JP7439430B2 - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
コイル部品及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7439430B2 JP7439430B2 JP2019173668A JP2019173668A JP7439430B2 JP 7439430 B2 JP7439430 B2 JP 7439430B2 JP 2019173668 A JP2019173668 A JP 2019173668A JP 2019173668 A JP2019173668 A JP 2019173668A JP 7439430 B2 JP7439430 B2 JP 7439430B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- pattern
- conductor
- conductor post
- magnetic element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 68
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 237
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 122
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 11
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 50
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 11
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 8
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 8
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 7
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012762 magnetic filler Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/32—Insulating of coils, windings, or parts thereof
- H01F27/327—Encapsulating or impregnating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/02—Casings
- H01F27/022—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
- H01F2017/048—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with encapsulating core, e.g. made of resin and magnetic powder
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
- H01F27/292—Surface mounted devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/046—Printed circuit coils structurally combined with ferromagnetic material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Description
図1は、本発明の第1の実施形態によるコイル部品1の外観を示す略斜視図である。また、図2は図1に示すA-A線に沿った略断面図であり、図3は図1に示すB-B線に沿った略断面図である。
図44は、本発明の第2の実施形態によるコイル部品2の構造を説明するための略断面図である。
図49は、本発明の第3の実施形態によるコイル部品3の構造を説明するための略断面図である。
10,20,30,40,50 導体層
11,12,21,22,31,32,41,42 電極パターン
11,21 電極パターン
61~65 絶縁層
61a,61b,62a~62e,63a~63e,64a~64e,65a~65d 開口部
71~74 ビア導体
80 支持体
81 基材
82 金属箔
83 絶縁層
84 金属箔
BP1~BP4 導体ポスト
C コイル部
CP1~CP4 コイルパターン
DP1~DP4 ダミーパターン
E1,E2 領域
M 磁性素体
R1~R6 レジストパターン
R7 レジスト膜
S1~S6 シード層
SL1~SL5 スリット
SP 空間
VP1~VP5 犠牲パターン
Claims (10)
- 磁性粉を含有する樹脂からなる磁性素体と、
前記磁性素体に埋め込まれたコイル部と、
前記磁性素体に埋め込まれ、下面が前記コイル部に接続され、上面が前記磁性素体から露出する導体ポストと、
前記導体ポストの側面と前記磁性素体の間に設けられた第1の部分及び前記導体ポストの前記下面と前記コイル部の間に設けられた第2の部分を含む第1の絶縁層と、
前記コイル部と前記磁性素体の間に設けられた第2の絶縁層と、を備え、
前記コイル部と前記導体ポストは、前記第1の絶縁層の前記第2の部分を貫通して設けられたビア導体を介して接続されており、
前記ビア導体は、前記導体ポストの前記下面と接する部分における径よりも、前記コイル部と接する部分における径の方が大きいことを特徴とするコイル部品。 - 前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層は、互いに同じ樹脂材料からなることを特徴とする請求項1に記載のコイル部品。
- 前記第1の絶縁層は、前記第2の絶縁層よりも膜厚が大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載のコイル部品。
- 前記第1の絶縁層は、前記導体ポストの熱膨張係数と前記磁性素体の熱膨張係数の間の熱膨張係数を持つ材料からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記導体ポストは、前記コイル部の一端に接続された第1の導体ポストと、前記コイル部の他端に接続された第2の導体ポストを含み、
前記磁性素体は、コイル軸方向における一方側に位置する第1の表面と、コイル軸方向における他方側に位置する第2の表面を有し、
前記第1の導体ポストは前記磁性素体の前記第1の表面から露出し、前記第2の導体ポストは前記磁性素体の前記第2の表面から露出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 前記第1の絶縁層は、前記第1の導体ポストと前記磁性素体の間に設けられることなく、前記第2の導体ポストと前記磁性素体の間に設けられていることを特徴とする請求項5に記載のコイル部品。
- 前記導体ポストは、前記コイル部の前記一端に接続された第3の導体ポストをさらに含み、
前記第3の導体ポストは前記磁性素体の前記第2の表面から露出することを特徴とする請求項5又は6に記載のコイル部品。 - 導体ポスト、第1の犠牲パターン、並びに、前記導体ポストと前記第1の犠牲パターンを分離する第1の絶縁層を含む第1層を支持体上に形成する工程と、
一端が前記導体ポストの一端に接続されたコイルパターン、前記第1の犠牲パターンに接続された第2の犠牲パターン、並びに、前記コイルパターンと前記第2の犠牲パターンを分離する第2の絶縁層を含む第2層を形成する工程と、
前記第1及び第2の犠牲パターンを除去することによって、前記コイルパターンの内径領域及び外側領域に空間を形成する工程と、
磁性粉を含有する樹脂からなる磁性素体を前記空間に形成する工程と、
前記導体ポストの他端を露出させる工程と、を備えることを特徴とするコイル部品の製造方法。 - 前記磁性素体を形成した後、前記コイルパターンの他端に接続された別の導体ポストを前記磁性素体から見て前記導体ポストとは反対側の面に形成する工程をさらに備えることを特徴とする請求項8に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記空間を形成する前に、前記コイルパターンの他端に接続された別の導体ポストを前記磁性素体から見て前記導体ポストとは反対側の面に形成する工程と、
前記導体ポストをレジスト膜で覆う工程と、をさらに備え、
前記空間を形成する工程は、前記導体ポストをレジスト膜で覆った状態で行うことを特徴とする請求項8に記載のコイル部品の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019173668A JP7439430B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | コイル部品及びその製造方法 |
