JP7439555B2 - 光学部材及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施態様による撥水性の光学部材を示す図である。図1に示す光学部材1は、基材10と、基材10の表面に形成された1層以上の緻密層20と、緻密層20の表面に形成された機能性膜30とを有する。
図1に示す基材10は平板状であるが、本発明はこれに限定されず、レンズ状でも良く、光学部材に用いる基材であれば適用可能である。例えば、表面に曲率を有するレンズ、プリズム、ライトガイド、フィルム又は回折素子でも良い。基材10は、波長587.56 nmのHe光源のd線(以下、単に「d線」とする。)に対して屈折率が1.45~2.75であるのが好ましい。
緻密層20は、1層以上の無機層からなるのが好ましい。無機層は、反射防止膜の誘電体膜として通常用いられる無機材料の酸化物の単体でも良いし、混合物又は化合物でも良い。例えば、SiO2、Al2O3、TiO2、ZrO2、ZnO、Ta2O5、Nb2O5、HfO2、CeO2、SnO2、In2O3、Y2O3、Pr6O11及びSb2O3からなる群から選ばれた少なくとも一種が挙げられる。
機能性膜30は、シリカナノ粒子31とメソポーラスシリカナノ粒子32から構成されている。図1に示すように、複数のシリカナノ粒子31と複数のメソポーラスシリカナノ粒子32が混在しながら結合しており、表面に微細な凹凸と内部に空隙を有する多孔質な機能性膜30を形成している。
(4-1) 無機層の形成方法
無機層20は、真空蒸着法やスパッタリング法等のPVD法やCVD法の乾式プロセス、ゾル-ゲル法やSOG(Spin on glass)等の湿式プロセスにより形成することができる。光学特性や経済性の面から、真空蒸着法が特に好ましい。
機能性膜30は、湿式法により形成するのが好ましく、特にゾル-ゲル法が好ましい。すなわち、シリカナノ粒子ゾルとメソポーラスシリカナノ粒子ゾルの混合液を作成し、かかる混合液を塗布、乾燥及び焼成することにより形成する。ゾル-ゲル法は、例えば、国際公開第2002/018982号、国際公開第2006/030848号、特開2006-3562号、特開2006-215542号、特開2007-94150号、特開2008-225210号、特開2008-233403号、特開2009-75583号、特開2009-258711号、「ジャーナル・オブ・ゾルゲル・サイエンス・アンド・テクノロジー(Journal of Sol-Gel Science and Technology)」,2000年,第18巻,219~224頁等に記載の方法により得ることができる。
(1) シリカナノ粒子ゾル
(a) アルコキシシラン
出発原料のアルコキシシランは、テトラアルコキシシランのモノマー又はオリゴマー(縮重合物)が好ましい。4官能のアルコキシシランを用いた場合、比較的大きな粒径を有するコロイド状シリカ粒子のゾルを得ることができる。テトラアルコキシシランは、Si(OR)4[Rは炭素数1~5のアルキル基(メチル、エチル、プロピル、ブチル等)、又は炭素数1~4のアシル基(アセチル等)]により表されるものが好ましい。テトラアルコキシシランの具体例としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、ジエトキシジメトキシシラン等が挙げられる。中でもテトラメトキシシラン及びテトラエトキシシランが好ましい。
有機溶媒としては、メタノール、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、1-ブタノール、2-ブタノール、tert-ブチルアルコール等のアルコールが好ましく、エタノール、2-プロパノール、1-ブタノールがより好ましい。
アルコキシシランに有機溶媒、酸性触媒及び水を添加することにより、加水分解重縮合が進行する。酸性触媒としては、塩酸、硝酸、硫酸、燐酸、酢酸等が挙げられる。酸性触媒を含有するゾルは10~90℃で約15分~24時間加熱・撹拌するのが好ましい。加熱・撹拌により加水分解重縮合が進行する。
