JP7390194B2

JP7390194B2 - エアギャップ形成方法

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Publication number: JP7390194B2
Application number: JP2020006032A
Authority: JP
Inventors: 有紀田中; 浩幸橋本; 秀二野沢; 達也山口
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2020-01-17
Filing date: 2020-01-17
Publication date: 2023-12-01
Anticipated expiration: 2040-01-17
Also published as: JP2021114524A

Description

開示の実施形態は、エアギャップ形成方法に関する。

特許文献１は、エアギャップ形成用のシリカ系被膜形成材料をスピン塗布法によって塗布することで、基板の凹部を埋め込むことはなく、開口度の大きなエアギャップを形成する技術を開示する。

特開２０１１－１８１８９８号公報

本開示は、エアギャップを効率よく形成する技術を提供する。

本開示の一態様によるエアギャップ形成方法は、凹部を有する基板にエアギャップを形成するエアギャップ形成方法である。エアギャップ形成方法は、基板の凹部内を熱分解性ポリマーで埋め込む工程と、熱分解性ポリマー上にシリコン含有溶液を塗布する工程と、基板を焼成して熱分解性ポリマーを分解しつつ、シリコン含有溶液を固化してエアギャップを形成する工程と、を含む。

本開示によれば、エアギャップを効率よく形成できる。

図１は、実施形態に係るエアギャップ形成方法の一例を示すフローチャートである。図２Ａは、実施形態に係るエアギャップ形成方法でエアギャップを形成する際の基板の状態を示す図である。図２Ｂは、実施形態に係るエアギャップ形成方法でエアギャップを形成する際の基板の状態を示す図である。図２Ｃは、実施形態に係るエアギャップ形成方法でエアギャップを形成する際の基板の状態を示す図である。図２Ｄは、実施形態に係るエアギャップ形成方法でエアギャップを形成する際の基板の状態を示す図である。図２Ｅは、実施形態に係るエアギャップ形成方法でエアギャップを形成する際の基板の状態を示す図である。図３は、実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す図である。図４は、エアギャップを形成した実験結果を示す図である。

以下、図面を参照して本願の開示するエアギャップ形成方法の実施形態について詳細に説明する。なお、本実施形態により、開示するエアギャップ形成方法が限定されるものではない。

ところで、近年、半導体集積回路（ＬＳＩ）の高集積化及び高性能化に伴って、素子間を結ぶ配線の間隔が狭小化している。このような配線の間隔の狭小化に伴って、寄生容量が生じることが知られており、寄生容量の低減化が求められている。寄生容量を低減する技術として、特許文献１には、配線間に意図的にエアギャップ（空隙）を形成する技術が提案されている。

しかし、特許文献１の技術は、シリカ系被膜形成材料をスピン塗布法によって基板の凹部を埋め込まないように塗布する必要があり、生産性よくエアギャップを形成できない。そこで、生産性よくエアギャップを形成することが期待されている。

（実施形態）
（エアギャップの形成方法）
実施形態に係るエアギャップ形成方法について説明する。図１は、実施形態に係るエアギャップ形成方法の一例を示すフローチャートである。本実施形態では、図１のフローチャートに示された手順により、基板Ｗにエアギャップが形成される。以下では、図２Ａ～図２Ｅを参照しながら、図１のフローチャートに示された手順でエアギャップを形成する際の基板Ｗの状態を説明する。図２Ａ～図２Ｅは、実施形態に係るエアギャップ形成方法でエアギャップを形成する際の基板Ｗの状態を示す図である。

まず、処理対象の基板Ｗを準備する（ステップＳ１０）。基板Ｗは、例えば図２Ａに示されるような構造である。図２Ａには、基板Ｗの断面図が示されている。基板Ｗは、例えば、半導体ウエハなどのシリコン基板とする。基板Ｗは、凹部１１を有する。例えば、基板Ｗは、金属膜１２が積層されており、金属膜１２に凹部１１が形成されている。

