JP7450730B2 - 荷重センサ装置 - Google Patents
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Description
図1Aおよび図1Bは、本実施形態に係る荷重センサ装置の構成を例示する図である。図1Aには荷重センサ装置の斜視図が示され、図1Bには荷重センサ装置の断面図が示される。
図2は、本実施形態に係る荷重センサ装置の分解斜視図である。
図3は、荷重センサ素子の変位部を例示する平面図である。
本実施形態に係る荷重センサ装置1は、外部からの荷重を受けて、その荷重に応じた信号を出力する装置である。荷重センサ装置1は、荷重センサ素子10と、荷重センサ素子10を収納するハウジング20と、ハウジング20に支持される押圧部材30とを備える。なお、実施形態の説明では、ハウジング20における荷重センサ素子10の実装面の法線方向をZ方向、法線方向(Z方向)に直交する方向の1つをX方向、他の1つをY方向とする。
上記構成において、ハウジング20の収納部22に荷重センサ素子10が収納され、荷重センサ素子10と収納部22のパッドとがボンディングワイヤ15で接続される。また、収納部22の段差部23に押圧部材30の弾性支持部33が載置され、剛性押圧部32の上に弾性体31が載置される。
図4Aおよび図4Bは、本実施形態に係る荷重センサ装置の動作を例示する図である。図4Aには荷重センサ装置1に荷重をかける状態を例示する図が示され、図4Bには荷重センサ素子の出力例が示される。図4Bにおいて横軸はプレート50のZ方向のストローク、縦軸は出力値(相対値)を表す。
次に、受圧部11と接する押圧部の硬さの比較について説明する。
図6Aおよび図6Bは、本発明例として、剛性押圧部32が受圧部11に接触する場合の押圧の状態を示す図である。図6Aには剛性押圧部32と受圧部11とが接触した状態を示す模式断面図が示され、図6Bには剛性押圧部32から受圧部11に荷重が加えられた場合の応力分布図が示される。
図7Aおよび図7Bは、比較例として、剛性押圧部32に代えて弾性率が低い弾性押圧部32Bが受圧部11に接触する場合の押圧の状態を示す図である。図7Aには弾性押圧部32Bと受圧部11とが接触した状態を示す模式断面図が示され、図7Bには弾性押圧部32Bから受圧部11に荷重が加えられた場合の応力分布図が示される。
図8Aおよび図8Bは受圧部および押圧部の応力分布の拡大図である。図8Aには図6Bに示す剛性押圧部32と受圧部11との接触部分の応力分布の拡大図が示され、図8Bには図7Bに示す弾性押圧部32Bと受圧部11との接触部分の応力分布の拡大図が示される。
弾性押圧部32Bを用いた場合、荷重が分散してしまうことで受圧部11からセンサ基板12に効率良く荷重を伝えることができず、荷重に対してセンサ基板12の変位部121に伝わる応力は大きくならない。一方、剛性押圧部32を用いた場合、荷重を効率良くセンサ基板に伝えることができ、荷重に対してセンサ基板12の変位部121に伝わる応力を大きくすることができる。図9の荷重に対する変位部121の応力変化は感度と等価である。したがって、弾性押圧部32Bに比べて剛性押圧部32を用いる方が十分な感度を得ることができる。
弾性押圧部32Bを用いた場合、4Nまで受圧部11が弾性押圧部32Bに食い込み、荷重が分散してしまうことから、線形性誤差は大きい。一方、剛性押圧部32を用いる場合、受圧部11が剛性押圧部32へ食い込むことはなく、荷重の逃げはほとんど生じない。したがって、非常に線形性誤差が小さいことが分かる。
図11は、本実施形態に係る荷重センサ装置の他の例を示す断面図である。
図12は、本実施形態に係る荷重センサ装置の他の例を示す分解斜視図である。
図11および図12に示すように他の例の荷重センサ装置1Bは、弾性体31と剛性押圧部32との間に剛性プレート部60を備えている。
図14Aから図14Cは、弾性支持部の他の例を示す平面図である。
図14Aには、弾性支持部33の他の例(その1)が示され、図14Bには、弾性支持部33の他の例(その2)が示され、図14Cには、弾性支持部33の他の例(その3)が示される。
図14Aから図14Cに示すように、弾性支持部33のアーム部332の形状には種々の形態が考えられる。図14Aでは、中央に配置される剛性押圧部32に対してアーム部332が線対称に設けられている。また、図14Bおよび図14Cでは、中央に配置される剛性押圧部32に対してアーム部332が点対称に設けられている。このうち図14Bでは、アーム部332が折り返し状に設けられている。図14Cでは、アーム部332が渦巻き状に設けられている。
図15Bは、弾性支持部の他の例(その5)を示す斜視図である。
図16Aは、弾性支持部の他の例(その6)を示す斜視図である。
図16Bは、弾性支持部の他の例(その7)を示す斜視図である。
上記のいずれの図においても、説明の便宜上、弾性体31を外した状態が示される。
