WO2023149451A1 - レーザ加工方法 - Google Patents

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WO2023149451A1
WO2023149451A1 PCT/JP2023/003155 JP2023003155W WO2023149451A1 WO 2023149451 A1 WO2023149451 A1 WO 2023149451A1 JP 2023003155 W JP2023003155 W JP 2023003155W WO 2023149451 A1 WO2023149451 A1 WO 2023149451A1
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WO
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laser
laser beam
core
wavelength
emitted
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/003155
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English (en)
French (fr)
Inventor
龍幸 中川
篤寛 川本
潤司 藤原
通雄 櫻井
Original Assignee
パナソニックＩｐマネジメント株式会社
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms

Definitions

  • the present invention relates to a laser processing method.
  • Patent Document 1 while a first laser beam is incident on a first fiber core of a double-clad fiber, a second laser beam having a wavelength different from that of the first laser beam is incident on a second fiber core, and a workpiece is irradiated with the laser beam.
  • a laser cutting method is disclosed in which a first laser beam and a second laser beam are emitted from a laser beam.
  • the emission of the first laser beam and the second laser beam is stopped at the same time at the laser end position, a crater may be generated and the processing quality of the workpiece may be deteriorated.
  • the present invention has been made in view of this point, and its object is to suppress the occurrence of craters at the laser end position.
  • a first aspect is a laser processing method in which a laser beam transmitted through a transmission fiber is emitted to process a workpiece, wherein the transmission fiber includes a first core and an outer peripheral portion of the first core. and a second core, wherein the laser beam includes a first laser beam and a second laser beam having a longer wavelength than the first laser beam, and when the machining of the workpiece is finished, the first laser beam and a laser termination step of adjusting the output of the second laser beam, wherein the laser termination step emits the first laser beam from the second core while emitting the second laser beam from the first core. and gradually decreasing the output of the second laser beam emitted from the first core while moving the emission positions of the first laser beam and the second laser beam with respect to the workpiece in the laser processing direction. and a third step of stopping the output of the second laser beam while the first laser beam is emitted from the second core.
  • the transmission fiber has at least a first core and a second core.
  • the second core is provided on the outer periphery of the first core.
  • the first laser beam is emitted from the second core, and the second laser beam is emitted from the first core.
  • the output of the second laser beam emitted from the first core is gradually reduced while moving the emission positions of the first laser beam and the second laser beam with respect to the workpiece in the laser processing direction.
  • the output of the second laser light is stopped while the first laser light is emitted from the second core.
  • the front of the second laser light is preheated.
  • the work surface behind the second laser beam can be cleaned.
  • a second aspect is characterized by including a fourth step of emitting the first laser light from the first core and the second core after the third step in the first aspect.
  • the first laser light is emitted from the first core and the second core to widen the emission range of the first laser light, thereby suppressing the occurrence of craters at the welding end point over a wide range.
  • FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of a laser processing apparatus according to this embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the transmission fiber viewed from the incident end side.
  • FIG. 3 is a graph showing the relationship between the wavelength of laser light and reflectance.
  • FIG. 4 is a graph showing temporal changes in the total output of laser light.
  • FIG. 5A is a diagram showing a state in which the second laser light is made incident on the first core and the first laser light is made incident on the second core.
  • FIG. 5B is a diagram showing a state in which the first laser beam is emitted from the second core while the second laser beam is emitted from the first core while the laser processing head is moving.
  • FIG. 5A is a diagram showing a state in which the second laser light is made incident on the first core and the first laser light is made incident on the second core.
  • FIG. 5B is a diagram showing a state in which the first laser beam is emitted from the second core while the second laser beam
  • FIG. 6A is a diagram showing a state in which the output of the second laser beam to be incident on the first core is lowered.
  • FIG. 6B is a diagram showing a state in which the output of the second laser light is lowered while the emission positions of the first laser light and the second laser light are moved.
  • FIG. 7A is a diagram showing a state in which the first laser beam is made incident on the second core.
  • FIG. 7B is a diagram showing a state in which the first laser beam is emitted from the second core at the laser end position.
  • FIG. 8A is a diagram showing a state in which the first laser light is made incident on the first core and the second core.
  • FIG. 8B is a diagram showing a state in which the first laser light is emitted from the first core and the second core at the laser end position.
  • FIG. 9 is a graph showing temporal changes in the total output of laser light according to this modification.
  • the laser processing device 1 includes an optical coupling unit 10, a transmission fiber 20, a laser processing head 30, a robot 2, and a controller 5.
  • the optical coupling unit 10 includes a first laser oscillator 11, a second laser oscillator 12, a first mirror 13, a second mirror 14, a third mirror 15, a first adjustment mechanism 16, and a second adjustment mechanism 17. and a third adjusting mechanism 18 .
  • the first laser oscillator 11 emits the first laser beam L1 based on the command from the control unit 5.
  • the first laser beam L1 is a short wavelength laser beam.
  • the short-wavelength first laser light L1 is blue laser light or green laser light with a wavelength of 600 nm or less (for example, 266 nm to 600 nm).
  • the first laser oscillator 11 emits a plurality of first laser beams L1 from a plurality of laser modules (not shown).
  • the second laser oscillator 12 emits the second laser beam L2 based on the command from the control unit 5.
  • the second laser beam L2 is a long-wavelength laser beam having a longer wavelength than the first laser beam L1.
  • the long-wavelength second laser light L2 is infrared laser light with a wavelength of 800 nm or more (for example, about 800 nm to 16000 nm).
  • the first mirror 13 reflects some of the first laser beams L1 emitted from the first laser oscillator 11 and guides them to the first adjustment mechanism 16 .
  • the second mirror 14 reflects the remaining first laser beams L1 out of the plurality of first laser beams L1 emitted from the first laser oscillator 11 and guides them to the second adjustment mechanism 17 .
  • the third mirror 15 reflects the second laser beam L2 emitted from the second laser oscillator 12 and guides it to the third adjustment mechanism 18 .
  • the first adjustment mechanism 16 is composed of, for example, a two-axis MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) mirror.
  • the first adjustment mechanism 16 further reflects the first laser beam L ⁇ b>1 reflected by the first mirror 13 and guides it to the transmission fiber 20 .
