JP7444573B2 - 抵抗体材料、抵抗体材料の製造方法及び電流検出用抵抗器 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係る抵抗体材料について説明する。本実施形態に係る抵抗体材料は、銅と、マンガンと、を含有し、表面にマンガンの酸化膜が形成されている。
続いて、本発明の実施形態に係る抵抗体材料の製造方法について説明する。本実施形態に係る抵抗体材料の製造方法は、銅とマンガンとを含有する抵抗体材料に、酸素濃度が30ppm以下の雰囲気において、490℃以上750℃以下で10分間以上60分間以下の熱処理を行うというものである。
図1は、本発明の実施形態に係る抵抗体材料から作製された抵抗体10の一例を説明するための平面図である。
ρ=(V/I)×(S/Ld) [Ω・cm]
次に、マンガンの酸化膜を形成した上述の抵抗体材料を適用可能な電流検出用抵抗器の一例について、図3及び図4を用いて詳細に説明する。
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
<供試体T1>
供試体T1は、抵抗体材料として、マンガニンを用いた。すなわち、抵抗体材料の全質量比で、マンガンを10~12質量%含み、ニッケルを1~4質量%含み、銅を84~89質量%含む抵抗体材料に酸化膜を形成する熱処理を行うことなく使用した。当該抵抗体材料を板状に形成し、その後、ワイヤーカット加工によって、図1を用いて説明したものと同一形状の抵抗体を作製した。
供試体T3は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、470℃で20分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T3は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、490℃で10分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T4は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、490℃で20分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T5は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、500℃で1分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T6は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、500℃で5分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T7は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、500℃で10分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T8は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、500℃で20分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T9は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、500℃で40分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T10は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、500℃で60分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T11は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、600℃で60分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T12は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、650℃で60分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作成した。
供試体T13は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、700℃で60分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作成した。
供試体T14は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、750℃で60分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
供試体T15は、銅とマンガンとを含む抵抗体材料に、熱処理として、800℃で60分間の熱処理を行い、自然冷却した後、供試体T1と同様の方法により抵抗体を作製した。
<抵抗体の外観の観察>
上述した供試体T1~T15について、250℃で1000時間の条件で熱放置試験を行って、試験前後の外観状態の変化を観察した。各供試体の色を目視観察し、試験前の色(赤褐色)から変化がなかったもの、或いは、変化があっても赤褐色が確認できたものについては合格(良)と判定し、赤褐色が確認できず黒色に変化したものを不合格(不可)と判定した。また総合判定として、変色が認められたものを不可と判定し、固定抵抗器として、優れているものを「優」、良好なものを「良」、特定はやや劣るが使用可能なものを「可」とした。評価結果を第1表に示す。
日本電子株式会社製、製品名:オージェマイクロプローブ(型番:JAMP-9510F)を用いて、供試体として作製した抵抗体の元素比率を測定した。具体的には、抵抗体の最表面から厚さ方向に向けて、深さ約20nm毎に上記装置により表面分析を行った。検出された元素比率において、銅とマンガンの比率が逆転したときの深さが酸化膜の厚さに相当する。
抵抗温度係数(TCR)とは、抵抗体の温度変化による内部抵抗値の変化の割合を表すものであり、下記式により表される。
抵抗温度係数(ppm/℃)=(R-Ra)/Ra÷(T-Ta)×1000000
ここで、Ra:基準温度における抵抗値、Ta:基準温度、R:定常状態における抵抗値、T:定常状態になる温度である。本実施形態においては、基準温度は、25℃であり、定常状態になる温度は、60℃である。なお、マンガニンを使用した場合のTCRの許容範囲として、±100ppm/℃を「良」と「可」との境界に設定した。
熱処理を実行した供試体T1~T15のうち、供試体T8(500℃、20分加熱した例)と、供試体T14(750℃、60分加熱した例)と、酸化膜を形成していない比較例としての供試体T1のそれぞれについて、所定温度に所定時間放置する熱放置試験を行って、その前後における抵抗値の変化率を測定した。
抵抗値変化率(%)={(Rh-Ra)/Ra}×100
ここで、Raは、熱放置試験前における抵抗値であり、Rhは、熱放置試験後の抵抗値である。
抵抗体の外観、酸化膜の状態、及び抵抗温度係数の測定結果を第1表に示す。また、抵抗体の熱放置試験前後における抵抗値の測定結果を第2表に示す。
11 本体部
12 通電接続部
13 検出端子接続部
13a 第1端子部
13b 第2端子部
14 固定ネジ
14a 貫通孔
20 測定台
21 電流配線パターン
22 プローブ突出部
23 先端
30 抵抗値測定装置
100 電流検出用抵抗器
101 本体部
102 第一接続部
103 第二接続部
104 第一起立部
105 第二起立部
106,107 めっき層
Claims (8)
- 銅と、マンガンと、を含有し、
表面にマンガンの酸化膜が形成されており、
前記酸化膜の厚さが70nm以上であり、
前記酸化膜の厚さが抵抗体材料全体の厚みに対して1%以下である、
抵抗体材料。 - 請求項1に記載の抵抗体材料であって、
前記酸化膜はMnOを含む、抵抗体材料。 - 請求項1又は2に記載の抵抗体材料であって、
前記抵抗体材料の全質量比でマンガンを6質量%以上35質量%以下含む、抵抗体材料。 - 銅と、マンガンと、を含有し、表面にマンガンの酸化膜が形成されており、前記酸化膜の厚さが70nm以上であり、前記酸化膜の厚さが抵抗体材料全体の厚みに対して1%以下である抵抗体材料の製造方法であって、
前記銅と、前記マンガンと、を含有する抵抗体材料に、酸素濃度が30ppm以下の雰囲気において、490℃以上750℃以下で10分間以上60分間以下の熱処理を行う、抵抗体材料の製造方法。 - 請求項4に記載の抵抗体材料の製造方法であって、
前記酸素濃度は、5ppm以上30ppm以下である、抵抗体材料の製造方法。 - 請求項4又は5に記載の抵抗体材料の製造方法であって、
前記熱処理は、酸素濃度が30ppm以下の窒素雰囲気で行われる、抵抗体材料の製造方法。 - 銅と、マンガンと、を含有し、表面にマンガンの酸化膜が形成されており、前記酸化膜の厚さが70nm以上であり、前記酸化膜の厚さが抵抗体材料全体の厚みに対して1%以下である、
抵抗体材料からなる抵抗体を備えた電流検出用抵抗器。 - 請求項7に記載の電流検出用抵抗器であって、
前記酸化膜はMnOを含む、電流検出用抵抗器。
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