JP4520195B2 - 接触式変位センサ - Google Patents
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Description
array)に形成された多数のはんだバンプの平均的な高さを測定するための接触式変位センサに関する。
21 基準面
22 凹凸面
23 はんだバンプ
20 測定対象
11 筐体(基準位置設定部材)
12,22,32 弾性体
13,23,33 センサ部
51 アクチュエータ部
52 制御部
Claims (11)
- 基準面及び凹凸面を有する測定対象の前記基準面に当接する基準位置設定部材と、
前記凹凸面に当接するとともに押圧によって当該凹凸面に沿って変形する弾性体と、
この弾性体と前記基準位置設定部材とを前記測定対象側の反対側で固定する固定部と、
前記凹凸面に当接する前記弾性体を押圧して前記基準位置設定部材が前記基準面に当接したときにおける当該弾性体の変形を測定するセンサ部と、
を備えた接触式変位センサ。 - 前記基準位置設定部材は前記弾性体の外周を囲む筐体である、
請求項1記載の接触式変位センサ。 - 前記弾性体の前記測定対象側の反対側に前記センサ部が設けられ、
前記筐体が前記弾性体及び前記センサ部の外周を囲む、
請求項1又は2記載の接触式変位センサ。
- 測定対象の凹凸面に当接するとともに押圧によって当該凹凸面に沿って変形する弾性体と、
前記凹凸面に当接する前記弾性体を押圧したときにおける当該弾性体の変形を測定するセンサ部と、
前記測定対象と前記弾性体との距離を自在に調整するとともに当該弾性体を押圧するアクチュエータ部と、
前記測定対象と前記弾性体との距離を測定する距離測定部と、
前記センサ部で測定された前記弾性体の変形に基づき前記アクチュエータ部の動作を制御する制御部と、
を備えた接触式変位センサ。 - 前記制御部は、前記センサ部で測定された前記弾性体の変形が一定になったときに、前記距離測定部で測定された前記測定対象と前記弾性体との距離を入力する、
請求項4記載の接触式変位センサ。
- 前記弾性体は、弾性係数の異なる複数の弾性体の積層構造からなる、
請求項1乃至5のいずれかに記載の接触式変位センサ。 - 前記センサ部は、前記弾性体の変形を圧力によって測定する圧力センサである、
請求項1乃至6のいずれかに記載の接触式変位センサ。 - 前記センサ部は、前記弾性体の変形を変位によって測定する変位センサである、
請求項1乃至6のいずれかに記載の接触式変位センサ。 - 前記センサ部は、前記変位を光によって測定する光学変位センサである、
請求項8記載の接触式変位センサ。
- 前記基準面が基板であり、前記凹凸面が当該基板上に形成された多数のはんだバンプである、
請求項1乃至3のいずれかに記載の接触式変位センサ。 - 前記凹凸面が基板上に形成された多数のはんだバンプである、
請求項5又は6記載の接触式変位センサ。
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JP2004102393A JP4520195B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 接触式変位センサ |
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2004
- 2004-03-31 JP JP2004102393A patent/JP4520195B2/ja not_active Expired - Fee Related
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