  • the first adjustment mechanism 16 changes the incident position of the first laser beam L1 with respect to the transmission fiber 20 by changing the angle of the mirror. This allows the first laser beam L1 to selectively enter the first core 21 or the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the second adjustment mechanism 17 is composed of, for example, a two-axis MEMS mirror.
  • the second adjustment mechanism 17 further reflects the first laser beam L ⁇ b>1 reflected by the second mirror 14 and guides it to the transmission fiber 20 .
  • the second adjustment mechanism 17 changes the incident position of the first laser beam L1 with respect to the transmission fiber 20 by changing the angle of the mirror. This allows the first laser beam L1 to selectively enter the first core 21 or the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the third adjustment mechanism 18 is composed of, for example, a two-axis MEMS mirror.
  • the third adjustment mechanism 18 further reflects the second laser beam L2 reflected by the third mirror 15 and guides it to the transmission fiber 20 .
  • the third adjustment mechanism 18 changes the incident position of the second laser beam L2 with respect to the transmission fiber 20 by changing the angle of the mirror. This allows the second laser light L2 to selectively enter the first core 21 or the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • first adjustment mechanism 16, the second adjustment mechanism 17, and the third adjustment mechanism 18 may be configured using a biaxial galvanometer (galvanomirror) instead of the biaxial MEMS mirror.
  • the optical coupling unit 10 and the laser processing head 30 are connected by a transmission fiber 20.
  • the first laser beam L ⁇ b>1 and the second laser beam L ⁇ b>2 are transmitted to the laser processing head 30 via the transmission fiber 20 .
  • the transmission fiber 20 has a first core 21 , a second core 22 , a first clad 23 , a second clad 24 and a protective coating 25 .
  • the first core 21 is arranged at the axial center of the transmission fiber 20 .
  • the first core 21 is formed in a circular shape when viewed from the axial direction.
  • the first core 21 is made of quartz glass, for example.
  • a first clad 23 is provided on the outer periphery of the first core 21 .
  • the first clad 23 is provided coaxially with the first core 21 .
  • the first clad 23 is made of a material having a lower refractive index than the first core 21 .
  • the first clad 23 is made of, for example, fluorine-doped quartz glass. The refractive index of the first clad 23 is lower than that of the first core 21 .
  • a second core 22 is provided on the outer periphery of the first clad 23 .
  • the second core 22 is provided coaxially with the first core 21 .
  • the second core 22 is formed in a ring shape when viewed from the axial direction.
  • the second core 22 is made of the same material as the first core 21, such as quartz glass.
  • the refractive index of the second core 22 is higher than that of the first clad 23 .
  • a second clad 24 is provided on the outer periphery of the second core 22 .
  • the second clad 24 is provided coaxially with the first core 21 and the second core 22 .
  • the second clad 24 is made of, for example, fluorine-doped quartz glass.
  • the refractive index of the second clad 24 is lower than that of the second core 22 .
  • a protective film 25 is provided on the outer peripheral portion of the second clad 24 .
  • the protective film 25 is made of synthetic resin, for example.
  • the protective film 25 mechanically protects the first core 21, the second core 22, the first clad 23, and the second clad 24 made of quartz glass.
  • the protective coating 25 prevents the first laser beam L1 and the second laser beam L2 from leaking from the transmission fiber 20 and prevents light from leaking into the transmission fiber 20 from the outside.
  • the laser processing head 30 emits a first laser beam L1 and a second laser beam L2 incident from the transmission fiber 20 to the work W.
  • the laser beam is emitted with the outer peripheral portion of the circular second laser beam L2 surrounded by the ring-shaped first laser beam L1.
  • the laser processing head 30 has a collimator lens 31 , a fourth mirror 32 and a condenser lens 33 .
  • the collimator lens 31 collimates the first laser beam L1 and the second laser beam L2 emitted from the emission end of the transmission fiber 20 .
  • the fourth mirror 32 reflects the first laser beam L1 and the second laser beam L2 collimated by the collimator lens 31 and guides them to the condenser lens 33 .
  • the condenser lens 33 condenses the first laser beam L1 and the second laser beam L2.
  • the first laser beam L1 and the second laser beam L2 condensed by the condensing lens 33 are emitted to the work W. As shown in FIG.
  • the robot 2 has a robot arm 3.
  • a laser processing head 30 is attached to the tip of the robot arm 3 .
  • the robot arm 3 has multiple joints 4 .
  • the robot 2 changes the position of the laser processing head 30 with respect to the workpiece W by moving the laser processing head 30 along a predetermined welding direction (processing direction) based on a command from the control unit 5 .
  • processing direction processing direction
  • the emission positions of the first laser beam L1 and the second laser beam L2 with respect to the workpiece W are moved, and laser processing is performed.
  • the controller 5 is connected to the optical coupling unit 10, the laser processing head 30, and the robot 2.
  • the controller 5 controls the operations of the optical coupling unit 10 , the laser processing head 30 and the robot 2 .
  • control unit 5 controls the output start and stop of the first laser beam L1 and the second laser beam L2, the output intensity of the first laser beam L1 and the second laser beam L2, and the like. It also has the function to In addition, although the control part 5 has one structure here, you may comprise more than one.
  • the workpiece W is formed in a plate shape, for example.
  • the workpiece W is composed of a high reflectance material with a low laser absorption rate.
  • the reflectance of the laser beam differs depending on the material of the workpiece W.
  • copper (Cu), aluminum (Al), gold (Au), and silver (Ag) are laser beams compared to iron (Fe).
  • Fe iron
  • the reflectance (%) of the wavelength of light is high, in other words, it is a high reflectance material with low laser absorptance.
  • iron (Fe) has a relatively low reflectance (%) of the wavelength of the laser light, in other words, it is a low reflectance material with a high laser absorptivity.
  • the workpiece W which is a high reflectance material with a low laser absorptance, is made of copper.
  • the workpiece W may be made of gold or silver.
  • the laser processing apparatus 1 emits a first laser beam L1 to partially melt the surface of the work W first at the laser start position S, which is the welding start point of the work W, at the start of laser irradiation in the laser irradiation start process. After forming a molten pool and performing preheating, the second laser beam L2 is emitted. As a result, it is possible to suppress the occurrence of spatter at the laser start position S in the process of starting laser irradiation.
