JP7406738B1 - プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品 - Google Patents
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Abstract
Description
[1]
プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートと、
酢酸と、
水と、
を含む、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品であって、
前記酢酸の含有量が、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品100質量%に対して、5ppm以上50ppm以下であり、
前記水の含有量が、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品100質量%に対して、20ppm以上250ppm以下である、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
[2]
前記酢酸の含有量と前記水の含有量との比が、酢酸の含有量(ppm)/水の含有量(ppmとして、0.01以上1.50以下である、[1]に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
[3]
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートのピークの相対保持時間を1.00としたとき、相対保持時間が0.65以上0.70以下の範囲に現れるピークの面積率が260ppm以下である、[1]又は[2]に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL
[4]
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、酢酸エチルのピークの面積率が12ppm以下である、[1]~[3]のいずれかに記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL
[5]
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートのピークの相対保持時間を1.00としたとき、相対保持時間が0.37以上0.44以下の範囲に現れるピークの面積率が12ppm以下である、[1]~[4]のいずれかに記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL
[6]
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、2-アセトキシ-1-プロパノールのピークの面積率が20ppm以下である、[1]~[5]のいずれかに記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL
[7]
半導体の製造に用いられる、[1]~[6]のいずれかに記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
本実施形態のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品(以下「PMA製品」ともいう。)は、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテート(以下「PGMEA」ともいう。)と、酢酸と、水と、を含む、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品であって、前記酢酸の含有量が、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品100質量%に対して、5ppm以上50ppm以下であり、前記水の含有量が、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品100質量%に対して、20ppm以上250ppm以下である(すなわち、PMA製品は、「PMA組成物」と換言することもできる。)。本実施形態のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品は、保存安定性に優れる。
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品の長期保存においては、PGMEAが分解され、不純物が生成されることが、保存安定性に影響する要因の1つと考えられる。PGMEAのようなカルボン酸エステルが分解する原因として、例えば、加水分解が挙げられる。一般に、酸及び水が存在する場合、カルボン酸エステルは加水分解し、カルボン酸とアルコールとなる。また、酸の含有量が多い場合に、カルボン酸エステルはより加水分解する傾向にあると考えられている。しかしながら、本実施形態のPMA製品において、酢酸及び水の含有量が上記範囲内であることで、PGMEAの加水分解により生成し得るアルコール類と、PGMEAのアセチル基との、エステル交換が抑制される結果、前述の傾向とは異なり、PGMEAの加水分解が抑制されると考えられる。
