JP2024019941A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ光のプロファイルに応じてレーザ光の出力を適切に制御することができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】プロファイル変更部22は、ミラー23と、ピエゾアクチュエータ25と、を有する。ミラー23は、伝送ファイバ30の入射端に向けてレーザ光LBを反射する。ピエゾアクチュエータ25は、ミラー23の角度を変更して伝送ファイバ30の入射端におけるレーザ光LBの入射位置を調整する。制御部55は、ピエゾアクチュエータ25で変更されたミラー23の角度が所定の角度範囲内にある場合に、レーザ光LBの出力が所定値よりも小さくなるように、レーザ発振器10の動作を制御する。【選択図】図2
Description
本発明は、レーザ加工装置に関するものである。
特許文献1には、複数のコアを有する光ファイバの入射端部にレーザビームを指向して、所望のコアにレーザビームを入射させることで、光ファイバから出射されるレーザビームのプロファイルを変更するようにした光ファイバ構造が開示されている。
ところで、レーザビームのプロファイルによっては、光ファイバから出射されるレーザビームの広がり角が大きくなり、レーザ加工ヘッド側で不具合が生じるおそれがある。
具体的に、レーザビームの広がり角が大きくなりすぎると、光ファイバを介してレーザ加工ヘッドに伝送されたレーザビームが、例えば、レーザ加工ヘッドのコリメータレンズよりも径方向外方にはみ出してしまい、レーザ加工ヘッドの内部で焼損が生じるおそれがある。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、レーザ光のプロファイルに応じてレーザ光の出力を適切に制御することができるようにすることにある。
第1の発明は、レーザ光を出射するレーザ発振器と、複数のコアを有し、前記レーザ発振器から出射された前記レーザ光を伝送する伝送ファイバと、を備えたレーザ加工装置であって、前記伝送ファイバから出射される前記レーザ光のプロファイルを変更するプロファイル変更部と、前記レーザ発振器の動作を制御する制御部と、を備え、前記プロファイル変更部は、前記伝送ファイバの入射端に向けて前記レーザ光を反射するミラーと、前記ミラーの角度を変更して前記伝送ファイバの入射端における前記レーザ光の入射位置を調整する角度変更部と、を有し、前記制御部は、前記角度変更部で変更された前記ミラーの角度が所定の角度範囲内にある場合に、前記レーザ光の出力が所定値よりも小さくなるように、前記レーザ発振器の動作を制御する。
第1の発明では、角度変更部で変更されたミラーの角度が所定の角度範囲内にある場合に、レーザ光の出力が所定値よりも小さくなるように、レーザ発振器の動作を制御することで、レーザ光のプロファイルに応じてレーザ光の出力を適切に制御することができる。
第2の発明は、第1の発明のレーザ加工装置において、前記制御部は、前記角度変更部で変更された前記ミラーの角度が所定の角度範囲内にある場合に、前記レーザ光の出力を停止させるように、前記レーザ発振器の動作を制御する。
第2の発明では、レーザ光のプロファイルに応じてレーザ光の出力を停止させることができる。
第3の発明は、第1又は2の発明のレーザ加工装置において、前記伝送ファイバは、第1コアと、前記第1コアの外周部に設けられた第2コアと、前記第2コアの外周部に設けられた第3コアと、を有し、前記所定の角度範囲は、前記第1コア、前記第2コア、及び前記第3コアの少なくとも2つ以上のコアに前記レーザ光が入射される前記ミラーの角度を含む。
第3の発明では、第1コア、第2コア、及び第3コアの少なくとも2つ以上のコアにレーザ光が入射されるミラーの角度の場合、つまり、レーザ光の広がり角が大きくなる場合に、レーザ光の出力を抑えるようにしている。
これにより、レーザ加工ヘッドのコリメータレンズよりも径方向外方にはみ出すような広がり角となるレーザ光のプロファイルであっても、レーザ加工ヘッドの内部で焼損が生じるのを抑えることができる。