  • the laser processing apparatus 1 moves the laser processing head 30 from the laser start position S to the laser end position E, which is the welding end point of the work W, while applying the first laser beam L1 and/or the second laser beam L1 to the work W.
  • a laser beam L2 is emitted to perform laser welding.
  • control is performed to suppress the generation of craters in the laser end process.
  • the laser termination process is shown in FIG.
  • the laser main process is shifted to the laser end process by a laser end command.
  • the controller 5 performs the first step between time T1 and time T2 after the laser processing head 30 is moved by a predetermined distance from the laser starting position S in the welding direction.
  • the controller 5 causes the first core 21 to emit the long-wavelength second laser beam L2 and the second core 22 to emit the short-wavelength first laser beam L1. It controls the operation of the coupling unit 10 .
  • the controller 5 moves the laser processing head 30 in the welding direction.
  • the first step is to form a weld strength retention area in the area of the bead edge to obtain the penetration that provides the joint strength.
  • the controller 5 operates the first short-wavelength laser oscillator 11 to emit a first short-wavelength laser beam L1, while the second long-wavelength laser oscillator 12 emits a first short-wavelength laser beam L1. is operated to emit the long-wavelength second laser beam L2.
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the first adjustment mechanism 16 to cause the first laser beam L1 reflected by the first mirror 13 to enter the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the second adjustment mechanism 17 to cause the first laser beam L1 reflected by the second mirror 14 to enter the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the third adjusting mechanism 18 to cause the second laser beam L2 reflected by the third mirror 15 to enter the first core 21 of the transmission fiber 20 .
  • the long-wavelength second laser beam L2 that has entered the first core 21 is emitted to the workpiece W in a circular shape.
  • the short-wavelength first laser beam L1 that has entered the second core 22 is emitted toward the workpiece W in a ring shape.
  • the output of the first laser beam L1 is set to 0.5 kW to 4 kW, preferably 2 kW.
  • the output of the second laser beam L2 is set to 10 kW, for example.
  • a molten pool 40 is formed on the work W at the position where the short-wave first laser beam L1 and the long-wave second laser beam L2 are emitted to the work W.
  • a weld bead 41 is formed on the workpiece W behind the molten pool 40 in the welding direction by the solidification of the molten pool 40 .
  • the control unit 5 performs the second step between time T2 and time T3.
  • the controller 5 causes the first core 21 to emit the long-wavelength second laser beam L2 and the second core 22 to emit the short-wavelength first laser beam L1. It controls the operation of the coupling unit 10 .
  • the control unit 5 gradually reduces the output of the second long-wavelength laser beam L2 emitted from the first core 21 .
  • the controller 5 operates the short-wavelength first laser oscillator 11 to emit a short-wavelength first laser beam L1, while the long-wavelength second laser oscillator 12 is operated to emit the long-wavelength second laser beam L2.
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the first adjustment mechanism 16 to cause the first laser beam L1 reflected by the first mirror 13 to enter the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the second adjustment mechanism 17 to cause the first laser beam L1 reflected by the second mirror 14 to enter the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the third adjusting mechanism 18 to cause the second laser beam L2 reflected by the third mirror 15 to enter the first core 21 of the transmission fiber 20 .
  • the long-wavelength second laser beam L2 incident on the first core 21 is emitted to the workpiece W in a circular shape.
  • the short-wavelength first laser beam L1 that has entered the second core 22 is emitted toward the workpiece W in a ring shape.
  • the control unit 5 controls the operation of the second laser oscillator 12 to reduce the output of the second long-wavelength laser beam L2 incident on the first core 21 .
  • the output of the second laser beam L2 is set to 4 kW, for example.
  • the output of the second laser beam L2 at time T3 is smaller than the output of the second laser beam L2 at time T2. Therefore, the total output P2 of the laser light at time T3 is smaller than the total output P3 of the laser light at time T2.
  • the control unit 5 adjusts the output of the second long-wavelength laser light L2 incident on the first core 21 so that the total output of the laser light gradually changes from P3 to P2.
  • the operation of the second laser oscillator 12 is controlled so as to gradually decrease the .
  • the generation of spatter can be suppressed by gradually decreasing the output of the laser beam while moving the laser processing head 30 in the welding direction.
  • the control unit 5 performs the fifth step between time T3 and time T4.
  • the controller 5 causes the first core 21 to emit the long-wavelength second laser beam L2 and the second core 22 to emit the short-wavelength first laser beam L1. It controls the operation of the coupling unit 10 . Further, the controller 5 moves the laser processing head 30 in the welding direction. Between the time T3 and the time T4, the first laser beam L1 and the second laser beam L2 are emitted with the outputs set in FIGS. 6A and 6B.
  • the control unit 5 performs the third step between time T4 and time T5.
  • the controller 5 causes the optical coupling unit 10 to stop outputting the second long-wavelength laser beam L2 while the first short-wavelength laser beam L1 is emitted from the second core 22. controls the behavior of The laser processing head 30 reaches the laser end position E at time T4. The controller 5 stops the movement of the laser processing head 30 .
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the first adjustment mechanism 16 to cause the first laser beam L1 reflected by the first mirror 13 to enter the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the controller 5 adjusts the angle of the mirror of the second adjustment mechanism 17 to cause the first short-wavelength laser beam L1 reflected by the second mirror 14 to enter the second core 22 of the transmission fiber 20 .
  • the total output P1 of the laser light at the laser end position E becomes smaller than the total output P2 of the laser light during the fifth step.
  • the short-wavelength first laser beam L1 that has entered the second core 22 is emitted toward the workpiece W in a ring shape.
  • a molten pool 40 is formed at the laser end position E of the workpiece W.
  • the occurrence of a crater at the laser end position E where the movement of the laser processing head 30 is stopped can be prevented.
  • the machining quality of the workpiece W can be improved.
  • the control unit 5 performs the fourth step.
  • the controller 5 controls the operation of the optical coupling unit 10 so that both the first core 21 and the second core 22 emit the short-wavelength first laser light L1.
  • the control unit 5 operates the first laser oscillator 11 to emit the short-wave first laser light L1, while stopping the operation of the long-wave second laser oscillator 12 .
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the first adjusting mechanism 16 to cause the first laser beam L1 reflected by the first mirror 13 to enter the first core 21 of the transmission fiber 20 .