表面にアルキルシリル基及び/又はアルケニルシリル基を有する表面修飾シリカナノ粒子ゾルを作成する方法として、アルコキシシランのシリカ骨格形成化合物からなる第一のゾルとアルキル基及び/又はアルケニル基が修飾されたアルコキシシランのシリカ骨格形成化合物からなる第二のゾルとが混合してなる混合液を用いる方法について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
(a) アルコキシシラン
出発原料は、アルキル基及び/又はアルケニル基が修飾されたアルコキシシランのモノマー又はオリゴマー(縮重合物)が好ましい。アルキル基及び/又はアルケニル基はアルコキシシランに1つ結合しても良いし、アルキル基に関しては2つ結合しても良い。
有機溶媒としては、メタノール、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、1-ブタノール、2-ブタノール、tert-ブチルアルコール等のアルコールが好ましく、エタノール、2-プロパノール、1-ブタノールがより好ましい。
アルコキシシランに有機溶媒、酸性触媒及び水を添加することにより、加水分解重縮合が進行する。酸性触媒としては、塩酸、硝酸、硫酸、燐酸、酢酸等が挙げられる。酸性触媒を含有するゾルは10~90℃で約15分~24時間加熱・撹拌するのが好ましい。加熱・撹拌により加水分解重縮合が進行する。
上記のようにして得られた第一のゾル及び第二のゾルを混合する。第一及び第二の酸性ゾルを混合した後、10~30℃の室温で10分~3時間程度撹拌するのが好ましい。
メソポーラスシリカナノ粒子ゾルは、(i) 溶媒、酸性触媒、アルコキシシラン、カチオン性界面活性剤及び非イオン性界面活性剤を含む混合溶液をエージングしてアルコキシシランを加水分解・重縮合させ、(ii) 得られたシリケートを含む酸性ゾルに塩基性触媒を添加することにより、非イオン性界面活性剤で被覆され、かつカチオン性界面活性剤をメソポーラスシリカナノ粒子の細孔内に有するメソポーラスシリカナノ粒子のゾルを調製し、(iii) 上記ゾル中のメソポーラスシリカナノ粒子を外包する非イオン性界面活性剤及びメソポーラスシリカナノ粒子の細孔内に内包されるカチオン性界面活性剤を除去した後、メソポーラスシリカナノ粒子を分離し、(iv) メソポーラスシリカ粒子を超音波分散法を用いて有機溶媒中に分散させることにより製造することができるが、本発明はこれに限定されない。
(a) 原料
(a-1) アルコキシシラン
アルコキシシランはモノマーでも、オリゴマーでも良い。アルコキシシランモノマーはアルコキシル基を3つ以上有するのが好ましい。アルコキシル基を3つ以上有するアルコキシシランを出発原料とすることにより、優れた均一性を有するメソポーラスシリカ多孔質膜が得られる。アルコキシシランモノマーの具体例としてはメチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等が挙げられる。アルコキシシランオリゴマーとしては、上述のモノマーの重縮合物が好ましい。アルコキシシランオリゴマーはアルコキシシランモノマーの加水分解・重縮合により得られる。アルコキシシランオリゴマーの具体例として、一般式RSiO1.5(ただしRは有機官能基を示す。)により表されるシルセスキオキサンが挙げられる。
(i) カチオン性界面活性剤
