JP6362920B2 - 腐食環境モニタリング装置及び方法 - Google Patents
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Description
2 金属薄膜
2a 通路構造4内に露出している金属薄膜部(露出部)
2b 露出していない金属薄膜部(非露出部)
2c コーティングにより露出していない金属薄膜部(非露出部)
3 絶縁基板
4 通路構造
5 開口部
6 腐食性物質の流れ
7 腐食性物質の拡散
8 端子
9 膜厚方向全てが腐食した金属薄膜の領域
10 コーティング
11 対象環境で腐食しない金属薄膜
Claims (9)
- 少なくとも一つの通路構造と、前記通路構造内に形成した金属薄膜とを備える腐食環境モニタリング装置において、
前記通路構造の開口部から侵入する腐食性物質による金属薄膜の腐食領域の拡大に応じて変化する前記金属薄膜の電気抵抗を測定し、
前記金属薄膜は、雰囲気中の前記腐食性物質により腐食しない第二の金属薄膜をさらに有し、前記金属薄膜及び前記第二の金属薄膜の電気抵抗の和に基づいて測定することを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1記載の腐食環境モニタリング装置において、
前記通路構造は、一つの前記開口部と、前記通路構造内の基板上に形成した前記金属薄膜とを有し、前記開口部から侵入する前記腐食性物質の拡散方向に前記金属薄膜の腐食領域が拡大し、前記腐食領域の拡大に応じて増大する前記金属薄膜の電気抵抗を測定することを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1又は2記載の腐食環境モニタリング装置において、
前記金属薄膜は、雰囲気中に露出している露出部と、前記露出部と電気的に接続しており雰囲気中に露出していない非露出部とを有し、前記金属薄膜の電気抵抗は、前記露出部及び前記非露出部の電気抵抗の和に基づいて測定することを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項3記載の腐食環境モニタリング装置において、
前記非露出部には、雰囲気中に露出しないように前記金属薄膜の一部をコーティングした部分を含むことを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1に記載の腐食環境モニタリング装置において、
前記通路構造は、少なくとも一つの前記開口部と、前記通路構造内の基板上に単数又は複数に列設した雰囲気中の前記腐食性物質により腐食しない第二の金属薄膜と、前記第二の金属薄膜に付設した金属薄膜と、を有し、
前記通路構造の開口部から侵入する前記腐食性物質による前記金属薄膜の腐食領域の拡大に応じて変化する前記金属薄膜及び前記第二の金属薄膜の電気抵抗を測定することを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1乃至5の何れかに記載の腐食環境モニタリング装置において、
前記第二の金属薄膜の材料には、チタン、クロム、金、パラジウム又は銀パラジウム合金のうち少なくとも一つが含まれることを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1乃至6の何れかに記載の腐食環境モニタリング装置において、
前記金属薄膜の材料には、銅、銀、アルミニウム、鉄又は亜鉛のうち少なくとも一つが含まれることを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 請求項1乃至7の何れかに記載の腐食環境モニタリング装置において、
前記金属薄膜に付設する絶縁基板として透明基板を用いることを特徴とする腐食環境モニタリング装置。 - 少なくとも一つの通路構造内に形成した金属薄膜の腐食度から腐食環境をモニタリングする腐食環境モニタリング方法において、
前記通路構造の開口部から侵入する前記腐食性物質による金属薄膜の腐食領域の拡大に応じて変化する前記金属薄膜の電気抵抗を測定し、
前記金属薄膜は、雰囲気中の前記腐食性物質により腐食しない第二の金属薄膜をさらに有し、前記金属薄膜及び前記第二の金属薄膜の電気抵抗の和に基づいて測定し、
測定した前記電気抵抗に基づいて、環境の腐食性を定量化することを特徴とする腐食環境モニタリング方法。
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