  • the control unit 5 adjusts the angle of the mirror of the second adjustment mechanism 17 to cause the first laser beam L1 reflected by the second mirror 14 to enter the second core 22 .
  • the short-wavelength first laser beam L1 incident on the first core 21 is emitted to the workpiece W in a circular shape.
  • the short-wavelength first laser beam L1 that has entered the second core 22 is emitted toward the workpiece W in a ring shape.
  • the first laser beam L1 is emitted from the first core 21 and the second core 22, and the emission range of the first laser beam L1 is widened without changing or increasing the output power.
  • the occurrence of craters at the laser end position E of the workpiece W made of reflective material can be suppressed over a wide range.
  • control unit 5 stops the operations of the first laser oscillator 11 and the second laser oscillator 12 to end laser welding.
  • ⁇ Modification>> As shown in FIG. 9, between time T1 and time T2, a first step of emitting short-wavelength first laser beam L1 from second core 22 and emitting second laser beam L2 from first core 21. I do. In the first step, the total power of laser light is P3.
  • a second step is performed in which the output of the laser light L2 is gradually reduced until the total output of the laser light is reduced from P3 to P2.
  • the output of the first laser beam L1 and the output of the second laser beam L2 are substantially the same.
  • the third step of stopping the output of the long-wavelength second laser beam L2 while the short-wavelength first laser beam L1 is emitted from the second core 22 is performed.
  • the total power of laser light is P1.
  • time T4 which is the laser end position E
  • the movement of the laser processing head 30 is stopped, and in a state in which the short-wavelength first laser beam L1 is emitted from the second core 22, the long-wavelength second laser beam L2 is output. Switching control is performed to stop
  • a fourth step of emitting short-wavelength first laser light L1 from the first core 21 and the second core 22 is performed.
  • the robot 2 moves the laser processing head 30 to change the position of the laser processing head 30 with respect to the work W, but the present invention is not limited to this form.
  • the work W may be mounted on a moving table (not shown), and the work W may be moved relative to the laser processing head 30 .
  • the laser processing head 30 and the moving table on which the work W is mounted are relatively moved, and the first laser beam L1 and the second laser beam L2 are moved relatively to the work W for processing.
  • the present invention is not limited to this configuration.
  • a configuration in which a laser processing head that emits the short-wavelength first laser beam L1 and a laser processing head that emits the long-wavelength second laser beam L2 are provided separately may be used.
  • the present invention has a highly practical effect of being able to suppress the occurrence of craters at the laser end position, so it is extremely useful and has high industrial applicability.