カチオン性界面活性剤としては4級アンモニウム塩が好ましく、ハロゲン化アルキルトリメチルアンモニウム、ハロゲン化アルキルトリエチルアンモニウム、ハロゲン化ジアルキルジメチルアンモニウム、ハロゲン化アルキルメチルアンモニウム、ハロゲン化アルコキシトリメチルアンモニウム等が挙げられる。ハロゲン化アルキルトリメチルアンモニウムとして、塩化ラウリルトリメチルアンモニウム、塩化セチルトリメチルアンモニウム、臭化セチルトリメチルアンモニウム、塩化ステアリルトリメチルアンモニウム、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、塩化ベヘニルトリメチルアンモニウム等が挙げられる。ハロゲン化アルキルトリメチルアンモニウムとして、塩化n-ヘキサデシルトリメチルアンモニウム等が挙げられる。ハロゲン化ジアルキルジメチルアンモニウムとして、塩化ジステアリルジメチルアンモニウム、塩化ステアリルジメチルベンジルアンモニウム等が挙げられる。ハロゲン化アルキルメチルアンモニウムとして、塩化セチルメチルアンモニウム、塩化ステアリルメチルアンモニウム、塩化ベンジルメチルアンモニウム等が挙げられる。ハロゲン化アルコキシトリメチルアンモニウムとして、塩化オクタデシロキシプロピルトリメチルアンモニウム等が挙げられる。また、4級アンモニウム塩においてハロゲンが臭素でも良い。この場合として、臭化セチルトリメチルアンモニウム、臭化テトラブチルアンモニウム、臭化テトラヘキシルアンモニウム、臭化テトラヘプチルアンモニウム、臭化デシルトリメチルアンモニウム、臭化テトラ-n-オクチルアンモニウム、臭化テトラプロピルアンモニウム、臭化テトラオクチルアンモニウム、臭化テトラデシルトリメチルアンモニウム、臭化ヘキサデシルトリメチルアンモニウム、臭化オクタデシルトリメチルアンモニウム、臭化ドデシルトリメチルアンモニウム、臭化デシルトリメチルアンモニウム、臭化オクチルトリメチルアンモニウム、臭化ヘキシルトリメチルアンモニウム。
非イオン性界面活性剤として、エチレンオキシドとプロピレンオキシドとのブロックコポリマー、ポリオキシエチレンアルキルエーテル等が挙げられる。エチレンオキシドとプロピレンオキシドとのブロックコポリマーとして、例えば式:RO(C2H4O)a-(C3H6O)b-(C2H4O)cR(但し、a及びcはそれぞれ10~120を表し、bは30~80を表し、Rは水素原子又は炭素数1~12のアルキル基を表す)で表されるものが挙げられる。このブロックコポリマーの市販品として、例えばPluronic(登録商標、BASF社)が挙げられる。ポリオキシエチレンアルキルエーテルとして、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル等が挙げられる。
(i) 酸性触媒
酸性触媒の例として塩酸、硫酸、硝酸等の無機酸やギ酸、酢酸等の有機酸が挙げられる。
塩基性触媒の例としてアンモニア、アミン、NaOH及びKOHが挙げられる。好ましいアミンの例としてアルコールアミン及びアルキルアミン(例えばメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、n-ブチルアミン、n-プロピルアミン等)が挙げられる。
溶媒としては純水を用いることができる。
(b-1) 酸性条件での加水分解・重縮合
純水に酸性触媒を添加して酸性溶液を調製し、カチオン性界面活性剤及び非イオン性界面活性剤の混合溶液を調製した後、アルコキシシランを添加し、加水分解・重縮合する。酸性溶液のpHは1~3とするのが好ましく、約2とするのがより好ましい。アルコキシシランのシラノール基の等電点は約pH2であるので、pH2付近では酸性溶液中でシラノール基が安定的に存在する。溶媒/アルコキシシランのモル比は30~300にするのが好ましい。このモル比を30未満とすると、アルコキシシランの重合度が高くなり過ぎる。一方300超とすると、アルコキシシランの重合度が低くなり過ぎる。
酸性ゾルに塩基性触媒を添加して溶液を塩基性にし、さらに加水分解・重縮合し、反応を完結させる。これによりメソポーラスシリカナノ粒子を含有する水系ゾルが得られる。溶液のpHは9~12となるように調整するのが好ましい。
(a) 非イオン性界面活性剤の除去