弾性支持部33の他の例(その4)から(その7)では、枠部331に位置決め用の孔331hが設けられている。枠部331が載置されるハウジング20の段差部23には、位置決め用の突起部23aが設けられており、段差部23に枠部331を載置すると位置決め用の孔331hに突起部23aが嵌合して弾性支持部33の載置位置が決まる。
図17は、弾性体の他の例(その1)について示す斜視図である。
図17に示す弾性体31Bは、弾性支持部33を兼用している。すなわち、弾性支持部33は弾性体31Bの一部となっている。具体的には、弾性体31Bの荷重センサ素子10側の面には剛性押圧部32が組み込まれており、弾性体31のフランジ部312が剛性押圧部32を支持する弾性支持部33としての機能を兼ねている。このような弾性体31Bを用いる場合、図2に示す板状の弾性支持部33は不要となり、押圧部材30の構成の簡素化を図ることができる。
弾性体31の他の例(その2)では、弾性体31のフランジ部312がX方向にハウジング20の縁部21まで延出している。ハウジング20の縁部21には段部21aが設けられており、弾性体31のフランジ部312が縁部21の段部21aの上に載置される。弾性体31の縁部21と対向する側面31aには凹部31bが設けられ、この凹部31bがハウジング20に設けられた凸部20aと係合して弾性体31の位置決めが行われる。また、ハウジング20の上からフレーム40を被せることで、フレーム40とハウジング20との間で弾性体31が挟み込まれる。弾性体31にフランジ部312が設けられていると、フレーム40とハウジング20との間でこのフランジ部312が挟み込まれ、弾性体31に横圧力が加わった際に弾性体31が外れることを効果的に防止することができる。
弾性体31の他の例(その3)では、弾性体31のフランジ部312がX方向にハウジング20の縁部21まで延出しているとともに、フランジ部312が縁部21の段部21aの上に載置される。弾性体31の他の例(その3)には凹部31bは設けられていないが、弾性体31の側面31aとハウジング20の内周面との当接、および縁部21の四隅に設けられた内向きの凸部21bと、フランジ部312の切り欠き部312bとの係合によって弾性体31の位置決めが行われる。弾性体31の他の例(その3)においても、ハウジング20の上からフレーム40を被せることで、フレーム40とハウジング20との間で弾性体31が挟み込まれる。弾性体31にフランジ部312が設けられていると、フレーム40とハウジング20との間でこのフランジ部312が挟み込まれ、弾性体31に横圧力が加わった際に弾性体31が外れることを効果的に防止することができる。
図21は、弾性体の他の例(その4)を用いた荷重センサ装置を例示する分解斜視図である。
図22は、弾性体の他の例(その4)を用いた荷重センサ装置を例示する断面図である。
図23は、弾性体の他の例(その4)を示す断面図である。
他の例(その4)に係る弾性体31Cは、金属によって形成されている。例えば、板状の金属を折り曲げることで弾性体31が形成される。
図25Aおよび図25Bは、比較例の弾性体を用いた荷重センサ装置の動作を例示する断面図である。
図24Aには、弾性体31Cを用いた荷重センサ装置1に荷重を印加する前の状態が示され、図24Bには、弾性体31Cを用いた荷重センサ装置1に荷重を印加した状態が示される。弾性体31Cの上にプレート50を接触させて荷重を印加すると、第1接触部3101の第1接触点CP1で受けた荷重は第2接触部3102の第2接触点CP2で接触する剛性押圧部32に印加される。
図26Aおよび図26Bは、集積回路を含む荷重センサ装置を例示する断面図である。
この荷重センサ装置1Cに用いられる集積回路70は、例えば荷重センサ素子10からの出力であるアナログ信号をデジタル信号に変換するASIC(Application Specific Integrated Circuit)である。集積回路70は信号変換以外の回路であってもよい。
図27は、蓋部を備えた荷重センサ装置の例を示す斜視図である。
図28は、蓋部を備えた荷重センサ装置の例を示す分解斜視図である。
図29は、蓋部を備えた荷重センサ装置の例を示す断面図である。
図30は、蓋部を備えた荷重センサ装置の例を示す拡大断面図である。
荷重センサ装置1Dは、押圧部材30のハウジング20とは反対側に配置された蓋部80を備える。この荷重センサ装置1Dのハウジング20には、剛性押圧部32の押圧方向(Z方向)と垂直な方向(X方向およびY方向)の動きを規制する規制部27が設けられる。具体的には、規制部27はハウジング20に設けられた孔であり、この孔内に荷重センサ素子10および押圧部材30(弾性体31、剛性押圧部32および弾性支持部33)が収容される。なお、荷重センサ装置1Dでは、弾性体31と剛性押圧部32との間に剛性プレート部60が設けられている。剛性プレート部60は必要に応じて設けるようにすればよい。
10…荷重センサ素子
11…受圧部
12…センサ基板
13…ベース基板
15…ボンディングワイヤ
20…ハウジング
20a…凸部
21…縁部