第4の発明は、第3の発明のレーザ加工装置において、前記制御部は、前記角度変更部で変更された前記ミラーの角度が、前記第1コアのみに前記レーザ光が入射される角度、又は前記第2コアのみに前記レーザ光が入射される角度、又は前記第3コアのみに前記レーザ光が入射される角度である場合に、前記レーザ光の出力が所定値よりも大きくなるように、前記レーザ発振器の動作を制御する。
第4の発明では、ミラーの角度が、第1コアのみ、第2コアのみ、又は第3コアのみにレーザ光が入射される角度である場合には、レーザ光の広がり角が小さくなる。そのため、レーザ加工を開始するのにあたってレーザ光の出力を大きくしても、レーザ加工ヘッドの内部で焼損を生じるおそれがない。
本発明によれば、レーザ光のプロファイルに応じてレーザ光の出力を適切に制御することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
〈レーザ加工装置〉
図1に示すように、レーザ加工装置1は、レーザ発振器10と、伝送ファイバ30と、レーザ加工ヘッド40と、ロボット50と、制御部55と、を備える。
図1に示すように、レーザ加工装置1は、レーザ発振器10と、伝送ファイバ30と、レーザ加工ヘッド40と、ロボット50と、制御部55と、を備える。
レーザ発振器10は、伝送ファイバ30の入射端に接続される。レーザ加工ヘッド40は、伝送ファイバ30の出射端に接続される。レーザ発振器10から出射されたレーザ光LBは、伝送ファイバ30を介してレーザ加工ヘッド40に伝送される。なお、レーザ発振器10及び伝送ファイバ30の詳細については後述する。
レーザ加工ヘッド40は、コリメータレンズ41と、集光レンズ42と、保護レンズ43と、を有する。なお、図示は省略するが、レーザ加工ヘッド40は、レーザ光LBの出射位置を調整するための平行平板などを有していてもよい。
コリメータレンズ41は、伝送ファイバ30の出射端から出射されたレーザ光LBを平行化する。集光レンズ42は、コリメータレンズ41で平行化されたレーザ光LBを集光する。
保護レンズ43は、レーザ加工ヘッド40の出射端に配置される。保護レンズ43は、ワークWのレーザ加工時に発生するヒュームやスパッタがレーザ加工ヘッド40内部の光学系に付着しないように保護している。保護レンズ43を透過したレーザ光LBは、ワークWに出射される。
レーザ加工ヘッド40は、ロボット50に取り付けられる。レーザ加工ヘッド40は、ロボット50を動作させることで、ワークWに対するレーザ光LBの出射位置及び焦点位置を変更可能となっている。
制御部55には、レーザ発振器10、レーザ加工ヘッド40、及びロボット50が接続される。制御部55は、レーザ発振器10、レーザ加工ヘッド40、及びロボット50の動作を制御する。制御部55は、レーザ加工ヘッド40の移動速度の他に、レーザ光LBの出力開始や停止、レーザ光LBの出力強度などを制御する。
〈レーザ発振器〉
図2に示すように、レーザ発振器10は、レーザ発振ユニット11と、光結合ユニット20と、集光ユニット27とを有する。
図2に示すように、レーザ発振器10は、レーザ発振ユニット11と、光結合ユニット20と、集光ユニット27とを有する。
レーザ発振ユニット11は、複数のレーザモジュール12と、レーザ光合成器13と、を有する。レーザモジュール12は、レーザ光LBを出射する。レーザ光合成器13は、複数のレーザモジュール12からそれぞれ出射されたレーザ光LBを合成して、1本のレーザ光LBとして出射する。
光結合ユニット20は、折り返しミラー21と、プロファイル変更部22と、を有する。折り返しミラー21は、レーザ発振ユニット11から出射されたレーザ光LBを、プロファイル変更部22に向けて反射する。
プロファイル変更部22は、伝送ファイバ30から出射されるレーザ光LBのプロファイルを変更する。プロファイル変更部22は、ミラー23と、ピエゾステージ24と、角度変更部としてのピエゾアクチュエータ25と、を有する。