PCT/JP2020/035927 WO2021060332A1 (ja) | 2019-09-25 | 2020-09-24 | コイル部品及びその製造方法 |
US17/762,216 US20220375681A1 (en) | 2019-09-25 | 2020-09-24 | Coil component and manufacturing method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019173668A JP7439430B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | コイル部品及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021052076A JP2021052076A (ja) | 2021-04-01 |
JP7439430B2 true JP7439430B2 (ja) | 2024-02-28 |
Family
ID=75158058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019173668A Active JP7439430B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | コイル部品及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220375681A1 (ja) |
JP (1) | JP7439430B2 (ja) |
WO (1) | WO2021060332A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7548201B2 (ja) | 2021-12-14 | 2024-09-10 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品およびインダクタ部品の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251590A (ja) | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インダクタンス部品の製造方法 |
JP2012253332A (ja) | 2011-05-31 | 2012-12-20 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | チップ型コイル部品 |
JP2015088753A (ja) | 2013-10-29 | 2015-05-07 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル部品とその製造方法、コイル部品内蔵基板、及びこれを含む電圧調節モジュール |
JP2017069523A (ja) | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品、パッケージ部品およびスィッチングレギュレータ |
JP2018170321A (ja) | 2017-03-29 | 2018-11-01 | Tdk株式会社 | コイル部品およびその製造方法 |
JP2020027820A (ja) | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 新光電気工業株式会社 | インダクタ及びインダクタの製造方法 |
-
2019
- 2019-09-25 JP JP2019173668A patent/JP7439430B2/ja active Active
-
2020
- 2020-09-24 US US17/762,216 patent/US20220375681A1/en active Pending
- 2020-09-24 WO PCT/JP2020/035927 patent/WO2021060332A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251590A (ja) | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インダクタンス部品の製造方法 |
JP2012253332A (ja) | 2011-05-31 | 2012-12-20 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | チップ型コイル部品 |
JP2015088753A (ja) | 2013-10-29 | 2015-05-07 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル部品とその製造方法、コイル部品内蔵基板、及びこれを含む電圧調節モジュール |
JP2017069523A (ja) | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品、パッケージ部品およびスィッチングレギュレータ |
JP2018170321A (ja) | 2017-03-29 | 2018-11-01 | Tdk株式会社 | コイル部品およびその製造方法 |
JP2020027820A (ja) | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 新光電気工業株式会社 | インダクタ及びインダクタの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220375681A1 (en) | 2022-11-24 |
JP2021052076A (ja) | 2021-04-01 |
WO2021060332A1 (ja) | 2021-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11328858B2 (en) | Inductor component and inductor-component incorporating substrate | |
JP6935343B2 (ja) | インダクタ部品およびその製造方法 | |
JP6024243B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
KR101538580B1 (ko) | 전자 부품 및 그 제조 방법 | |
CN108806950B (zh) | 线圈部件 | |
KR101983192B1 (ko) | 코일 전자부품 | |
KR101963287B1 (ko) | 코일 부품 및 그의 제조방법 | |
JP7362416B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
CN112908611B (zh) | 线圈部件 | |
JP7272357B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
US10199153B2 (en) | PCB inter-layer conductive structure applicable to large-current PCB | |
JP7439430B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JPH0413212A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
JP2019204835A (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP7471846B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP7124333B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
TWI842362B (zh) | 電路板及其製造方法與電感結構 | |
JP7326788B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP7180472B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP7557592B2 (ja) | コイル部品 | |
JP2023062848A (ja) | コイル部品 | |
JP2023062846A (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP2021180246A (ja) | インダクタ部品、インダクタ部品の製造方法及びインダクタ構造体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7439430 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |