JP7394289B2 - レーザ発振器、それを用いたレーザ加工装置及びレーザ発振方法 - Google Patents
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Description
少なくとも2本のレーザビームが集光ユニットに入射する前に、少なくとも2本のレーザビームの光軸が互いに接近して平行になるように、
複数のレーザビームのうちの少なくとも2つのレーザビームは、ビーム結合器内で光軸調整され、
光路変更手段は、複数のレーザビームのうち光軸調整された少なくとも2つのレーザビームの光路上に、少なくとも2つのレーザビームの光路の組ごとに設けられ、
光路変更手段は、少なくとも1つの前記レーザビームの光路上の第1位置と光路外の第2位置との間で移動可能に配置されることを特徴とする。
ここで、レーザ発振器は以下を含み、
それぞれ複数のレーザビームを出射する複数のレーザモジュールと、
複数のレーザモジュールから出射された複数のレーザビームを結合して結合レーザビームとして形成するビーム結合器と、
ビーム結合器は、結合レーザビームを出射し、
集光レンズを有する集光ユニットと、を有し、
集光ユニットは、所定のビーム直径を有するように結合レーザビームを集光し、集光された結合レーザビームを伝送ファイバに導く、
ここで、ビーム結合器は、複数のレーザモジュールから受け取った複数のレーザビームから少なくとも1つのレーザビームの光路を変更するように構成された複数の光路変更手段を含み、
ここで、光路変更手段により少なくとも1つのレーザビームの光路を変更することにより、集光レンズの位置を調整することなく、伝送ファイバから出射される結合レーザビームのビームプロファイルを変更し、
ここで、複数のレーザビームのうち少なくとも2つのレーザビームは、
少なくとも2つのレーザビームが集光ユニットに入る前に、少なくとも2つのレーザビームの光軸が互いに接近して平行になるように、
ビーム結合器内で光軸調整を受け、
光路変更手段は、少なくとも2つのレーザビームの光路の組みごとに、複数のレーザビームの間で光軸調整を受ける少なくとも2つのレーザビームの光路上に提供され、
光路変更手段は、少なくとも1つのレーザビームの光路上の第1位置と光路の外側の第2位置との間を移動できるように配置され、
レーザ発振方法は以下を含み、
複数のレーザモジュールから出射された複数のレーザビームを結合して結合レーザビームとして出射するビーム結合ステップと、結合レーザビームを所定のビーム径になるように集光レンズにより集光して伝送ファイバに導光する集光ステップと、ビーム結合ステップにおいて、複数のレーザモジュールから受け取った複数のレーザビームのうち、少なくとも一つのレーザビームの光路を変更することで、集光レンズの位置を調整することなく、伝送ファイバから出射される結合レーザビームのビームプロファイルを変化させるビームプロファイル変更ステップと、を有することを特徴とするレーザ発振方法。
[レーザ加工装置の構成]
図1は、本実施形態に係るレーザ加工装置100の構成の模式図である。また、図2は、ビーム結合器12の内部構成の部分的模式図である。なお、図2では、後述する複数のレーザビームLB1~LB4のうち、レーザビームLB1が進行する部分のみを示している。また、以降の説明において、図2における複数のレーザモジュール11からビーム結合器12へ入射されるレーザビームLB1の進行方向をX方向、ミラーM1で反射されたレーザビームLB1がミラーM2に向かう方向をZ方向、X方向及びZ方向と直交する方向をY方向とそれぞれ呼ぶことがある。
図1に示すレーザ加工装置100を用いてレーザ加工を行う場合に、加工対象物及び加工内容によって、結合レーザビームのビームプロファイルを変化させる場合が生じうる。このような場合に、伝送ファイバ40の入射端における結合レーザビームの入射位置を変えることで伝送ファイバ40から出射される結合レーザビームのビームプロファイルを変化させることができる。以下では、説明を容易にするため、集光レンズ21の位置を調整することで結合レーザビームの光路を変える従来の方法を用いた場合について、図3A~3Cを用いて、ビームプロファイルがどのように変化するかをまず説明する。
しかし、伝送ファイバ40の第1コア41のコア径は、通常、数十μm~百数十μm程度と小さく、図3A~図3Cに示すように結合レーザビームのビームプロファイルを変化させるためには、伝送ファイバ40に結合レーザビームを入光させる集光レンズ21の位置を精密に調整する必要があり、位置制御が複雑になる。また、位置調整のための位置制御装置も高価なものとなる。
以上説明したように、本実施形態に係るレーザ発振器10は、レーザビームLB1~LB4をそれぞれ発する4つのレーザモジュール11と、4つのレーザモジュール11から出射された4つのレーザビームLB1~LB4を結合して結合レーザビームとして出射するビーム結合器12と、集光レンズ21を有し、結合レーザビームを所定のビーム径になるように集光して伝送ファイバ40に導光する集光レンズユニット20と、を備えている。ビーム結合器12は、4つのレーザモジュール11から受け取った4つのレーザビームLB1~LB4のうち、少なくとも一つのレーザビームの光路を変更可能に構成された光学部材OC1~OC4を有している。光学部材OC1~OC4によってレーザビームLB1~LB4の光路の少なくとも一つを変更することで、集光レンズ21の位置を調整することなく、伝送ファイバ40から出射される結合レーザビームのビームプロファイルを変化させている。
