JP7439605B2 - プラズマ処理装置用電極板の製造方法及びプラズマ処理装置用電極板 - Google Patents
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Description
一方、電極板のガス孔加工には、ドリル、レーザ、ウォータージェット、放電加工などによる方法があるが、レーザ加工では深さ数mm(およそ5mm程度)までくらいしか空けられない。ウォータージェットによる孔加工ではガス孔の開口部の形状が良好に加工できない。放電加工は通電する素材でないと使用できない。これに対し、ドリル加工が加工性、多様性、品質的にも優れている。
この場合、12mmを超える長さの直線部に対して、下穴の長さは、5mm以下では第2ドリルによる加工負荷軽減の効果が少なくなるので、5mmを超える長さに形成するとよい。
なお、第2ドリルは、第1ドリルにより形成した下穴に同軸上に孔加工するのが好ましいが、両ドリルの直径差以内のわずかなずれは許容される。
図1は、本発明の実施形態に係るプラズマ処理装置用電極板の平面図である。
このプラズマ処理装置用電極板(以下、単に「電極板」とも称す。)11は、単結晶シリコン、柱状晶シリコン、又は多結晶シリコンにより、厚さtが12mmを超え30mm以下、直径200mm以上550mm以下の円板に形成された電極板本体12に、数mm~10mmピッチで複数(この場合、数百~1000個、少なくとも100個以上又は少なくとも500個以上、など)のガス孔21が例えば縦横に整列した状態で厚さ方向に平行に貫通するように形成されている。このガス孔21は、電極板本体12の厚さ方向に少なくとも12mmを超える長さの直線部22を有している。図2に示す例では、ガス孔21は、電極板本体12の厚さの全体にわたってストレート状に形成されている。したがって、本実施形態の直線部22は、ガス孔21の全部を構成しており、その長さが12mmを超えている。この直線部22は、直径dが0.5mm以上1.0mm以下で、真円度が0.01mm以下である。
また、ガス孔の形成にあっては、電極板本体12の一方の面から第1ドリル31で直線部22を形成する孔の直径の50%以上80%以下の直径の下穴23を電極板本体12の厚さの途中まで形成する下穴形成工程と、第2ドリル32で直線部22を下穴23に重ねて形成することによりガス孔21を形成する直線部形成工程と、を有する。
図3及び図4には、下穴形成工程で形成した下穴切削領域41を実線で示し、直線部形成工程で形成されるべき直線部切削領域42を鎖線で示している。この図3及び図4に示す例では、第2ドリル32は、下穴23を加工したときの第1ドリル31と同じ方向から下穴23と同軸で孔加工している。この直線部形成工程では、第2ドリル32は電極板本体12を貫通するまで孔加工する。したがって、直線部22は電極板本体12の全厚さにわたって形成される。
なお、第2ドリル32は、第1ドリル31により形成した下穴23に同軸上に孔加工するのが好ましいが、両ドリル31,32の直径差以内のわずかなずれは許容される。
(1)2本のドリルの外径を最終のガス孔を形成可能な同じ外径のものとし、第1のドリルで電極板本体の厚さの途中まで孔加工し、その孔の上から第2のドリルで2回目の孔加工をして電極板本体を貫通させる方法
(2)2本のドリルの外径を最終のガス孔を形成可能な同じ外径のものとし、第1のドリルで電極板本体の厚さの途中まで孔加工し、その孔の中に第2のドリルの先端部を挿入した状態で、2回目の孔加工をして電極板本体を貫通させる方法
しかしながら、これら(1)(2)の方法では、1回目の孔加工は短いドリルを使用することができるので、ドリルの折損のリスクは小さいが、1回目に加工した孔と、2回目に加工した孔とに位置ずれが生じ、孔の開口端に歪みが生じて、孔の真円度が低下し易い。また、2回目の孔加工でドリルに振れが生じることから、折損するリスクもある。
図5は、直線部22を加工するための第2ドリル32を下穴23の形成方向とは反対方向から形成する例を示している。第1ドリル31は、図3と同様、電極板本体12の一方の面から厚さ方向の途中まで孔加工して下穴23を形成する。これに対して、第2ドリル32は、電極板本体12の他方の面(一方の面とは反対側の面、又は一方の面と対向する面)から下穴23と同軸で電極板本体12を貫通するまで孔加工する。これにより、電極板本体12を貫通する直線部22が電極板本体12の全厚さにわたって形成される。したがって、形成されたガス孔21の形状は図3及び図4に示す加工の場合と同じであり、図2に示すようにストレート状となる。
