリアＣ３の空いたセンダーステージ１４Ａへの移載が行われるように決定され（時刻ｊ５）、当該移載が行われる。

このように比較例の装置１Ａでは、特定の瞬間におけるキャリアＣの配置に基づいて移載対象のキャリアＣ及び移載先の判定を行うため、優先度が低いキャリアＣ３の移載の実行中に、優先度が高いキャリアＣ１の移載が可能となる事態となっている。キャリアＣ３の移載中はキャリアＣ１の移載を行えないので、当該キャリアＣ１の移載を速やかに実行できないし、そのように優先度が高いキャリアＣ１のセンダーステージ１４Ａへ移載を完了するまでにキャリア移載機構２１が３工程を要している。結果として、キャリアＣ１のセンダーステージ１４Ａへの移載が終了する時間が遅くなっている。

続いて、図１６、図１７を用いて塗布、現像装置１における移載を説明する。なお、図１７は、後述のように塗布、現像装置１で時刻ｊ１にて行われる移載の判定結果を模式的に示している。時刻ｊ１においてはロードステージ１８からストッカ１６へのキャリアＣ３の移載を行うことができる。図９で説明したように、この移載は優先度３である。しかし、塗布、現像装置１の制御部５１は、上記したキャリアの必要時間を取得するにあたり、センダーキャリア払い出し終了時間（ウエハＷの払い出し残り枚数×サイクルタイム）について取得している。そして、当該制御部５１は、このセンダーキャリア払い出し終了時間に、キャリアＣのアンロード時間（ロード位置からアンロード位置へ移動する時間）を加算することで、キャリアＣ１、Ｃ２がセンダーステージ１４Ａ、１４Ｂから夫々移載可能になる時刻ｊ１１、ｊ１２を算出することができる。

また、制御部５１は、既述したようにロードステージ１８からストッカ１６への移載時間も取得することができる。従って、制御部５１は、ストッカ１６へのキャリアＣ３の移載（優先度３）を行ったとした場合には、この移載中に時刻ｊ１１に至り、センダーステージ１４Ａからストッカ１６へのキャリアＣ１の移載（優先度２）が遅れてしまうことを検出することができる。

そこで制御部５１は、時刻ｊ１において行われる図１０のフローのステップＳ２において、図１７で示すようにロードステージ１８からストッカ１６へのキャリアＣ３への移載を待ち合わせる（つまり比較例では行った、時刻ｊ２でのキャリアＣ３の移載を行わない）。そして、そのように移載を待ち合わせ、センダーステージ１４Ａからストッカ１６へのキャリアＣ１の移載を行うように決定する。そして、時刻ｊ１１になったら、移載可能になった当該キャリアＣ１の移載を行う。なお、ステップＳ４での移載対象のキャリアＣの変更及び移載先の変更は起こらなかったものとして説明している。

そのようにキャリアＣ１の移載が行われた後は、次に行われるステップＳ２で、キャリアＣ３を空いたセンダーステージ１４Ａに移載する、優先度１の移載が行われるように決定されることになる。このように移載を行うことで、センダーステージ１４Ａを速やかに空けることができ、また、キャリアＣ３をセンダーステージ１４Ａへ移載するまでに、ストッカ１６への移載がスキップされることで、キャリア移載機構２１が２工程のみ要することになる。従って、図１６で示すように、比較例の装置１Ａよりも早い時間に、キャリアＣ３のセンダーステージ１４Ａへの移載が完了する。

より具体的に、制御部５１は、上記したロードステージ１８からストッカ１６へのキャリアＣ３への移載の待ち合わせを行うか否かを、下記の２つの条件のいずれかに当てはまるか否かによって判定する。
条件の１つは、ロードステージ１８からストッカ１６への移載時間＞センダーキャリア払い出し終了時間＋キャリアＣのアンロード時間という関係になり、且つウエハＷの払い出しを終了するセンダーキャリアＣの移載先が存在することである。センダーキャリアＣの移載先が存在する、とはストッカ１６あるいはレシーバーステージ１５にキャリアＣを移載可能であるということである。図１６、図１７で説明した事例は、当該条件に該当することで、待ち合わせを行うと判定された場合の事例である。