ただし、上記は、本実施形態のPMA製品が保存安定性に優れる一要因として考え得るものに過ぎず、本実施形態の作用機序はこれに限定されない。
電子材料としては、特に限定されないが、例えば、液晶ディスプレイ(LCD)や半導体デバイス等が挙げられる。本実施形態のPMA製品は、保存安定性に優れることから、半導体デバイスの製造に用いられることが好ましい。
半導体デバイスの製造に係る用途の具体例としては、特に限定されないが、例えば、洗浄液(例えば、レジスト剥離後の基板表面等を洗浄する処理液等)、プリウェット液(例えば、レジスト溶剤の消費量を削減するためにレジスト塗布前に使用される処理液等)、レジスト溶剤(例えば、感光剤や樹脂を溶かすための処理液等)、現像液(例えば、ネガ型レジストの露光後、可溶性樹脂を除去するための処理液等)、剥離液(例えば、エッチング後、硬化したレジストの除去に用いられる処理液等)等が挙げられる。本実施形態のPMA製品は、半導体デバイス製造における製品不良を防止する観点から、レジスト溶剤、プリウェット液、ネガ型レジスト塗布時に用いるエッジリンス(ウエーハの外周部のレジストの除去のためのリンス)及びバックリンス(ウエーハの裏面のレジストの除去のためのリンス)の溶剤、ネガ型レジスト現像時に用いる現像液、ネガ型レジストの現像後リンス時に用いるリンス液、エッチング後のレジスト除去のために用いる洗浄液ないしリンス液等に用いることが好ましい。
本実施形態のPMA製品におけるプロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートは、例えば、次のガスクロマトグラフィー(以下「GC」ともいう。)分析により、同定及び定量することができる。
(ガスクロマトグラフィー分析)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL
本実施形態のPMA製品におけるPGMEAの含有量は、本実施形態のPMA製品の用途に応じて適宜決定することができ、特に限定されないが、高純度が要求される用途に供する観点からは、GC分析の結果得られるチャートの総ピーク面積に対するピークの面積率として、99.95%以上であることが好ましく、99.96%以上であることがより好ましく、99.97%以上であることが更に好ましい。本実施形態において、「総ピーク面積」とは、GC分析の結果得られるチャートに現れる全てのピークの面積の合計を意味する。本実施形態において、「全てのピーク」は、例えば、PGMEAのピークの相対保持時間を1.00としたとき、相対保持時間が0.14から2.95まで分析を継続して停止した場合に現れるピークの全てを意味するものとして特定することができる。
本実施形態のPMA製品には、酢酸が含まれる。本実施形態のPMA製品における酢酸の含有量は、保存安定性の観点から、本実施形態のPMA製品100質量%に対して、5ppm以上50ppm以下であり、5ppm以上45ppm以下であることが好ましく、5ppm以上40ppm以下であることがより好ましい。
上記含有量は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
上記含有量は、例えば、後述する塩基処理を実施した後、酢酸を適宜添加すること等により、上述した範囲に調整することができる。また、上記含有量は、例えば、塩基処理と脱水処理の条件(例えば、処理時間等)を適宜変更すること等により、上述した範囲に調整することもできる。
本実施形態のPMA製品には、水が含まれる。本実施形態のPMA製品における水の含有量は、保存安定性の観点から、本実施形態のPMA製品100質量%に対して、20ppm以上250ppm以下であり、23ppm以上230ppm以下であることが好ましく、25ppm以上230ppm以下であることがより好ましい。
上記含有量は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
上記含有量は、例えば、後述する脱水処理を実施した後、水を適宜添加すること等により、上述した範囲に調整することができる。また、上記含有量は、例えば、脱水処理の条件(例えば、処理時間等)を適宜変更すること等により、上述した範囲に調整することもできる。
本実施形態において、保存安定性の観点から、本実施形態のPMA製品における、酢酸の含有量と水の含有量との比は、本実施形態のPMA製品100質量%に対する酢酸の含有量(ppm)/本実施形態のPMA製品100質量%に対する水の含有量(ppm)として、0.01以上1.50以下であることが好ましく、0.02以上1.25以下であることがより好ましく、0.05以上1.10以下であることが更に好ましい。
本実施形態のPMA製品は、保存安定性の観点から、下記試験に供した後に、前述したGC分析に供した場合、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートのピークの相対保持時間を1.00としたとき、相対保持時間が0.65以上0.70以下の範囲に現れるピーク(このピークに対応する物質を「成分A」ともいう。)の面積率が260ppm以下であることが好ましく、220ppm以下であることがより好ましく、200ppm以下であることが更に好ましい。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
上記面積率は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
上記面積率は、例えば、後述する塩基処理及び/又は脱水処理を実施した後、酢酸及び/又は水を適宜添加すること等により、上述した範囲に調整することができる。また、上記面積率は、例えば、塩基処理及び/又は脱水処理の条件(例えば、処理時間等)を適宜変更すること等により、上述した範囲に調整することもできる。
本実施形態のPMA製品は、保存安定性の観点から、前述した試験に供した後に、前述したGC分析に供した場合、酢酸エチルのピークの面積率が12ppm以下であることが好ましく、10ppm以下であることがより好ましく、9ppm以下であることが更に好ましい。
上記面積率は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
上記面積率は、例えば、後述する塩基処理及び/又は脱水処理を実施した後、酢酸及び/又は水を適宜添加すること等により、上述した範囲に調整することができる。また、上記面積率は、例えば、塩基処理及び/又は脱水処理の条件(例えば、処理時間等)を適宜変更すること等により、上述した範囲に調整することもできる。
本実施形態のPMA製品は、保存安定性の観点から、前述した試験に供した後に、前述したGC分析に供した場合、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートのピークの相対保持時間を1.00としたとき、相対保持時間が0.37以上0.44以下の範囲に現れるピーク(このピークに対応する物質を「成分B」ともいう。)の面積率が12ppm以下であることが好ましく、10ppm以下であることがより好ましく、8ppm以下であることが更に好ましい。
上記面積率は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
上記面積率は、例えば、後述する塩基処理及び/又は脱水処理を実施した後、酢酸及び/又は水を適宜添加すること等により、上述した範囲に調整することができる。また、上記面積率は、例えば、塩基処理及び/又は脱水処理の条件(例えば、処理時間等)を適宜変更すること等により、上述した範囲に調整することもできる。
本実施形態のPMA製品は、保存安定性の観点から、前述した試験に供した後に、前述したGC分析に供した場合、2-アセトキシ-1-プロパノールのピークの面積率が20ppm以下であることが好ましく、18ppm以下であることがより好ましく、16ppm以下であることが更に好ましい。
上記面積率は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
上記面積率は、例えば、後述する塩基処理及び/又は脱水処理を実施した後、酢酸及び/又は水を適宜添加すること等により、上述した範囲に調整することができる。また、上記面積率は、例えば、塩基処理及び/又は脱水処理の条件(例えば、処理時間等)を適宜変更すること等により、上述した範囲に調整することもできる。
上記面積率は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
上記面積率は、例えば、後述する塩基処理及び/又は脱水処理を実施した後、酢酸及び/又は水を適宜添加すること等により、上述した範囲に調整することができる。また、上記面積率は、例えば、塩基処理及び/又は脱水処理の条件(例えば、処理時間等)を適宜変更すること等により、上述した範囲に調整することもできる。
本実施形態のPMA製品の製造方法としては、特に限定されないが、次の方法(以下「製法A」ともいう。)が好ましい。製法Aは、PGMEAを含む第1の生成物を得る工程(a)と、第1の生成物を蒸留して第2の生成物を得る工程(b)と、第2の生成物を塩基処理に供して第3の生成物を得る工程(c)と、第3の生成物を蒸留して第4の生成物を得る工程(d)と、第4の生成物を脱水処理に供してPMA製品を得る工程(e)と、を含むことが好ましい。また、PMA製品中の酢酸及び水の量は、工程(c)及び工程(e)により調整することができるが、さらに、工程(e)を経て得られた生成物に酢酸及び/又は水を添加してPMA製品を得る工程(f)を含んでもよい。
工程(a)においては、PGMEAを含む第1の生成物を得る。工程(a)は、従来公知の方法に基づいてPGMEAを製造する操作を含むことができる。PGMEAの製造方法としては、特に限定されないが、例えば、中国特許出願公開第1515537号に記載の方法等が挙げられる。具体的には、PMと酢酸との直接エステル化反応を実施すること等により製造することができる。第1の生成物には、PGMEAを製造するための反応に用い得る原料、触媒、副生成物等が含まれていてもよい。
工程(b)においては、第1の生成物を蒸留して第2の生成物を得る。蒸留の具体的な操作としては、特に限定されず、例えば、常圧蒸留や減圧蒸留等が挙げられ、かかる蒸留を繰り返し実施してもよい。この工程では、第1の生成物に含まれ得る、PGMEAを製造するための反応に用い得る原料、触媒、副生成物等を除去することができる。蒸留の条件としては、特に限定されないが、例えば、中国特許出願公開第1515537号に記載の条件等を参照して実施することができる。第2の生成物に含まれる酢酸及び水の量は、第2の生成物を100質量%として、それぞれ、50ppm超及び250ppm超であってもよい。