次に、基板Ｗの凹部１１内を熱分解性ポリマーで埋め込む（ステップＳ１１）。熱分解性ポリマーとしては、例えば、ポリ尿素が挙げられる。例えば、図２Ｂに示すように、基板Ｗに、ポリ尿素膜１３を成膜する。ポリ尿素の成膜手法の一例としては、イソシアネートとアミンとを用いて共重合により生成することができ、例えば真空雰囲気下で両原料を気体の状態で交互、もしくは同時に基板Ｗに供給する。ポリ尿素は、例えば、３００℃程度に加熱することにより、一部が解重合してモノマーになり、冷却することで重合する。これにより、ポリ尿素膜１３は、断面形状を変えることができ、凹部１１内を埋めた状態に変えることができる。

次に、基板Ｗに成膜した熱分解性ポリマーの少なくとも一部を除去する（ステップＳ１２）。例えば、図２Ｃに示すように、基板Ｗをエッチングバックしてポリ尿素膜１３の少なくとも一部を除去する。ポリ尿素膜１３の除去は、エッチングにより行ってもよく、また、基板Ｗを例えば３００℃程度に加熱してポリ尿素を一部解重合させることにより行ってよい。熱分解性ポリマーの除去量を制御することにより、形成されるエアギャップの高さを調整できる。例えば、ポリ尿素膜１３が薄くなるほど、形成されるエアギャップの高さを低く調整できる。

次に、基板Ｗの熱分解性ポリマー上にシリコン含有溶液を塗布する（ステップＳ１３）。例えば、分子中に６～８員の単環式飽和炭素環を含み沸点が１６０℃未満である第１の溶媒と、分子中に飽和炭素環又は部分飽和炭素環を含み沸点が１６０℃以上である第２の溶媒とを含む混合溶媒に、シランポリマーを溶解させた溶液（以下「シランポリマー溶液」ともいう。）を、基板Ｗに塗布して、図２Ｄに示すように、塗布膜１４を形成する。

次に、基板Ｗを焼成して、熱分解性ポリマーを分解しつつシリコン含有溶液を固化してエアギャップを形成する（ステップＳ１４）。加熱の条件は特に限定されず、シランポリマーからシリコン膜を形成するにあたって従来使用される条件を採用してよい。例えば、アモルファス状のシリコン膜を形成する場合、３００～６００℃（好ましくは３５０～５００℃）にて３０秒間～３００分間の条件にて塗布膜１４を加熱してよい。例えば、基板Ｗを４００℃にて１５分間加熱する。これにより、基板Ｗでは、熱分解性ポリマーの分解と、シリコン含有溶液の塗布膜１４の固化が同時進行する。図２Ｅに示すように、基板Ｗでは、焼成されることで塗布膜１４が固化してアモルファスシリコン膜１５に変換する。また、基板Ｗでは、ポリ尿素膜１３がアモルファスシリコン膜１５を透過して昇華して消失し、エアギャップ１６が形成される。ここで、アモルファスシリコン膜１５が厚い場合、ポリ尿素膜１３が昇華する際に圧力によって、アモルファスシリコン膜１５が破れる虞がある。そこで、基板Ｗの焼成では、基板Ｗを第１温度にした後、第１温度より高い第２温度で基板Ｗを焼成してもよい。例えば、基板Ｗを２００℃にして一定時間保った後、基板Ｗを４００℃で基板Ｗを焼成してもよい。エアギャップ１６の空間の圧力が急激に高まることを抑制できるため、アモルファスシリコン膜１５が破れることを抑制できる。

このように実施形態に係るエアギャップ形成方法は、熱分解性ポリマー上にシリコン含有溶液を均一に塗布した後、焼成することで、熱分解性ポリマーの分解と、シリコン含有溶液の塗布膜１４の固化を同時進行でき、エアギャップ１６を効率よく形成できる。