センダーキャリア払い出し終了時間＋キャリアＣのアンロード時間をキャリアＣにおける第１の搬出可能予定時間とする。制御部５１としては、当該第１の搬出可能予定時間と、ロードステージ１８からストッカ１６への移載時間との比較に基づいて、キャリアＣをストッカに搬送するか否かを決定していることになる。なお、上記のように第１の搬出可能予定時間は、センダーキャリア払い出し終了時間に基づくため、キャリアＣからのウエハＷの搬出状況に対応する時間である。

そして条件の他の１つは、ロードステージ１８からストッカ１６への移載に要する時間＞レシーバーキャリア収納終了時間＋キャリアＣのアンロード時間という関係になり、且つウエハＷの収納を終了するレシーバーキャリアＣの移載先が存在することである。レシーバーキャリアＣの移載先が存在する、とはストッカ１６あるいはアンロードステージ１９にキャリアＣを移載可能であるということである。このような条件に当てはまる場合、ストッカ１６への移載を行ったとしたらその移載中に、より優先度が高いレシーバーキャリアＣの移載を行うことができることになってしまう。つまり、ストッカ１６への移載を行うことでレシーバーステージ１５が空くタイミングが遅れてしまうので、ストッカ１６への移載を待ち合わせて、レシーバーキャリアＣの移載を行うように決定される。

レシーバーキャリア収納終了時間＋キャリアＣのアンロード時間をキャリアＣにおける第２の搬出可能予定時間とする。制御部５１としては、当該第２の搬出可能予定時間と、ロードステージ１８からストッカ１６への移載時間との比較に基づいて、キャリアＣをストッカ１６に搬送するか否かを決定していることになる。なお、上記のように第２の搬出可能予定時間は、レシーバーキャリア収納終了時間に基づくため、キャリアＣへのウエハＷの搬入状況に対応する時間である。

ところで、上記したように比較例の装置１Ａでは、ステージ１４、１５間でキャリアＣを移載するにあたり、ストッカ１６を経由する。図１８においては図１４と同様に、ドットを付した矢印で比較例の装置１ＡにおけるキャリアＣの移載例を、ドットを付さない矢印で塗布、現像装置１の移載例を夫々示している。この図に示すように、比較例の装置１Ａではセンダーステージ１４→ストッカ１６、レシーバーステージ１５→ストッカ１６またはアンロードステージ１９、ストッカ１６→レシーバーステージ１５の順で移載し、センダーステージのキャリアＣをレシーバーステージ１５へ載置する。しかし、図で塗布、現像装置１の移載例として示すように、レシーバーステージ１５→ストッカ１６またはアンロードステージ１９、センダーステージ１４→レシーバーステージ１５の順で移載を行える場合は、このような移載を行う。つまり、センダーステージ１４からレシーバーステージ１５へキャリアＣを移載するにあたり、ストッカ１６をスキップして問題無い場合には、このようなスキップを行う。

ところで説明の便宜上、図１０のフローのステップＳ２について、移載対象のキャリアＣ及びキャリアの移載先を判定するにあたり、キャリアＣの必要時間に基づいて行うと述べてきたが、他の要因に基づいて、キャリアＣの移載先の判定が行われる場合が有る。以下、当該他の要因であるキャリアＣの必要順番に基づいて、上記したセンダーステージ１４とレシーバーステージ１５との間で、ストッカ１６のスキップを行う事例を説明する。

上記のキャリアＣの必要順番について説明しておくと、当該必要順番とは、ウエハＷを装置に払い出し済みで、レシーバーステージ１５に未載置のキャリアＣに割り当てられる順番であり、レシーバーステージ１５への移載を早く行う必要が有るものほど、早い順番が割り当てられる。図５で示したようなウエハＷの搬送経路長の違いや、装置中で発生するトラブルなどで、装置に搬入されてから処理ブロックＤ２の出口となる受け渡しモジュールＴＲＳへ搬送されるまでの時間は、ウエハＷ毎に異なる。それ故にキャリアＣの必要順番は、ウエハＷの払い出し順とは異なる順番となる場合が有る。