ミラー23は、折り返しミラー21で反射されたレーザ光LBを、集光ユニット27の集光レンズ28に向けて反射する。ミラー23で反射されたレーザ光LBは、集光レンズ28を透過して伝送ファイバ30の入射端に向かう。ミラー23は、ピエゾアクチュエータ25に一体に取り付けられる。
ピエゾアクチュエータ25は、ピエゾステージ24に取り付けられる。ピエゾアクチュエータ25は、ミラー23の角度を変更して伝送ファイバ30の入射端におけるレーザ光LBの入射位置を調整する。
図2に実線で示すミラー23の角度では、ミラー23で反射されたレーザ光LBは、伝送ファイバ30の第1コア31に導光される。図2に仮想線で示すミラー23の角度では、ミラー23で反射されたレーザ光LBは、伝送ファイバ30の第2コア32に導光される。
集光ユニット27は、集光レンズ28を有する。集光レンズ28は、プロファイル変更部22のミラー23で反射されたレーザ光LBを集光して、伝送ファイバ30に入射させる。
〈伝送ファイバ〉
図3にも示すように、伝送ファイバ30は、第1コア31と、第2コア32と、第3コア33と、クラッド34とを有する。
図3にも示すように、伝送ファイバ30は、第1コア31と、第2コア32と、第3コア33と、クラッド34とを有する。
第1コア31は、断面が略円形状に形成される。第1コア31の材質は、例えば、石英ガラスである。第2コア32は、第1コア31の外周部に設けられる。第2コア32は、第1コア31と同軸に設けられる。第2コア32の材質は、例えば、石英ガラスである。第3コア33は、第1コア31及び第2コア32と同軸に設けられる。第3コア33の材質は、例えば、石英ガラスである。
クラッド34は、第3コア33の外周部に設けられる。クラッド34は、第1コア31、第2コア32、及び第3コア33と同軸に設けられる。クラッド34の材質は、例えば、石英ガラスである。
第1コア31と第2コア32との間には、第1低屈折率層35が設けられる。第1低屈折率層35は、フッ素がドープされた石英ガラスで構成される。第1低屈折率層35の屈折率は、第1コア31及び第2コア32の屈折率よりも低くなっている。
第2コア32と第3コア33との間には、第2低屈折率層36が設けられる。第2低屈折率層36は、フッ素がドープされた石英ガラスで構成される。第2低屈折率層36の屈折率は、第2コア32及び第3コア33の屈折率よりも低くなっている。
第3コア33とクラッド34との間には、第3低屈折率層37が設けられる。第3低屈折率層37は、フッ素がドープされた石英ガラスで構成される。第3低屈折率層37の屈折率は、第3コア33及びクラッド34の屈折率よりも低くなっている。
レーザ光LBは、第1コア31、第2コア32、及び第3コア33の少なくとも一つの内部で全反射され、伝送ファイバ30の出射端から出射される。なお、図示しないが、クラッド34の表面は、被膜で覆われている。
〈レーザ光のビームプロファイルについて〉
図1に示すレーザ加工装置1を用いてレーザ加工を行う場合、ワークWの材質、厚さ、加工内容等によって、レーザ光LBのプロファイルを適切に変更する必要がある。
図1に示すレーザ加工装置1を用いてレーザ加工を行う場合、ワークWの材質、厚さ、加工内容等によって、レーザ光LBのプロファイルを適切に変更する必要がある。
本実施形態では、図2に示すプロファイル変更部22のミラー23の角度を変更することで、伝送ファイバ30の入射端におけるレーザ光LBの入射位置を調整して、伝送ファイバ30から出射されるレーザ光LBのビームプロファイルを変更する。
具体的に、図2に示す例では、ミラー23の角度が45°である状態を初期状態とし、ミラー23の角度を初期状態から変化させた場合におけるレーザ光LBのプロファイルの変化について説明する。
図2に示すミラー23の角度の初期状態、つまり、ミラー23の傾斜角度が0°である場合、図4に示すように、レーザ光LBは、伝送ファイバ30の第1コア31に入射する。このように、レーザ光LBが第1コア31のみに入射されるモードを、センターコアモードという。