工程(c)においては、第2の生成物を塩基処理に供して第3の生成物を得る。塩基処理の条件としては、第2の生成物に含まれる酢酸の量を低減できる条件であることが好ましく、特に限定されないが、例えば、協和化学工業(株)製のキョーワード500(登録商標)による塩基処理に供すること等が挙げられる。このとき、例えば、処理時間等を調整することで、第3の生成物に含まれる酢酸の量を調整することができる。
工程(d)においては、第3の生成物を蒸留して第4の生成物を得る。蒸留の具体的な操作としては、特に限定されず、例えば、減圧蒸留等が挙げられ、かかる蒸留を繰り返し実施してもよい。この工程では、第3の生成物に含まれ得る、無機物を除去することができる。蒸留の条件としては、特に限定されないが、例えば、中国特許出願公開第1515537号に記載の条件等を参照して実施することができる。
工程(e)においては、第4の生成物を脱水処理に供してPMA製品を得る。脱水処理の条件としては、第4の生成物に含まれる水の量を低減できる条件であることが好ましく、特に限定されないが、例えば、窒素バブリングによる脱水処理に供すること等が挙げられる。このとき、例えば、処理時間等を調整することで、PMA製品に含まれる水の量を調整することができる。
工程(f)においては、工程(e)を経て得られた生成物に酢酸及び/又は水を添加してPMA製品中の酢酸及び/又は水の量を調整することができる。酢酸及び/又は水の添加量としては、特に限定されないが、例えば、所望とするPMA製品中の酢酸の含有量C1及び水の含有量C2と、工程(e)を経て得られた生成物中の酢酸の含有量C1’及び水の含有量C2’との差分に基づいて決定することができる。各含有量は、後述する実施例に記載の方法に基づいて測定することができる。
(工程(a))
中国特許出願公開第1515537号に記載の方法を参照し、PGMEAを含む第1の生成物を合成した。すなわち、PMと酢酸との直接エステル化反応により、PGMEAを含む第1の生成物を得た。
次いで、蒸留塔にPGMEAを含む第1の生成物を導き、常圧蒸留を実施した。すなわち、還流比を1~9として、まず未反応原料等を留去し、次いでPGMEAを含む画分を回収した。
(ガスクロマトグラフィー分析)
分析装置:島津製作所社製 Nexis GC-2030
分析カラム:Agilent Technologies製 DB-WAX(固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム)
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL
上記のGC分析において、PGMEAの含有量は、GC分析の結果得られるチャートの総ピーク面積に対するPGMEAのピークの面積百分率として算出した。また、酢酸の含有量は、GC分析により、内標準法(内標準物質:ビフェニル)で算出した。
以下の実施例及び比較例においても、上記と同様に酢酸及び水の量を確認することとした。
上記で得られた第2の生成物(100質量%)に対して、協和化学工業(株)製のキョーワード500(登録商標)を0.05質量%添加し、60分間撹拌して、酢酸を吸着除去した。これをADVANTEC製 PTFEメンブレンフィルター(型式:T020A047A、孔径:0.20μm)でろ過することで第3の生成物を得た。
次いで、蒸留塔に第3の生成物を導き、蒸留塔内の真空度を-0.08MPa(ゲージ圧)とし、蒸留塔内の温度が110℃以下となるように制御し、還流比を1~6として、塔頂(98~100℃)の画分を第4の生成物として得た。
第4の生成物に、木下理化工業製 木下式ボールフィルター(型番:501G-1、フィルター径:10mm、フィルター孔:100~120μm)を通した窒素を3~5L/分で90分間バブリングし、脱水処理を行い、実施例1のPMA製品を得た。PMA製品に含まれる酢酸及び水の量は、PMA製品を100質量%として、それぞれ、5ppm及び55ppmであった。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析装置:Nexis GC-2030(島津製作所製)
分析カラム:DB-WAX(Agilent Technologies製;固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム)
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL
実施例1における工程(c)の攪拌時間を45分間に変更したこと、及び、実施例1における工程(e)のバブリングの時間を100分間に変更したことを除き、実施例1と同様にして、実施例2のPMA製品を得た。かかるPMA製品を、実施例1と同様の試験に供した後、実施例1と同様のガスクロマトグラフィー分析に供した。分析結果の詳細を表1に示す。
実施例1における工程(c)の攪拌時間を40分間に変更したこと、及び、実施例1における工程(e)のバブリングの時間を30分間に変更したことを除き、実施例1と同様にして、実施例3のPMA製品を得た。かかるPMA製品を、実施例1と同様の試験に供した後、実施例1と同様のガスクロマトグラフィー分析に供した。分析結果の詳細を表1に示す。