キャリアＣの必要順番についてさらに詳しく述べると、図１０のフローのステップＳ２の実行時に、例えばロットの先頭のウエハＷ（１番目に装置に搬入されたウエハＷ）が、当該ロットの搬送経路における処理ブロックＤ２の出口となる受け渡しモジュールＴＲＳに搬入される予定の時刻に基づき、必要順番が設定される。従って、例えば図５で述べた、第１のウエハ搬送経路Ｈ１で搬送されるロットについては、先頭のウエハＷの受け渡しモジュールＴＲＳ４～ＴＲＳ６への搬入予定時刻に応じて、必要順番が決められる。例えば図５で述べた第２のウエハ搬送経路Ｈ２で搬送されるロットについては、先頭のウエハＷの受け渡しモジュールＴＲＳ１～ＴＲＳ３への搬入予定時刻に応じて、必要順番が決められる。従って、キャリアＣの必要順番とは、互いに異なるキャリアに収納されるウエハＷ間について、処理ブロックＤ２の出口の搬出用モジュールＴＲＳに搬送される予定の順番に対応する。このように必要順番は、当該処理ブロックＤ２におけるウエハＷの搬送経路の下流側への搬送予定に対応して設定される順番である。なお、上記のようにサイクルタイムが設定される他、装置内の各モジュールの処理時間及び露光機Ｄ４の処理時間とのデータを制御部５１は取得可能であり、これら処理時間及びサイクルタイムから、上記の各ＴＲＳへの搬入予定時刻を算出可能である。

図１９を参照して上記したスキップを行う事例を説明する。上記のステップＳ２が実行されるにあたり、センダーステージ１４のキャリアＣの必要順番≦空いているレシーバーステージ１５の数であるものとする。そのとき、当該センダーステージ１４のキャリアＣを移載するとしたときに、直接レシーバーステージ１５に移載されるように決定される。つまり、キャリアＣの必要順番と、キャリアＣが載置されていないレシーバーステージ１５の数と、に基づいて、ウエハＷの搬出（払い出し）を終えたキャリアＣを、ストッカ１６を経由せずに基板受入ポートに移載するか否かが決定される。

図１９の例では、レシーバーステージ１５ＡにキャリアＣが載置され、レシーバーステージ１５Ｂが空いている。移載されるセンダーキャリアＣの必要順番は１であり、上記の条件に適合する。従って、このセンダーキャリアＣを移載するにあたり、ストッカ１６ではなく、レシーバーステージ１５Ｂに移載するように決定される。つまり、図９で示したように優先度２のストッカ１６への移載ではなく、優先度１のレシーバーステージ１５への移載が行われるように決定される。

続いて図２０を参照して、必要順番に基づいて行われる移載の決定の他の事例を説明する。上記のステップＳ２が実行されるにあたり、センダーステージ１４におけるキャリアＣの必要順番＞空いているレシーバーステージ１５の数であるものとする。この場合、他の条件次第ではセンダーステージ１４のキャリアＣについてストッカ１６への移載が可能であっても、この移載を待ち合わせて他のキャリアＣを移載し、センダーステージ１４とレシーバーステージ１５との間でストッカ１６をスキップした移載が行われるように判定される場合が有る。

例えば一のセンダーステージ（図の例では１４Ｂ）のキャリアＣがウエハＷの払い出しを終え、移載可能となっている。そして、他のセンダーステージ（図の例では１４Ａ）のキャリアＣからウエハＷを払い出し中であったとする。このキャリアＣの払い出し終了時間（ウエハＷの払い出し残り枚数×サイクルタイム）＝時間Ｇ１とする。レシーバーステージ１５は空いていない。レシーバーステージ１５のうち、先にウエハＷの収納が完了する方の一のレシーバーステージのキャリアＣ（図の例では１５ＢのキャリアＣ）について、移載可能となるまでの時間をＧ２とする。この時間Ｇ２は、レシーバーキャリア収納終了時間＋キャリアＣのアンロード時間であり、既述したようにレシーバーキャリア収納終了時間＝ウエハＷの残り収納枚数×サイクルタイムである。

そして、先にウエハＷの収納が完了するキャリアＣ（図の例では１５ＢのキャリアＣ）について、キャリア移載機構２１が移載に要する時間をＧ３とする。時間Ｇ３は、このキャリアＣのキャリアアウト信号が出ていて、且つロードステージ１８が空いていればロードステージ１８への移載に要する時間、そうでなければストッカ１６への移載に要する時間である。また、上記の一のセンダーステージ（図の例では１４Ｂ）で移載可能となっているキャリアＣについて、先にウエハＷの収納が完了するキャリアＣのステージ（図の例では１５Ｂ）への移載に要する時間をＧ４とする。また、ロードステージ１８にキャリアＣが載置されているか、ストッカ１６にウエハＷを払い出していないキャリアＣが載置されており、そのキャリアＣについて一のセンダーステージへの移載に要する時間＋ロード時間（アンロード位置からロード位置へ移動する時間）を時間Ｇ５とする。