次に、実施形態に係るエアギャップ形成方法で使用する第１の溶媒、第２の溶媒、シランポリマー、混合溶媒およびシランポリマー溶液について説明する。

（第１の溶媒）
第１の溶媒は、分子中に６～８員の単環式飽和炭素環を含み沸点が１６０℃未満である。第１の溶媒を用いることにより、広範な分子サイズのシランポリマーを用いてシランポリマー溶液を調製することが可能となる。なお、本明細書において、「沸点」は、大気圧下での沸点を意味する。

シランポリマーの溶解性、特に分子サイズの大きなシランポリマーを溶解させ得る観点から、第１の溶媒は、分子中に６～８員の単環式飽和炭素環を１個含むことが好ましく、分子中に７員又は８員の単環式飽和炭素環を１個含むことがより好ましい。

６～８員の単環式飽和炭素環は、シランポリマーの溶解性を阻害しない限りにおいて、置換基を有していてもよい。置換基は特に限定されず、例えば、炭素原子数１～４のアルキル基（好ましくは炭素原子数１～３、より好ましくは炭素原子数１又は２）が挙げられる。置換基の数は限定されず、複数の置換基を有する場合、それらは互いに同一でも異なってもよい。

第１の溶媒としては、例えば、シクロヘキサン（８１℃）、シクロヘプタン（１１２℃）、シクロオクタン（１５１℃）、メチルシクロヘキサン（１０１℃）、エチルシクロヘキサン（１３２℃）、ジメチルシクロヘキサン（１２０～１３０℃）、ｎ－プロピルシクロヘキサン（１５７℃）、イソプロピルシクロヘキサン（１５５℃）、トリメチルシクロヘキサン（１３６～１４５℃）、メチルエチルシクロヘキサン（１４８℃）が挙げられる（括弧内は沸点）。

中でも、広範な分子サイズのシランポリマーを溶解させ得る観点から、第１の溶媒は、好ましくは炭素原子数６～８のシクロアルカン、より好ましくは炭素原子数７又は８のシクロアルカン、特に好ましくは炭素原子数８のシクロアルカンである。したがって特に好適な一実施形態において、第１の溶媒はシクロオクタンである。

第１の溶媒の沸点の下限は、後述する第２の溶媒との組み合わせにおいてシリコン膜の成膜性に優れることから、好ましくは１００℃以上、より好ましくは１１０℃以上、１２０℃以上、又は１３０℃以上である。

第１の溶媒としては、単環式飽和炭素環含む溶媒以外の溶媒を用いてよい。単環式飽和炭素環含む溶媒以外の溶媒としては、例えば、トルエン、ベンゼンを挙げることができる。トルエン、ベンゼンとしては、ｎ－ヘプタン、ｎ－オクタン、デカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロへキシルベンゼンなどの炭化水素系溶媒；エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１,２－ジメトキシエタン、ビス（２－メトキシエチル）エーテル、ｐ－ジオキサンなどのエーテル系溶媒；さらにプロピレンカーボネート、γ－ブチロラクトン、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの非プロトン性極性溶媒を挙げることができる。

（第２の溶媒）
第２の溶媒は、分子中に飽和炭素環又は部分飽和炭素環を含み沸点が１６０℃以上である。第１の溶媒と組み合わせて第２の溶媒を用いることにより、広範な分子サイズのシランポリマーからシリコン膜を成膜性よく形成することが可能となる。本明細書において、「部分飽和炭素環」とは、不飽和炭素環の二重結合のうち少なくとも１個の二重結合を除く任意の個数の二重結合を水素化により単結合に変換した炭素環をいう。

ここで、分子サイズの大きいシランポリマーからシリコン膜を形成する場合や、低濃度のシランポリマー溶液を用いてシリコン膜を形成する場合には、従来、基板の全面にシリコン膜を形成することは困難となる傾向にあった。これに対し、第１の溶媒と組み合わせて第２の溶媒を用いるシランポリマー溶液によれば、分子サイズの大きなシランポリマーを用いる場合や、低濃度のシランポリマー溶液を用いる場合にも、基板の全面にシリコン膜を形成することが可能である。

