JP7470304B2 - ガラス板製造方法及びガラス板製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス板の製造方法及びその製造装置に関する。

ガラス板は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の薄型表示機器やセンサの基板、あるいは固体撮像素子やレーザーダイオード等の半導体パッケージ用カバー、さらには薄膜化合物太陽電池の基板等に使用される。

この種のガラス板の製造工程では、元になる複数枚のガラス板を保護シートと交互に積層した状態で輸送した後、その積層体から１枚ずつガラス板を取り出して後工程に搬送することが行われている。その具体例として、特許文献１には、パレットの背板に傾斜姿勢で立て掛け支持された積層体から、最前列の第一ガラス板と共にその第一ガラス板の前側に存する前側保護シートを受け渡しパッドにより吸着保持して引き離すことが開示されている。

詳細には、同文献では、第一ガラス板の上側角部の保護シートへの刺さりを解消するための刺さり解消パッドが、第一ガラス板の後側に存する後側保護シートの上側角部を吸着保持して押えた状態で、受け渡しパッドにより、第一ガラス板及び前側保護シートを同時に積層体から引き離している。

さらに、同文献では、刺さり解消パッドを後側保護シートの上側角部に当接させるために、刺さり解消パッドで後側保護シートの上側角部を吸着保持する前に、めくりパッドで前側保護シートをめくり、後側保護シートの上側角部を露出させている。

特開２０１９－１０４５６６号公報

特許文献１では、めくりパッドで前側保護シートをめくる際に、めくりパッドが前側保護シートを吸着保持する吸着エリアを、第一ガラス板の上端縁とオーバ－ラップする位置（めくりパッドの吸着エリアの上下方向中間に第一ガラス板の上端縁が存在する位置）に設定している（同文献の段落００３４、図３を参照）。このようにすれば、例えば、めくりパッドの吸着エリアの下半分で、前側保護シートの第一ガラス板との重なり部を吸着保持し、めくりパッドの吸着エリアの残りの上半分で、前側保護シートの第一ガラス板からの食み出し部を吸着保持することになる。

しかしながら、前側保護シートの重なり部は、第一ガラス板に沿った平面状であるのに対し、前側保護シートの食み出し部は、第一ガラス板による支持がないため起伏や傾斜等を有する場合がある。つまり、前側保護シートの重なり部と食み出し部との間で、シートの状態が大きく変わり易い。したがって、特許文献１のように、めくり工程において、単一の吸着パッド（めくりパッド）の吸着エリアを第一ガラス板の上端縁とオーバ－ラップする位置に設定しただけでは、前側保護シートの重なり部及び食み出し部を同時に安定して保持することが困難になる。そして、前側保護シートの重なり部及び食み出し部の少なくとも一方に保持不良が生じると、前側保護シートをめくる過程で、前側保護シートが不当に折れ曲がったり他部材に引っ掛かったりする等して、ガラス板の取り出し作業を円滑に行えないおそれがある。

本発明は、ガラス板の取り出し作業を円滑に行うことを課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、保護シートが、ガラス板から食み出す食み出し部と、ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板と共に第一ガラス板の前側保護シートを順次取り出すガラス板製造方法であって、第一ガラス板の後側保護シートの食み出し部の一部が露出するように、めくり用吸着部材で前側保護シートをめくるめくり工程と、めくり工程で露出した後側保護シートの食み出し部を押え部材で押えた状態で、第一ガラス板と共に前側保護シートを保持部材で保持して積層体から引き離す分離工程とを備え、めくり用吸着部材が、第一吸着部材と第二吸着部材とを有し、めくり工程では、第一吸着部材で前側保護シートの重なり部を吸着保持すると共に、第二吸着部材で前側保護シートの食み出し部を吸着保持することを特徴とする。