メソポーラスシリカナノ粒子32を外包する非イオン性界面活性剤を除去する。非イオン性界面活性剤が修飾されたメソポーラスシリカナノ粒子32を有機溶媒に分散させようとすると、水和された非イオン性界面活性剤がメソポーラスシリカナノ粒子32と有機溶媒との間を隔てて、メソポーラスシリカナノ粒子32が有機溶媒に分散しにくい。そのため非イオン性界面活性剤を除去することにより、メソポーラスシリカナノ粒子32の有機溶媒への分散性が向上する。
非イオン性界面活性剤が除去されたメソポーラスシリカナノ粒子32の細孔32a内に内包されるカチオン性界面活性剤を除去する。カチオン性界面活性剤の除去は塩酸/アルコール系混合溶液を用いて行うのが好ましい。具体的には、メソポーラスシリカナノ粒子32を含有する湿潤ゲルを塩酸/アルコール系混合溶液中に添加し、攪拌することにより、メソポーラスシリカナノ粒子32に内包されるカチオン性界面活性剤を抽出・除去する。得られた混合溶液を遠心分離した後、その上澄みを除去することにより、メソポーラスシリカナノ粒子32の湿潤ゲルが得られる。得られた湿潤ゲルをアルコール系溶媒に添加し、撹拌・遠心分離工程を複数回繰り返し洗浄することで、塩酸が洗浄・除去されたメソポーラスシリカナノ粒子32の湿潤ゲルが得られる。
得られたメソポーラスシリカナノ粒子32を超音波分散法を用いて有機溶媒中に分散させる。超音波照射は超音波ホモジナイザーを用いて行うことができる。超音波照射法は、発振周波数:10~30 kHz、照射出力:150~1200 W及び超音波処理時間:5~180分の条件下で、攪拌しながら氷浴中で行うのが好ましい。表面修飾されていないメソポーラスシリカナノ粒子は凝集し易く2次粒子を形成し易いという問題があるが、超音波照射を施すことにより、外的力を照射し粒子間のインタラクションを弱めて分散させることができる。メソポーラスシリカナノ粒子が有機溶媒中に分散しやすい理由としては、メソポーラスシリカナノ粒子が持つナノ粒子効果による影響が大きいと考えられる。従って、通常、シリカ粒子といった無機材料を有機溶媒中に分散する際、無機粒子表面にシランカップリング剤等の表面修飾を施し、表面改質をする必要があったが、本発明においては、その表面改質を必要とせず、有機溶媒中に多くのメソポーラスシリカナノ粒子32を分散することができる。
表面にアルキルシリル基及び/又はアルケニルシリル基を有する表面修飾メソポーラスシリカナノ粒子32を作成する場合、非イオン性界面活性剤とカチオン性界面活性剤が除去されたメソポーラスシリカナノ粒子32にさらに表面修飾を行っても良い。例えば、シランカップリング剤の加水分解物を作成し、非イオン性界面活性剤とカチオン性界面活性剤が除去されたメソポーラスシリカナノ粒子のゾルに、シランカップリング剤の加水分解物の水/メタノール溶液を添加し、超音波照射しながら強攪拌することにより、シランカップリング剤で表面修飾されたメソポーラスシリカナノ粒子の水/メタノール分散液(水系ゾル)が得られる。
得られたシリカナノ粒子ゾル及びメソポーラスシリカナノ粒子ゾルを混合し、塗工液を作製する。シリカナノ粒子ゾル及びメソポーラスシリカナノ粒子ゾルを混合した後、10~30℃の室温で10分~3時間程度撹拌するのが好ましい。
塗工液を基材の表面に塗布する方法としては、ディップコート法、スプレーコート法、スピンコート法、印刷法等が挙げられる。レンズのような三次元構造物に塗布する場合、ディップコート法が好ましい。ディップコート法における引き上げ速度は約0.1~10 mm/秒であるのが好ましい。塗工液中のシリカの濃度は0.05~10質量%が好ましい。
塗布膜の焼成条件は所望の空隙率及び撥水度に応じて適宜選択する。機能性膜の空隙率(屈折率)は、シリカゾルを成膜後に焼成して焼き固める温度で制御できる。またシリカゾルの焼成温度が高いと、水酸基の残留が小さくなり、撥水度が大きくなる。焼成温度は250~400℃であるのが好ましい。焼成温度が250℃未満であると、耐擦傷性及び撥水性が不十分である。焼成温度が400℃超であると、機能性膜の空隙率が小さくなり、屈折率が大きくなる上に、アルキルシリル基及び/又はアルケニルシリル基のアルキル基及び/又はアルケニル基の焼失が起こり、撥水効果が低減する。焼成温度は300~350℃であるのがより好ましい。