21a…段部
21b…凸部
22…収納部
23…段差部
23a…突起部
25…フック
27…規制部
30…押圧部材
31,31B,31C,31D…弾性体
31a…側面
31b…凹部
32…剛性押圧部
32B…弾性押圧部
33…弾性支持部
40…フレーム
40h…孔
50…プレート
60…剛性プレート部
70…集積回路
80…蓋部
81…凸部
85…ストッパ
121…変位部
122…ピエゾ抵抗素子
311…突出部
312…フランジ部
312b…切り欠き部
331…枠部
331h…位置決め用の孔
332…アーム部
332a…連結部分
3101…第1接触部
3102…第2接触部
3103…立片部
CP1…第1接触点
CP2…第2接触点
R1…プリストローク領域
R2…受力領域
d…隙間
S…空間
Claims (15)
- 受圧部を有する荷重センサ素子と、
前記荷重センサ素子を収納するハウジングと、
前記ハウジングに支持される押圧部材と、
を備え、
前記押圧部材は、
荷重を受ける弾性体と、
前記受圧部と接触する剛性押圧部と、
前記剛性押圧部を前記ハウジングに支持する弾性支持部と、を有し、
前記押圧部材に荷重が印加されていない状態では前記剛性押圧部と前記受圧部との間に隙間が設けられ、
前記剛性押圧部はシリコンであることを特徴とする荷重センサ装置。 - 受圧部を有する荷重センサ素子と、
前記荷重センサ素子を収納するハウジングと、
前記ハウジングに支持される押圧部材と、
を備え、
前記押圧部材は、
荷重を受ける弾性体と、
前記受圧部と接触する剛性押圧部と、
前記剛性押圧部を前記ハウジングに支持する弾性支持部と、を有し、
前記押圧部材に荷重が印加されていない状態では前記剛性押圧部と前記受圧部との間に隙間が設けられ、
前記弾性支持部は前記弾性体の一部であることを特徴とする荷重センサ装置。 - 受圧部を有する荷重センサ素子と、
前記荷重センサ素子を収納するハウジングと、
前記ハウジングに支持される押圧部材と、
を備え、
前記押圧部材は、
荷重を受ける弾性体と、
前記受圧部と接触する剛性押圧部と、
前記剛性押圧部を前記ハウジングに支持する弾性支持部と、を有し、
前記押圧部材に荷重が印加されていない状態では前記剛性押圧部と前記受圧部との間に隙間が設けられ、
前記弾性体は、
荷重を受ける第1接触点を含む第1接触部と、
前記剛性押圧部に接触する第2接触点を含む第2接触部と、
前記第1接触部と前記第2接触部との間に設けられ、前記第1接触部と前記第2接触部との間に空間を設けるための立片部と、を有し、
前記押圧部材に荷重が印加されると前記剛性押圧部からの抗力によって前記第2接触部が前記空間側に弾性変形することを特徴とする荷重センサ装置。 - 前記第1接触部、前記第2接触部および前記立片部は、金属の板材で一体化されている、請求項3に記載の荷重センサ装置。
- 前記剛性押圧部は金属である、請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
- 前記弾性支持部は板バネ部を有する、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
- 前記弾性体と前記剛性押圧部との間に剛性プレート部が設けられた、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
- 前記荷重センサ素子は、
前記受圧部で受けた荷重によって変位する変位部と、
前記変位部の変位量を電気的に検出する複数のピエゾ抵抗素子と、を有する請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。 - 前記弾性体は金属である、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
- 前記ハウジング内に収容され、前記荷重センサ素子を積載する集積回路をさらに備えた、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
- 前記ハウジングには、前記剛性押圧部の押圧方向と垂直な方向の動きを規制する規制部が設けられた、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
- 前記押圧部材の前記ハウジングとは反対側に配置され、前記弾性体に荷重を加える蓋部をさらに備えた、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
- 前記蓋部には、前記弾性体と接触する凸部が設けられた、請求項12記載の荷重センサ装置。
- 前記弾性体は前記凸部と一体に形成され、または前記弾性体は前記凸部と接続された、請求項13記載の荷重センサ装置。
- 前記蓋部と前記ハウジングとの相対的な距離の接近を規制するストッパをさらに備えた、請求項12から請求項14のいずれか1項に記載の荷重センサ装置。
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