JP2015023037A - Ｅｆｅｍ、ロードポート - Google Patents

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Abstract

【課題】ボトムパージ処理によって内部空間の水分濃度を低下させたパージ対象容器の扉が開放された直後に、パージ対象容器内の水分濃度が急速に上昇する事態を防止・抑制して、ウェーハに水分が付着することによる品質低下を回避できるＥＦＥＭを提供する。【解決手段】ロードポート２に設けたボトムパージ装置２５により水分濃度が所定値まで低下したパージ対象容器５の内部空間５Ｓをウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓに連通させた際に、ＥＦＥＭの開口部２３の近傍であって且つロードポート２の開口部２３よりもウェーハ搬送室３側に寄った位置において開口部２３の上縁よりも高い位置からシールドカーテンガスを真下に吹き出して、開口部２３を遮蔽し得るガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置６を備えた。【選択図】図３

Description

本発明は、ウェーハ搬送室とロードポートから構成されるＥＦＥＭ、及びロードポートに関するものである。
半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。しかしながら、素子の高集積化や回路の微細化、ウェーハの大型化が進んでいる今日では、小さな塵をクリーンルーム内の全体で管理することは、コスト的にも技術的にも困難となってきている。このため、近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、ウェーハを高清浄な環境で搬送・保管するためのＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる格納用容器が用いられ、ウェーハ搬送室とともにＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）を構成し、ＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室との間で出し入れする際や、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰの受け渡しを行う際のインターフェース部として機能するロードポート（Load Port）が重要な装置として利用されている。
そして、ロードポートに設けたドア部をＦＯＵＰの前面に設けた扉に密着させた状態でこれらドア部及び扉が同時に開けられ、ウェーハ搬送室内に設けたアームロボット等のウェーハ搬送ロボットによって、ＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室内に取り出したり、ウェーハをウェーハ搬送室内からロードポートを通じてＦＯＵＰ内に収納できるように構成されている。このようなウェーハ搬送ロボットを配置した空間であるウェーハ搬送室、及びロードポートからなるモジュールは、ＥＦＥＭと呼ばれている。
ウェーハなどの半導体デバイスの微細化が進むにつれ、昨今では異物のみならず、ウェーハに水分が付着することによる品質の低下についても懸念されてきており、ウェーハの周囲を清浄で且つ低湿度の環境とする必要が出てきている。
そこで、ＦＯＵＰ内に所定の気体を注入してＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換することによって、ＦＯＵＰ内を低湿度環境にする技術として、特許文献１には、ＦＯＵＰの扉をロードポートのドア部で開けて、ロードポートの開口部を介してＦＯＵＰの内部空間とウェーハ搬送室の内部空間とを連通させた状態で、開口部よりもウェーハ搬送室側に設けたパージ部によって所定の気体（例えば窒素や不活性ガス等）をＦＯＵＰ内に吹き込むパージ装置を備えたロードポートが開示されている。
このようなＦＯＵＰの前面（ロードポートのドア部に向かい合う面）側からＦＯＵＰ内に所定の気体を注入してＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換するいわゆるフロントパージ方式のパージ装置は、ＦＯＵＰの扉をロードポートのドア部で開けた状態でのみパージ処理を行うことが可能である
一方、特許文献２には、ウェーハが収納されているＦＯＵＰをロードポートの載置台に載置した状態で所定の気体（例えば窒素や不活性ガス等）をＦＯＵＰの底面側から内部に注入して充満させて、ＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換するパージ装置を備えたロードポートが開示されている。このようなＦＯＵＰの底面側から窒素や乾燥空気等の気体をＦＯＵＰ内に注入してＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換するいわゆるボトムパージ方式のパージ処理は、ＦＯＵＰの扉をロードポートのドア部で開けた状態でのみ実行可能なフロントパージ方式のパージ装置と比較して、ＦＯＵＰの扉をロードポートのドア部で開けていない状態でもパージ処理ができる点で有利であり、ＯＨＴ等の搬送装置からＦＯＵＰをロードポートに受け取った時点でパージ処理を開始することができ、所定の気体雰囲気の到達濃度がフロントパージ方式のパージ装置よりも高いというメリットがある。
そして、ＯＨＴ等の搬送装置からＦＯＵＰをロードポートに受け取った直後からボトムパージ方式のパージ処理を行うことによってＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換し、ＦＯＵＰ内の少なくとも水分濃度を所定値以下まで低下させて、ウェーハの周囲を低湿度環境に維持することで、ウェーハに水分が付着することによる品質の低下を防止・抑制することができる。
特開２００７−１８０５１６号公報 特開２０１１−１８７５３９号公報
ところで、ボトムパージ方式のパージ処理によってＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換し、パージ対象容器であるＦＯＵＰの内部空間を低湿度環境にした状態で、ＦＯＵＰの扉をロードポートのドア部で開けた場合、ロードポートの開口部を介してＦＯＵＰの内部空間とウェーハ搬送室の内部空間が連通し、ウェーハ搬送室内の気体雰囲気がＦＯＵＰの内部空間に流れ、ＦＯＵＰ内の水分濃度が急速に上昇してしまう場合があることがわかってきた。
このように、低湿度環境を確保すべくボトムパージ処理によって所定値以下に低下させたＦＯＵＰ内の水分濃度が、ＦＯＵＰの扉を開けることで急上昇すれば、ウェーハに水分が付着する可能性が高まり、品質の低下を招来し得ることから、必要に応じてＦＯＵＰ内の水分濃度を低下させる仕組みが求められるものと考えられる。また、ＦＯＵＰ内の酸素濃度も水分濃度と同様の傾向を示すこともわかってきており、ＦＯＵＰの扉を開けることでＦＯＵＰ内の酸素濃度も上昇すれば、ウェーハに酸化膜が形成される不具合も生じる。したがって、必要に応じてＦＯＵＰ内の水分濃度を低下させる仕組みによって、ＦＯＵＰ内の酸素濃度も低下させることが可能であると考えられる。