このようにすれば、めくり工程において、前側保護シートの重なり部及び食み出し部のそれぞれが、第一吸着部材及び第二吸着部材により、別々に吸着保持される。つまり、第一吸着部材の姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シートの重なり部の状態に応じて適正化しつつ、第二吸着部材の姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シートの食み出し部の状態に応じて適正化できる。したがって、前側保護シートの重なり部及び食み出し部を同時に安定して保持できるため、めくり工程において、前側保護シートが、不当に折れ曲がったり他部材に引っ掛かったりする等の不具合を確実に抑制できる。この結果、分離工程において、押え部材で後側保護シートの食み出し部を押えた状態で、保持部材により、第一ガラス板及び前側保護シートを同時に積層体から円滑に引き離すことができる。

上記の構成において、後側保護シートの食み出し部を押え部材で押えた後、かつ、第一ガラス板及び前側保護シートを保持部材で保持して積層体から引き離す前に、前側保護シートを吸着保持した第一吸着部材及び第二吸着部材を、前記めくり工程において前記前側保護シートをめくる前の位置に戻すことが好ましい。

このようにすれば、第一ガラス板に対する前側保護シートの位置関係の狂いが生じ難い状態で、保持部材により、第一ガラス板及び前側保護シートを同時に積層体から引き離すことができる。

上記の構成において、分離工程では、前側保護シートを第一吸着部材及び第二吸着部材で吸着保持すると共に、第一ガラス板及び前側保護シートを保持部材で保持した状態で、前側保護シート及び第一ガラス板が積層体から引き離される方向に、第一吸着部材、第二吸着部材及び保持部材を移動させることが好ましい。

このようにすれば、第一ガラス板及び前側保護シートを積層体から引き離す際も、前側保護シートの重なり部と食み出し部とが保持されるため、第一ガラス板に対する前側保護シートの位置関係の狂いがより生じ難くなる。

上記の構成において、第二吸着部材が前側保護シートを吸着保持する保持エリアが、押え部材が後側保護シートを押える押えエリアよりも幅方向内側に位置することが好ましい。

このようにすれば、第二吸着部材を幅方向内側に移動させても、押え部材と干渉し難くなる。したがって、めくり工程等における第二吸着部材の移動態様の自由度が高まるため、装置構成及び／又は装置動作を簡素化できる。

上記の構成において、第二吸着部材が吸着保持する前側保護シートの食み出し部が、第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している前側保護シートの上端部のうち、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側に位置する部分であることが好ましい。

第一ガラス板の上側角部よりも幅方向外側では、第一ガラス板の上端縁による前側保護シートの動き（例えば後方への倒れ込み）の規制が弱くなるため、シート状態が不安定になり易い。これに対し、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側では、第一ガラス板の上端縁による前側保護シートの動きがある程度規制されるため、シート状態が安定し易い。したがって、第二吸着部材は、上記の構成のように、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側において、前側保護シートの食み出し部を吸着保持することが好ましい。これにより、前側保護シートの食み出し部を確実に吸着保持できる。

上記の構成において、押え部材が押さえる後側保護シートの食み出し部が、第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している後側保護シートの上端部のうち、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側に位置する部分であることが好ましい。

つまり、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向外側では、第一ガラス板の上端縁による後側保護シートの動き（例えば前方又は後方への倒れ込み）の規制が弱くなるため、シート状態が不安定になり易い。これに対し、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側では、第一ガラス板の上端縁による後側保護シートの動きがある程度規制されるため、シート状態が安定し易い。したがって、押え部材は、上記の構成のように、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側において、後側保護シートの食み出し部を押えることが好ましい。これにより、後側保護シートの食み出し部を確実に押えることができる。

上記の構成において、めくり工程では、第一ガラス板及び前側保護シートを吸着した前記保持部材を定位置で静止させた状態で、前側保護シートを吸着保持した第一吸着部材及び第二吸着部材を移動させることが好ましい。

