JP7463236B2 - 粒子検出器、粒子検出装置、及び粒子検出方法 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 136
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 41
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 34
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 8
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 claims description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 34
- 239000010408 film Substances 0.000 description 20
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 16
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/80—Constructional details
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/285—Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/10—Junction-based devices
- H10N60/11—Single electron tunnelling devices
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N60/80—Constructional details
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- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
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- G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2914—Measurement of spatial distribution of radiation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2446—Position sensitive detectors
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N60/10—Junction-based devices
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
次に、図7を参照しながら、実施形態による粒子検出器5の変形例1について説明する。図7は、変形例1による粒子検出器における常伝導ラインの延伸方向に沿った断面図である。図7に示すように、変形例1による粒子検出器501もまた、基板12、常伝導ライン群(図7では一つの常伝導ライン13Lのみを図示)、トンネル絶縁膜14、及び超伝導ライン群15を有している。これらに加えて、粒子検出器501はコンタクト17を有している。コンタクト17は、複数の超伝導ライン15Lの一つおきに、その下方において、トンネル絶縁膜14と常伝導ライン13Lとの間に設けられている。これにより、超伝導ライン15Lの高さが交互に異なっている。この場合、粒子検出器501における超伝導ライン15Lの隙間を上面視でほぼ消失させることが可能となる。その結果、超伝導ライン15Lに粒子を確実に衝突させることが可能になる。なお、コンタクト17は、常伝導ライン13Lと同じ材料により構成されてよい。
続けて、図8を参照しながら、実施形態による粒子検出器5の変形例2について説明する。変形例2では、粒子検出器5を駆動する検出器駆動部が上述の検出器駆動部6と異なり、粒子検出器そのものは粒子検出器5と同一の構成を有している。図8は、変形例2で用いられる検出器駆動部61を模式的に示す図である。検出器駆動部61は、検出器駆動部6の構成に加えて、常伝導ライン13Lとアンプ54の入力とを繋ぐ配線と接地との間に抵抗器70を有している。
次に、実施形態による粒子検出器5の変形例3について説明する。図10に示すように、変形例3による粒子検出器503においては、基板112上に、第1の超伝導ライン群113、トンネル絶縁膜114、第2の超伝導ライン群115がこの順に形成されている。すなわち、粒子検出器503は、上述の粒子検出器5(501)における常伝導ライン群13を有しておらず、代わりに第1の超伝導ライン群113を有している。第1の超伝導ライン群113と第2の超伝導ライン群115は、同一の超伝導体で形成されてもよいし、異なってもよい。なお、粒子検出器503のその他の構成は粒子検出器5(501)と同一である。また、第2の超伝導ライン群115側が粒子検出器503の粒子検出面である。
Claims (11)
- 超伝導材料を含み、第1の方向に延伸し、前記第1の方向と異なる第2の方向に並ぶ複数の超伝導体ラインと、
伝導材料を含み、前記第2の方向に延伸し、前記第1の方向に並ぶ複数の伝導体ラインと、
前記複数の超伝導体ラインと前記複数の伝導体ラインとの交差点に介在する絶縁膜と、
前記複数の超伝導体ラインにおける電圧変化を検出する第1の検出部と、
前記電圧変化が発生した時に、前記複数の伝導体ラインに生じる電気信号を検出する第2の検出部と
を備える、粒子検出器。 - 前記伝導材料は、前記超伝導材料または常伝導材料を含む、請求項1に記載の粒子検出器。
- 前記第1の方向と前記第2の方向は互いに直交する、請求項1に記載の粒子検出器。
- 前記電気信号が、前記超伝導体ラインに任意の粒子が衝突又は吸収されることによって発生した電子が前記絶縁膜をトンネリングすることにより生じたトンネル電流である、請求項1に記載の粒子検出器。