なお、特許文献１には、フロントパージ処理と同時に、開口部の上部に配置したカーテンノズルから放出する不活性ガスによって開口面を閉鎖するガスカーテンを形成する技術が開示され、当該技術によって得られる作用効果として、「ガスカーテンによってポッド外部からポッド内部への気体の侵入を抑制すると同時に、ポッド内部に不活性ガスを供給することでポッド内部の不活性ガスの濃度を一定に維持することとしている。これら効果を組み合わせることにより、ポッドが開口された状態であっても、ポッド内部の酸化性気体の分圧は常に所定の低圧力に維持される」という作用効果が記載されている。
しかしながら、特許文献１記載のフロントパージ処理は、上述したようにＦＯＵＰの扉をロードポートのドア部で開けた状態でしか実行できないため、ボトムパージ処理と比較して所定の気体雰囲気の到達濃度が低いというデメリットがあり、このような到達濃度が相対的に低い気体雰囲気の濃度を維持することはできても、ボトムパージ処理によって実現可能な到達濃度が相対的に高い気体雰囲気の濃度を維持することはできないため、ＦＯＵＰ内の気体雰囲気中の水分がウェーハに付着する可能性を完全に排除することは期待できず、品質の低下を招来し得る。
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことが可能なボトムパージ方式を採用しつつ、パージ対象容器の扉が開放されてパージ対象容器の内部空間とウェーハ搬送室の内部空間が連通した直後にパージ対象容器内の少なくとも水分濃度が急速に上昇する事態を防止・抑制して、ウェーハに水分が付着することによる品質低下を回避できるＥＦＥＭ、及びロードポートを提供することにある。
すなわち本発明は、ウェーハ搬送室と、ウェーハ搬送室に隣接して設けたロードポートとによって構成したＥＦＥＭに関するものである。そして、本発明に係るＥＦＥＭは、ロードポートが、パージ対象容器の底面側からパージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なボトムパージ装置を備えたロードポートを適用し、さらに、ボトムパージ装置によりパージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値まで低下したパージ対象容器の内部空間を、ウェーハ搬送室の内部空間に前記ロードポートの開口部を介して連通させた際に、開口部の近傍であって且つ開口部よりもウェーハ搬送室側に寄った位置において開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又は前記パージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出して、開口部を遮蔽し得るガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置を備えていることを特徴としている。
このようなＥＦＥＭであれば、ボトムパージ装置による気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行ってパージ対象容器内の水分濃度を所定値以下に低くことが可能であるとともに、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた状態においても、シールドガスカーテン装置によってロードポートの開口部を遮蔽するガスカーテンを形成することで、ウェーハ搬送室内の気体雰囲気がパージ対象容器内に流れ入ることを防止・抑制して、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた後においてもパージ対象容器内の水分濃度を低く保つことができ、パージ対象容器内の水分濃度が急激に上昇する事態を回避することができる。このように、パージ対象容器内の水分濃度を低く維持することができる本発明のＥＦＥＭであれば、パージ対象容器内のウェーハに水分が付着することを防止・抑制し、ウェーハに水分が付着することによる品質低下を回避することができる。
また、本発明に係るＥＦＥＭが備えるシールドガスカーテン装置によってガスカーテンを形成した場合においても、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた時点以降にパージ対象容器内の水分濃度が、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた時点よりも多少上昇することも想定されるが、その水分濃度もある時点でピークとなり、そのピーク値は、シールドガスカーテン装置によってガスカーテンを形成していない場合におけるパージ対象容器内の水分濃度の数値より小さく、ウェーハに水分が付着することを防止・抑制可能な値である。この点に着目して、本発明に係るＥＦＥＭであれば、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させない状態でボトムパージ装置によるボトムパージ処理によってパージ対象容器内の水分濃度を低下させる処理中に、その水分濃度が、上述のピーク値と同じ値になった時点でパージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させて、ウェーハの搬送処理を開始することができる。これにより、パージ対象容器に対してボトムパージ処理を開始した時点からパージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させるまでの時間を短縮することができ、タクトタイムの短縮化、ひいてはウェーハ処理効率の向上を実現することができる。
また、本発明は、ウェーハ搬送室に隣接して設けられるロードポートに関するものであって、ボトムパージ装置とシールドガスカーテン装置とを備えていることを特徴としている。ボトムパージ装置は、パージ対象容器の底面側からパージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能な装置である。また、シールドガスカーテン装置は、ボトムパージ装置によりパージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値まで低下したパージ対象容器の内部空間を、ウェーハ搬送室の内部空間に開口部を介して連通させた際に、開口部の近傍であって且つ開口部よりもウェーハ搬送室側に寄った位置において開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又はパージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出して、開口部を遮蔽し得るガスカーテンを形成する装置である。