時間Ｇ１＞時間Ｇ２＋時間Ｇ３＋時間Ｇ４＋時間Ｇ５であると判定されたときには、一のセンダーステージ（図の例では１４Ｂ）のストッカ１６への移載（優先度３）を待ち合わせる。そして、一のレシーバーステージ（図の例では１５Ｂ）のキャリアＣが移載可能となったら、当該キャリアＣの移載（優先度２）を行うように決定する。このように、当例では、センダーステージ１４ＡにおけるキャリアＣからのウエハＷの搬出状況、レシーバーステージ１５ＢにおけるキャリアＣへのウエハＷの搬入状況、必要順番及び空いているレシーバーステージ１５の数に基づいて、センダーステージ１４ＢのキャリアＣをストッカ１６へ移載するか否かを決定している。

時間Ｇ１～Ｇ５が上記の関係であるときに、ストッカ１６への移載を待ち合わせる理由を説明するために、上記の事例をより具体的に示す。ステップＳ２の実行時に、サイクルタイムを５秒、センダーステージ１４ＡのキャリアＣの払い出し残り枚数（残留枚数）が２５枚、レシーバーステージ１５ＢのキャリアＣは、全てのウエハＷを収納済みでアンロード位置へ移動していないものとする。また、キャリア移載機構２１の一工程に要する時間は、２５秒として設定されているものとする。従って、レシーバーステージ１５ＢからのキャリアＣの移載に要する時間、センダーステージ１４ＡへのキャリアＣの移載に要する時間は、共に２５秒とする。ロード時間、アンロード時間は夫々２０秒、１５秒であるものとする。

この場合、センダーステージ１４Ａの払い出し終了時間Ｇ１＝ウエハＷの払い出し残り枚数×サイクルタイム＝２５枚×５秒＝１２５秒である。レシーバーステージ１５ＢのキャリアＣの移載可能となるまでの時間Ｇ２＝レシーバーキャリア収納終了時間＋キャリアＣのアンロード時間＝０枚×５秒＋１５秒＝１５秒である。レシーバーキャリアＣの移載に要する時間Ｇ３＝２５秒である。センダーステージ１４ＢのキャリアＣのレシーバーステージ１５Ｂへの移載に要する時間Ｇ４＝２５秒である。センダーステージ１４ＢへのキャリアＣの移載に要する時間＋ロード時間＝Ｇ５＝２５秒＋２０秒である。従って、時間Ｇ１＝１２５秒＞時間Ｇ２＋時間Ｇ３＋時間Ｇ４＋時間Ｇ５＝１１０秒となる。そのため、センダーステージ１４ＢのキャリアＣについて、ストッカ１６への移載を待ち合わせる。

そのように待ち合わせる理由を以下に述べる。レシーバーステージ１５ＢのキャリアＣを移載して、当該レシーバーステージ１５Ｂを空ける。次にセンダーステージ１４ＢのキャリアＣを空いたレシーバーステージ１５Ｂに移載する（即ち、ストッカ１６に移載しない）。続いて、空いたセンダーステージ１４Ｂに後続のキャリアＣを移載し、ロード位置に移動させ、当該キャリアＣからのウエハＷの払い出しを可能にする状態とする。このような一連の移載が行われるとした場合に、時間Ｇ１＞時間Ｇ２＋時間Ｇ３＋時間Ｇ４＋時間Ｇ５の関係になることは、当該一連の移載終了時にセンダーステージ１４Ａにおいて、キャリアＣからのウエハＷの払い出しが続けられている（終了していない）ことになる。

つまり、時間Ｇ１～Ｇ５が上記の関係にあることにより、上記の一連の移載を行っても、ウエハ搬送機構２７はセンダーステージ１４ＡのキャリアＣからウエハＷを全て払い出した後、待機すること無くセンダーステージ１４ＢのキャリアＣからウエハＷを払い出せるので、装置へのウエハＷの払い出しが滞らない。その一方で、レシーバーステージ１５Ｂには、センダーステージ１４Ｂに載置されていたキャリアＣがストッカ１６を経由せずに移載されるので、より早い時間でウエハＷを収納可能な状態とされることになる。