このようにすれば、前側保護シートをめくる間も、保持部材の保持エリアでは、第一ガラス板及び前側保護シートが定位置で保持され、両者の位置関係は一定に維持される。したがって、めくり工程で、第一ガラス板に対する前側保護シートの位置関係の狂いが生じ難くなる。

このように保持部材を定位置で静止させた状態で、第一吸着部材及び第二吸着部材を移動させる場合、第一吸着部材が前側保護シートを吸着保持する保持エリアが、保持部材が第一ガラス板及び前側保護シートを保持する保持エリアよりも幅方向外側に位置する部分を有することが好ましい。

このようにすれば、保持部材により第一ガラス板及び前側保護シートを定位置で静止させた状態でも、後側保護シートの食み出し部が露出するように前側保護シートをめくり易くなる。

上記の構成において、前側保護シートに通気用の貫通部を形成し、保持部材が、貫通部を介して第一ガラス板に作用する負圧により第一ガラス板を前側保護シートと共に吸着保持することが好ましい。

このようにすれば、保護シートの材質にかかわらず、貫通部によって保護シートに通気性を持たせることができる。したがって、元々は通気性のない保護シートを使用しても、前側保護シートを介して第一ガラス板を確実に吸着保持できる。

上記の構成において、押え部材が、後側保護シートを吸着保持することが好ましい。

このようにすれば、押え部材によって、後側保護シートを確実に押えることができる。

上記の構成において、第一吸着部材及び第二吸着部材は、吸着パッドであることが好ましい。

このようにすれば、保護シート及びガラス板の両方を確実に吸着することができる。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、前記保護シートが、前記ガラス板から食み出す食み出し部と、前記ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板と共に第一ガラス板の前側保護シートを順次取り出すガラス板製造装置であって、第一ガラス板の後側保護シートの食み出し部の一部が露出するように、前側保護シートをめくるめくり用吸着部材と、めくり用吸着部材により露出した後側保護シートの食み出し部を押える押え部材と、第一ガラス板と共に保護シートを保持して積層体から引き離す保持部材とを備え、めくり用吸着部材が、前側保護シートの重なり部を吸着保持する第一吸着部材と、前側保護シートの食み出し部を吸着保持する第二吸着部材とを有することを特徴とする。

このようにすれば、既に述べた対応する構成と同様の作用効果を享受できる。

本発明によれば、ガラス板の取り出し作業を円滑に行うことができる。

本発明の実施形態に係るガラス板製造方法及びそれを実施するための製造装置を示す側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板製造方法及びそれを実施するための製造装置で用いられる、第四吸着パッドを示す断面図である。 図１０に示した第四吸着パッドの使用状態を示す断面図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。

＜ガラス板製造装置＞
図１は、本発明の実施形態に係るガラス板製造装置１を示す側面図である。同図における左方向が前方側であって右方向が後方向である。同図に示すように、パレット２の床板２ａ上には、前後方向に保護シート３とガラス板４とが交互に積層された積層体５が載置されている。積層体５は、パレット２の背板２ｂに傾斜姿勢で立て掛け支持されている。このため、保護シート３及びガラス板４も傾斜姿勢となっている。

図２に示すように、保護シート３の上端部３ａは、ガラス板４の上端縁４ａから上側に食み出しており、保護シート３の幅方向両端部３ｂは、ガラス板４の幅方向両端縁４ｂからそれぞれ幅方向外側に食み出している。つまり、保護シート３のうち、上端部３ａ及び幅方向両端部３ｂが、ガラス板４から食み出す食み出し部となる。一方、保護シート３のうち、上端部３ａ及び幅方向両端部３ｂを除く部分が、ガラス板４と重なる重なり部３ｃとなる。

保護シート３の上端部３ａの食み出し寸法は、例えば４０～８０ｍｍとされ、保護シート３の幅方向端部３ｂの食み出し寸法は、例えば４０～１５０ｍｍとされる。

保護シート３は、発泡樹脂シート等の合成樹脂、紙等とされる。発泡樹脂シートとしては、例えば、材質がポリエチレン等であって、厚みが０．１～０．５ｍｍ、発泡倍率が５～２０倍のものを使用できる。保護シート３は、皺の発生を抑制する観点から伸縮性を有することが好ましい。