センターコアモードでは、伝送ファイバ30から出射されるレーザ光LBのビームプロファイルは、単峰状のガウシアン分布となる。
なお、本実施形態では、「ビームプロファイル」は、レーザビーム強度の空間分布を意味する。図4では、レーザビーム強度は、縦軸の波形変化で示されており、空間分布は横軸の波形変化で示されている。
図4に示す状態から、ミラー23をさらに傾斜させると、図5に示すように、レーザ光LBは、伝送ファイバ30の第1コア31及び第2コア32の両方に入射する。このモードでは、伝送ファイバ30から出射されるレーザ光LBのビームプロファイルは、3つのピークを有する形状となり、センターコアモードに比べてビームプロファイルの半値幅が大きくなる。
図5に示す状態から、ミラー23をさらに傾斜させると、図6に示すように、レーザ光LBは、伝送ファイバ30の第3コア33に入射する。このように、レーザ光LBが第3コア33のみに入射されるモードを、リングコアモードという。
リングコアモードでは、伝送ファイバ30から出射されるレーザ光LBのビームプロファイルは、2つのピークを有する形状となる。リングコアモードでは、センターコアモードと比べてビームプロファイルの半値幅が大きくなる。
図7のグラフ図に示すように、伝送ファイバ30の出射端から出射されるレーザ光LBの広がり角を示す出力NAは、ミラー23の傾斜角度を大きくしていくと、徐々に大きくなり、所定のピークを超えた後で、徐々に小さくなる傾向にある。
具体的に、レーザ光LBが、第1コア31のみ又は第3コア33のみに入射する位置では、低い開口数(NA)でレーザ光LBを出射することができる。一方、レーザ光LBが、第1コア31と第2コア32とに跨がって入射する位置では、第1コア31と第2コア32との間でフッ素ドープされた屈折率の低い第1低屈折率層35にレーザ光LBの一部が入射してしまい、伝送ファイバ30の開口数(NA)が悪化してしまう。
ここで、出力NAが大きすぎる場合、伝送ファイバ30からレーザ加工ヘッド40に入射したレーザ光LBが、レーザ加工ヘッド40のコリメータレンズ41の径方向外方にはみ出してしまい、レーザ加工ヘッド40の内部で焼損が生じるおそれがある。
そこで、本実施形態では、ミラー23の角度が、レーザ光LBの出力NAが大きい所定の角度範囲内にある場合に、レーザ光LBの出力を抑えるようにした。
具体的に、図7に示すように、レーザ加工ヘッド40の内部で焼損を生じさせないために必要な、レーザ加工装置1で許容し得る許容NAを設定する。そして、レーザ光LBの出力NAが許容NAを超えることとなるミラー23の角度範囲について、予め特定しておく。
制御部55は、ピエゾアクチュエータ25で変更されたミラー23の角度が所定の角度範囲内にある場合に、レーザ光LBの出力が所定値よりも小さくなるように、レーザ発振器10の動作を制御する。所定値は、例えば、レーザ光LBが、レーザ加工ヘッド40のコリメータレンズ41よりも径方向外方にはみ出した場合でも、レーザ加工ヘッド40の内部で焼損が生じるのを抑えることができる出力値に設定する。
なお、レーザ加工ヘッド40の内部で焼損が生じるのを確実に抑えるためには、制御部55は、レーザ光LBの出力がゼロ、つまり、レーザ光LBの出力を停止させるように、レーザ発振器10の動作を制御するのが好ましい。
ここで、所定の角度範囲は、第1コア31、第2コア32、及び第3コアの少なくとも2つ以上のコアにレーザ光LBが入射されるミラー23の角度を含む。
制御部55は、ピエゾアクチュエータ25で変更されたミラー23の角度が、第1コア31のみにレーザ光LBが入射される角度、第2コア32のみにレーザ光LBが入射される角度、又は第3コア33のみにレーザ光LBが入射される角度である場合に、レーザ光LBの出力が所定値よりも大きくなるように、レーザ発振器10の動作を制御する。
具体的に、ミラー23の角度が、第1コア31のみ、第2コア32のみ、又は第3コア33のみにレーザ光LBが入射される角度である場合には、低い開口数(NA)でレーザ光LBを出射することができる。そのため、レーザ加工を開始するのにあたってレーザ光LBの出力を大きくしても、レーザ加工ヘッド40の内部で焼損を生じるおそれがない。