図6は、本変形例に係る光学部材の光路変更動作の模式図を示す。
図7は、本実施形態に係るビーム結合器12Aの内部構成の模式図を示し、図8は、光路変更時のレーザビームのビームプロファイルの模式図を示す。なお、本実施形態において、実施形態1と同様の箇所については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
変形例に示す光学部材OC1の変位態様は、実施形態1に示す光学部材OC2~OC4や実施形態2に示す光学部材OC5,OC6に適用することができ、その場合も、実施形態2と同様の効果を奏する。また、これに限らず、上記の各実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施形態とすることも可能である。
11 レーザモジュール
12 ビーム結合器
12A ビーム結合器
20 集光レンズユニット(集光ユニット)
21 集光レンズ
30 レーザビーム出射ヘッド
40 伝送ファイバ
41 第1コア
42 第2コア
43 クラッド
50 制御部
60 電源
70 筐体
100 レーザ加工装置
LB1 レーザビーム
LB2 レーザビーム
LB3 レーザビーム
LB4 レーザビーム
LI1 レーザビーム入射部
LI2 レーザビーム入射部
LI3 レーザビーム入射部
LI4 レーザビーム入射部
LO レーザビーム出射部
M1 ミラー
M2 ミラー
M3 ミラー
M4 ミラー
M5 ミラー
OC1 光学部材(光路変更手段)
OC2 光学部材(光路変更手段)
OC3 光学部材(光路変更手段)
OC4 光学部材(光路変更手段)
OC5 光学部材(光路変更手段)
OC6 光学部材(光路変更手段)
Claims (10)
- レーザビームをそれぞれ発する複数のレーザモジュールと、複数の前記レーザモジュールから出射された複数の前記レーザビームを結合して結合レーザビームとして出射するビーム結合器と、集光レンズを有し、前記結合レーザビームを所定のビーム径になるように集光して伝送ファイバに導光する集光ユニットと、を備えたレーザ発振器であって、
前記ビーム結合器は、複数の前記レーザモジュールから受け取った複数の前記レーザビームのうち、少なくとも一つの前記レーザビームの光路を変更可能に構成された複数の光路変更手段を有し、
ここで、
前記光路変更手段によって前記レーザビームの前記光路を変更することで、前記集光レンズの位置を調整することなく、前記伝送ファイバから出射される前記結合レーザビームのビームプロファイルを変化させ、
以下を特徴とし、
少なくとも2本の前記レーザビームが前記集光ユニットに入射する前に、前記少なくとも2本の前記レーザビームの光軸が互いに接近して平行になるように、
複数の前記レーザビームのうちの前記少なくとも2つのレーザビームは、前記ビーム結合器内で光軸調整され、
前記光路変更手段は、複数の前記レーザビームのうち光軸調整された前記少なくとも2つの前記レーザビームの光路上に、前記少なくとも2つの前記レーザビームの光路の組ごとに設けられ、
前記光路変更手段は、少なくとも1つの前記レーザビームの光路上の第1位置と光路外の第2位置との間で移動可能に配置されることを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項1に記載のレーザ発振器において、
前記伝送ファイバは、光導波路として機能する第1コアと、前記第1コアの外周面に接して前記第1コアと同軸に設けられ、光導波路として機能する第2コアと、前記第2コアの外周面に接して前記第1コア及び前記第2コアと同軸に設けられたクラッドと、を少なくとも有し、
前記複数の光路変更手段のそれぞれは、前記レーザビームの前記光路外にそれぞれあり、
前記レーザビームの前記光路が変更されないように、前記光路変更手段がレーザビームの光路外からレーザビームの光路上に変更されていないときは、前記集光ユニットは、前記第1コアに前記結合レーザビームを導光し、あるいは、少なくとも1つの前記レーザビームの前記光路が変更されるように、
少なくとも1つの前記光路変更手段がレーザビームの光路外から光路上に変更されているときは、前記集光ユニットは、前記第1コア及び前記第2コアに、又は前記第2コアにいずれかの前記結合レーザビームを導光することを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項1に記載のレーザ発振器において、
前記伝送ファイバは、光導波路として機能する第1コアと、前記第1コアの外周面に接して前記第1コアと同軸に設けられ、光導波路として機能する第2コアと、前記第2コアの外周面に接して前記第1コア及び前記第2コアと同軸に設けられたクラッドと、を少なくとも有し、
前記複数の光路変更手段のそれぞれは、前記レーザビームの前記光路上にそれぞれあり、