図3は本発明の他の実施態様による親水性の光学部材を示す図である。図3に示す光学部材2は、基材10と、基材10の表面に形成された緻密層20と、緻密層20の表面に形成された機能性膜40とを有する。
基材10及び緻密層20は第一の実施態様の基材10及び緻密層20と同じものを用いることができる。また第一の実施態様と同様に、緻密層20を形成しなくても良い。その場合、基材10の表面に機能性膜40を直接形成する。
機能性膜40は、シリカナノ粒子41とメソポーラスシリカナノ粒子42から構成されたシリカ微粒子膜43と、その表面に形成されたシラノール基とベタイン構造を有する親水性膜44とを備えている。シリカ微粒子膜43は、第一の実施態様の機能性膜30と同じものを用いることができる。ベタイン構造は、親水性ポリマーとして一般的に用いられるものであれば特に限定されないが、例えばベタイン基を含むメタクリル酸エステルが挙げられる。ベタイン基は、例えばカルボキシベタイン基が挙げられる。
(3-1) 無機層の形成方法
無機層20は第一の実施態様の無機層20と同様に形成することができる。
機能性膜40の形成方法は、例えば、第一の実施態様の機能性膜30と同様に、シリカナノ粒子41とメソポーラスシリカナノ粒子42から構成され、アルキルシリル基及び/又はアルケニルシリル基を有するシリカ微粒子膜を形成した後、外表面及びメソ孔にシラノール基を形成する工程を行う。シラノール基の形成方法は、例えば、シリカ微粒子膜の外表面に酸素プラズマを照射することにより、シリカナノ粒子41とメソポーラスシリカナノ粒子42の外表面及びメソ孔のSi-O-Siといったシロキサン結合のSi-O結合やアルキルシリル基及び/又はアルケニルシリル基のSi-C結合を切断し、そこに新たにシラノール基を形成する方法が挙げられる。なお、Si-O結合の結合エネルギーが101 kcal/molであるのに対し、Si-C結合の結合エネルギーは58~80 kcal/molと小さいため、Si-C結合が存在した方がシラノール基を形成しやすく好ましい。酸素プラズマは、例えばプラズマクリーナーを用いて、酸素を50~100cc/分の流量で供給しながら、10~100 Paの減圧下、100~1500 Wの照射強度で0.5~10分間酸素プラズマを照射するのが好ましい。なお、酸素以外にも窒素ガス及び/又はヘリウム、アルゴンといった希ガスを用いたプラズマを用いても良い。
100 mlの二口ナスフラスコにテトラエトキシシラン3.91 gとpH2の塩酸水溶液1.35 gを入れ、アリーン冷却器をつけて、60℃で2時間撹拌・還流した。得られたゾルに、エタノール4.62 gと2-プロパノール10.73 gを添加し10分間撹拌して、テトラエトキシシランが加水分解重合したゾルAを得た。続いて、新たに100 mlの二口ナスフラスコを用意し、そこにメチルトリエトキシシラン10.3 gとpH3の酢酸水溶液3.04 gを入れ、アリーン冷却器をつけて、60℃で2時間撹拌・還流した。得られたゾルに、エタノール1.08 g、2-プロパノール2.52 gを添加し10分間撹拌して、メチルトリエトキシシランが加水分解重合したゾルBを得た。これらとは別に、2-プロパノール64.71 gと1-ブタノール7.42 gを100 mlディスポビーカーに入れて撹拌し、予め撥水性シリカナノ粒子ゾルの展開溶媒を作製した。この展開溶媒に、上記で作製したゾルAを4.12 g、ゾルBを3.33 g添加して、更に10分間撹拌して、撥水性シリカナノ粒子ゾルを作製した。シリカナノ粒子のメジアン径は47.6 nmであった。
(1-2A-1) メソポーラスシリカナノ粒子分散液(水系ゾル)の作製