ここで、図１～図９では、保護シート３及びガラス板４を簡略化しているが、保護シート３の上端部３ａや幅方向端部３ｂは前側又は後側へ倒れる場合もある。以下の説明においては、積層体５における最前列のガラス板４を第一ガラス板といい、最前列のガラス板４の前側に存する保護シート３を前側保護シートといい、最前列のガラス板４の後側に存する保護シート３を後側保護シートという。

図１～図９に示すように、この製造装置１は、後側保護シート３の食み出し部の一部が露出した状態になるように前側保護シート３をめくるめくり用吸着部材６と、めくり用吸着部材６によって露出させた後側保護シート３の食み出し部を押える押え部材７と、第一ガラス板４と共に前側保護シート３を保持して積層体５から引き離す保持部材８と、保持部材８によって積層体５から引き離された第一ガラス板４及び前側保護シート３を吊り下げ支持するチャック９とを備える。

図１、図３～図９に示すように、めくり用吸着部材６は、前側保護シート３の重なり部３ｃを吸着保持する第一吸着パッド６ａと、前側保護シート３の食み出し部を吸着保持する第二吸着パッド６ｂとを別々に備える。第一吸着パッド６ａの保持エリアと、第二吸着パッド６ｂの保持エリアとは、互いに離れて独立している。

本実施形態では、図３に示すように、第一吸着パッド６ａは、第一ガラス板４の上側角部４ｃの近傍で、前側保護シート３の重なり部３ｃの上部を吸着保持し、第二吸着パッド６ｂは、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、前側保護シート３の上端部３ａを吸着保持するようになっている。

図５に示すように、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂは、後側保護シート３の上端部３ａのうち、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に位置する部分を含む露出部Ｘが形成されるように、前側保護シート３をめくるようになっている。なお、第一ガラス板４に対する前側保護シート３の位置ずれを抑制する観点からは、後側保護シート３の露出部Ｘの面積は小さいことが好ましい。つまり、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂによる前側保護シート３のめくり動作により、後側保護シート３の上端部３ａの幅方向中央部は露出させないことが好ましい。この場合、露出部Ｘは、例えば、後側保護シート３の上側角部を含む三角形状の領域となる。

第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂは、前側保護シート３をめくる際に、前側保護シート３を吸着保持した状態で、前方かつ幅方向内側に向かって斜めに移動するようになっている。なお、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂの移動方向は、後側保護シート３に露出部Ｘが形成される限り、特に限定されない。例えば、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂの移動方向は、前方のみ、下方のみ、幅方向内側のみ、あるいは、前方・下方・幅方向内側のうちの少なくとも２方向を含む方向であってもよい。

図６～図９に示すように、押え部材７は、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂによって露出させた後側保護シート３の食み出し部を吸着保持する第三吸着パッド７ａを備える。

本実施形態では、第三吸着パッド７ａは、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、後側保護シート３の上端部３ａを吸着保持するようになっている。

図１、図３～図９に示すように、保持部材８は、第一ガラス板４及び前側保護シート３の重なり部３ｃを同時に吸着保持する第四吸着パッド８ａを備える。

本実施形態では、第四吸着パッド８ａは、第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも下方で、前側保護シート３の重なり部３ｃの上部と、第一ガラス板４の上部とを吸着保持するようになっている。

図８に示すように、第四吸着パッド８ａは、第一ガラス板４と前側保護シート３とを吸着保持した状態で、前方（又は前方かつ上方）に移動するようになっている。この際、第一ガラス板４の下端縁４ｄは、パレット２の床板２ａに接地していてもよいし、パレット２の床板２ａから離れていてもよい。