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Abstract

伝送ファイバ２０は、第１コア２１と、第２コア２２とを有する。第２コア２２は、第１コア２１の外周部に設けられる。レーザ終了工程の第１工程では、第１レーザ光Ｌ１を第２コア２２から出射する一方、第２レーザ光Ｌ２を第１コア２１から出射する。第２工程では、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２のワークＷに対する出射位置をレーザ加工方向に移動させながら、第２レーザ光Ｌ２の出力を徐々に低下する。第３工程では、第１レーザ光Ｌ１を第２コア２２から出射した状態で、第２レーザ光Ｌ２の出力を停止する。

Description

レーザ加工方法
　本発明は、レーザ加工方法に関するものである。
　特許文献１には、第１レーザビームをダブルクラッドファイバの第１ファイバコアに入射する一方、第１レーザビームとは異なる波長の第２レーザビームを第２ファイバコアに入射して、ワークに対して第１レーザビーム及び第２レーザビームを出射するようにしたレーザ切断方法が開示されている。
独国特許出願公開第１０２０１１０７８１７３号明細書
　ところで、従来の発明では、レーザ終了位置において、第１レーザビーム及び第２レーザビームの出射を同時に停止すると、クレータが発生してしまい、ワークの加工品質が低下するおそれがある。
　本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、レーザ終了位置においてクレータが発生するのを抑えることにある。
　第１の態様は、伝送ファイバで伝送されたレーザ光を出射してワークを加工するレーザ加工方法であって、前記伝送ファイバは、第１コアと、該第１コアの外周部に設けられた第２コアとを少なくとも有し、前記レーザ光は、第１レーザ光と、該第１レーザ光よりも波長の長い第２レーザ光とを含み、前記ワークの加工終了時に、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光の出力を調整するレーザ終了工程を備え、前記レーザ終了工程は、前記第１レーザ光を前記第２コアから出射させる一方、前記第２レーザ光を前記第１コアから出射させる第１工程と、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光の前記ワークに対する出射位置をレーザ加工方向に移動させながら、前記第１コアから出射する該第２レーザ光の出力を徐々に低下させる第２工程と、前記第１レーザ光を前記第２コアから出射させた状態で、前記第２レーザ光の出力を停止させる第３工程とを有することを特徴とする。
　第１の態様では、伝送ファイバは、第１コアと、第２コアとを少なくとも有する。第２コアは、第１コアの外周部に設けられる。レーザ終了工程の第１工程では、第１レーザ光を第２コアから出射する一方、第２レーザ光を第１コアから出射する。第２工程では、第１レーザ光及び第２レーザ光のワークに対する出射位置をレーザ加工方向に移動させながら、第１コアから出射する第２レーザ光の出力を徐々に低下する。第３工程では、第１レーザ光を第２コアから出射した状態で、第２レーザ光の出力を停止する。
　このように、第１コアから出射した第２レーザ光の周囲に、第２コアを通過してリング状となった第１レーザ光を出射することで、第２レーザ光の前方を予熱しつつ、第２レーザ光の後方の加工表面をきれいにすることができる。
　また、レーザ終了位置において、第２レーザ光の出力を停止した後も、第１レーザ光の出射を継続することで、溶接終了点におけるクレータの発生を抑え、ワークの加工品質を高めることができる。
　第２の態様は、第１の態様において、前記第３工程の後で、前記第１レーザ光を前記第１コア及び前記第２コアから出射させる第４工程を有することを特徴とする。
　第２の態様では、第１レーザ光を第１コア及び第２コアから出射して、第１レーザ光の出射範囲を広げることで、溶接終了点におけるクレータの発生を広範囲にわたって抑えることができる。
　本開示の態様によれば、レーザ終了位置においてクレータが発生するのを抑えることができる。
図１は、本実施形態に係るレーザ加工装置の概略構成を示す側面図である。 図２は、伝送ファイバを入射端側から見たときの断面図である。 図３は、レーザ光の波長と反射率との関係を示すグラフ図である。 図４は、レーザ光の総出力の時間変化を示すグラフ図である。 図５Ａは、第１コアに第２レーザ光を入射させる一方、第２コアに第１レーザ光を入射させた状態を示す図である。 図５Ｂは、レーザ加工ヘッドの移動中に、第１コアから第２レーザ光を出射させる一方、第２コアから第１レーザ光を出射させた状態を示す図である。 図６Ａは、第１コアに入射させる第２レーザ光の出力を低下させた状態を示す図である。 図６Ｂは、第１レーザ光及び第２レーザ光の出射位置を移動させながら、第２レーザ光の出力を低下させた状態を示す図である。 図７Ａは、第２コアに第１レーザ光を入射させた状態を示す図である。 図７Ｂは、レーザ終了位置において、第２コアから第１レーザ光を出射させた状態を示す図である。 図８Ａは、第１コア及び第２コアに第１レーザ光を入射させた状態を示す図である。 図８Ｂは、レーザ終了位置において、第１コア及び第２コアから第１レーザ光を出射させた状態を示す図である。 図９は、本変形例に係るレーザ光の総出力の時間変化を示すグラフ図である。
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
　図１に示すように、レーザ加工装置１は、光結合ユニット１０と、伝送ファイバ２０と、レーザ加工ヘッド３０と、ロボット２と、制御部５とを備える。
　光結合ユニット１０は、第１レーザ発振器１１と、第２レーザ発振器１２と、第１ミラー１３と、第２ミラー１４と、第３ミラー１５と、第１調整機構１６と、第２調整機構１７と、第３調整機構１８とを有する。
　第１レーザ発振器１１は、制御部５からの指令に基づいて、第１レーザ光Ｌ１を出射する。第１レーザ光Ｌ１は、短波長のレーザ光である。短波長の第１レーザ光Ｌ１は、波長が６００ｎｍ以下（例えば、２６６ｎｍ～６００ｎｍ）の青色レーザ光又は緑色レーザ光である。第１レーザ発振器１１は、図示しない複数のレーザモジュールから複数の第１レーザ光Ｌ１を出射する。
　第２レーザ発振器１２は、制御部５からの指令に基づいて、第２レーザ光Ｌ２を出射する。第２レーザ光Ｌ２は、第１レーザ光Ｌ１よりも波長の長い、長波長のレーザ光である。長波長の第２レーザ光Ｌ２は、波長が８００ｎｍ以上（例えば、８００ｎｍ～１６０００ｎｍ程度）の赤外レーザ光である。
　第１ミラー１３は、第１レーザ発振器１１から出射された複数の第１レーザ光Ｌ１のうち一部の第１レーザ光Ｌ１を反射して、第１調整機構１６に導光する。
　第２ミラー１４は、第１レーザ発振器１１から出射された複数の第１レーザ光Ｌ１のうち残りの第１レーザ光Ｌ１を反射して、第２調整機構１７に導光する。
　第３ミラー１５は、第２レーザ発振器１２から出射された第２レーザ光Ｌ２を反射して、第３調整機構１８に導光する。