0.01 Nの塩酸(pH2)40gに、塩化n-ヘキサデシルトリメチルアンモニウム(CTAC:カチオン性界面活性剤、関東化学株式会社製)1.21g、及びブロックコポリマー HO(C2H4O)106-(C3H6O)70-(C2H4O)106-H(商品名「Pluronic F127」:非イオン性界面活性剤、Sigma-Aldrich社製)2.14 gを添加し、25℃で0.5時間撹拌し、テトラエトキシシラン(関東化学株式会社製)4.00 gを添加し、25℃で2時間撹拌した後、28質量%のアンモニア水(和光純薬工業株式会社製)3.94 gを添加してpHを10.8とし、25℃で0.5時間撹拌し、水系ゾルを得た。
得られた水系ゾルを20 ml採取し、エタノール(1級試薬、和光純薬工業株式会社製)80 mlと混合して強攪拌することで、水系ゾル中の非イオン性界面活性剤を抽出した。この溶液を遠心分離機(テーブルトップ遠心機2410、久保田商事株式会社製)を用いて4000 rpmで20分間遠心分離し、非イオン性界面活性剤が溶解した上澄みを除去した。この抽出・除去の工程を3サイクル実施し、カチオン性界面活性剤が内包されたメソポーラスシリカナノ粒子の湿潤物を得た。
上記で得られたメソポーラスシリカナノ粒子の湿潤物全量を35~37質量%の塩酸水溶液(和光純薬工業株式会社製):エタノール=10 ml:90 mlの混合溶液に添加し、18時間攪拌することで、メソポーラスシリカナノ粒子中に内包されるカチオン性界面活性剤を抽出した。この溶液を4000 rpmで20分間遠心分離し、カチオン性界面活性剤が溶解した上澄みを除去した。上澄みを除去した湿潤物にエタノールを添加し強攪拌することで塩酸を抽出し、この溶液を4000 rpmで20分間遠心分離することで塩酸が溶解した上澄みを除去した。この塩酸の除去工程を3サイクル実施しすることで、メソポーラスシリカナノ粒子の粒子表面に界面活性剤が修飾されておらず、細孔内にも界面活性剤が内包されていないメソポーラスシリカナノ粒子の湿潤物を得た。
酢酸(特級、富士フイルム和光純薬株式会社製)を水と混合しpH 4.00に調製した酸性溶液27.0gに、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(サイラエースS-710、JNC株式会社製)3.0 g及びメタノール(特級、富士フイルム和光純薬株式会社製)20.0 gを混合し、25℃で1.0時間攪拌してシランカップリング剤(サイラエースS-710)の加水分解物を得た。
メソポーラスシリカナノ粒子分散液(水系ゾル)の作製において撹拌時間を24時間にした以外、上述の工程[1-2A] と同様に、表面修飾メソポーラスシリカナノ粒子の分散液を作製した。表面修飾メソポーラスシリカナノ粒子(24時間撹拌ゾル)のメジアン径は54.4 nmであった。
(1-3A) 撥水性シリカナノ粒子ゾルと表面修飾メソポーラスシリカナノ粒子ゾル(2時間撹拌ゾル)との混合液の作製
工程[1-1] で作製した撥水性シリカナノ粒子ゾル30 mlと、工程[1-2A] で作製した表面修飾メソポーラスシリカナノ粒子ゾル(2時間撹拌ゾル)20 mlを混合し、撥水性シリカゾルAとした。撥水性シリカゾルAのメジアン径は63.6 nmであった。
工程[1-1] で作製した撥水性シリカナノ粒子ゾル30 mlと、工程[1-2B] で作製した表面修飾メソポーラスシリカナノ粒子ゾル(24時間撹拌ゾル)20 mlを混合し、撥水性シリカゾルBとした。撥水性シリカゾルBのメジアン径は72.5 nmであった。
[撥水性光学部材/ガラス基材+撥水性シリカゾルA]
BK7ガラス平板(直径:30 mm、屈折率:1.518)上に工程(1-3A) で作製した撥水性シリカゾルAを引き上げ速度にして5mm/secで2回ディップコート(重ね塗り)し、得られた成膜基材をイナートオーブンに投入し、330℃で1.5時間焼成して、撥水性光学部材を作製した。
[撥水性光学部材/ガラス基材+撥水性シリカゾルB]