続いて、図１０のフローにおける再判定を行うステップＳ４について、具体例を示して説明する。図２１、図２２は、比較例の装置１Ａ、塗布、現像装置１の夫々において、任意のキャリアＣ（Ｃ１とする）が移載される状況及びキャリア移載機構２１の動作を示すタイムチャートである。各図のタイムチャートは、レシーバーステージ１５、ストッカ１６、アンロードステージ１９におけるキャリアＣ１の移載状況を示しており、キャリアＣ１が載置されている期間にドットを付して示している。そして、図１５、図１６のチャートと同様キャリア移載機構２１について、動作している期間にドットを付し、待機している期間にはドットを付していない。

ここでは、比較例の装置、塗布、現像装置１共に以下の条件で移載が行われるものとする。キャリアＣ１が、レシーバーステージ１５において、アンロード位置に移動する時刻をｋ１とする。この時刻ｋ１では、このキャリアＣ１についてキャリアアウト指示が出されておらず、この時刻ｋ１の後の時刻ｋ２で、キャリアアウト指示が出されるものとする。この時刻ｋ２では、キャリアＣ１はレシーバーステージ１５に載置されたままであるものとする。

比較例の装置１Ａにおいては、時刻ｋ１で行われるステップＳ１１～Ｓ１３（図８参照）の判定で、このキャリアＣ１を移載するように決定されると、キャリア移載機構２１がレシーバーステージ１５に移動してキャリアＣ１を受け取り（図２１中、時刻ｋ３（時刻ｋ２の後の時刻））、キャリアＣ１はストッカ１６に移載される。このように比較例の装置１Ａでは、塗布、現像装置１のステップＳ４に相当する再判定が行われないので、時刻ｋ２においてキャリアアウト指示が出されていても、レシーバーステージ１５のキャリアＣ１を、ストッカ１６に一旦、移載する（時刻ｋ４）。次にステップＳ１１～Ｓ１３の判定を行ったときに、このキャリアＣ１を移載するように決定されるとすると、キャリアアウト指示が出されていることにより、ストッカ１６からアンロードステージ１９へ移載される（時刻ｋ５）。

続いて塗布、現像装置１における移載を説明する。時刻ｋ１でステップＳ２の判定（図１０参照）が実行され、この時点ではレシーバーステージ１５からストッカ１６への移載（優先度２－２）を行うように判定されているものとする。その後、時刻ｋ２でキャリアアウト指示が出される。そして、レシーバーステージ１５の直上へキャリア移載機構２１が位置し、ステップＳ４の再判定が行われる（図２２中、時刻ｋ１３）。キャリアアウト指示が出されたことにより、レシーバーステージ１５からアンロードステージ１９への移載（優先度２－１）を行うように再決定がなされ、キャリアＣ１はアンロードステージ１９へ移載される（時刻ｋ１４）。従って、塗布、現像装置１については、比較例の装置１Ａに比べて、キャリアＣ１をアンロードステージ１９へ移載するまでに要するキャリア移載機構２１の工程数は１工程少ない。そして、キャリアＣ１をより早い時間においてアンロードステージ１９へ移載することができる。

このように塗布、現像装置１においては、塗布、現像装置１へのウエハＷの搬入状況、搬出状況及び処理ブロックＤ２におけるウエハＷの搬送経路の下流側への搬送状況に応じて、キャリアＣの移載が行われる。従って、キャリアＣから装置へのウエハＷの搬入、装置からキャリアＣへのウエハＷの収納が滞らないように、キャリアＣを移載することができる。従って、塗布、現像装置１のスループットを向上させることができる。

そして、キャリアＣの移載を行うにあたり、ストッカ１６をスキップした移載が行われることで、キャリアＣの移載効率を高くすることができる。従って、より確実に、装置に対するウエハＷの搬入出が滞らないようにするために必要なタイミングで、キャリアＣをセンダーステージ１４、レシーバーステージ１５の各々に移載することができる。そのため、塗布、現像装置１のスループットをより確実に向上させることができる。

また、移載するキャリアＣ及び移載先の決定後、キャリア移載機構２１が移載するキャリアＣに対応する位置へ移動した後、キャリアＣを受け取るまでの間に、予め設定された条件（割り込み指令）の有無に基づいて、そのように決定された移載を実行するか否かの再決定が行われる。割り込み指令には、キャリアブロックＤ１におけるキャリアＣの配置状況、塗布、現像装置１内でのウエハＷの搬送状況、キャリアＣのキャリアブロックＤ１からの搬出可否状況に各々対応する指令が含まれるので、これらの状況に速やかに対応したキャリアＣの移載を行うことができる。

