JP7403101B2 - 酸化ガリウム結晶育成用るつぼ - Google Patents
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Description
細種子るつぼは異形をなすことから、拡径部が小径部の上端に溶接によって接合され、また大径部が拡径部の上部に溶接によって接合されることにより形成される。
しかし、Rhは結晶中に溶け込み易いことから、Rhの比率はできる限り下げて使用したい。しかし、下げすぎると融点が低下し、るつぼが融解してしまう可能性がある。Rhの比率を上げるとるつぼの融点は上がるが、材料自身の硬度が増すことで、溶接が容易でなくなり、溶接不十分により融液漏れが発生するおそれがある。
前記るつぼ上部の肉厚を0.1~0.2mm、前記るつぼ下部の肉厚を0.15~0.3mmとすることができる。
前記拡径部の上部が、一定径の筒部に形成され、筒状の前記大径部が前記筒部に溶接されるようにすると、溶接が容易、確実にできる。
この場合、前記るつぼ上部における前記ロジウムの組成割合を15~30wt%、前記るつぼ下部における前記ロジウムの組成割合を10~25wt%とすると好適である。
図1は、細種子るつぼ10の端面図である。
るつぼ10は、垂直ブリッジマン法(VB法)もしくは垂直温度勾配凝固法により、大気雰囲気中において酸化ガリウム(β-Ga2O3)の単結晶を育成するためのるつぼであり、白金を主組成とする、白金-ロジウム合金製である。
結晶育成装置そのものは、例えば特開2017-193466号公報に示される大気雰囲気下での結晶育成装置を用いることができる。
本実施の形態では、るつぼ上部18の肉厚がるつぼ下部12の肉厚より薄くなるようにした他は図1のるつぼの形態と同じである。
るつぼ上部18の肉厚を例えば0.1~0.2mm、るつぼ下部12の肉厚を例えば0.15~0.3mmとすることができる。
るつぼ上部18におけるロジウムの組成割合を15~30wt%、るつぼ下部12におけるロジウムの組成割合を10~25wt%程度とすると好適である。
β-Ga2O3の融解実験から、β-Ga2O3は約1795℃で完全融解する。したがって、融点が1768℃のPtは、β-Ga2O3を融解・保持するるつぼの材料には適用できないことは明らかである。しかしながら、図3に示すように2wt%以上のRhを含むPtRh合金の融点は、β-Ga2O3の融点を超えるから、理論的にはβ-Ga2O3の融液を保持するるつぼとして使用し得る。
また、Rhの含有量は20wt%程度で、当該るつぼの融点は1900℃程度となり、高い融点となることから、直径100mm程度の結晶育成も行える。
なお、PtRh合金るつぼにおいて、Rhの含有量が多すぎるとRhが溶け出すという問題が起こるので、Rhの含有量は30 wt%以下とするのがよい。
るつぼ材料として、高融点となるRhの含有量が30 wt%となるPtRh合金を用いた場合、上記のように、β-Ga2O3結晶育成は良好に行える。
一方、融液中へのRhの溶け出しを抑えるためには、るつぼ上部18におけるRh含有量を少なくしたいが、すると融点が下がるので、上記のように、結晶成長原理や育成する結晶の大きさ、さらには結晶育成条件によってるつぼ上部18の組成を決定するようにする。
この場合、硬度の高いるつぼ上部を破壊するには、るつぼの肉厚が大きいと破壊しにくい。
そこで、本実施の形態では、るつぼ上部18の肉厚をるつぼ下部12の肉厚より薄くし、これにより結晶を取り出し易くしている。
上記のように、るつぼ下部12におけるRhの含有量を少なくすることによる溶接のし易さと相俟って、るつぼ下部12の肉厚を厚くすることにより、るつぼ上部18とるつぼ下部12との溶接をさらに容易にし、溶接の信頼性を高めて、クラックや孔あきを防止し、融液漏れを低減できる。
VB炉内において一方向凝固β-Ga2O3結晶の育成を試みた。
るつぼは、図1、図2に示するつぼであって、るつぼ上部18の内径53mm、高さ50mmのるつぼをそれぞれ2個用意した。組成比(wt)は、いずれもるつぼ上部18のPt/Rhが70/30、るつぼ下部12のPt/Rhが80/20とした。図1の2つのるつぼを実施例1.図2の2つのるつぼ(本実施の形態に係るるつぼ)を実施例2とする。
比較例のるつぼとして、るつぼ上部18とるつぼ下部12の組成比がいずれもPt/Rhが70/30であり、厚さがるつぼ上部18およびるつぼ下部12共に0.2mmのるつぼを2個用意した。
一方、比較例のものは、1個はクラックのないβ-Ga2O3の単結晶体が得られたが、もう一つのるつぼは、るつぼ上部18とるつぼ下部12の溶接部(Bの部位)において融液漏れが生じ、良好な結晶を得ることができなかった。
図5は、実施例2の2つのるつぼの内の1つのるつぼであって、結晶育成後で結晶取出し前のるつぼの状態を示す写真である。融液漏れが生じていないことがわかる。
実施例2のるつぼ(本実施の形態に係るるつぼ)の方が、実施例1のものよりるつぼ上部18の厚さが薄いので、るつぼの剥がしが容易で、結晶が取出し易かった。
12 るつぼ下部
14 小径部
16 拡径部
18 るつぼ上部
20 大径部
Claims (5)
- 白金を主組成とする白金とロジウムとの合金製であり、垂直ブリッジマン法もしくは垂直温度勾配凝固法により、酸化ガリウム結晶を育成するためのるつぼであって、
前記るつぼの上部と下部が溶接によって接合され、
前記るつぼ上部の肉厚が前記るつぼ下部の肉厚より薄く形成されていることを特徴とする酸化ガリウム結晶育成用るつぼ。 - 前記るつぼ上部の肉厚が0.1~0.2mm、前記るつぼ下部の肉厚が0.15~0.3mmであることを特徴とする請求項1記載の酸化ガリウム結晶育成用るつぼ。
- 前記るつぼ下部が、種子結晶が収まる有底筒状の小径部と該小径部の上端に溶接によって接合され上方に向けて拡径して延びる拡径部よりなり、前記るつぼ上部が、前記拡径部の上部に溶接によって接合されて上方に筒状に延びる大径部からなることを特徴とする請求項1または2記載の酸化ガリウム結晶育成用るつぼ。
- 前記拡径部の上部が、一定径の筒部に形成され、筒状の前記大径部が前記筒部に溶接されていることを特徴とする請求項3記載の酸化ガリウム結晶育成用るつぼ。
- 1795℃以上の温度領域で使用するためのるつぼであることを特徴とする請求項1~4いずれか1項記載の酸化ガリウム結晶育成用るつぼ。
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