以上のように、本実施形態に係るレーザ加工装置1によれば、加工内容や加工対象物の形状等に応じたビームプロファイルを得ることができ、所望の品質のレーザ加工を行うことができる。
例えば、薄い鋼板をレーザ加工装置1で切断加工する場合には、切断箇所でのエネルギー密度を高める方がよく、また、切断幅は狭いほうがよい。よって、図4のセンターコアモードのように、ビームプロファイルを単峰状のガウシアン分布に制御するのが好ましい。
一方、厚い鋼板をレーザ加工装置1で切断加工する場合には、鋼板の厚みに対応させて切断幅もある程度広くとる必要がある。よって、図6のリングコアモードのように、ビームプロファイルを空間的に広がった形状に制御するのが好ましい。
以上説明したように、本発明は、レーザ光のプロファイルに応じてレーザ光の出力を適切に制御することができるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。
1 レーザ加工装置
10 レーザ発振器
22 プロファイル変更部
23 ミラー
25 ピエゾアクチュエータ(角度変更部)
30 伝送ファイバ
31 第1コア
32 第2コア
33 第3コア
55 制御部
LB レーザ光
10 レーザ発振器
22 プロファイル変更部
23 ミラー
25 ピエゾアクチュエータ(角度変更部)
30 伝送ファイバ
31 第1コア
32 第2コア
33 第3コア
55 制御部
LB レーザ光
Claims (4)
- レーザ光を出射するレーザ発振器と、複数のコアを有し、前記レーザ発振器から出射された前記レーザ光を伝送する伝送ファイバと、を備えたレーザ加工装置であって、
前記伝送ファイバから出射される前記レーザ光のプロファイルを変更するプロファイル変更部と、
前記レーザ発振器の動作を制御する制御部と、を備え、
前記プロファイル変更部は、前記伝送ファイバの入射端に向けて前記レーザ光を反射するミラーと、前記ミラーの角度を変更して前記伝送ファイバの入射端における前記レーザ光の入射位置を調整する角度変更部と、を有し、
前記制御部は、前記角度変更部で変更された前記ミラーの角度が所定の角度範囲内にある場合に、前記レーザ光の出力が所定値よりも小さくなるように、前記レーザ発振器の動作を制御する
レーザ加工装置。 - 請求項1のレーザ加工装置において、
前記制御部は、前記角度変更部で変更された前記ミラーの角度が所定の角度範囲内にある場合に、前記レーザ光の出力を停止させるように、前記レーザ発振器の動作を制御する
レーザ加工装置。 - 請求項1又は2のレーザ加工装置において、
前記伝送ファイバは、第1コアと、前記第1コアの外周部に設けられた第2コアと、前記第2コアの外周部に設けられた第3コアと、を有し、
前記所定の角度範囲は、前記第1コア、前記第2コア、及び前記第3コアの少なくとも2つ以上のコアに前記レーザ光が入射される前記ミラーの角度を含む
レーザ加工装置。 - 請求項3のレーザ加工装置において、
前記制御部は、前記角度変更部で変更された前記ミラーの角度が、前記第1コアのみに前記レーザ光が入射される角度、又は前記第2コアのみに前記レーザ光が入射される角度、又は前記第3コアのみに前記レーザ光が入射される角度である場合に、前記レーザ光の出力が所定値よりも大きくなるように、前記レーザ発振器の動作を制御する
レーザ加工装置。
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---|---|---|---|
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JP2022122733A JP2024019941A (ja) | 2022-08-01 | 2022-08-01 | レーザ加工装置 |
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2022
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