ところで、例えば図１１等で説明したセンダーキャリア払い出し終了時間及びレシーバーキャリア払い出し終了時間に基づいたキャリアＣの移載、及び図１９で説明した必要順番に基づいたキャリアＣの移載のうち、一方のみを行ってもよい。つまり、塗布、現像装置１に対するウエハＷの搬入出状況に基づくキャリアＣの移載、及びウエハＷの塗布、現像装置１内での搬送状況に基づくキャリアＣの移載のうちの一方のみが行われるように装置を構成してもよい。

また、ウエハＷの搬入出状況に基づくキャリアＣの移載を行うにあたっては、ウエハＷの搬入状況及びウエハＷの搬出状況のうちの一方のみに基づいてキャリアＣの移載を行ってもよい。例えば、センダーステージ１４におけるキャリア払い出し終了時間に基づいてロードステージ１８のキャリアＣをストッカ１６に移載するか、センダーステージ１４に移載するか決定するようにする。レシーバーステージ１５におけるキャリア収納終了時間に基づいて、センダーステージ１４のキャリアＣをストッカ１６に移載するか、レシーバーステージ１５に移載するか決定するようにする。これらのような２つの決定のうち、いずれか一方のみの決定を行うようにしてもよい。

キャリアブロックＤ１における、ロードステージ１８、アンロードステージ１９、センダーステージ１４、レシーバーステージ１５、ストッカ１６のレイアウトについて、上記のレイアウトは一例であり、キャリア移載機構２１がアクセスできればよく、上記のレイアウトに限られない。また、各ステージ及びストッカの各々の配置数についても、上記の例は一例であり、上記の例に限られない。また、レシーバーステージ及びセンダーステージは上記の構成例では別体であるが、そのように別体にすることに限られない。つまりウエハＷを収納したキャリアＣが載置される場合にはセンダーステージと機能し、ウエハＷを払い出したキャリアＣが載置される場合にはレシーバーステージとして機能することで使い分けられるキャリアステージを設けてもよい。また、上記の例ではキャリアブロックＤ１に設けられるウエハＷの搬送機構について、処理ブロックＤ２にウエハＷを搬送するウエハ搬送機構と、キャリアＣにウエハＷを搬送するウエハ搬送機構とが別体となっているが、共通のウエハ搬送機構であってもよい。また当該キャリアブロックＤ１の搬送機構の保持部について、複数設けられることに限られず、一つであってもよい。さらに、センダーステージ１４で払い出されたキャリアＣと同じキャリアＣにウエハＷを戻すことには限られない。つまり、上記の必要順番を設定するにあたり、キャリアＣを収納していたものとは異なるキャリアＣにウエハＷが収納されるように必要順番が設定されてもよい。

上記した処理ブロックＤ２における第１のウエハ搬送経路Ｈ１及び第２のウエハ搬送経路Ｈ２は一例であり、例えば現像処理を行うために単位ブロックＥ１～Ｅ６のうち、単位ブロックＥ４～Ｅ６のいずれか一つのみを通過する搬送経路でウエハＷが搬送されてもよい。また、処理ブロックＤ２としては、単位ブロックを一つのみ備える構成であってもよい。また、処理ブロックＤ２で行われる処理としては、レジスト膜の形成、現像に限られない。液処理による反射防止膜や絶縁膜の形成、ウエハＷを貼り合わせるための接着剤の塗布などの処理が行われてもよい。また、処理にはウエハＷを撮像し表面状態を検査することも含まれる。従って、基板処理装置としては塗布、現像装置１に限られない。

なお、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更及び組み合わせがなされてもよい。

Ｃ キャリア
Ｄ１ キャリアブロック
Ｄ２ 処理ブロック
Ｗ ウエハ
１ 塗布、現像装置
１４ センダーステージ
１５ レシーバーステージ
１６ ストッカ
１８ ロードポート
１９ アンロードポート
２１ キャリア移載機構

Claims (14)