　第１調整機構１６は、例えば、２軸ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）ミラーで構成される。第１調整機構１６は、第１ミラー１３で反射された第１レーザ光Ｌ１をさらに反射して、伝送ファイバ２０に導光する。第１調整機構１６は、ミラーの角度を変更することで、伝送ファイバ２０に対する第１レーザ光Ｌ１の入射位置を変更する。これにより、第１レーザ光Ｌ１を、伝送ファイバ２０の第１コア２１又は第２コア２２に対して選択的に入射可能となっている。
　第２調整機構１７は、例えば、２軸ＭＥＭＳミラーで構成される。第２調整機構１７は、第２ミラー１４で反射された第１レーザ光Ｌ１をさらに反射して、伝送ファイバ２０に導光する。第２調整機構１７は、ミラーの角度を変更することで、伝送ファイバ２０に対する第１レーザ光Ｌ１の入射位置を変更する。これにより、第１レーザ光Ｌ１を、伝送ファイバ２０の第１コア２１又は第２コア２２に対して選択的に入射可能となっている。
　第３調整機構１８は、例えば、２軸ＭＥＭＳミラーで構成される。第３調整機構１８は、第３ミラー１５で反射された第２レーザ光Ｌ２をさらに反射して、伝送ファイバ２０に導光する。第３調整機構１８は、ミラーの角度を変更することで、伝送ファイバ２０に対する第２レーザ光Ｌ２の入射位置を変更する。これにより、第２レーザ光Ｌ２を、伝送ファイバ２０の第１コア２１又は第２コア２２に対して選択的に入射可能となっている。
　なお、第１調整機構１６、第２調整機構１７、及び第３調整機構１８は、２軸ＭＥＭＳミラーの代わりに、２軸のガルバノメータ（ガルバノミラー）を用いた構成としてもよい。
　光結合ユニット１０とレーザ加工ヘッド３０とは、伝送ファイバ２０で接続される。第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２は、伝送ファイバ２０を介してレーザ加工ヘッド３０に伝送される。
　図２にも示すように、伝送ファイバ２０は、第１コア２１と、第２コア２２と、第１クラッド２３と、第２クラッド２４と、保護皮膜２５とを有する。
　第１コア２１は、伝送ファイバ２０の軸心に配置される。第１コア２１は、軸方向から見て円形状に形成される。第１コア２１は、例えば、石英ガラスで形成される。
　第１コア２１の外周部には、第１クラッド２３が設けられる。第１クラッド２３は、第１コア２１と同軸に設けられる。第１クラッド２３は、第１コア２１よりも屈折率の低い材料で形成される。第１クラッド２３は、例えば、フッ素がドープされた石英ガラスで構成される。第１クラッド２３の屈折率は、第１コア２１の屈折率よりも低い。
　第１クラッド２３の外周部には、第２コア２２が設けられる。第２コア２２は、第１コア２１と同軸に設けられる。第２コア２２は、軸方向から見てリング状に形成される。第２コア２２は、第１コア２１と同じ材質、例えば、石英ガラスで構成される。第２コア２２の屈折率は、第１クラッド２３の屈折率よりも高い。
　第２コア２２の外周部には、第２クラッド２４が設けられる。第２クラッド２４は、第１コア２１及び第２コア２２と同軸に設けられる。第２クラッド２４は、例えば、フッ素がドープされた石英ガラスで構成される。第２クラッド２４の屈折率は、第２コア２２の屈折率よりも低い。
　第２クラッド２４の外周部には、保護皮膜２５が設けられる。保護皮膜２５は、例えば、合成樹脂で構成される。保護皮膜２５は、石英ガラスで構成された第１コア２１、第２コア２２、第１クラッド２３、及び第２クラッド２４を機械的に保護する。保護皮膜２５は、伝送ファイバ２０から第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２が漏れ出すことや、外部から伝送ファイバ２０に光が漏れ込むのを抑える。
　図１に示すように、レーザ加工ヘッド３０は、伝送ファイバ２０から入射される第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２をワークＷに出射する。図１に示す例では、円形状の第２レーザ光Ｌ２の外周部が、リング状の第１レーザ光Ｌ１で囲まれた状態で、レーザ光が出射される。
　レーザ加工ヘッド３０は、コリメートレンズ３１と、第４ミラー３２と、集光レンズ３３とを有する。
　コリメートレンズ３１は、伝送ファイバ２０の出射端から出射された第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２を平行化する。
　第４ミラー３２は、コリメートレンズ３１で平行化された第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２を反射して、集光レンズ３３に導光する。
　集光レンズ３３は、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２を集光する。集光レンズ３３で集光された第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２は、ワークＷに出射される。
　ロボット２は、ロボットアーム３を有する。ロボットアーム３の先端部には、レーザ加工ヘッド３０が取り付けられる。ロボットアーム３は、複数の関節部４を有する。
　ロボット２は、制御部５からの指令に基づいて、レーザ加工ヘッド３０を所定の溶接方向（加工方向）に沿って移動させ、ワークＷに対するレーザ加工ヘッド３０の位置を変更する。これにより、ワークＷに対する第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２の出射位置を移動させ、レーザ加工を行う。
　制御部５は、光結合ユニット１０、レーザ加工ヘッド３０、及びロボット２に接続される。制御部５は、光結合ユニット１０、レーザ加工ヘッド３０、及びロボット２の動作を制御する。
　制御部５は、レーザ加工ヘッド３０の移動速度の他に、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２の出力開始や停止、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２の出力強度などを制御する機能も備える。なお、制御部５は、ここで１つの構成になっているが、複数で構成しても良い。
　ワークＷは、例えば板状に形成される。ワークＷは、レーザ吸収率の低い高反射率材料で構成される。具体的に、図３に示すように、レーザ光の反射率は、ワークＷの材質によって異なる。例えば、波長が８００ｎｍ以上の長波長としての赤外レーザ光を基準とした場合、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）は、鉄（Ｆｅ）に比べてレーザ光の波長の反射率（％）が高く、言い換えるとレーザ吸収率の低い高反射率材料であることが分かる。一方、鉄（Ｆｅ）は、相対的にレーザ光の波長の反射率（％）が低く、言い換えるとレーザ吸収率の高い低反射率材料であることが分かる。
　そこで、本実施形態では、レーザ吸収率の低い高反射率材料であるワークＷを銅で構成している。なお、ワークＷを金又は銀で構成してもよい。
　〈レーザ終了位置における動作について〉
　レーザ加工装置１は、ワークＷの溶接開始点であるレーザ開始位置Ｓにおいて、レーザ照射の開始工程でレーザ照射開始時に、第１レーザ光Ｌ１を出射してワークＷの表面を先に一部溶融させ溶融池を形成し、さらに予熱を行った後、第２レーザ光Ｌ２を出射する。これにより、レーザ開始位置Ｓにおける、レーザ照射の開始工程でのスパッタの発生を抑えることができる。