広範な分子サイズのシランポリマー、とりわけ、成膜が困難とされていた分子サイズの大きなシランポリマーからシリコン膜を成膜性よく形成し得る観点から、第２の溶媒は、分子中に８～１２員の飽和炭素環又は部分飽和炭素環を１個含むことが好ましい。飽和炭素環又は部分飽和炭素環は、多環式の飽和炭素環又は部分飽和炭素環であることが好ましく、二環式の飽和炭素環又は部分飽和炭素環であることがより好ましい。第２の溶媒が分子中に多環式の部分飽和炭素環を含む場合、多環を構成する少なくとも１つの環は飽和炭素環構造を有する（すなわち、不飽和度が０である）ことが好ましい。例えば、第２の溶媒が分子中に二環式の部分飽和炭素環を含む場合、二環の一方の環が飽和炭素環構造を有し他方の環が不飽和炭素環構造を有することが好ましい。中でも、第１の溶媒との組み合わせにおいて、第２の溶媒は、分子中に多環式飽和炭素環を含むことが好ましく、二環式飽和炭素環を含むことが特に好ましい。第２の溶媒において、飽和炭素環又は部分飽和炭素環は、シリコン膜の成膜性を阻害しない限りにおいて、置換基を有していてもよい。置換基は特に限定されず、例えば、炭素原子数１～４のアルキル基（好ましくは炭素原子数１～３、より好ましくは炭素原子数１又は２）が挙げられる。置換基の数は限定されず、複数の置換基を有する場合、それらは互いに同一でも異なってもよい。

第２の溶媒としては、例えば、デカヒドロナフタレン（デカリン）（１９３℃）、１,２,３,４－テトラヒドロナフタレン（テトラリン）（２０７℃）、メチルデカヒドロナフタレン（２１０℃）、ジメチルデカヒドロナフタレン（２２４℃）、エチルデカヒドロナフタレン（２２６℃）、イソプロピルデカヒドロナフタレン（２４１℃）が挙げられる（括弧内は沸点）。

中でも、第１の溶媒との組み合わせにおいて、広範な分子サイズのシランポリマーから特に成膜性よくシリコン膜を形成し得る観点から、第２の溶媒は、好ましくは炭素原子数８～１２のビシクロアルカン、より好ましくは炭素原子数１０～１２のビシクロアルカン、特に好ましくは炭素原子数１０のビシクロアルカンである。したがって特に好適な一実施形態において、第２の溶媒はデカヒドロナフタレンである。

第１の溶媒との組み合わせにおいて広範な分子サイズのシランポリマーから成膜性よくシリコン膜を形成し得る観点から、第２の溶媒の沸点は、第１の溶媒の沸点より２０℃以上高いことが好ましく、３０℃以上高いことがより好ましく、４０℃以上高いことがさらに好ましい。第２の溶媒の沸点の上限は、第１の溶媒との組み合わせにおいて混合溶媒を調製し得る限り特に限定されないが、通常、２５０℃以下、２４０℃以下などとし得る。

広範な分子サイズのシランポリマーから特に成膜性よくシリコン膜を形成し得る観点から、混合溶媒において、第１の溶媒の体積を１としたとき、第２の溶媒の体積は、好ましくは２以下、より好ましくは１以下、さらに好ましくは０．７以下、又は０．５以下である。特に、第１の溶媒の体積を１としたとき、第２の溶媒の体積が０．５以下である混合溶媒を用いると、重量平均分子量（Ｍｗ）が１００，０００を超えるような分子サイズが非常に大きいシランポリマーを用いる場合であっても、成膜性よくシリコン膜を形成することが可能となる。