このようなロードポートであれば、上述したＥＦＥＭと同様の作用効果を奏する。つまり、ボトムパージ装置による気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行ってパージ対象容器内の水分濃度を所定値以下に低くことが可能であるとともに、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた状態においても、シールドガスカーテン装置によって開口部を遮蔽するガスカーテンを形成することで、ウェーハ搬送室内の気体雰囲気がパージ対象容器内に流れ入ることを防止・抑制して、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた後においてもパージ対象容器内の水分濃度を低く保つことができ、パージ対象容器内の水分濃度が急激に上昇する事態を回避することができる。このように、パージ対象容器内の水分濃度を低く維持することができる本発明のロードポートであれば、パージ対象容器内のウェーハに水分が付着することを防止・抑制し、ウェーハに水分が付着することによる品質低下を回避することができる。
また、本発明に係るロードポートが備えるシールドガスカーテン装置によってガスカーテンを形成した場合においても、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた時点以降にパージ対象容器内の水分濃度が、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させた時点よりも多少上昇することも想定されるが、その水分濃度もある時点でピークとなり、そのピーク値は、シールドガスカーテン装置によってガスカーテンを形成していない場合におけるパージ対象容器内の水分濃度の数値より小さく、ウェーハに水分が付着することを防止・抑制可能な値である。この点に着目して、本発明に係るＥＦＥＭであれば、パージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させない状態でボトムパージ装置によるボトムパージ処理によってパージ対象容器内の水分濃度を低下させる処理中に、その水分濃度が、上述のピーク値と同じ値になった時点でパージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させて、ウェーハの搬送処理を開始することができる。これにより、パージ対象容器に対してボトムパージ処理を開始した時点からパージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させるまでの時間を短縮することができ、タクトタイムの短縮化、ひいてはウェーハ処理効率の向上を実現することができる。
さらに、本発明のＥＦＥＭ及びロードポートによれば、ウェーハの酸化原因となるパージ対象容器内の酸素濃度についても同僚に低濃度に維持することができる
なお、本発明における「パージ対象容器」は、ウェーハを収容した状態で運搬可能であり、内部にパージ対象空間を有する容器全般を包含するものであり、一例としてＦＯＵＰを挙げることができる。
本発明によれば、ボトムパージ処理を行うボトムパージ装置と、ガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置とを備え、これら各装置を作動させることによって、パージ対象容器の内部空間とウェーハ搬送室の内部空間が連通した直後にパージ対象容器内の水分濃度や酸素濃度が急速に上昇する事態を防止・抑制して、ウェーハに水分が付着することによる品質低下を回避できるＥＦＥＭ、及びロードポートを提供することができる。
本発明の第１実施形態に係るＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係、並びにドアクローズ時のＦＯＵＰ内とウェーハ搬送室内の気流の流れを模式的に示す図。 同実施形態においてシールドガスカーテン装置を作動させていない場合のＦＯＵＰ内の水分濃度の変化を示す図。 同実施形態においてドアオープン時のＦＯＵＰ内とウェーハ搬送室内の気流の流れを模式的に示す図。 同実施形態においてシールドガスカーテン装置を作動させた場合のＦＯＵＰ内の水分濃度の変化を示す図。 同実施形態においてドアオープンのタイミングを早く設定できることを説明する図４対応図。 本発明の第２実施形態に係るロードポートとその周辺装置の相対位置関係、並びにドアクローズ時のＦＯＵＰ内とウェーハ搬送室内の気流の流れを模式的に示す図。 同実施形態においてドアオープン時のＦＯＵＰ内とウェーハ搬送室内の気流の流れを模式的に示す図。
以下、本発明の一実施形態である第１実施形態を、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る本実施形態に係るＥＦＥＭ１は、図１に示すように、共通のクリーンルーム内に相互に隣接する位置に設けたロードポート２及びウェーハ搬送室３によって構成されるものである。なお、図１は、ロードポート２とその周辺を一方のサイドから見た図面であって、ロードポート２とウェーハ搬送室３との相対位置関係、及びこれらロードポート２とウェーハ搬送室３とによって構成されるＥＦＥＭ１と、半導体製造装置４と、パージ対象容器であるＦＯＵＰ５との相対位置関係を模式的に示したものである。
図１において二点鎖線で示すＦＯＵＰ５は、内部に複数枚のウェーハを収容し、前面に形成した搬出入口５１を介してこれらウェーハを出し入れ可能に構成され、搬出入口５１を開閉可能な扉５２を備えた既知のものであるため、詳細な説明は省略する。なお、本実施形態においてＦＯＵＰ５の前面とは、ロードポート２に載置した際に後述するロードポート２のドア部２４と対面（正対）する側の面を意味する。ＦＯＵＰ５の底部５３には、パージ用のポートが所定の複数箇所に設けられている。各ポートは、例えば、ＦＯＵＰ５の底部５３に形成したパージ用貫通孔に嵌め込まれた中空筒状のグロメットシールを主体としてなり、グロメットシール内に、後述する窒素や不活性ガス又は乾燥空気等の気体（本実施形態では窒素ガスを用いており、以下の説明では「パージ用気体」と称する場合がある）の注入圧または排出圧によって閉状態から開状態に切り替わる弁を設けている。
半導体製造装置４は、例えば、相対的にウェーハ搬送室３から遠い位置に配置した半導体製造装置本体４１と、相対的にウェーハ搬送室３に近い位置に配置したロードロック室４２とを備えたものである。本実施形態では、ロードポート２、ウェーハ搬送室３、ロードロック室４２、半導体製造装置本体４１をこの順で相互に密接させて配置している。
ウェーハ搬送室３は、ウェーハをＦＯＵＰ５と半導体処理装置の間で搬送可能なウェーハ搬送ロボット（図示省略）を内部空間３Ｓに設けたものである。本実施形態のＥＦＥＭ１は、ウェーハ搬送室３の上部（天井）に、ファン３１とフィルタ３２をユニット化したＦＦＵ３３（Fan Filter Unit）を設けている。そして、このＦＦＵ３３は、ＥＦＥＭ１の稼働中、常時または必要時に清浄な空気（乾燥空気）を吹き出し、この空気をウェーハ搬送室内３Ｓにおいて上から下方向に向かって流れるように案内し、ウェーハ搬送室内３Ｓを高い清浄度に維持するものである。