第四吸着パッド８ａが第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも大きい。同様に、第四吸着パッド８ａが第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第二吸着パッド６ｂが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも大きい。なお、第一ガラス板４及び前側保護シート３を安定した搬送できる態様であれば、各保持エリアの大小関係はこれに限定されない。

図８、図９に示すように、チャック９は、受け渡し位置Ｐで、第四吸着パッド８ａによって搬送された第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持することで、これらを吊り下げ支持して後工程に搬送するようになっている。受け渡し位置Ｐは、図示例のようにパレット２上であってもよいし、パレット２から前方や側方等に離れた位置であってもよい。

ここで、図２～図７では、積層体５の幅方向一方側の半領域を図示し、この半領域におけるめくり用吸着パッド６、押え部材７及び保持部材８の動作を例示している。なお、積層体５の幅方向他方側の半領域についても、幅方向一方側の半領域と対称となるように、めくり用吸着パッド６、押え部材７及び保持部材８を配置してもよい。あるいは、積層体５の幅方向他方側の半領域には、めくり用吸着パッド６等の代わりに作業者を配置し、幅方向一方側の半領域に配置されためくり用吸着パッド６、押え部材７及び保持部材８の動作を補助するようにしてもよい。

＜ガラス板製造方法＞
次に、上記の構成を備えた製造装置１を用いたガラス板製造方法を説明する。この製造方法は、第一押え工程と、めくり工程と、第二押え工程と、分離工程と、搬送工程とをこの順に含む。

（第一押え工程）
図２に示すように、第一押え工程は、第三吸着パッド７ａにより、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、前側保護シート３の食み出し部である上端部３ａを吸着保持する工程である。これにより、第三吸着パッド７ａの保持エリアのシート状態が安定し易くなるため、前側保護シート３の上端部３ａを確実に吸着保持できる。なお、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向外側では、第一ガラス板４の上端縁４ａによる前側保護シート３の動きの規制が弱くなるため、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に比べてシート状態が不安定になり易い。

（めくり工程）
図３～図５に示すように、めくり工程は、後側保護シート３の上端部３ａのうち、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に位置する部分が露出するように、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂにより、前側保護シート３をめくる工程である。

図３に示すように、めくり工程では、第三吸着パッド７ａで前側保護シート３の上端部３ａを吸着保持した状態で、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂで前側保護シート３を吸着保持すると共に、第四吸着パッド８ａで前側保護シート３及び第一ガラス板４を吸着保持する。

詳細には、第二吸着パッド６ｂは、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、前側保護シート３の上端部３ａを吸着保持する。これにより、第二吸着パッド６ｂの保持エリアのシート状態が安定し易くなるため、前側保護シート３の上端部３ａを確実に吸着保持できる。

第二吸着パッド６ｂが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第三吸着パッド７ａが前側保護シート３（又は後側保護シート３）を吸着保持する保持エリアよりも幅方向内側に位置している。これにより、めくり工程で、第二吸着パッド６ｂを幅方向内側に移動させても、第二吸着パッド６ｂと第三吸着パッド７ａとが互いに干渉し難くなる。

第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第四吸着パッド８ａが第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも幅方向外側に位置する部分を有する。これにより、第一吸着パッド６ａが、第四吸着パッド８ａよりも幅方向外側で前側保護シート３を吸着保持できる。このため、めくり工程で、第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持した第四吸着パッド８ａを定位置で静止させた状態でも、第一吸着パッド６ａを幅方向内側に移動させて、前側保護シート３をめくり易くなる。なお、本実施形態では、第二吸着パッド６ｂが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも幅方向内側に位置する。

図４に示すように、めくり工程では、第一吸着パッド６ａ、第二吸着パッド６ｂ及び第四吸着パッド８ａによる吸着保持が完了した段階で、第三吸着パッド７ａは、前側保護シート３の吸着保持を解除して前側保護シート３から離れる。