　レーザ加工装置１は、レーザ開始位置Ｓから、ワークＷの溶接終了点であるレーザ終了位置Ｅまで、レーザ加工ヘッド３０を移動させながら、ワークＷに対して第１レーザ光Ｌ１及び／又は第２レーザ光Ｌ２を出射して、レーザ溶接を行う。
　ところで、ワークＷのレーザ終了位置Ｅにおいて、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２の出射を同時に停止すると、クレータが発生してしまい、ワークＷの加工品質が低下するおそれがある。
　そこで、本実施形態のレーザ加工装置１では、レーザ終了位置Ｅにおいて、レーザ終了工程でのクレータが発生するのを抑えるための制御を行うようにした。
　具体的に、レーザ終了工程を図４に示す。レーザ終了位置Ｅの所定時間又は所定距離手前で、レーザ終了指令により、レーザ本工程からレーザ終了工程に移行する。レーザ終了工程では、レーザ開始位置Ｓから溶接方向に、レーザ加工ヘッド３０を所定距離移動させた後の時刻Ｔ１から時刻Ｔ２の間において、制御部５は、第１工程を行う。第１工程では、制御部５は、第１コア２１から長波長の第２レーザ光Ｌ２が出射される一方、第２コア２２から短波長の第１レーザ光Ｌ１が出射されるように、光結合ユニット１０の動作を制御する。制御部５は、レーザ加工ヘッド３０を溶接方向に移動させる。
　第１工程は、ビード端部の領域において、継手強度が得られる溶込みを得る溶接強度保持領域を形成する。これにより、ビード端部に溶込みを確保し、応力が集中した場合でも、ビード端を起点とする破断であるはく離を防止することができる。
　第１工程において、図５Ａに示すように、制御部５は、短波長の第１レーザ発振器１１を動作させて短波長の第１レーザ光Ｌ１を出射させる一方、長波長の第２レーザ発振器１２を動作させて長波長の第２レーザ光Ｌ２を出射させる。
　制御部５は、第１調整機構１６のミラーの角度を調整して、第１ミラー１３で反射された第１レーザ光Ｌ１を伝送ファイバ２０の第２コア２２に入射させる。制御部５は、第２調整機構１７のミラーの角度を調整して、第２ミラー１４で反射された第１レーザ光Ｌ１を伝送ファイバ２０の第２コア２２に入射させる。制御部５は、第３調整機構１８のミラーの角度を調整して、第３ミラー１５で反射された第２レーザ光Ｌ２を、伝送ファイバ２０の第１コア２１に入射させる。
　図５Ｂに示すように、第１コア２１に入射された長波長の第２レーザ光Ｌ２は、ワークＷに対して円形状に出射される。第２コア２２に入射された短波長の第１レーザ光Ｌ１は、ワークＷに対してリング状に出射される。ここで、第１レーザ光Ｌ１の出力は、０．５ｋＷ～４ｋＷ、好ましくは、２ｋＷに設定する。また、第２レーザ光Ｌ２の出力は、例えば、１０ｋＷに設定する。
　このように、第１コア２１から出射した長波長の第２レーザ光Ｌ２の周囲に、第２コア２２を通過してリング状となった短波長の第１レーザ光Ｌ１を出射することで、第２レーザ光Ｌ２の前方を予熱しつつ、第２レーザ光Ｌ２の後方の加工表面をきれいにすることができる。
　ワークＷには、短波長の第１レーザ光Ｌ１及び長波長の第２レーザ光Ｌ２のワークＷに対する出射位置に溶融池４０が形成される。ワークＷにおける溶融池４０よりも溶接方向の後方には、溶融池４０が凝固することで溶接ビード４１が形成される。
　図４に示すように、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３の間において、制御部５は、第２工程を行う。第２工程では、制御部５は、第１コア２１から長波長の第２レーザ光Ｌ２が出射される一方、第２コア２２から短波長の第１レーザ光Ｌ１が出射されるように、光結合ユニット１０の動作を制御する。また、制御部５は、レーザ加工ヘッド３０を溶接方向に移動させながら、第１コア２１から出射される長波長の第２レーザ光Ｌ２の出力を徐々に低下させる。
　第２工程において、図６Ａに示すように、制御部５は、短波長の第１レーザ発振器１１を動作させて短波長の第１レーザ光Ｌ１を出射させる一方、長波長の第２レーザ発振器１２を動作させて長波長の第２レーザ光Ｌ２を出射させる。
　制御部５は、第１調整機構１６のミラーの角度を調整して、第１ミラー１３で反射された第１レーザ光Ｌ１を伝送ファイバ２０の第２コア２２に入射させる。制御部５は、第２調整機構１７のミラーの角度を調整して、第２ミラー１４で反射された第１レーザ光Ｌ１を伝送ファイバ２０の第２コア２２に入射させる。制御部５は、第３調整機構１８のミラーの角度を調整して、第３ミラー１５で反射された第２レーザ光Ｌ２を、伝送ファイバ２０の第１コア２１に入射させる。
　図６Ｂに示すように、第１コア２１に入射された長波長の第２レーザ光Ｌ２は、ワークＷに対して円形状に出射される。第２コア２２に入射された短波長の第１レーザ光Ｌ１は、ワークＷに対してリング状に出射される。制御部５は、第２レーザ発振器１２の動作を制御して、第１コア２１に入射された長波長の第２レーザ光Ｌ２の出力を低下させる。ここで、第２レーザ光Ｌ２の出力は、例えば、４ｋＷに設定する。
　具体的に、第２工程では、図４に示すように、時刻Ｔ３における第２レーザ光Ｌ２の出力は、時刻Ｔ２における第２レーザ光Ｌ２の出力よりも小さくなっている。そのため、時刻Ｔ２におけるレーザ光の総出力Ｐ３よりも、時刻Ｔ３におけるレーザ光の総出力Ｐ２の方が小さくなる。制御部５は、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３にかけて、レーザ光の総出力がＰ３からＰ２に徐々に変化するように、言い換えると、第１コア２１に入射された長波長の第２レーザ光Ｌ２の出力を徐々に低下させるように、第２レーザ発振器１２の動作を制御する。
　このように、レーザ加工ヘッド３０を溶接方向に移動させながら、レーザ光の出力を徐々に低下させることで、スパッタの発生を抑えることができる。
　図４に示すように、時刻Ｔ３から時刻Ｔ４の間において、制御部５は、第５工程を行う。第５工程では、制御部５は、第１コア２１から長波長の第２レーザ光Ｌ２が出射される一方、第２コア２２から短波長の第１レーザ光Ｌ１が出射されるように、光結合ユニット１０の動作を制御する。また、制御部５は、レーザ加工ヘッド３０を溶接方向に移動させる。時刻Ｔ３から時刻Ｔ４の間では、図６Ａ及び図６Ｂで設定された出力で、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２が出射される。
　図４に示すように、時刻Ｔ４から時刻Ｔ５の間において、制御部５は、第３工程を行う。第３工程では、制御部５は、短波長の第１レーザ光Ｌ１を第２コア２２から出射させた状態で、長波長の第２レーザ光Ｌ２の出力を停止させるように、光結合ユニット１０の動作を制御する。レーザ加工ヘッド３０は、時刻Ｔ４の時点で、レーザ終了位置Ｅに到達する。制御部５は、レーザ加工ヘッド３０の移動を停止させる。