- 前記電気信号としての前記トンネル電流が発生した前記伝導体ラインの位置から、所定の位置座標における前記粒子が衝突した位置の第1の座標を求める、請求項4に記載の粒子検出器。
- 前記電気信号が前記電圧変化に伴うパルス電圧である、請求項1に記載の粒子検出器。
- 前記電気信号としての前記パルス電圧を前記複数の伝導体ラインについて測定し、
測定された当該パルス電圧の形状の変化に基づいて、所定の位置座標における粒子が衝突した位置の第2の座標を求める、請求項6に記載の粒子検出器。 - 前記複数の伝導体ラインが並ぶ方向に沿って、当該複数の伝導体ラインで測定された前記パルス電圧の形状が上に凸から下に凸に変化した位置を前記第2の座標とする、請求項7に記載の粒子検出器。
- 筐体と、
前記筐体内に設けられ、試料を保持可能な試料保持部と、
超伝導材料を含み、第1の方向に延伸し、前記第1の方向と異なる第2の方向に並ぶ複数の超伝導体ラインと、伝導材料を含み、前記第2の方向に延伸し、前記第1の方向に並ぶ複数の伝導体ラインと、前記複数の超伝導体ラインと前記複数の伝導体ラインとの交差点に介在する絶縁膜と、前記複数の超伝導体ラインにおける電圧変化を検出する第1の検出部と、前記電圧変化が発生した時に、前記複数の伝導体ラインに生じる電気信号を検出する第2の検出部と、を有し、粒子検出面が前記試料保持部と対向するように前記筐体内に配置される粒子検出器と、
を備える粒子検出装置。 - 超伝導材料を含み、第1の方向に延伸し、前記第1の方向と異なる第2の方向に並ぶ複数の超伝導体ラインのうちのいずれかに粒子が入射したことにより当該超伝導体ラインに生じた電圧変化を測定し、
伝導材料を含み、前記第2の方向に延伸し、前記第1の方向に並ぶ複数の伝導体ラインであって、絶縁体を介して前記複数の超伝導体ラインと接合する当該複数の伝導体ラインに、前記絶縁体を通して前記電圧変化に伴って生じた電気信号を検出し、
前記電圧変化に基づいて、所定の位置座標における前記粒子が衝突した位置の一の座標を求め、
前記電気信号に基づいて、所定の位置座標における前記粒子が衝突した位置の他の座標を求める、粒子検出方法。 - 前記伝導材料は、前記超伝導材料または常伝導材料を含む、請求項10に記載の粒子検出方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020147065A JP7463236B2 (ja) | 2020-09-01 | 2020-09-01 | 粒子検出器、粒子検出装置、及び粒子検出方法 |
TW110128355A TWI764798B (zh) | 2020-09-01 | 2021-08-02 | 粒子檢測器、粒子檢測裝置及粒子檢測方法 |
CN202110930173.3A CN114112863A (zh) | 2020-09-01 | 2021-08-13 | 粒子检测器、粒子检测装置及粒子检测方法 |
US17/463,282 US11588092B2 (en) | 2020-09-01 | 2021-08-31 | Particle detector, particle detection apparatus, and particle detection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020147065A JP7463236B2 (ja) | 2020-09-01 | 2020-09-01 | 粒子検出器、粒子検出装置、及び粒子検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022041703A JP2022041703A (ja) | 2022-03-11 |
JP7463236B2 true JP7463236B2 (ja) | 2024-04-08 |
Family
ID=80357107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020147065A Active JP7463236B2 (ja) | 2020-09-01 | 2020-09-01 | 粒子検出器、粒子検出装置、及び粒子検出方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11588092B2 (ja) |
JP (1) | JP7463236B2 (ja) |
CN (1) | CN114112863A (ja) |
TW (1) | TWI764798B (ja) |
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- 2020-09-01 JP JP2020147065A patent/JP7463236B2/ja active Active
-
2021
- 2021-08-02 TW TW110128355A patent/TWI764798B/zh active
- 2021-08-13 CN CN202110930173.3A patent/CN114112863A/zh active Pending
- 2021-08-31 US US17/463,282 patent/US11588092B2/en active Active
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US11588092B2 (en) | 2023-02-21 |
CN114112863A (zh) | 2022-03-01 |
TWI764798B (zh) | 2022-05-11 |
JP2022041703A (ja) | 2022-03-11 |
US20220069191A1 (en) | 2022-03-03 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231109 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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