撥水性シリカゾルAの代わりに工程(1-3B) で作製した撥水性シリカゾルBを用いた以外は実施例1と同様にして、撥水性光学部材を作製した。
[撥水性光学部材/ガラス基材+SiO2緻密層+撥水性シリカゾルB]
BK7ガラス平板(直径:30 mm、屈折率:1.518)上に、電子ビーム式の蒸着源を有する装置を用いて、真空蒸着法によりSiO2単層の緻密層を形成した。BK7ガラス平板単体の代わりにSiO2緻密層を有するBK7ガラス平板を用いた以外は実施例2と同様にして、撥水性光学部材を作製した。
[親水性光学部材/ガラス基材+撥水性シリカゾルB+LAMBIC-771W]
実施例2と同様に作製した撥水性光学部材を、プラズマクリーナー(PDC210、ヤマト科学株式会社製)に投入し、酸素を100 cc/分の流量で供給しながら、48 Paの減圧下、500 Wの照射強度で5分間酸素プラズマを照射した。このガラス基材を、親水膜形成用ゾルLAMBIC-771W(大阪有機化学工業株式会社製)を純水で2倍希釈した溶液中に18時間浸漬し、その後引き上げた基材を120℃で1時間加熱後、純水でリンスすることにより、親水性光学部材を作製した。
[親水性光学部材/ガラス基材+SiO2緻密層+撥水性シリカゾルB+LAMBIC-771W]
LF5ガラス平板(直径:30 mm、屈折率:1.585)を用いた以外は実施例3と同様にして、SiO2緻密層を有するLF5ガラス平板を作成した。BK7ガラス平板単体の代わりに、上記のSiO2緻密層を有するLF5ガラス平板を用いた以外は実施例4と同様にして、親水性光学部材を作製した。
[撥水性光学部材/ガラス基材+撥水性シリカナノ粒子]
BK7ガラス平板(直径:30 mm、屈折率:1.518)上に工程[1-1] で作製した撥水性シリカナノ粒子ゾルを引き上げ速度にして5mm/secで2回ディップコート(重ね塗り)し、得られた成膜基材をイナートオーブンに投入し、330℃で1.5時間焼成して、撥水性光学部材を作製した。
[撥水性光学部材/ガラス基材+SiO2緻密層+撥水性シリカナノ粒子]
BK7ガラス平板単体の代わりに、実施例2で作成したSiO2緻密層を有するBK7ガラス平板を用いた以外は比較例1と同様にして、撥水性光学部材を作製した。
[撥水性光学部材/ガラス基材+撥水性シリカナノ粒子+LAMBIC-771W]
比較例1と同様に作製した撥水性光学部材を、プラズマクリーナー(PDC210、ヤマト科学株式会社製)に投入し、酸素を100 cc/分の流量で供給しながら、48 Paの減圧下、500 Wの照射強度で5分間酸素プラズマを照射した。このガラス基材を、親水膜形成用ゾルLAMBIC-771W(大阪有機化学工業株式会社製)を純水で2倍希釈した溶液中に18時間浸漬し、その後引き上げた基材を120℃で1時間加熱後、純水でリンスすることにより、親水性光学部材を作製した。
[撥水性光学部材/ガラス基材+SiO2緻密層+撥水性シリカナノ粒子+LAMBIC-771W]
LF5ガラス平板(直径:30 mm、屈折率:1.585)を用いた以外は比較例2と同様にして、SiO2緻密層を有するLF5ガラス平板を作成した。BK7ガラス平板単体の代わりに、上記のSiO2緻密層を有するLF5ガラス平板を用いた以外は比較例3と同様にして、親水性光学部材を作製した。
実施例1~5及び比較例1~4で作製した光学部材について、分光反射率の測定を行った。分光反射率は、レンズ反射率測定機(USPM-RU、オリンパス株式会社製)を使用して、380~780 nmの波長域について入射角0°で測定した。得られた結果を図4~図12に示す。
実施例1~5及び比較例1~4で作製した光学部材のヘーズ値(曇価)をヘーズメーター(HM-150N、株式会社村上色彩技術研究所製)を用いて測定した。得られた結果を表1に示す。
実施例1~5及び比較例1~4で作製した光学部材の純水の接触角を接触角測定装置(協和科学株式会社製)を用いて測定した。得られた結果を表1に示す。