　レーザ加工ヘッド３０の移動が停止されているレーザ終了位置Ｅ（Ｔ４）において、図７Ａに示すように、制御部５は、短波長の第１レーザ発振器１１を動作させて短波長の第１レーザ光Ｌ１を出射させる一方、長波長の第２レーザ発振器１２の動作を停止させる。制御部５は、第１調整機構１６のミラーの角度を調整して、第１ミラー１３で反射された第１レーザ光Ｌ１を伝送ファイバ２０第２コア２２に入射させる。制御部５は、第２調整機構１７のミラーの角度を調整して、第２ミラー１４で反射された短波長の第１レーザ光Ｌ１を伝送ファイバ２０の第２コア２２に入射させる。これにより、レーザ終了位置Ｅにおけるレーザ光の総出力Ｐ１は、第５工程中のレーザ光の総出力Ｐ２よりも小さくなる。
　図７Ｂに示すように、第２コア２２に入射された短波長の第１レーザ光Ｌ１は、ワークＷに対してリング状に出射される。ワークＷのレーザ終了位置Ｅには、溶融池４０が形成されている。このように、第２レーザ光Ｌ２の出力を停止した後も、第１レーザ光Ｌ１の出射を継続することで、レーザ加工ヘッド３０の移動が停止されているレーザ終了位置Ｅにおけるクレータの発生を抑え、ワークＷの加工品質を高めることができる。
　図４に示すように、時刻Ｔ５から時刻Ｔ６の間において、制御部５は、第４工程を行う。第４工程では、制御部５は、第１コア２１及び第２コア２２の両方から短波長の第１レーザ光Ｌ１が出射されるように、光結合ユニット１０の動作を制御する。
　図８Ａに示すように、制御部５は、第１レーザ発振器１１を動作させて短波長の第１レーザ光Ｌ１を出射させる一方、長波長の第２レーザ発振器１２の動作を停止させる。制御部５は、第１調整機構１６のミラーの角度を調整して、第１ミラー１３で反射された第１レーザ光Ｌ１を伝送ファイバ２０の第１コア２１に入射させる。さらに、制御部５は、第２調整機構１７のミラーの角度を調整して、第２ミラー１４で反射された第１レーザ光Ｌ１を第２コア２２に入射させる。
　図８Ｂに示すように、第１コア２１に入射された短波長の第１レーザ光Ｌ１は、ワークＷに対して円形状に出射される。第２コア２２に入射された短波長の第１レーザ光Ｌ１は、ワークＷに対してリング状に出射される。第１コア２１及び第２コア２２から出射された短波長の第１レーザ光Ｌ１が合わさることで、高反射材料のワークＷに対する第１レーザ光Ｌ１の出射範囲は、第３工程における第１レーザ光Ｌ１の出射範囲（図７Ｂ参照）よりも広くなる。
　このように、第１レーザ光Ｌ１を第１コア２１及び第２コア２２から出射して、出力を変えずに、又は増加させずに、第１レーザ光Ｌ１の出射範囲を広げることで、高反射材料のワークＷのレーザ終了位置Ｅにおけるクレータの発生を広範囲にわたって抑えることができる。
　図４に示すように、時刻Ｔ６において、制御部５は、第１レーザ発振器１１及び第２レーザ発振器１２の動作を停止させ、レーザ溶接を終了する。
　《変形例》
　図９に示すように、時刻Ｔ１から時刻Ｔ２の間において、短波長の第１レーザ光Ｌ１を第２コア２２から出射させる一方、第２レーザ光Ｌ２を第１コア２１から出射させる第１工程を行う。第１工程では、レーザ光の総出力がＰ３である。
　時刻Ｔ２から時刻Ｔ４の間において、短波長の第１レーザ光Ｌ１及び長波長の第２レーザ光Ｌ２のワークＷに対する出射位置をレーザ加工方向に移動させながら、第１コア２１から出射する第２レーザ光Ｌ２の出力を、レーザ光の総出力がＰ３からＰ２になるまで徐々に低下させる第２工程を行う。時刻Ｔ３では、第１レーザ光Ｌ１の出力と、第２レーザ光Ｌ２の出力とが略同じになっている。
　時刻Ｔ４から時刻Ｔ５の間において、短波長の第１レーザ光Ｌ１を第２コア２２から出射させた状態で、長波長の第２レーザ光Ｌ２の出力を停止させる第３工程を行う。第３工程では、レーザ光の総出力がＰ１である。レーザ終了位置Ｅである時刻Ｔ４では、レーザ加工ヘッド３０の移動を停止させ、短波長の第１レーザ光Ｌ１を第２コア２２から出射させた状態で、長波長の第２レーザ光Ｌ２の出力を停止させる切り替え制御を行っている。
　時刻Ｔ５から時刻Ｔ６の間において、短波長の第１レーザ光Ｌ１を第１コア２１及び第２コア２２から出射させる第４工程を行う。
　《その他の実施形態》
　前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
　本実施形態では、ロボット２でレーザ加工ヘッド３０を移動させ、ワークＷに対するレーザ加工ヘッド３０の位置を変更するようにしたが、この形態に限定するものではない。例えば、ワークＷを移動テーブル（図示省略）に搭載して、レーザ加工ヘッド３０に対して、ワークＷを相対的に移動させる構成であってもよい。
　また、レーザ加工ヘッド３０とワークＷを搭載した移動テーブルとを相対的に移動させ、ワークＷに対して相対的に第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２を移動させて加工する構成であっても良い。
　本実施形態では、１つのレーザ加工ヘッド３０から短波長の第１レーザ光Ｌ１及び長波長の第２レーザ光Ｌ２を出射するようにした形態について説明したが、この形態に限定するものではない。例えば、短波長の第１レーザ光Ｌ１を出射するレーザ加工ヘッドと、長波長の第２レーザ光Ｌ２を出射するレーザ加工ヘッドとを別々に設けた構成であってもよい。
　以上説明したように、本発明は、レーザ終了位置においてクレータが発生するのを抑えることができるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。
　　１　　レーザ加工装置
　　２　　ロボット
　　５　　制御部
　１１　　第１レーザ発振器
　１２　　第２レーザ発振器
　１６　　第１調整機構
　１７　　第２調整機構
　１８　　第３調整機構
　２０　　伝送ファイバ
　２１　　第１コア
　２２　　第２コア
　Ｌ１　　第１レーザ光
　Ｌ２　　第２レーザ光
　　Ｗ　　ワーク

Claims (2)

  1. 　伝送ファイバで伝送されたレーザ光を出射してワークを加工するレーザ加工方法であって、
    　前記伝送ファイバは、第１コアと、該第１コアの外周部に設けられた第２コアとを少なくとも有し、
    　前記レーザ光は、第１レーザ光と、該第１レーザ光よりも波長の長い第２レーザ光とを含み、
    　前記ワークの加工終了時に、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光の出力を調整するレーザ終了工程を備え、
    　前記レーザ終了工程は、
    　　前記第１レーザ光を前記第２コアから出射させる一方、前記第２レーザ光を前記第１コアから出射させる第１工程と、
    　　前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光の前記ワークに対する出射位置をレーザ加工方向に移動させながら、前記第１コアから出射する該第２レーザ光の出力を徐々に低下させる第２工程と、
    　　前記第１レーザ光を前記第２コアから出射させた状態で、前記第２レーザ光の出力を停止させる第３工程とを有する
    ことを特徴とするレーザ加工方法。
  2. 　請求項１において、
    　前記第３工程の後で、前記第１レーザ光を前記第１コア及び前記第２コアから出射させる第４工程を有する
    ことを特徴とするレーザ加工方法。
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