前記レーザビームの前記光路が変更されないように、前記光路変更手段がレーザビームの光路上の前記第1位置からレーザビームの光路外の前記第2位置に変更されていないときは、前記集光ユニットは、前記第2コアに前記結合レーザビームを導光し、あるいは、少なくとも1つの前記レーザビームの前記光路が変更されるように、少なくとも1つの前記光路変更手段がレーザビームの光路上の前記第1位置からレーザビームの光路外の前記第2位置に変更されているときは、前記集光ユニットは、前記第1コア及び前記第2コアに、又は前記第1コアにいずれかの前記結合レーザビームを導光することを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のレーザ発振器において、
前記光路変更手段は、前記レーザビームの前記光路を所定の距離だけ平行にシフトさせるように構成されていることを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項4に記載のレーザ発振器において、
前記光路変更手段は、前記レーザビームに対して透明な平行平板状の部材であることを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項1に記載のレーザ発振器において、
前記光路変更手段は、所定の前記レーザビームの前記光路に対して所定の角度をなすように設けられていることを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項5に記載のレーザ発振器において、
前記光路変更手段は、前記レーザビームの前記光路に対して第1の角度をなすように前記レーザビームの前記光路上に設けられる一方、前記光路に対して第2の角度をなすようにすることで前記レーザビームの前記光路を変更することを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載のレーザ発振器において、
複数の前記レーザモジュールのそれぞれのレーザ発振出力は個別に制御されることを特徴とするレーザ発振器。 - 請求項1ないし8のいずれか1項に記載のレーザ発振器と、
前記伝送ファイバの出射端に取付けられたレーザビーム出射ヘッドと、
前記光路変更手段の動作を制御する制御部と、を少なくとも備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 伝送ファイバに接続され、複数のレーザモジュールと集光レンズとを備えるレーザ発振器におけるレーザ発振方法であって、
ここで、前記レーザ発振器は以下を含み、
それぞれ複数のレーザビームを出射する複数の前記レーザモジュールと、
複数の前記レーザモジュールから出射された複数の前記レーザビームを結合して結合レーザビームとして形成するビーム結合器と、
前記ビーム結合器は、前記結合レーザビームを出射し、
前記集光レンズを有する集光ユニットと、を有し、
前記集光ユニットは、所定のビーム直径を有するように前記結合レーザビームを集光し、集光された前記結合レーザビームを伝送ファイバに導く、
ここで、ビーム結合器は、複数の前記レーザモジュールから受け取った複数の前記レーザビームから少なくとも1つの前記レーザビームの光路を変更するように構成された複数の光路変更手段を含み、
ここで、前記光路変更手段により少なくとも1つの前記レーザビームの光路を変更することにより、前記集光レンズの位置を調整することなく、前記伝送ファイバから出射される前記結合レーザビームのビームプロファイルを変更し、
ここで、複数の前記レーザビームのうち少なくとも2つの前記レーザビームは、
前記少なくとも2つの前記レーザビームが前記集光ユニットに入る前に、前記少なくとも2つの前記レーザビームの光軸が互いに接近して平行になるように、
前記ビーム結合器内で光軸調整を受け、
前記光路変更手段は、前記少なくとも2つの前記レーザビームの光路の組みごとに、複数の前記レーザビームの間で光軸調整を受ける前記少なくとも2つのレーザビームの光路上に提供され、
前記光路変更手段は、少なくとも1つの前記レーザビームの光路上の第1位置と光路の外側の第2位置との間を移動できるように配置され、
前記レーザ発振方法は以下を含み、
複数の前記レーザモジュールから出射された複数のレーザビームを結合して結合レーザビームとして出射するビーム結合ステップと、
前記結合レーザビームを所定のビーム径になるように前記集光レンズにより集光して前記伝送ファイバに導光する集光ステップと、
前記ビーム結合ステップにおいて、複数の前記レーザモジュールから受け取った複数の前記レーザビームのうち、少なくとも一つの前記レーザビームの光路を変更することで、前記集光レンズの位置を調整することなく、前記伝送ファイバから出射される前記結合レーザビームのビームプロファイルを変化させるビームプロファイル変更ステップと、を有することを特徴とするレーザ発振方法。
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WO2023149451A1 (ja) * | 2022-02-02 | 2023-08-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工方法 |
CN118632762A (zh) * | 2022-02-02 | 2024-09-10 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光焊接方法 |