図５に示すように、めくり工程では、第三吸着パッド７ａが離れた後、前側保護シート３及び第一ガラス板４を吸着保持した第四吸着パッド８ａを定位置で静止させた状態で、前側保護シート３を吸着保持した第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂを移動させる。これにより、後側保護シート３の上端部３ａのうち、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に位置する部分が露出するように、前側保護シート３がめくられる。この結果、後側保護シート３において、露出部Ｘが形成される。このようにすれば、前側保護シート３の重なり部３ｃ及び上端部３ａのそれぞれが、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂにより、別々に吸着保持される。つまり、第一吸着パッド６ａの姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シート３の重なり部３ｃの状態に応じて適正化しつつ、第二吸着パッド６ｂの姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シート３の上端部３ａの状態に応じて適正化できる。したがって、前側保護シート３の重なり部３ｃ及び上端部３ａを同時に安定して保持できるため、めくり工程において、前側保護シート３が、不当に折れ曲がったり他部材に引っ掛かったりする等の不具合を確実に抑制できる。

（第二押え工程）
図６に示すように、第二押え工程は、露出した後側保護シート３の上端部３ａを、第三吸着パッド７ａにより、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で吸着保持して押える工程である。

本実施形態では、図７に示すように、第三吸着パッド７ａが後側保護シート３の上端部３ａを吸着保持して押えた後、その状態を維持したまま、前側保護シート３を吸着保持した第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂを元の位置に戻す。この動作により、後側保護シート３を吸着保持した第三吸着パッド７ａは、図中に点線で示すように、前側保護シート３の後側に隠れる場合がある。

（分離工程）
図８に示すように、分離工程は、第一ガラス板４及び前側保護シート３を積層体５から引き離す工程である。

詳細には、分離工程では、第三吸着パッド７ａで後側保護シート３の上端部３ａを吸着保持して押えた状態で、第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持した第四吸着パッド８ａを移動させる。これにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３を積層体５から引き離す。

本実施形態では、第一ガラス板４及び前側保護シート３を積層体５から引き離す際、前側保護シート３を吸着保持した第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂも、第四吸着パッド８ａと共に同方向に移動する。つまり、第四吸着パッド８ａによって第一ガラス板４及び前側保護シート３を搬送する際に、前側保護シート３が、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂにより補助的に吸着保持される。これにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３を同時に積層体５から円滑に引き離すことができる。

（搬送工程）
図９に示すように、搬送工程は、チャック９によって第一ガラス板４及び前側保護シート３を把持して搬送する工程である。

搬送工程では、第一吸着パッド６ａ、第二吸着パッド６ｂ及び第四吸着パッド８ａにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３を受け渡し位置Ｐまで搬送する。受け渡し位置Ｐでは、チャック９により、第四吸着パッド８ａによって吸着保持された第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持する。これにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３が、チャック９に受け渡される。この受け渡しが完了すると、チャック９により、第一ガラス板４及び前側保護シート３を後工程まで搬送する。

上記の受け渡し位置Ｐにおける受け渡しの際、第二吸着パッド６ｂの吸着保持は、チャック９で第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持する前に解除される。一方、第一吸着パッド６ａ及び第四吸着パッド８ａの吸着保持は、チャック９で第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持した後に解除される。つまり、第二吸着パッド６ｂの吸着保持が、第一吸着パッド６ａの吸着保持よりも先に解除される。これにより、チャック９で把持する前に、前側保護シート３の弾性により、前側保護シート３の上端部の皺が低減する。なお、皺が発生した状態のまま前側保護シート３の上端部をチャック９で把持すれば、後工程で不具合の原因となる前側保護シート３の破れ等が生じるおそれがある。

なお、チャック９は、後工程で、姿勢変換装置（図示省略）に前側保護シート３と第一ガラス板４とを受け渡す。姿勢変換装置は、前側保護シート３の上に第一ガラス板４が載置された水平姿勢となるように姿勢変換をした後、搬送コンベアに受け渡す。そして、前側保護シート３の上に第一ガラス板４が載置された状態の下で、第一ガラス板４にスクライブを入れる工程と、そのスクライブに沿って折り割りをする工程とが実行される。その後、前側保護シート３が第一ガラス板４から離れ、第一ガラス板４に対する端面加工や洗浄等が行われる。