ロードポート２は、ＦＯＵＰ５の扉５２を密着させて開閉し、ウェーハをＦＯＵＰ内５Ｓとウェーハ搬送室内３Ｓとの間で出し入れするために用いられるものである。このロードポート２は、ほぼ矩形板状をなし鉛直姿勢で配置されるフレーム２１と、このフレーム２１に略水平姿勢で設けた載置台２２と、フレーム２１のうち載置台２２とほぼ同じ高さ位置に開口下縁を設定しウェーハ搬送室内３Ｓに連通し得る開口部２３と、この開口部２３を開閉するドア部２４と、ＦＯＵＰ内５Ｓにパージ用気体を注入し、ＦＯＵＰ内５Ｓの気体雰囲気を窒素ガスなどのパージ用気体に置換可能なボトムパージ装置２５とを備えている。本実施形態では、フレーム２１がウェーハ搬送室３に接した状態でこのフレーム２１を配設している（図１参照）。また、載置台２２は支持台２６に支持されている。
フレーム２１に設けたドア部２４は、ＦＯＵＰ５を載置台２２に載置した状態においてＦＯＵＰ５の前面に設けた扉５２に密着した状態でその扉５２を開けて搬出入口５１及びＦＯＵＰ５の開口部２３を同時に開放する開放位置と、搬出入口５１及びＦＯＵＰ５の開口部２３を閉止する閉止位置との間で作動可能なものである。ドア部２４を開放位置と閉止位置との間で少なくとも昇降移動させるドア昇降機構（図示省略）としては既知のものを適用することができる。
ボトムパージ装置２５は、載置台２２の上向き面に先端部（上端部）を露出させた状態で所定箇所に配置される複数のボトムパージノズル２５１を備え、これら複数のボトムパージノズル２５１を、パージ用気体を注入する注入用ボトムパージノズルや、ＦＯＵＰ内５Ｓの気体雰囲気を排出する排出用ボトムパージノズルとして機能させている。ボトムパージノズル２５１の総数に占める注入用ボトムパージノズル及び排出用ボトムパージノズルの比率は、同率であってもよいし、何れか一方が他方よりも大きくてもよい。
これら複数のボトムパージノズル２５１は、ＦＯＵＰ５の底部５３に設けたポートの位置に応じて載置台２２上の適宜位置に取り付けることができる。各ボトムパージノズル２５１（注入用ボトムパージノズル、排出用ボトムパージノズル）は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものである。なお、ＦＯＵＰ５の底部５３に設けた複数のポートのうち、注入用ボトムパージノズル２５１に接触するポートは注入用ポートとして機能し、排出用ボトムパージノズル２５１に接触するポートは排出用ポートとして機能する。
本実施形態では、図１に示すように、ＦＯＵＰ５を載置台２２に載置した状態でＦＯＵＰ５の前後方向において相対的に開口部２３から遠い位置にあるボトムパージノズル２５１を注入用ボトムパージノズルとして機能させ、相対的に開口部２３に近い位置にあるボトムパージノズル２５１を排出用ボトムパージノズルとして機能させている。同図には、ＦＯＵＰ５の扉５２及びロードポート２のドア部２４を閉めた状態（ドアクローズ状態）におけるＦＯＵＰ内５Ｓの気体の流れを矢印で模式的に示している。
また、ボトムパージノズル２５１を、その先端部（上端部）がＦＯＵＰ５のポートに接触しない待機位置と、先端部（上端部）がＦＯＵＰ５のポートに接触可能なパージ位置との間で昇降移動可能に構成することができる。このようなボトムパージノズル２５１は、ユニット化した状態でロードポート２の載置台２２における複数の所定箇所（例えば載置台２２の四隅近傍）に取り付けることで、載置台２２上に載置されるＦＯＵＰ内５Ｓの気体雰囲気をパージ用気体に置換可能なボトムパージ装置２５として機能する。
次に、このような構成をなすボトムパージ装置２５を載置台２２に実装したロードポート２の使用方法及び作用について説明する。
先ず、図示しないＯＨＴ等の搬送装置によりＦＯＵＰ５がロードポート２に搬送され、載置台２２上に載置される。この際、例えば載置台２２に設けた位置決め用突起がＦＯＵＰ５の位置決め用凹部に嵌まることによって、ＦＯＵＰ５を載置台２２上の所定の正規位置に載置することができる。また、ＦＯＵＰ５が載置台２２上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）によりＦＯＵＰ５が載置台２２上の正規位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。ＦＯＵＰ５をロードポート２の載置台２２上に載置する時点までは、ボトムパージノズル２５１を待機位置に位置付けておくことで、ＦＯＵＰ５のポートにボトムパージノズル２５１が不意に接触する事態を回避できる。
次いで、本実施形態のロードポート２は、ボトムパージノズル２５１を待機位置からパージ位置へ上昇移動させてポートの下端に接触させ、ボトムパージノズル２５１の内部に形成している気体流路とポートの内部空間とを高さ方向に連通させる。この状態で、本実施形態のロードポート２は、図示しない供給源から供給されるパージ用気体をパージノズルの気体流路及びポートの内部空間を通じてＦＯＵＰ内５Ｓに注入し、ＦＯＵＰ内５Ｓに充満していた気体を排出用ポート及び排出用ボトムパージノズル２５１を通じてＦＯＵＰ５外へ排出する。この時点におけるＦＯＵＰ内５Ｓの気体の流れを図１に矢印で模式的に示す。なお、排出処理を注入処理よりも先に開始してＦＯＵＰ内５Ｓのエアをある程度ＦＯＵＰ５外へ排出してＦＯＵＰ内５Ｓを減圧した状態で注入処理を行うようにしてもよい。
本実施形態に係るＥＦＥＭ１では、ＦＯＵＰ５をＯＨＴ等の搬送装置からロードポート２の載置台２２上に受け取った直後にボトムパージ処理を開始することができ、このボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで短時間で低下させ、ＦＯＵＰ内５Ｓにおけるウェーハの周囲環境を、ボトムパージ処理開始前よりも低湿度環境及び低酸素環境にすることができる。このように、本実施形態に係るＥＦＥＭ１では、ロードポート２に設けたボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理により、ＦＯＵＰ内５Ｓにおけるパージ用気体の充填度（置換度）をフロントパージ処理よりも高い値に維持することができ、ＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで低下させることができる。
このようなボトムパージ処理を実施して、ＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度を所定値以下にまで低下させた後に、ＦＯＵＰ５の扉５２をロードポート２のドア部２４で開けて、ロードポート２の搬出入口５１及びロードポート２の開口部２３を介してＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓと半導体製造装置４の内部空間とを連通させた状態で、ウェーハ搬送室内３Ｓに設けたウェーハ搬送ロボットによってＦＯＵＰ内５Ｓのウェーハを半導体製造装置４内に順次払い出す。