図6は、図5と同様、下穴23に対して直線部22を電極板本体12の反対側から形成するが、この直線部22も下穴23の先端部に届く深さL2で電極板本体12の厚さの途中までとすることにより、下穴23と直線部22とが連通した段付き形状のガス孔211が形成されている。
この場合、下穴23は、電極板本体12の一方の面側から厚さ方向の途中まで形成された小径部24となる。直線部22は、電極板本体12の他方の面側から小径部24と同軸で、小径部24に連通して電極板本体12の厚さ方向の途中まで形成される大径部25となる。これにより、電極板本体12には、小径部24と大径部25とが繋がった段付き形状のガス孔211が形成される。
この例の方法では、まず、第1ドリル31(図7から図8には図示略、図3参照)で電極板本体12の一方の面から厚さ方向の途中まで形成した下穴切削領域41に対して、図7に示すように同じ方向から第2ドリル32で同軸に直線部22を長さL2の範囲で電極板本体12の厚さの途中まで形成する(図8参照)。そして、電極板本体12の他方の面から、直線部切削領域42に到達する深さで第3ドリル33により同軸に孔加工して図9に示す状態とする。図7から図9に示す例では、第3ドリル33の直径が第2ドリル32の直径より小さいことから、直線部22が大径部25で、第3ドリル33により形成した孔が小径部24となり、これらが電極板本体12の厚さの途中位置で連通した段付き形状のガス孔212となる。この場合も、直線部22が12mmを超える長さL2に形成される。
なお、図示は省略するが、第3ドリル33を第2ドリル32より小径としたが、第2ドリル32より大径の第3ドリルを用いて、直線部22に連通する孔を加工することにより、直線部22を小径部とし、第3ドリル33により形成した孔を大径部とすることも可能である。
厚さ20mmの電極板本体に、直径0.8mm狙いでストレートの孔を貫通状態に形成する。
(1)従来例加工方法A
直径0.8mm、切削長さ20mmのドリルで電極板本体の一方の面から一度に孔加工した。
(2)比較例加工方法A
直径0.8mm、切削長さ10mmのドリル(第1ドリル:比較例においても最初のドリルを第1ドリル、2番目のドリルを第2ドリルとする。以下、同様。)で電極板本体の一方の面から深さ10mmの下孔を加工した後、直径0.8mm、切削長さ20mmのドリル(第2ドリル)で電極板本体の一方の面から下穴を含むように深さ20mmの孔加工をして電極板本体を貫通させた。
(3)比較例加工方法B
直径0.8mm、切削長さ10mmのドリル(第1ドリル)で電極本体の一方の面から深さ10mmの下穴を加工した後、直径0.8mm、切削長さ20mmのドリル(第2ドリル)の先端部を下穴内に挿入し、深さ10mmの位置から深さ10mm分の孔加工をして電極板本体を貫通させた。
(4)実施例加工方法A
直径0.6mm、切削長さ10mmの第1ドリルで電極板本体の一方の面から深さ10mmの下穴を加工した後、直径0.8mm、切削長さ20mmの第2ドリルで電極板本体の一方の面から下穴を含むように深さ20mmの孔加工をして電極板本体を貫通させた。
これらの結果を表1に示す。従来例のドリル折損の評価は第1ドリルの欄に記載した(表2及び表3も同様)。
比較例A,Bとも5回中3回のテストでドリル(第2ドリル)の折損が生じ、孔径も狙いの孔径に対する誤差が大きく、真円度も悪いものであった。
これに対して、実施例Aの加工方法では、いずれのドリルも折損は認められず、加工された孔の孔径の誤差も小さく、小さい真円度の孔を加工することができた。
厚さ30mmの電極板本体に、直径0.8mm狙いでストレートの孔を貫通状態に形成する。
(1)従来例加工方法B
直径0.8mm、切削長さ30mmのドリルで電極板本体の一方の面から一度に孔加工した。
(2)比較例加工方法C
直径0.8mm、切削長さ10mmのドリル(第1ドリル)で電極板本体の一方の面から深さ10mmの下孔を加工した後、直径0.8mm、切削長さ30mmのドリル(第2ドリル)で電極板本体の一方の面から下穴を含むように深さ30mmの孔加工をして電極板本体を貫通させた。
(3)比較例加工方法D
直径0.8mm、切削長さ10mmのドリル(第1ドリル)で電極本体の一方の面から深さ10mmの下穴を加工した後、直径0.8mm、切削長さ30mmのドリル(第2ドリル)の先端部を下穴内に挿入し、深さ10mmの位置から深さ20mm分の孔加工をして電極板本体を貫通させた。