1. 基板を収納する搬送容器であるキャリアが配置されるキャリアブロックと、
   前記キャリアブロックとの間で前記基板が受け渡され、当該基板を処理する処理モジュールが設けられる処理ブロックと、を備える基板処理装置において、
   前記基板処理装置に対して前記キャリアの搬入出を行うために当該キャリアが載置されるキャリア搬入ポート及びキャリア搬出ポートと、
   前記キャリアブロックに設けられ、前記キャリアから前記処理ブロックへの前記基板の搬出及び前記処理ブロックから前記キャリアへの前記基板の搬入を行うために当該キャリアが載置される基板搬出ポート及び基板受入ポートと、
   前記キャリアを仮置きするためのキャリア仮置き部と、
   前記キャリア搬入ポートと、前記キャリア搬出ポートと、前記基板受入ポートと、前記基板搬出ポートと、前記キャリア仮置き部との間で前記キャリアを移載可能なキャリア移載機構と、
   前記キャリアを前記キャリア搬入ポート、前記基板受入ポート、前記基板搬出ポート、前記キャリア搬出ポートの順で移載するにあたり、前記基板搬出ポートにおける前記キャリアからの基板の搬出状況または前記基板受入ポートにおける前記キャリアへの基板の搬入状況に基づいて、当該キャリアを移載元のポートから前記キャリア仮置き部を経由せずに次の移載先のポートへ移載するように制御信号を出力する制御部と、
   を備え、
   前記搬出状況は、前記基板搬出ポートに載置された前記キャリアから搬出予定の前記基板の枚数に基づいて算出される、当該搬出予定の基板の搬出が完了する搬出完了時間に対応する時間であり、
   前記搬入状況は、前記基板受入ポートの前記キャリアに搬入予定の前記基板の枚数に基づいて算出される、当該搬入予定の基板の搬入が完了する搬入完了時間に対応する時間である基板処理装置。
2. 前記処理モジュールは複数設けられ、
   前記複数の処理モジュール間で順番に前記基板を搬送するために、前記処理ブロックにおける搬送路を周回する基板搬送機構が設けられ、
   前記搬出完了時間及び前記搬入完了時間は、前記基板搬送機構の前記搬送路の周回時間に基づいて算出される請求項１記載の基板処理装置。
3. 前記制御部は、前記処理ブロックにおける前記基板の搬送経路の下流側への搬送予定に基づいて前記キャリアの移載が行われるように、前記キャリア移載機構の動作を制御する請求項１または２記載の基板処理装置。
4. 前記制御部は、前記基板搬出ポートにおける前記キャリアからの基板の搬出状況及び前記基板受入ポートにおける前記キャリアへの基板の搬入状況に基づいて前記キャリアの移載が行われるように制御信号を出力し、
   当該基板の搬出状況及び基板の搬入状況に基づいて、前記基板搬出ポートへの前記キャリアの移載、及び前記基板受入ポートへの前記キャリアの移載のうち、いずれを先に行うかを決定する請求項１ないし３のいずれか一つに記載の基板処理装置。
5. 前記制御部は、
   前記搬入完了時間と前記搬出完了時間との差分の時間が予め設定された範囲内であるときに、前記基板搬出ポートへの前記キャリアの移載が先に行われるように決定する請求項４記載の基板処理装置。
6. 前記処理ブロックには、
   当該処理ブロックに対して前記基板を搬入するために当該基板が載置される搬入用基板載置部と、
   前記基板を前記処理ブロックから搬出するために当該基板が各々載置される複数の搬出用基板載置部と、
   前記搬入用基板載置部と前記処理モジュールと前記搬出用基板載置部との間で、前記基板を受け渡す基板搬送機構と、
   が設けられる請求項５記載の基板処理装置。
7. 前記基板搬出ポートにおける前記キャリアからの基板の搬出状況は、当該基板搬出ポートに載置されたキャリアが当該基板搬出ポートから搬出可能になる、前記搬出完了時間から算出される第１の搬出可能予定時間に対応し、
   前記制御部は、
   前記キャリアを移載可能な前記基板搬出ポートが無いときに、当該第１の搬出可能予定時間と、前記キャリア搬入ポートから前記キャリア仮置き部へのキャリアの移載時間と、の比較に基づいて、当該キャリア搬入ポートに載置された前記キャリアを前記キャリア仮置き部に移載するか否かを決定する請求項１ないし６のいずれか一つに記載の基板処理装置。
8. 前記基板受入ポートにおける前記キャリアへの基板の搬入状況は、前記基板受入ポートに載置されたキャリアが当該基板受入ポートから搬出可能になる、前記搬入完了時間から算出される第２の搬出可能予定時間に対応し、
   前記制御部は、
