JP7462977B2 - パージ制御システム - Google Patents
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Description
本体と通気パネルであり、ここで本体の上端および/または側面には少なくとも1つの空気吸入口が設けられており、空気吸入口はパイプを介してパージモジュールに接続されており、エアカーテンユニットのクリーンガスはパイプおよび空気入口を介して本体に入る。
また、少なくとも1枚の通気パネルであり、本体内に設けられており、通気パネルは複数の通気孔を備え、通気パネルの複数の通気孔を介してクリーンガスを本体から外部に放出することで、エアカーテンユニットとウェハー搬送装置のドアアセンブリの間に気流壁が形成される。
4 パージモジュール 42 エアカーテンユニット
420 本体 420a カバー
422 通気パネル 4202、4204 空気吸入口
4222 通気孔
44 センシングユニット 46 流量制御ユニット
300 ウェハーボックス 302 ドア
500 ウェハー搬送装置 502 ドアアセンブリ
5022 ドアアセンブリの上部 5024 ドアアセンブリの下部
510 キャリアトレイ AF 気流壁
Claims (3)
- ウェハー搬送装置に接続されており、さらに前記ウェハー搬送装置はウェハーボックスを運ぶために利用され、パージ制御システムであって、
前記ウェハー搬送装置に設けられたパージモジュールと、
流量制御ユニットと、
制御モジュールを含み、
前記パージモジュールは、
前記ウェハー搬送装置のドアアセンブリの上部に配置されたエアカーテンユニットと、
前記エアカーテンユニットに接続されている流量制御ユニットとをさらに含み、
前記制御モジュールは、前記パージモジュールに電気的に接続され、さらに前記ドアアセンブリの変位値に応じて、対応するクリーンガスでガス流量を吹き出すように前記エアカーテンユニットを制御し、
前記変位値が増加すると、前記ガス流量は増加し、
前記ウェハー搬送装置に接続された前記エアカーテンユニットは、前記ウェハーボックスの開口部の上部に配置されて、前記ウェハーボックスの開口部の外部にクリーンガスを吹き出し、
前記パージモジュールは、前記ウェハー搬送装置上に配置されたセンシングユニットを含み、
前記センシングユニットは、前記ウェハー搬送装置の前記ドアアセンブリの変位状態を検出して、前記制御モジュールがクリーンガスに供給する前記ガス流量を決定し、
前記ドアアセンブリが第1の位置決め点に移動すると、前記エアカーテンユニットは前記クリーンガスの第1のガス流を吹き出し、前記ドアアセンブリが第2の位置決め点に移動すると、エアカーテンユニットは前記クリーンガスの第2のガス流を吹き出し、
前記第2の位置決め点での前記ドアアセンブリの第2の変位値が前記第1の位置決め点での前記ドアアセンブリの第1の変位値よりも大きい場合、前記第2のガス流の流量は前記第1のガス流の流量よりも大きく、
前記第2の位置決め点での前記ドアアセンブリの前記第2の変位値が前記第1の位置決め点での前記ドアアセンブリの前記第1の変位値よりも小さい場合、前記第2のガス流の流量は前記第1のガス流の流量よりも小さい、
パージ制御システム。 - 前記エアカーテンユニットは、
本体と、
前記本体に配置された通気パネルを含み、
前記本体の上部および/または側面に少なくとも一つの空気吸入口をさらに含み、前記空気吸入口と前記パージモジュール内のパイプが接続され、前記エアカーテンユニットの前記クリーンガスが前記パイプおよび前記空気吸入口を介して前記本体に入れ、
前記通気パネルは複数の通気孔を有し、前記クリーンガスは前記通気パネルの前記通気孔を通して前記本体から外部に排出され、これにより、前記エアカーテンユニットと前記ウェハー搬送装置の前記ドアアセンブリの間に気流壁が形成される、
請求項1に記載のパージ制御モジュール。 - 前記通気パネルの材質は、ステンレス鋼、帯電防止および耐食性繊維または複合材料、セラミック、樹脂または超高分子量ポリエチレンであり、また前記通気パネルが前記ステンレス鋼の場合、前記通気パネルは金属焼結により形成される、
請求項2に記載のパージ制御モジュール。
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