実施例1における工程(c)の攪拌時間を25分間に変更したこと、及び、実施例1における工程(e)のバブリングの時間を80分間に変更したことを除き、実施例1と同様にして、実施例4のPMA製品を得た。かかるPMA製品を、実施例1と同様の試験に供した後、実施例1と同様のガスクロマトグラフィー分析に供した。分析結果の詳細を表1に示す。
実施例1における工程(c)の攪拌時間を60分間に変更したこと、及び、実施例1における工程(e)のバブリングの時間を120分間に変更したことを除き、実施例1と同様にして、比較例1のPMA製品を得た。かかるPMA製品を、実施例1と同様の試験に供した後、実施例1と同様のガスクロマトグラフィー分析に供した。分析結果の詳細を表1に示す。
実施例1における工程(c)の攪拌時間を45分間に変更したこと、及び、実施例1における工程(e)のバブリングの時間を120分間に変更したことを除き、実施例1と同様にして、比較例2のPMA製品を得た。かかるPMA製品を、実施例1と同様の試験に供した後、実施例1と同様のガスクロマトグラフィー分析に供した。分析結果の詳細を表1に示す。
実施例1における工程(c)の攪拌時間を5分間に変更したこと、及び、実施例1における工程(e)のバブリングの時間を110分間に変更したことを除き、実施例1と同様にして、比較例3のPMA製品を得た。かかるPMA製品を、実施例1と同様の試験に供した後、実施例1と同様のガスクロマトグラフィー分析に供した。分析結果の詳細を表1に示す。
Claims (7)
- プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートと、
酢酸と、
水と、
を含む、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品であって、
前記酢酸の含有量が、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品100質量%に対して、5ppm以上50ppm以下であり、
前記水の含有量が、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品100質量%に対して、20ppm以上250ppm以下である、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。 - 前記酢酸の含有量と前記水の含有量との比が、酢酸の含有量(ppm)/水の含有量(ppmとして、0.01以上1.50以下である、請求項1に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
- 前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートのピークの相対保持時間を1.00としたとき、相対保持時間が0.65以上0.70以下の範囲に現れるピークの面積率が260ppm以下である、請求項1に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL - 前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、酢酸エチルのピークの面積率が12ppm以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL - 前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートのピークの相対保持時間を1.00としたとき、相対保持時間が0.37以上0.44以下の範囲に現れるピークの面積率が12ppm以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL - 前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を、下記試験に供した後に、下記条件のガスクロマトグラフィー分析に供した場合、2-アセトキシ-1-プロパノールのピークの面積率が20ppm以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
(試験)
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品を硼珪酸ガラス製容器内で、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、5日間保持する。
(ガスクロマトグラフィー分析の条件)
分析カラム:固定相がポリエチレングリコールであり、長さ30m×内径0.25mm×膜厚0.25μmであるカラム
昇温条件:50℃で10分間保持した後、5℃/minで250℃まで昇温
試料導入温度:250℃
キャリアガス:窒素
カラムのガス流量:1.0mL/min
検出器及び検出温度:水素炎イオン化検出器、250℃
制御モード:カラム流量
スプリット比:50:1
注入量:2.0μL - 半導体の製造に用いられる、請求項1~3のいずれか1項に記載のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート製品。
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