JP7422526B2 - シリコーン層を含む積層体の切断方法 - Google Patents
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Description
工程(II):工程(I)で得られた積層体の切断予定面の内部または外部にレーザー光を照射する工程と、
工程(III):工程(II)の終了後、基材及び基材と密着した少なくとも一層のシリコーン層を含む積層体を個片化する工程と、
を少なくとも含む。
工程(II-1):切断予定面に対して平行な面内を通るレーザー光を照射する工程、または
工程(II-2):切断予定面内の一点以上に、少なくとも2以上のレーザー光を集光して焦点を形成する工程、
から選ばれる1以上のレーザー光を照射する工程であり、当該工程により、積層体の切断予定面が切断または改質されることを特徴とする。
工程(II-2-A):切断予定面内の少なくとも2点に、少なくとも2以上のレーザー光を集光して焦点を形成する工程、
であり、焦点のうち少なくとも一点が、シリコーン層の内部またはシリコーン層と基材との界面の近傍に形成されることを特徴とする。
12 基材
14 シリコーン層
16 ダイシングテープ
102、202、302 切断予定面
104、204、206、304、306 レーザー光
108、208 チップ
210、310、312 改質領域
Claims (10)
- 工程(I):基材及び、前記基材と密着した少なくとも一層のシリコーン層を積層させて積層体を得る工程と、
工程(II):前記工程(I)で得られた前記積層体の切断予定面の内部または外部表面にレーザー光を照射する工程と、
工程(III):前記工程(II)の終了後、前記基材及び前記基材と密着した少なくとも一層のシリコーン層を含む前記積層体を個片化する工程と、
を少なくとも含み、
前記シリコーン層の引張り強さが20MPa以下または、前記シリコーン層の破断伸びが100%以下である、シリコーン層を含む積層体の切断方法。 - 前記工程(II)が、
工程(II-1):前記切断予定面に対して平行な面内を通るレーザー光を照射する工程、または
工程(II-2):前記切断予定面内の一点以上に、少なくとも2以上のレーザー光を集光して焦点を形成する工程、
から選ばれる1以上のレーザー光を照射する工程であり、当該工程により、前記積層体の前記切断予定面が切断または改質されることを特徴とする、請求項1に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。 - 前記工程(II)が、
工程(II-2-A):前記切断予定面内の少なくとも2点に、それぞれ少なくとも1以上のレーザー光を集光して焦点を形成する工程、
であり、前記焦点のうち少なくとも一点が、前記シリコーン層の内部または前記シリコーン層と前記基材との界面の近傍に形成されることを特徴とする、請求項1に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。 - 前記工程(III)が、前記積層体を、切断面または前記切断予定面に対して垂直方向にダイシングテープを用いて引き延ばす方法により、前記積層体を個片化する工程である、請求項1に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。
- 前記シリコーン層が、(A1)硬化反応性シリコーン組成物、(A2)硬化反応が完了したシリコーン硬化反応物、(A3)硬化反応性を有するシリコーン硬化反応物及び、(A4)非硬化反応性シリコーンから選ばれるシリコーン層である、請求項1から4のいずれか一項に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。
- 前記シリコーン層が、(1)光学機能層、(2)接着剤層、(3)熱的機能層、(4)導電層、及び(5)応力緩和層から選ばれる1種類以上の機能を有する層である、請求項1から5のいずれか一項に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。
- 前記基材が、シリコンウェハ、ガラスウェハ、セラミック、サファイヤ、ゴム、熱可塑性樹脂及び熱伝導性板から選ばれる1種類以上である、請求項1から6のいずれか一項に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。
- 前記基材が電気回路を有する、請求項7に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。
- 前記基材及び、前記基材と密着した少なくとも一層の前記シリコーン層からなる構造単位を1または2以上含むシリコーン層を含む積層体である、請求項1から7のいずれか一項に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。
- 前記工程(I)が、真空ラミネーション、大気圧ラミネーション、ホットロールラミネーション、スピンコーティング、ダイコーティング、トランスファー成形、射出成型、及び圧縮成型から選ばれる1種類以上の工程により、前記基材と前記シリコーン層とを積層させる工程である、請求項1から8のいずれか一項に記載のシリコーン層を含む積層体の切断方法。
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