JP7401387B2 - 腐食環境モニタリング装置 - Google Patents
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- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title claims description 117
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 title claims description 109
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 title claims description 106
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 221
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 156
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 156
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims description 79
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 24
- 239000003518 caustics Substances 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 139
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 15
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 12
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 101000743264 Homo sapiens RNA-binding protein 6 Proteins 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102100038150 RNA-binding protein 6 Human genes 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 101150089360 rsm7 gene Proteins 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100139860 Arabidopsis thaliana RL1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100139865 Arabidopsis thaliana RL6 gene Proteins 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 101000743268 Homo sapiens RNA-binding protein 7 Proteins 0.000 description 1
- 101000668140 Homo sapiens RNA-binding protein 8A Proteins 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100038149 RNA-binding protein 7 Human genes 0.000 description 1
- 102100039691 RNA-binding protein 8A Human genes 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052946 acanthite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- -1 copper Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- XUARKZBEFFVFRG-UHFFFAOYSA-N silver sulfide Chemical compound [S-2].[Ag+].[Ag+] XUARKZBEFFVFRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940056910 silver sulfide Drugs 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N17/00—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N17/00—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light
- G01N17/04—Corrosion probes
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- G01N17/00—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Environmental Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
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Description
まず、本実施例を説明する前に、図1、図2、図3、図4を使用し、従来例の腐食環境モニタリング装置を説明する。
(1)絶縁板4と、環境中に存在する腐食性ガス10に対して腐食し難く、抵抗温度変化が小さい材料からなるベース金属薄膜2と、ベース金属薄膜2を支持部材として、ベース金属薄膜2上の全領域に形成され、腐食性ガス10に対して腐食し易い材料からなるコの字型のセンシング金属薄膜3と、からなるセンサチップ20、
(2)センサチップ20を形成する基板5、
(3)基板5を内包し、側面方向(一方面)にガス通路8の開口部7を有し、一方面の開口部7の面以外の他方面を封止することにより、内部に腐食性ガス10のガス通路8を形成する筐体6、
(4)センサチップ20の両端に形成され、電気抵抗値を測定する引出電極9。
(1)絶縁板4と、絶縁板4上に形成され、環境中に存在する腐食性ガス10(例えば、SO2、NO2、H2S、S8などの腐食性物質)に対して腐食し難く、抵抗温度変化が小さい材料からなるベース金属薄膜2と、ベース金属薄膜2を支持部材として、ベース金属薄膜2上に形成され、腐食性ガス10に対して腐食し易い材料からなり、ベース金属薄膜2上の一部領域(2つの長辺部3a及び3b)に形成される計測部材であるセンシング金属薄膜3(厚さが1μm以下)と、からなるセンサチップ(積層体)20、
(2)センサチップ20を形成する基板5、
(3)センサチップ20を内包し、側面方向(一方面)に開口部7(幅が10mm以下、高さが5mm以下)を有し、一方面の開口部7の面以外の他方面を封止することにより、内部に腐食性ガス10のガス通路8を形成する筐体6、
(4)センサチップ20の両端に形成され、電気抵抗値を測定する引出電極9。
(1)絶縁板4上に、ベース金属薄膜2を、スパッタリング又はめっきにより形成する。
(2)次に、センシング金属薄膜3が形成される領域(短辺部の両側であって、開口部7側からガス通路8の奥行き側に向けて、所定の幅を有して形成される2つの長辺部)以外に、マスキングを施し、センシング金属薄膜3を、スパッタリング又はめっきにより形成する。
(1)絶縁板4上に、ベース金属薄膜2とセンシング金属薄膜3とを、スパッタリング又はめっきにより形成する。
(2)次に、センシング金属薄膜3が形成される領域(短辺部の両側であって、開口部7側からガス通路8の奥行き側に向けて、所定の幅を有して形成される2つの長辺部)に、マスキングを施し、センシング金属薄膜3を、エッチングにより除去する。なお、エッチングでは、ベース金属薄膜2に不活性であり、センシング金属薄膜3のみに活性である溶液を使用する。
Claims (5)
- 絶縁板と、絶縁板上に前記絶縁板に接して形成され、腐食性物質に対して腐食し難いベース金属薄膜と、ベース金属薄膜上に前記ベース金属薄膜に接して形成され、腐食性物質に対して腐食し易いセンシング金属薄膜と、を有する積層体と、
前記積層体を内包し、側面方向に開口部を有し、内部に前記腐食性物質のガス通路を形成する筐体と、
を有する腐食環境モニタリング装置であって、