WO2024028972A1 (ja) * | 2022-08-02 | 2024-02-08 | 三菱電機株式会社 | 開口数可変装置、レーザ装置およびレーザ加工機 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014509263A (ja) | 2011-02-07 | 2014-04-17 | トルンプフ レーザー− ウント ジュステームテヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | レーザ加工装置 |
JP2017506769A (ja) | 2014-02-26 | 2017-03-09 | ビエン チャン, | 可変ビームパラメータ積を有するマルチビームレーザ配列のためのシステムおよび方法 |
WO2017168857A1 (ja) | 2016-04-01 | 2017-10-05 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工機 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0560935A (ja) | 1991-03-26 | 1993-03-12 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光フアイバ光線入射位置調整装置 |
US5245682A (en) * | 1992-09-25 | 1993-09-14 | General Electric Company | Fiber optic delivered beam quality control system for power lasers |
JPH10314973A (ja) | 1997-03-12 | 1998-12-02 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 複合レーザビームによるレーザ加工装置および加工法 |
ES2257956B1 (es) * | 2005-01-18 | 2007-05-01 | Danobat, S. Coop | Maquina de corte. |
JP2011245543A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-08 | Panasonic Electric Works Sunx Co Ltd | レーザー加工装置及びレーザー出射モジュール |
CN104136952B (zh) * | 2011-12-09 | 2018-05-25 | 朗美通运营有限责任公司 | 用于改变激光束的光束参数积的光学器件和方法 |
JP2013176800A (ja) | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 加工装置及び加工方法 |
US10971896B2 (en) * | 2013-04-29 | 2021-04-06 | Nuburu, Inc. | Applications, methods and systems for a laser deliver addressable array |
CN104218441A (zh) * | 2013-05-31 | 2014-12-17 | 中自高科(苏州)光电有限公司 | 一种超快激光脉冲序列调制方法 |
JP6249225B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2017-12-20 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP7085840B2 (ja) * | 2015-06-10 | 2022-06-17 | アイピージー フォトニクス コーポレーション | 複数ビーム付加的製造 |
CN109475975B (zh) * | 2016-08-04 | 2021-08-17 | 通快激光英国有限公司 | 用于激光加工材料的装置和方法 |
-
2019
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-
2020
- 2020-09-07 US US17/013,773 patent/US11471978B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014509263A (ja) | 2011-02-07 | 2014-04-17 | トルンプフ レーザー− ウント ジュステームテヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | レーザ加工装置 |
JP2017506769A (ja) | 2014-02-26 | 2017-03-09 | ビエン チャン, | 可変ビームパラメータ積を有するマルチビームレーザ配列のためのシステムおよび方法 |
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