ところで、ＦＯＵＰ５の扉５２をロードポート２のドア部２４で開けて、ロードポート２の開口部２３を介してＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓと半導体製造装置４の内部空間とを連通させた時点（以下、「ドアオープン時点」と称する）で、ウェーハ搬送室内３Ｓの気体雰囲気がＦＯＵＰ内５Ｓに流れ込み、ドアオープン時点を境にしてＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度が急激に上昇するおそれがある（図２では水分濃度の変化を実線で示す）。
このような事態を回避すべく、本実施形態に係るＥＦＥＭ１は、ロードポート２の開口部２３を遮蔽し得るガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置６をさらに備えている。シールドガスカーテン装置６は、ロードポート２の開口部２３の近傍であって且つ開口部２３よりもウェーハ搬送室３側に寄った位置において開口部２３の上縁よりも高い位置に、窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下に吹き出すシールドカーテンガス吹出部６１を配置し、シールドカーテンガス吹出部６１から吹き出すシールドカーテンガスによって開口部２３を遮蔽し得るガスカーテンを形成するものである。なお、シールドカーテンガス吹出部６１の下端部（先端部）を開口部２３の上縁と同じ高さ位置に設定することもできる。シールドカーテンガスの供給源（図示省略）は、パージ用気体の供給源と同じであってもよいし、別であってもよい。また、シールドガスの供給源及びシールドカーテンガス吹出部６１は適宜の配管や継手等によって相互に接続されている。
シールドカーテンガス吹出部６１としては、開口部２３の幅方向において、開口部２３の幅寸法よりも大きい領域に亘って所定ピッチで配置した複数のノズルによって構成したもの（ノズルタイプ）や、開口部２３の幅寸法よりも大きい幅寸法を有する単一の吹出口によって構成したもの（ブロータイプ）を挙げることができる。シールドカーテンガス吹出部６１がノズルタイプであれば、各ノズルから吹き出すシールドカーテンガスはジェット流になる。一方、シールドカーテンガス吹出部６１がブロータイプのであれば、単一の吹出口から吹き出すシールドカーテンガスは、吹出方向に沿った平面的な流れになる。
本実施形態のシールドガスカーテン装置６では、図３に示すように、シールドカーテンガス吹出部６１から吹き出すシールドカーテンガスが開口部２３の開口下縁よりも下方にまで到達するように出力設定している。このようなシールドカーテンガスの気流は、ＦＦＵ３３による気流と別の流れとなる。
そして、ドアオープン時点またはドアオープン時点よりも早い時点でシールドガスカーテン装置６を作動させて、ロードポート２の開口部２３を遮蔽するシールドガスカーテンを形成することにより、ドアオープン時点以降にウェーハ搬送室内３Ｓの気体雰囲気がＦＯＵＰ内５Ｓに流れ込むこと防止することができ、ドアオープン時点直後にＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度が急激に上昇することを防止・抑制することができる。ここで、図４に、ドアクローズ状態でボトムパージ装置２５によりボトムパージ処理を行った後にシールドガスカーテン装置６を作動させた場合におけるＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度の変化を１点鎖線で示す。なお、図４に一点鎖線で示すＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度の変化は、ドアオープン時点以降においてもボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理を引き続き行った場合のものである。
このように、本実施形態に係るロードポート２は、ボトムパージ装置２５によりパージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値（図４では、この「所定値」がゼロ又はほぼゼロである）まで低下したパージ対象容器であるＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓを、ウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓにロードポート２の開口部２３を介して連通させた際（図４における時刻ｔ１）に、開口部２３の近傍であって且つ開口部２３よりもウェーハ搬送室３側に寄った位置において開口部２３の上縁よりも高い位置又は上縁と同じ高さ位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下に吹き出して、開口部２３を遮蔽し得るガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置６を備えているため、ＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓをウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓに連通させていないドアクローズ状態でボトムパージ装置２５によってＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓの水分濃度を所定値以下に低くすることができ、ＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓをウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓに連通させたドアオープン状態においても、シールドガスカーテン装置６によってガスカーテンを形成することで、ウェーハ搬送室内３Ｓの気体雰囲気が、低湿度環境・低酸素環境のＦＯＵＰ内５Ｓに流れ入ることを防止・抑制することができ、ドアオープン時点（例えば図４に示す時刻ｔ１）以降においてもＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度を、ＦＯＵＰ内５Ｓのウェーハに水分が付着することを防止・抑制可能な範囲（水分濃度の許容範囲）内に低く保つことができ、ウェーハに水分が付着することによる品質低下を回避することができる。