   前記キャリアを移載可能な前記基板搬出ポートが無いときに、当該第２の搬出可能予定時間と、前記基板受入ポートから前記キャリア仮置き部へのキャリアの移載時間と、の比較に基づいて、当該キャリア搬入ポートに載置された前記キャリアを前記キャリア仮置き部に移載するか否かを決定する請求項１ないし７のいずれか一つに記載の基板処理装置。
9. 前記制御部は、前記キャリア移載機構によるキャリアの移載が前記処理ブロックにおける前記基板の搬送経路の下流側への搬送予定に基づいて行われるように制御信号を出力し、
   当該搬送予定は、互いに異なるキャリアに収納される基板間についての前記処理ブロックから基板を搬出するための搬出用基板載置部に搬送される予定の順番に相当する請求項３記載の基板処理装置。
10. 前記互いに異なるキャリアに収納される基板間の順番に対応する、基板が戻されるキャリアの順番をキャリアの必要順番とすると、
    前記基板搬出ポートに載置されると共に前記基板の搬出を終えた前記キャリアの必要順番と、前記キャリアが載置されていない前記基板受入ポートの数と、に基づいて、
    前記制御部は、当該基板の搬出を終えたキャリアを、前記キャリア仮置き部を経由せずに当該基板受入ポートに搬送するか否かを決定する請求項９記載の基板処理装置。
11. 前記基板搬出ポートが複数設けられ、
    前記互いに異なるキャリアに収納される基板間の順番に対応する、基板が戻されるキャリアの順番をキャリアの必要順番とすると、
    前記制御部は、
    一の前記基板搬出ポートにおける前記キャリアからの基板の搬出状況、前記基板受入ポートにおける前記キャリアへの基板の搬入状況、前記必要順番及びキャリアが載置されていない前記基板受入ポートの数に基づいて、
    他の前記基板搬出ポートで基板の搬出を終えたキャリアを、前記キャリア仮置き部に移載するか否かを決定する請求項９または１０記載の基板処理装置。
12. 前記基板搬出ポートにおける前記キャリアからの基板の搬出状況、前記基板受入ポートにおける前記キャリアへの前記基板の搬入状況、または前記処理ブロックにおける前記基板の搬送経路の下流側への搬送予定に基づいて、移載対象として決定されたキャリアを受け取るために前記キャリア移載機構が当該キャリアに対応する位置に移動したときに、
    前記制御部は、
    前記基板処理装置の状態を表す情報に応じて移載対象のキャリアの再決定を行う請求項３記載の基板処理装置。
13. 前記基板処理装置の状態を表す情報とは、前記基板処理装置における基板の搬送状況、前記キャリアブロックにおける前記キャリアの配置状況、または当該キャリアについて設定される基板処理装置からの搬出可否情報である請求項１２記載の基板処理装置。
14. 基板を収納する搬送容器であるキャリアが配置されるキャリアブロックと、前記キャリアブロックとの間で前記基板が受け渡され、当該基板を処理する処理モジュールが設けられる処理ブロックと、を備える基板処理装置を用いた基板処理方法において、
    前記基板処理装置に対して前記キャリアの搬入出を行うために、キャリア搬入ポート及びキャリア搬出ポートに各々前記キャリアを載置する工程と、
    前記キャリアから前記処理ブロックへの前記基板の搬出及び前記処理ブロックから前記キャリアへの前記基板の搬入を行うために、前記キャリアブロックに設けられる基板搬出ポート及び基板受入ポートに各々前記キャリアを載置する工程と、
    キャリア仮置き部に前記キャリアを仮置きする工程と、
    前記キャリア搬入ポートと、前記キャリア搬出ポートと、前記基板受入ポートと、前記基板搬出ポートと、前記キャリア仮置き部との間で前記キャリアを移載可能なキャリア移載機構を用いて、前記キャリアを前記キャリア搬入ポート、前記基板受入ポート、前記基板搬出ポート、前記キャリア搬出ポートの順で移載するにあたり、前記基板搬出ポートにおける前記キャリアからの基板の搬出状況、または前記基板受入ポートにおける前記キャリアへの基板の搬入状況に基づいて、当該キャリアを移載元のポートから前記キャリア仮置き部を経由せずに次の移載先のポートへ移載する工程と、を備え、
    前記搬出状況は、前記基板搬出ポートに載置された前記キャリアから搬出予定の前記基板の枚数に基づいて算出される、当該搬出予定の基板の搬出が完了する搬出完了時間に対応する時間であり、
    前記搬入状況は、前記基板受入ポートの前記キャリアに搬入予定の前記基板の枚数に基づいて算出される、当該搬入予定の基板の搬入が完了する搬入完了時間に対応する時間である基板処理方法。

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