JP7471846B2 - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
10,20,30,40 導体層
11,12,21,22,31,32,41,42 電極パターン
51~55 層間絶縁膜
51A 膜厚の厚い領域
51B 膜厚の薄い領域
51a 突出部
52a 開口部
55a 突出部
60 支持体
61 基材
62~65 金属箔
63a 突起部
70 支持体
C コイル部
CP1~CP4 コイルパターン
M1~M3 磁性素体
R1,R2 レジストパターン
S 空間
S1~S4 シード層
SL スリット
VP1~VP4 犠牲パターン
Claims (9)
- 複数の層間絶縁膜とスパイラル状に巻回された複数のコイルパターンが軸方向に交互に積層された構造を有するコイル部と、
前記コイル部を埋め込む磁性素体と、を備え、
前記複数のコイルパターンは、前記軸方向における一端に位置する第1のコイルパターンと、前記軸方向における他端に位置する第2のコイルパターンと、前記第1のコイルパターンと前記第2のコイルパターンの間に位置する1又は2以上の第3のコイルパターンとを含み、
前記第1、第2及び第3のコイルパターンは、いずれも、側面及び前記軸方向における前記一端側に位置する上面を有し、
前記複数の層間絶縁膜は、前記第1のコイルパターンの前記側面及び前記上面を覆う第1の層間絶縁膜と、前記第2のコイルパターンの前記側面及び前記上面を覆う第2の層間絶縁膜と、前記第3のコイルパターンの前記側面及び前記上面を覆う第3の層間絶縁膜とを含み、
前記磁性素体は、前記コイル部の内径領域に埋め込まれた第1の部分と、前記コイル部を前記軸方向における前記他端側から覆う第2の部分と、前記コイル部を前記軸方向における前記一端側から覆う第3の部分とを含み、
前記第1の層間絶縁膜は、前記第3の層間絶縁膜よりも透磁率が高く、
前記磁性素体は、前記第1の層間絶縁膜よりも透磁率が高く、
前記第1の層間絶縁膜は、前記磁性素体よりも絶縁性が高いことを特徴とするコイル部品。 - 前記第1の層間絶縁膜は、前記第2の層間絶縁膜よりも透磁率が高いことを特徴とする請求項1に記載のコイル部品。
- 前記第1の層間絶縁膜は、前記内径領域に突出する突出部を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載のコイル部品。
- 前記第1の層間絶縁膜は、樹脂材料に磁性フィラーが添加された磁性樹脂材料からなり、
前記磁性フィラーの最大粒径は、前記第1のコイルパターンのパターン間隔よりも小さいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 前記磁性フィラーは、平均粒径が1μm以下の金属磁性体からなるナノフィラーを含むことを特徴とする請求項4に記載のコイル部品。
- 前記第1のコイルパターンの断面は、前記軸方向における前記一端側に向かって細くなるテーパー形状を有していることを特徴とする請求項4又は5に記載のコイル部品。
- 前記コイル部は、前記第1のコイルパターンと同じ導体層に位置する電極パターンを含み、
前記電極パターンは、前記第1の層間絶縁膜と接し、且つ、前記磁性素体から露出していることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 前記複数の層間絶縁膜は、前記第2のコイルパターンを前記軸方向における前記他端側から覆う第4の層間絶縁膜をさらに有し、
前記第4の層間絶縁膜は、前記第2及び第3の層間絶縁膜よりも透磁率が高いことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 複数の層間絶縁膜とスパイラル状に巻回された複数のコイルパターンを軸方向に交互に積層することによってコイル部を形成する第1の工程と、
前記コイル部を磁性素体によって埋め込む第2の工程と、を備え、
前記複数のコイルパターンは、最初に形成する第2のコイルパターンと、最後に形成する第1のコイルパターンと、前記第2のコイルパターンを形成した後、前記第1のコイルパターンを形成する前に形成する1又は2以上の第3のコイルパターンとを含み、
前記第1、第2及び第3のコイルパターンは、いずれも、側面及び前記軸方向における一端側に位置する上面を有し、
前記複数の層間絶縁膜は、前記第1のコイルパターンの前記側面及び前記上面を覆う第1の層間絶縁膜と、前記第2のコイルパターンの前記側面及び前記上面を覆う第2の層間絶縁膜と、前記第3のコイルパターンの前記側面及び前記上面を覆う第3の層間絶縁膜とを含み、
前記第1の工程は、前記第2のコイルパターンの前記側面及び前記上面を前記第2の層間絶縁膜で覆う工程と、前記第3のコイルパターンの前記側面及び前記上面を前記第3の層間絶縁膜で覆う工程と、前記第1のコイルパターンの前記側面及び前記上面を前記第1の層間絶縁膜で覆う工程とを含み、
前記磁性素体は、前記コイル部の内径領域に埋め込まれた第1の部分と、前記コイル部を前記軸方向における他端側から覆う第2の部分と、前記コイル部を前記軸方向における前記一端側から覆う第3の部分とを含み、
前記第1の層間絶縁膜は、前記第3の層間絶縁膜よりも透磁率が高く、
前記磁性素体は、前記第1の層間絶縁膜よりも透磁率が高く、
前記第1の層間絶縁膜は、前記磁性素体よりも絶縁性が高いことを特徴とするコイル部品の製造方法。
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