また、図４に示すように、シールドガスカーテン装置６によってガスカーテンを形成した場合においても、ドアオープン時点以降にＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度がドアオープン時点よりも多少高くなるが、ある時点でピークとなり、そのピーク値Ｐよりも上昇することがない。そして、このピーク値Ｐが、ウェーハに水分が付着することを防止・抑制可能な水分濃度であれば、この点に着目して、図５に示すように、ＦＯＵＰ５の扉５２を閉めた状態でボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度を漸次低下させる処理工程において、その水分濃度が、上述のピーク値Ｐと同じ値になった時点ｔ２でロードポート２のドア部２４によってＦＯＵＰ５の扉５２を開けて、ウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓにロードポート２の開口部２３を介して連通させ、ウェーハの搬送処理を開始することができる。つまり、このピーク値Ｐを本発明における「所定値」として扱うことができる。ボトムパージ処理及びシールドカーテンガス吹出処理を同時に行った場合においてＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度が最も高くなるピーク値Ｐを予め把握しておくことで、ＦＯＵＰ５の扉５２を閉めた状態でボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度をゼロ乃至ゼロに近い値にまで低下させずに、ピーク値Ｐまで低下させれば、ピーク値Ｐに達した時点ｔ２以降もボトムパージ処理及びシールドカーテンガス吹出処理を継続して行うことにより、ＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度がそれ以上高くなることはない。そして、ＦＯＵＰ５の扉５２を開けるタイミングとして、ＦＯＵＰ５の扉５２を閉めた状態でボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度をゼロ乃至ゼロに近い値にまで低下させた時点ｔ１ではなく、ピーク値Ｐまで低下させた時点ｔ２を選択することで、ＦＯＵＰ５をＯＨＴ等の搬送装置からロードポート２の載置台２２に受け取った時点からＦＯＵＰ５の扉５２を開けるまでの時間を短縮することができ、タクトタイムの短縮化、ひいてはウェーハ処理効率の向上を実現することができる。
次に、上述の実施形態とは異なる実施形態（以下、第２実施形態とし、上述の実施形態を第１実施形態とする）について、図６及び図７等を参照しながら説明する。
第２実施形態では、シールドガスカーテン装置２７をロードポート２に設けている点で上述の第１実施形態とは異なる。したがって、以下ではロードポート２の構成について詳述する一方、ＦＯＵＰ５、ウェーハ搬送室３及び半導体製造装置４についての説明は省略する。
本実施形態に係るロードポート２は、図６及び図７に示すように、ＦＯＵＰ５の扉５２を密着させて開閉し、ウェーハをＦＯＵＰ内５Ｓとウェーハ搬送室内３Ｓとの間で出し入れするために用いられるものであり、ほぼ矩形板状をなし鉛直姿勢で配置されるフレーム２１と、このフレーム２１に略水平姿勢で設けた載置台２２と、フレーム２１のうち載置台２２とほぼ同じ高さ位置に開口下縁を設定しウェーハ搬送室内３Ｓに連通し得る開口部２３と、この開口部２３を開閉するドア部２４と、ＦＯＵＰ内５Ｓにパージ用気体を注入し、ＦＯＵＰ内５Ｓの気体雰囲気を窒素ガスなどのパージ用気体に置換可能なボトムパージ装置２５と、載置台２２を支持する支持台２６と、開口部２３を遮蔽可能なガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置２７とを備えている。
フレーム２１に設けたドア部２４は、ＦＯＵＰ５を載置台２２に載置した状態においてＦＯＵＰ５の前面に設けた扉５２に密着した状態でその扉５２を開けて搬出入口５１及びＦＯＵＰ５の開口部２３を同時に開放する開放位置と、搬出入口５１及びＦＯＵＰ５の開口部２３を閉止する閉止位置との間で作動可能なものである。ドア部２４を開放位置と閉止位置との間で少なくとも昇降移動させるドア昇降機構（図示省略）としては既知のものを適用することができる。
ボトムパージ装置２５は、載置台２２の上向き面に上端部（先端部）を露出させた状態で所定箇所に配置される複数のボトムパージノズル２５１を備え、これら複数のボトムパージノズル２５１を、パージ用気体を注入する注入用ボトムパージノズルや、ＦＯＵＰ内５Ｓの気体雰囲気を排出する排出用ボトムパージノズルとして機能させている。ボトムパージノズル２５１の総数に占める注入用ボトムパージノズル及び排出用ボトムパージノズルの比率は、同率であってもよいし、何れか一方が他方よりも大きくてもよい。
これら複数のボトムパージノズル２５１は、ＦＯＵＰ５の底部５３に設けたポートの位置に応じて載置台２２上の適宜位置に取り付けることができる。各ボトムパージノズル２５１（注入用ボトムパージノズル、排出用ボトムパージノズル）は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものであり、ＦＯＵＰ５の底部５３に設けたポートに接触可能なものである。なお、ＦＯＵＰ５の底部５３に設けた複数のポートのうち、注入用ボトムパージノズルに接触するポートは注入用ポートとして機能し、排出用ボトムパージノズルに接触するポートは排出用ポートとして機能する。
本実施形態では、図６に示すように、ＦＯＵＰ５を載置台２２に載置した状態でＦＯＵＰ５の前後方向において相対的に開口部２３から遠い位置にあるボトムパージノズル２５１を注入用ボトムパージノズルとして機能させ、相対的に開口部２３に近い位置にあるボトムパージノズル２５１を排出用ボトムパージノズルとして機能させている。同図には、ＦＯＵＰ５の扉５２及びロードポート２のドア部２４を閉めた状態（ドアクローズ状態）におけるＦＯＵＰ内５Ｓの気体の流れを矢印で模式的に示している。
また、ボトムパージノズル２５１を、その先端部（上端部）がＦＯＵＰ５のポートに接触しない待機位置と、先端部（上端部）がＦＯＵＰ５のポートに接触可能なパージ位置との間で昇降移動可能に構成することができる。このようなボトムパージノズル２５１は、ユニット化した状態でロードポート２の載置台２２における複数の所定箇所（例えば載置台２２の四隅近傍）に取り付けることで、載置台２２上に載置されるＦＯＵＰ内５Ｓの気体雰囲気をパージ用気体に置換可能なボトムパージ装置２５として機能する。
シールドガスカーテン装置２７は、ロードポート２の開口部２３の近傍であって且つ開口部２３よりもウェーハ搬送室３側に寄った位置において開口部２３の上縁よりも高い位置に、窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下に吹き出すシールドカーテンガス吹出部２７１を配置し、シールドカーテンガス吹出部２７１から吹き出すシールドカーテンガスによって開口部２３を遮蔽し得るガスカーテンを形成するものである。なお、シールドカーテンガス吹出部２７１の下端部（先端部）を開口部２３の上縁と同じ高さ位置に設定することもできる。シールドカーテンガスの供給源（図示省略）は、パージ用気体の供給源と同じであってもよいし、別であってもよい。また、シールドガスの供給源及びシールドカーテンガス吹出部２７１は適宜の配管や継手等を介して相互に接続されている。
シールドカーテンガス吹出部２７１としては、開口部２３の幅方向において、開口部２３の幅寸法よりも大きい領域に亘って所定ピッチで配置した複数のノズルによって構成したもの（ノズルタイプ）や、開口部２３の幅寸法よりも大きい幅寸法を有する単一の吹出口によって構成したもの（ブロータイプ）を挙げることができる。ノズルタイプのシールドカーテンガス吹出部２７１であれば、各ノズルから吹き出すシールドカーテンガスはジェット流になる。一方、ブロータイプのシールドカーテンガス吹出部２７１であれば、単一の吹出口から吹き出すシールドカーテンガスは、吹出方向に沿った平面的な流れになる。