基材表面の機能性膜を、1kg/cm2の圧力をかけながら3600 mm/分の速度で20 mm×20 mmの不織布(商品名「スピックレンズワイパー」、小津産業株式会社製)で30回擦り、表面の傷を目視で確認し以下の基準で評価した。得られた結果を表1に示す。
<判定基準>
機能性膜の一部に傷は付いたが剥離はしなかった・・・○
機能性膜に傷が付き一部剥離または反射色が変化した・・・△
機能性膜が全部剥離した・・・×
基材表面の機能性膜の1cm×1cmの領域にセロハンテープを貼付した後、セロハンテープを45度方向に引っ張りながら剥離し、表面の剥離状況を目視で確認し以下の基準で評価した。得られた結果を表1に示す。
<判定基準>
機能性膜が全く剥離しなかった・・・○
機能性膜が一部剥離した・・・△
機能性膜が全部剥離した・・・×
実施例1~5及び比較例1~4で作製した光学部材について、60℃/90%RHの高温高湿環境下に48時間暴露し、それぞれの評価項目(反射分光特性、ヘーズ値、耐擦傷性、密着性、純水接触角)の耐湿試験前後の物性値変化を確認した。得られた結果を図4~図12及び表1に示す。
20・・・無機層
30,40・・・機能性膜
31,41・・・シリカナノ粒子
32,42・・・メソポーラスシリカナノ粒子
43・・・シリカ微粒子膜
44・・・親水性膜
Claims (16)
- 基材又はその表面に1層以上の緻密層が形成された基材と、前記基材又は前記緻密層の上に形成された機能性膜とを有する光学部材であって、
前記機能性膜は、非多孔質性で球状の複数のシリカナノ粒子と、メソ孔がヘキサゴナル状に配列した複数のメソポーラスシリカナノ粒子とが混在しながら結合していることを特徴とする光学部材。 - 請求項1に記載の光学部材において、アルキルシリル基及び/又はアルケニルシリル基を、前記シリカナノ粒子及び/又はメソポーラスシリカナノ粒子の表面に有する光学部材。
- 請求項1又は2に記載の光学部材において、前記機能性膜における前記シリカナノ粒子の前記メソポーラスシリカナノ粒子に対する質量比が1~20である光学部材。
- 請求項1~3のいずれかに記載の光学部材において、前記機能性膜の空隙率が5~25%であり、純水の接触角が80~120 degである光学部材。
- 請求項4に記載の光学部材において、40~80℃及び70~95%の高温高湿環境下に48時間以上曝した後の全てにおいて純水の接触角が80~120 degである撥水性光学部材。
- 請求項1~5のいずれかに記載の光学部材において、前記機能性膜の表面にベタイン構造を備える光学部材。
- 請求項6に記載の光学部材において、前記機能性膜の空隙率が5~25%であり、純水の接触角が15 deg未満である光学部材。
- 請求項7に記載の光学部材において、40~80℃及び70~95%の高温高湿環境下に48時間以上曝した後の全てにおいて純水の接触角が20 deg未満である光学部材。
- 請求項1~8のいずれかに記載の光学部材において、前記機能性膜の屈折率が1.35~1.50である光学部材。
- 請求項1~9のいずれかに記載の光学部材において、前記機能性膜の光学膜厚は35~150 nmである光学部材。
- 請求項1~10のいずれかに記載の光学部材において、前記メソポーラスシリカナノ粒子のメソ孔がヘキサゴナル状に配列している光学部材。
- 請求項1~11のいずれかに記載の光学部材において、前記シリカナノ粒子のメジアン径が100 nm以下である光学部材。
- 請求項1~12のいずれかに記載の光学部材において、前記メソポーラスシリカナノ粒子のメジアン径が100 nm以下であることを特徴とする光学部材。
- 請求項1~13のいずれかに記載の光学部材において、ヘーズ値が0.3%以下であることを特徴とする光学部材。
- 請求項1~14のいずれかに記載の光学部材を備える光学機器。
- 請求項15の光学機器を備える撮像装置。
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