前記ベース金属薄膜は、開口部側に所定の幅を有して形成される短辺部と、前記短辺部の両側に前記開口部側から前記ガス通路の奥行き側に向けて所定の幅を有して形成される2つの長辺部と、を有し、
前記センシング金属薄膜は、前記ベース金属薄膜の短辺部上を除き、2つの長辺部上のみに形成されることを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1に記載する腐食環境モニタリング装置であって、
前記センシング金属薄膜は、前記開口部側に先鋭部が形成され、
前記先鋭部は、前記センシング金属薄膜の幅又は高さが、前記開口部側から前記ガス通路の奥行き側に向けて、連続的又は段階的に大きくなる領域であることを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 絶縁板と、絶縁板上に前記絶縁板に接して形成され、腐食性物質に対して腐食し難いベース金属薄膜と、ベース金属薄膜上に前記ベース金属薄膜に接して形成され、腐食性物質に対して腐食し易いセンシング金属薄膜と、を有する積層体と、
前記積層体を内包し、側面方向に開口部を有し、内部に前記腐食性物質のガス通路を形成する筐体と、
を有する腐食環境モニタリング装置であって、
前記ベース金属薄膜は、開口部側に所定の幅を有して形成される短辺部と、前記短辺部の両側に前記開口部側から前記ガス通路の奥行き側に向けて所定の幅を有して形成される2つの長辺部と、を有し、
前記センシング金属薄膜は、前記ベース金属薄膜の短辺部上及び2つの長辺部上に形成され、前記ベース金属薄膜の短辺部上のみに、腐食性物質に対して腐食し難い被覆薄膜が形成されることを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1に記載する腐食環境モニタリング装置であって、
前記絶縁板上に形成される前記ベース金属薄膜及び前記ベース金属薄膜上に形成される前記センシング金属薄膜の前記2つの長辺部の前記開口部側に、前記ガス通路の奥行き側の領域に比較して、前記ベース金属薄膜及び前記センシング金属薄膜の幅が狭い先端部が形成されることを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1に記載する腐食環境モニタリング装置であって、
前記開口部側の領域に形成されるガス通路の断面積が、前記ガス通路の奥行き側の領域に形成されるガス通路の断面積に比較して、断面積が大きいことを特徴とする腐食環境モニタリング装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020075851A JP7401387B2 (ja) | 2020-04-22 | 2020-04-22 | 腐食環境モニタリング装置 |
US17/918,142 US20230134944A1 (en) | 2020-04-22 | 2021-02-16 | Corrosive environment monitoring device and corrosive environment monitoring method |
CN202180030212.2A CN115427784A (zh) | 2020-04-22 | 2021-02-16 | 腐蚀环境监测装置和方法 |
PCT/JP2021/005682 WO2021215091A1 (ja) | 2020-04-22 | 2021-02-16 | 腐食環境モニタリング装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020075851A JP7401387B2 (ja) | 2020-04-22 | 2020-04-22 | 腐食環境モニタリング装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021173568A JP2021173568A (ja) | 2021-11-01 |
JP2021173568A5 JP2021173568A5 (ja) | 2023-03-02 |
JP7401387B2 true JP7401387B2 (ja) | 2023-12-19 |
Family
ID=78270542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020075851A Active JP7401387B2 (ja) | 2020-04-22 | 2020-04-22 | 腐食環境モニタリング装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230134944A1 (ja) |
JP (1) | JP7401387B2 (ja) |
CN (1) | CN115427784A (ja) |
WO (1) | WO2021215091A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114660159B (zh) * | 2022-03-21 | 2024-04-05 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种减缓醋酸乙烯装置精馏系统腐蚀的方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2003294606A (ja) | 2002-04-02 | 2003-10-15 | Masahiro Kitada | 環境評価方式およびそれを用いた環境評価装置 |
WO2017061182A1 (ja) | 2015-10-07 | 2017-04-13 | 株式会社日立製作所 | 腐食環境モニタリング装置及び方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE783143A (fr) * | 1972-05-05 | 1972-09-01 | Centre Rech Metallurgique | Dispositif pour essais de corrosion atmospherique. |
JP5798955B2 (ja) * | 2012-03-13 | 2015-10-21 | 株式会社日立製作所 | 腐食環境モニタリング装置 |
JP6362920B2 (ja) * | 2014-05-16 | 2018-07-25 | 株式会社日立製作所 | 腐食環境モニタリング装置及び方法 |
CN109073533B (zh) * | 2016-04-08 | 2021-03-05 | 株式会社日立制作所 | 腐蚀环境监测装置 |
JP6893168B2 (ja) * | 2017-12-25 | 2021-06-23 | 株式会社日立製作所 | 腐食環境モニタリング装置及び腐食診断装置 |
US11754490B2 (en) * | 2019-09-05 | 2023-09-12 | Dell Products L.P. | System and method for sensing corrosion in an enclosure of an information handling system |
-
2020
- 2020-04-22 JP JP2020075851A patent/JP7401387B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-16 CN CN202180030212.2A patent/CN115427784A/zh active Pending
- 2021-02-16 WO PCT/JP2021/005682 patent/WO2021215091A1/ja active Application Filing
- 2021-02-16 US US17/918,142 patent/US20230134944A1/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003294606A (ja) | 2002-04-02 | 2003-10-15 | Masahiro Kitada | 環境評価方式およびそれを用いた環境評価装置 |
WO2017061182A1 (ja) | 2015-10-07 | 2017-04-13 | 株式会社日立製作所 | 腐食環境モニタリング装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021173568A (ja) | 2021-11-01 |
CN115427784A (zh) | 2022-12-02 |
WO2021215091A1 (ja) | 2021-10-28 |
US20230134944A1 (en) | 2023-05-04 |
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