本実施形態のシールドガスカーテン装置２７では、図７に示すように、シールドカーテンガス吹出部２７１から吹き出すシールドカーテンガスが開口部２３の開口下縁よりも下方にまで到達するように出力設定している。このようなシールドカーテンガスの気流は、ＦＦＵ３３による気流と別の流れとなる。
次に、このようなボトムパージ装置２５及びシールドガスカーテン装置２７を実装したロードポート２の使用方法及び作用について説明する。
先ず、図示しないＯＨＴ等の搬送装置によりＦＯＵＰ５がロードポート２に搬送され、載置台２２上に載置される。この際、例えば載置台２２に設けた位置決め用突起がＦＯＵＰ５の位置決め用凹部に嵌まることによって、ＦＯＵＰ５を載置台２２上の所定の正規位置に載置することができる。また、ＦＯＵＰ５が載置台２２上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）によりＦＯＵＰ５が載置台２２上の正規位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。ＦＯＵＰ５がロードポート２の載置台２２上に載置される時点までは、ボトムパージノズル２５１を待機位置に位置付けておくことで、ＦＯＵＰ５のポートにボトムパージノズル２５１が不意に接触する事態を回避する。
次いで、本実施形態に係るロードポート２は、ボトムパージノズル２５１を待機位置からパージ位置へ上昇移動させてポートの下端に接触させ、ボトムパージノズル２５１の内部に形成している気体流路とポートの内部空間とを高さ方向に連通させる。この状態で、本実施形態に係るロードポート２は、図示しない供給源から供給されるパージ用気体をパージノズルの気体流路及びポートの内部空間を通じてＦＯＵＰ内５Ｓに注入し、ＦＯＵＰ内５Ｓに充満していた気体を排出用ポート及び排出用ボトムパージノズル２５１を通じてＦＯＵＰ５外へ排出する。この時点におけるＦＯＵＰ内５Ｓの気体の流れを図６に矢印で模式的に示す。なお、排出処理を注入処理よりも先に開始してＦＯＵＰ内５Ｓのエアをある程度ＦＯＵＰ５外へ排出してＦＯＵＰ内５Ｓを減圧した状態で注入処理を行うようにしてもよい。
本実施形態に係るロードポート２では、ＦＯＵＰ５をＯＨＴ等の搬送装置から載置台２２上に受け取った直後にボトムパージ処理を開始することができ、このボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで短時間で低下させ、ＦＯＵＰ内５Ｓにおけるウェーハの周囲環境を、ボトムパージ処理開始前よりも低湿度環境にすることができる。このように、本実施形態に係るロードポート２では、ボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理によって、ＦＯＵＰ内５Ｓにおけるパージ用気体の充填度（置換度）をフロントパージ処理よりも高い値に維持することができ、ＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで低下させることができる。
このようなボトムパージ処理を実施して、ＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度を所定値以下にまで低下させた後に、ＦＯＵＰ５の扉５２をロードポート２のドア部２４で開けて、ロードポート２の搬出入口５１及びロードポート２の開口部２３を介してＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓと半導体製造装置４の内部空間とを連通させた状態で、ウェーハ搬送室内３Ｓに設けたウェーハ搬送ロボットによってＦＯＵＰ内５Ｓのウェーハを半導体製造装置４内に順次払い出す。
そして、本実施形態に係るロードポート２は、ドアオープン時点またはドアオープン時点よりも早い時点でシールドガスカーテン装置２７を作動させて、ロードポート２の開口部２３を遮蔽するシールドガスカーテンを形成することにより、ドアオープン時点以降にウェーハ搬送室内３Ｓの気体雰囲気がＦＯＵＰ内５Ｓに流れ込むこと防止して、ドアオープン時点直後にＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度及び酸素濃度が急激に上昇することを防止・抑制している。ここで、図４に、ドアクローズ状態でボトムパージ装置２５によりボトムパージ処理を行った後にシールドガスカーテン装置２７を作動させた場合におけるＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度の変化を１点鎖線で示す。図４に一点鎖線で示すＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度の変化は、ドアオープン時点以降においてもボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理を引き続き行った場合のものである。
このように、本実施形態に係るＥＦＥＭ１は、ボトムパージ装置２５によりパージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値（図４では、この「所定値」がゼロ又はほぼゼロである）まで低下したパージ対象容器であるＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓを、ウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓにロードポート２の開口部２３を介して連通させた際に、開口部２３の近傍であって且つ開口部２３よりもウェーハ搬送室３側に寄った位置において開口部２３の上縁よりも高い位置又は上縁と同じ高さ位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下に吹き出して、開口部２３を遮蔽し得るガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置２７を備えているため、ＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓをウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓに連通させていないドアクローズ状態でボトムパージ装置２５によってＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓの水分濃度を所定値以下に低くすることができ、ＦＯＵＰ５の内部空間５Ｓをウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓに連通させたドアオープン状態においても、シールドガスカーテン装置２７によってガスカーテンを形成することで、ウェーハ搬送室内３Ｓの気体雰囲気が、低湿度環境・低酸素環境のＦＯＵＰ内５Ｓに流れ入ることを防止・抑制することができ、（例えば図４に示す時刻ｔ１）以降においてもＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度を、ウェーハに水分が付着することを防止・抑制可能な範囲（水分濃度の許容範囲）内に低く保つことができ、ウェーハに水分が付着することによる品質低下を回避することができる。