以上のような動作は、後続のガラス板４及び保護シート３についても同様に行われる。このようにして、ガラス板４の製造ラインでの取り出しから洗浄等までの各工程が実行される。

＜第四吸着パッド＞
図１０及び図１１に示すように、第四吸着パッド８ａは、ベース部１１と、スカート部１２とを備える。ベース部１１は、ベース本体１３と、ベース本体１３から延びるアダプタ１４とを備える。アダプタ１４には、通気路に作用する負圧を伝えるための通孔１４ａが形成され、ベース本体１３には通孔１４ａに連通する貫通孔１３ａが形成されている。

スカート部１２は、シリコン、ＮＢＲ等の可撓性材料で形成され、ベース本体１３から椀状に延びており、ベース本体１３と反対側に開口端面１２ａを形成している。ベース本体１３及びスカート部１２は、第四吸着パッド８ａが吸引力を作用させるための凹陥状内面１５を形成している。

第四吸着パッド８ａはさらに、穿孔用の突起１６を備えている。突起１６は、凹陥状内面１５から開口端面１２ａに向かって延びている。突起１６は、超硬合金等、硬度の高い金属製とするのが好ましい。

図１１に示すように、第一ガラス板４に重ねられた前側保護シート３に第四吸着パッド８ａを当接させた状態で、真空源（図示省略）から第四吸着パッド８ａに負圧を作用させると、前側保護シート３が第四吸着パッド８ａの凹陥状内面１５側へ吸引される。そして、突起１６の先端部を越えて吸引されることにより、前側保護シート３に通気用の貫通部Ｈが形成される。貫通部Ｈは、前側保護シート３の表裏面を貫通して形成される結果、吸引力が効果的に第一ガラス板４に作用する。こうして吸引が行なわれると、真空源からの負圧は、貫通部Ｈを通じて第一ガラス板４に作用し、第一ガラス板４は前側保護シート３と共に第四吸着パッド８ａに吸着保持される。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態において第四吸着パッド８ａの突起１６を省略し、第四吸着パッド８ａとは別に、前側保護シート３に通気用の貫通部Ｈを形成する穿孔用部材を設けてもよい。また、前側保護シート３が通気性を有する材質の場合、前側保護シート３に通気用の貫通部Ｈを形成するための構成は省略してもよい。

上記の実施形態において、第二吸着パッド６ｂ及び／又は第三吸着パッド７ａは、保護シート３の幅方向端部３ｂを吸着保持してもよい。

上記の実施形態において、第一吸着パッド６ａ、第二吸着パッド６ｂ、第三吸着パッド７ａ、及び第四吸着パッド８ａは、吸着パッド以外にも、サイクロンタイプやベルヌーイタイプ等の非接触チャックなどの吸着部材であってもよい。

上記の実施形態において、押え部材７は、前側保護シート３及び後側保護シート３を押えることができれば、吸着機構を備えていなくてもよい。

１ ガラス板製造装置
２ パレット
３ 保護シート
３ａ 上端部（食み出し部）
３ｂ 幅方向端部（食み出し部）
３ｃ 重なり部
４ ガラス板
５ 積層体
６ めくり用吸着部材
６ａ 第一吸着パッド（第一吸着部材）
６ｂ 第二吸着パッド（第二吸着部材）
７ 押え部材
７ａ 第三吸着パッド
８ 保持部材
８ａ 第四吸着パッド
９ チャック

Claims (12)