(4)実施例加工方法B
直径0.6mm、切削長さ10mmの第1ドリルで電極板本体の一方の面から深さ10mmの下穴を加工した後、直径0.8mm、切削長さ30mmの第2ドリルで電極板本体の一方の面から下穴を含むように深さ30mmの孔加工をして電極板本体を貫通させた。
これらの結果を表2に示す。
実施例Bの加工方法では、いずれのドリルも折損は認められず、加工された孔の孔径の誤差も小さく、小さい真円度の孔を加工することができた。このように、本発明の方法によれば、長さ30mmの直線部を有するガス孔の加工にも有効である。
厚さ13mmの電極板本体に、直径0.8mm狙いでストレートの孔を貫通状態に形成する。
(1)従来例加工方法C
直径0.8mm、切削長さ13mmのドリルで電極板本体の一方の面から一度に孔加工した。
(2)比較例加工方法E
直径0.8mm、切削長さ10mmのドリル(第1ドリル)で電極板本体の一方の面から深さ10mmの下孔を加工した後、直径0.8mm、切削長さ13mmのドリル(第2ドリル)で電極板本体の一方の面から下穴を含むように深さ13mmの孔加工をして電極板本体を貫通させた。
(3)比較例加工方法F
直径0.8mm、切削長さ10mmのドリル(第1ドリル)で電極本体の一方の面から深さ10mmの下穴を加工した後、直径0.8mm、切削長さ13mmのドリル(第2ドリル)の先端部を下穴内に挿入し、深さ10mmの位置から深さ3mm分の孔加工をして電極板本体を貫通させた。
(4)実施例加工方法C
直径0.6mm、切削長さ10mmの第1ドリルで電極板本体の一方の面から深さ10mmの下穴を加工した後、直径0.8mm、切削長さ13mmの第2ドリルで電極板本体の一方の面から下穴を含むように深さ13mmの孔加工をして電極板本体を貫通させた。
(5)実施例加工方法D
直径0.6mm、切削長さ13mmの第1ドリルで電極板本体の一方の面から深さ13mmの下穴(貫通)を加工した後、直径0.8mm、切削長さ13mmの第2ドリルで電極板本体の一方の面から下穴を含むように深さ13mmの孔加工をして電極板本体を作製した。
これらの結果を表3に示す。
実施例Cは、いずれのドリルにも折損がなく、孔径の誤差が小さく、真円度も小さかった。
実施例Dは、5回中、2回のテストで第1ドリルに折損が認められたが、孔径の誤差が小さく、真円度も小さかった。
12 電極板本体
21,211,212 ガス孔
22 直線部
23 下穴
24 小径部
25 大径部
31 第1ドリル
32 第2ドリル
41 下穴切削領域
42 直線部切削領域
Claims (6)
- 単結晶シリコン、柱状晶シリコン、又は多結晶シリコンからなる電極板本体の厚さ方向に少なくとも12mmを超える長さの直線部を有するガス孔を相互に平行に貫通状態に形成するプラズマ処理装置用電極板の製造方法において、前記電極板本体の一方の面から第1ドリルで前記直線部を形成する孔の直径の50%以上80%以下の直径の下穴を形成する下穴形成工程と、直径が第1ドリルの直径より大きい第2ドリルで前記下穴に重ねて前記直線部を形成する直線部形成工程と、を有し、前記下穴形成工程後に前記直線部形成工程を行うことを特徴とするプラズマ処理装置用電極板の製造方法。
- 前記下穴は前記電極板本体の厚さの途中まで形成することを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置用電極板の製造方法。
- 前記下穴は加工深さが5mmを超えることを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置用電極板の製造方法。
- 前記第2ドリルは、前記電極板本体の前記一方の面から孔加工することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置用電極板の製造方法。
- 前記第2ドリルは、前記電極板本体の他方の面から孔加工することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置用電極板の製造方法。
- 前記第2ドリルは、前記下穴に到達し、かつ前記電極板本体の厚さの途中まで前記直線部を形成することを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置用電極板の製造方法。
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