また、図４に示すように、シールドガスカーテン装置２７によってガスカーテンを形成した場合においても、ドアオープン時点以降にＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度がドアオープン時点よりも多少高くなるが、ある時点でピークとなり、そのピーク値Ｐよりも上昇することがない。そして、このピーク値Ｐが、ウェーハに水分が付着することを防止・抑制可能な水分濃度であれば、この点に着目して、図５に示すように、ＦＯＵＰ５の扉５２を閉めた状態でボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度を漸次低下させる処理工程において、その水分濃度が、上述のピーク値Ｐと同じ値になった時点ｔ２でロードポート２のドア部２４によってＦＯＵＰ５の扉５２を開けて、ウェーハ搬送室３の内部空間３Ｓにロードポート２の開口部２３を介して連通させ、ウェーハの搬送処理を開始することができる。つまり、このピーク値Ｐを本発明における「所定値」として扱うことができる。ボトムパージ処理及びシールドカーテンガス吹出処理を同時に行った場合においてＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度が最も高くなるピーク値Ｐを予め把握しておくことで、ＦＯＵＰ５の扉５２を閉めた状態でボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度をゼロ乃至ゼロに近い所定値にまで低下させずに、ピーク値Ｐまで低下させれば、ピーク値Ｐに達した時点ｔ２以降もボトムパージ処理及びシールドカーテンガス吹出処理を継続して行うことにより、ＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度がそれ以上高くなることはない。そして、ＦＯＵＰ５の扉５２を開けるタイミングとして、ＦＯＵＰ５の扉５２を閉めた状態でボトムパージ装置２５によるボトムパージ処理によってＦＯＵＰ内５Ｓの水分濃度をゼロ乃至ゼロに近い値にまで低下させた時点ｔ１ではなく、ピーク値Ｐまで低下させた時点ｔ２を選択することで、ＦＯＵＰ５をＯＨＴ等の搬送装置からロードポート２の載置台２２に受け取った時点からＦＯＵＰ５の扉５２を開けるまでの時間を短縮することができ、タクトタイムの短縮化、ひいてはウェーハ処理効率の向上を実現することができる。
上述した何れの実施形態（第１実施形態、第２実施形態）においても、半導体製造装置４内に移送されたウェーハは引き続いて半導体製造装置本体４１による半導体製造処理工程に供され、半導体製造装置本体４１により半導体製造処理工程を終えたウェーハはＦＯＵＰ５１００内に順次格納され、全てのウェーハが半導体製造処理工程を終えてＦＯＵＰ内５Ｓに収納されると、ドア部２４をＦＯＵＰ５の扉５２に密着させた状態で開放位置から閉止位置に移動させる。これにより、ロードポート２の開口部２３及びＦＯＵＰ５の搬出入口５１は閉止され、載置台２２に載置されているＦＯＵＰ５は図示しない搬送機構により次工程へと運び出される。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、パージ対象容器としてＦＯＵＰを例示したが、他の容器（キャリア）であってもよい。
また、シールドガスカーテン装置として、シールドカーテンガスをパージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出して、開口部を遮蔽し得るガスカーテンを形成するものを適用してもよい。このようなシールドガスカーテン装置によって形成されるガスカーテンによって、ドアオープン状態においてウェーハ搬送室内の気体がパージ対象容器内に流れ込むことを防止・抑制することができる。この場合も、シールドガスカーテン装置のシールドカーテンガス吹出部は、ノズルタイプ又はブロータイプの何れであっても構わない。
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
１…ＥＦＥＭ
２…ロードポート
２３…開口部
２５…ボトムパージ装置
３…ウェーハ搬送室
５…パージ対象容器（ＦＯＵＰ）
６、２７…シールドガスカーテン装置

Claims (2)

  1. ウェーハ搬送室と、当該ウェーハ搬送室に隣接して設けたロードポートとによって構成したＥＦＥＭであって、
    前記ロードポートが、パージ対象容器の底面側から当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なボトムパージ装置を備えたものであり、
    前記ボトムパージ装置により前記パージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値まで低下した前記パージ対象容器の内部空間を前記ウェーハ搬送室の内部空間に前記ロードポートの開口部を介して連通させた際に、前記開口部の近傍であって且つ前記開口部よりも前記ウェーハ搬送室側に寄った位置において前記開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又は前記パージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出して、前記開口部を遮蔽し得るガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置をさらに備えていることを特徴とするＥＦＥＭ。
  2. ウェーハ搬送室に隣接して設けられるロードポートであって、
    パージ対象容器の底面側から当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なボトムパージ装置と、
    前記ボトムパージ装置により前記パージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値まで低下した前記パージ対象容器の内部空間を前記ウェーハ搬送室の内部空間に開口部を介して連通させた際に、前記開口部の近傍であって且つ前記開口部よりも前記ウェーハ搬送室側に寄った位置において前記開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又は前記パージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出して、前記開口部を遮蔽し得るガスカーテンを形成するシールドガスカーテン装置とを備えていることを特徴とするロードポート。
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