1. 傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、前記保護シートが、前記ガラス板から食み出す食み出し部と、前記ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板と共に前記第一ガラス板の前側保護シートを順次取り出すガラス板製造方法であって、
   前記第一ガラス板の後側保護シートの前記食み出し部の一部が露出するように、めくり用吸着部材で前記前側保護シートをめくるめくり工程と、
   前記めくり工程で露出した前記後側保護シートの前記食み出し部を押え部材で押えた状態で、前記第一ガラス板と共に前記前側保護シートを保持部材で保持して前記積層体から引き離す分離工程とを備え、
   前記めくり用吸着部材が、第一吸着部材と第二吸着部材とを有し、
   前記めくり工程では、前記第一吸着部材で前記前側保護シートの前記重なり部を吸着保持すると共に、前記第二吸着部材で前記前側保護シートの前記食み出し部を吸着保持することを特徴とするガラス板製造方法。
2. 前記後側保護シートの前記食み出し部を前記押え部材で押えた後、かつ、前記第一ガラス板及び前記前側保護シートを前記保持部材で保持して前記積層体から引き離す前に、前記前側保護シートを吸着保持した前記第一吸着部材及び前記第二吸着部材を、前記めくり工程において前記前側保護シートをめくる前の位置に戻す請求項１に記載のガラス板製造方法。
3. 前記分離工程では、前記前側保護シートを前記第一吸着部材及び前記第二吸着部材で吸着保持すると共に、前記第一ガラス板及び前記前側保護シートを前記保持部材で保持した状態で、前記前側保護シート及び前記第一ガラス板が前記積層体から引き離される方向に、前記第一吸着部材、前記第二吸着部材及び前記保持部材を移動させる請求項１又は２に記載のガラス板製造方法。
4. 前記第二吸着部材が前記前側保護シートを吸着保持する保持エリアが、前記押え部材が前記後側保護シートを押える押えエリアよりも幅方向内側に位置する請求項１～３のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
5. 前記第二吸着部材が吸着保持する前記前側保護シートの前記食み出し部が、前記第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している前記前側保護シートの上端部のうち、前記第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側に位置する部分である請求項１～４のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
6. 前記押え部材が押さえる前記後側保護シートの前記食み出し部が、前記第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している前記後側保護シートの上端部のうち、前記第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側に位置する部分である請求項１～５のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
7. 前記めくり工程では、前記第一ガラス板及び前記前側保護シートを吸着した前記保持部材を定位置で静止させた状態で、前記前側保護シートを吸着保持した前記第一吸着部材及び前記第二吸着部材を移動させる請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
8. 前記第一吸着部材が前記前側保護シートを吸着保持する保持エリアが、前記保持部材が前記第一ガラス板及び前記前側保護シートを保持する保持エリアよりも幅方向外側に位置する部分を有する請求項７に記載のガラス板製造方法。
9. 前記前側保護シートに通気用の貫通部を形成し、
   前記保持部材が、前記貫通部を介して前記第一ガラス板に作用する負圧により前記第一ガラス板を前記前側保護シートと共に吸着保持する請求項１～８のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
10. 前記押え部材が、前記後側保護シートを吸着保持する請求項１～９のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
11. 前記第一吸着部材及び前記第二吸着部材は、吸着パッドである請求項１～１０のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
12. 傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、前記保護シートが、前記ガラス板から食み出す食み出し部と、前記ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板と共に前記第一ガラス板の前側保護シートを順次取り出すガラス板製造装置であって、
    前記第一ガラス板の後側保護シートの前記食み出し部の一部が露出するように、前記前側保護シートをめくるめくり用吸着部材と、
    前記めくり用吸着部材によって露出させた前記後側保護シートの前記食み出し部を押える押え部材と、
    前記第一ガラス板と共に前記前側保護シートを保持して前記積層体から引き離す保持部材とを備え、
    前記めくり用吸着部材が、前記前側保護シートの前記重なり部を吸着保持する第一吸着部材と、前記前側保護シートの前記食み出し部を吸着保持する第二吸着部材とを有することを特徴とするガラス板製造装置。

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