JP7408411B2 - 表面検査装置とその方法 - Google Patents
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Description
この種の表面検査装置は、明暗の照明パターンをシフトさせながら検査対象の表面に照射し、当該検査対象の表面を撮像して得られた複数の画像を用いて、反射光量の差や輝度の変化に基づき、検査対象の表面に対して欠陥の有無を検査する構成となっている(その検査原理については、例えば、非特許文献1及び2を参照)。
そこで、本発明者が実験したところ、マット面に対しては、照明パターンにおける明暗の帯状部の幅が狭いと、マット面での光の散乱により当該明暗の照明パターンが不明瞭となってしまい、複数の表面画像から反射光量の差や輝度の変化を明確に検出することができず、表面欠陥の有無を判別することが困難であった。
そのため、マット面に対しては、光の散乱による影響を抑えるために、照明パターンにおける明暗の帯状部の幅を広げる必要のあることが判明した。
検査対象の表面がマット面ではなく、鏡面の場合には、照明パターンにおける明暗の縞模様の境界が明瞭な線状に現れるため、平滑化処理を適正に行うことができず、その境界部分が傷との判別が困難なノイズとして差分画像に現れるおそれがある。
そこで、各帯状部の配列方向に向かって、輝度値をサイン波または三角波に対応して変化させることで、明暗の縞模様の境界がぼやけたパターン照明となる。これにより、検査対象の表面が鏡面であった場合にも、明暗の境界にノイズの生じない差分画像を得ることができ、各種の表面欠陥の有無を高精度に検査することが可能となる。
図1は、本実施形態に係る表面検査装置の概要を示す模式図である。
表面検査装置は、照明部1、撮像部2及びコンピュータ3を含む構成となっている。
FPGA12は、演算プログラムをハードウエアにより構築できる半導体集積回路であって、演算プログラム回路をユーザが自由に設定できるとともに、その後も自由に設定変更できることを特徴としている。さらに、FPGA12は、ハードウエアで構築された演算プログラムをもって演算処理を実行するために、ソフトウエアによる演算プログラムを読み出して演算処理を実行するマイコンに比べて、きわめて高速な演算処理を実現できる特徴を有している。
本実施形態に係る照明部1は、このFPGA12により液晶描画部10への照明パターンの描画処理を実行することで、照明パターンの高速な描画処理を実現している。
なお、照明パターンを描画するための照明部1の構成としては、FPGAを用いない構成のものであってもよい。
照明パターン14を形成する明るい帯状部Aの幅Daと暗い帯状部の幅Dbは、コンピュータ3からの制御信号により任意の寸法に設定される。既述したように、検査対象4の表面がマット面の場合には、これら明暗帯状部ABの幅Da,Dbを広く設定することが好ましい。
なお、細かいノイズ成分を無視する場合には、第2の平滑化処理を省略して、元の表面画像を第2の対比画像とすることもできる。すなわち、第2の対比画像の要件である「第1の対比画像よりも平滑化の程度が小さい」は、平滑化処理していない元の表面画像を含む概念である。
差分画像における輝度値の絶対値をとることで、照明パターン14の明暗帯状部ABが写り込んだ表面画像における画素毎の輝度値が平均的な値に平滑化された第1の対比画像を基準にして、第1の対比画像でプラスの輝度値(白色)となる明るい帯状部Aの写り込みエリアと、マイナスの輝度値(黒色)となる暗い帯状部Bの写り込みエリアとが、ほぼ同じ輝度値(絶対値)となる。したがって、照明パターン14の明暗帯状部ABの反射による縞模様を消去することができる。
コンピュータ3は、まず照明部1を制御して、照明部1の液晶描画部10に、明暗帯状部ABが交互に配列された縞模様の照明パターン14を描画し、そのパターン照明を検査対象4の表面に照射する(ステップS20)。次いで、撮像部2を制御して、撮像部2のピントを調整し、検査対象の表面に焦点を合わせ(ステップS21)、さらに撮像部2のシャッタースピードや絞りを調整して、明瞭な表面画像が得られるように露光時間を調整する(ステップS22)。
続いて、コンピュータ3は、既述した画像処理工程を実施して(図4参照)、積算画像(欠陥判別用画像)を取得する(ステップS24)。
例えば、照明部1から照射される照明パターン14は、図6(a)に示すように、明暗帯状部ABの配列方向に沿った輝度の変化が、矩形波状に輝度が変化するように明暗帯状部ABが形成されている。このように明暗帯状部ABの境界において、輝度が急激に変化した場合、検査対象の表面がマット面ではなく、鏡面の場合には、照明パターン14における明暗帯状部ABの反射による縞模様の境界が明瞭な線状に現れるため、既述した平滑化処理(図4参照)を適正に行うことができず、その境界部分が傷との判別が困難なノイズとして差分画像に現れるおそれがある。
10:液晶描画部、11:バックライト、12:FPGA、14:照明パターン、
Claims (4)
- 明度の異なる明るい帯状部と暗い帯状部とが交互に配列されたパターンの照明を検査対象の表面に照射する照明部と、
前記検査対象の表面を撮像して当該検査対象の表面画像を得る撮像部と、
前記照明部および撮像部を制御する制御部と、
前記撮像部で得られた表面画像を画像処理して、前記検査対象の表面に存在する欠陥を明瞭化する画像処理部と、を備え、
前記制御部は、前記照明部を制御して、前記各帯状部を配列方向へ移動させた複数パターンの照明を形成し、当該複数パターンの照明を前記検査対象に照射するとともに、前記撮像部を制御して、前記複数パターンの照明毎に前記検査対象の表面を撮像し、複数の表面画像を得る機能を有しており、
前記画像処理部は、前記複数の表面画像について、それぞれ平滑化処理した第1の対比画像と、前記第1の対比画像よりも平滑化の程度が小さい第2の対比画像との差分画像を得るとともに、それら複数の表面画像についての各差分画像の輝度値の絶対値を積算した積算画像を得る機能を有していることを特徴とする表面検査装置。 - 前記照明部は、前記各帯状部の配列方向に沿って輝度値がサイン波または三角波に対応して変化するパターンの照明を、前記検査対象の表面に照射する構成であることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 明度の異なる明るい帯状部と暗い帯状部とが交互に配列されたパターンについて、当該各帯状部を配列方向へ移動させた複数パターンの照明を形成し、これら複数パターンの照明毎に検査対象の表面を撮像して複数の表面画像を得る撮像工程と、
前記複数の表面画像について、それぞれ平滑化処理した第1の対比画像と、前記第1の対比画像よりも平滑化の程度が小さい第2の対比画像との差分画像を得るとともに、それら複数の表面画像についての各差分画像の輝度値の絶対値を積算した積算画像を得て、当該積算画像により前記検査対象の表面に存在する欠陥を明瞭化する画像処理工程と、を含むことを特徴とする表面検査方法。 - 前記撮像工程において、前記各帯状部の配列方向に沿って輝度値がサイン波または三角波に対応して変化するパターンの照明を、前記検査対象の表面に照射することを特徴とする請求項3に記載の表面検査方法。
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