混合溶媒中に第２の溶媒が少量でも入っていれば、混合溶媒を用いる利点を享受し得る。例えば、混合溶媒において、第１の溶媒の体積を１としたとき、第２の溶媒の体積は０．００１以上であってよく、好ましくは０．００５以上、より好ましくは０．０１以上、０．０２以上、又は０．０３以上である。本明細書において、第１の溶媒と第２の溶媒の体積比は、室温下における第１の溶媒の体積と第２の溶媒の体積を基準として算出した値である。

（シランポリマー）
シランポリマーは、加熱によってシリコン膜を形成できる限り特に限定されず、例えば、光重合性のシラン化合物に光照射して得られた従来公知の方法により製造したシランポリマー（好ましくはポリジヒドロシラン）を用いてよい。

光重合性のシラン化合物としては、例えば、鎖状シラン化合物、環状シラン化合物、かご状シラン化合物が挙げられる。中でも、光重合性に優れるため、環状シラン化合物が好ましい。環状シラン化合物としては、例えば、シクロトリシラン、シクロテトラシラン、シクロペンタシラン、シクロヘキサシラン、シクロヘプタシラン、ネオペンタシラン、トリシラン等の１個の環状シラン構造を有する環状シラン化合物；１，１’－ビシクロブタシラン、１，１’－ビシクロペンタシラン、１，１’－ビシクロヘキサシラン、１，１’－ビシクロヘプタシラン、スピロ［２，２］ペンタシラン、スピロ［３，３］ヘプタシラン、スピロ［４，４］ノナシラン等の２個の環状シラン構造を有する環状シラン化合物；これら環状シラン化合物において、水素原子の一部又は全部がシリル基やハロゲン原子に置換したシラン化合物等が挙げられる。

特に、高純度にて合成し易い観点から、シクロペンタシラン、シクロヘキサシラン、シクロヘプタシランが好ましく、シクロヘキサシランがより好ましい。したがって一実施形態において、エアギャップ形成方法は、シクロヘキサシランに光照射してシランポリマーを調製する工程を含んでもよい。

光照射は、従来公知の任意の条件にて実施することができる。例えば、照射波長は３００～４２０ｎｍ、照射時間は０．１秒間～６００分間の範囲とし得る。

（シランポリマー溶液）
シランポリマー溶液は、上記第１の溶媒と第２の溶媒とを含む混合溶媒にシランポリマーを溶解させて調製することができる。この混合溶媒は、広範な分子サイズのシランポリマーを用いてシランポリマー溶液を調製することができる。

シランポリマー溶液のシランポリマーの濃度（以下、単に「溶液濃度」ともいう。）は、シランポリマーの分子サイズにもよるが、例えば、３０体積％以下の範囲において調整することができる。薄いシリコン膜を形成する観点から、該溶液濃度は、好ましくは２０体積％以下、より好ましくは１０体積％以下、さらに好ましくは５体積％以下である。従来、溶液濃度が低くなると、基板Ｗの全面にシリコン膜を形成することが困難になる傾向にあった。これに対し、本実施形態のシランポリマー溶液は、溶液濃度が低い場合にも、基板Ｗの全面にシリコン膜を形成することが可能である。また、本実施形態のシランポリマー溶液は、分子サイズの大きなシランポリマー（上述のとおり、低濃度でもシリコン膜を形成し得る）を利用し得るという利点も相俟って、極めて薄いシリコン膜を基板Ｗの全面に形成することができる。本実施形態のシランポリマー溶液は、成膜性の悪化なしに、溶液濃度を、４体積％以下、３体積％以下、又は２体積％以下にまで低くすることができる。本実施形態のシランポリマー溶液は、溶液濃度の下限は特に限定されないが、シリコン膜の成膜性の観点から、通常、０．１体積％以上、０．３体積％以上、０．５体積％以上などとし得る。本明細書において、シランポリマー溶液のシランポリマーの濃度は、室温下における混合溶媒の体積とシランポリマーの体積を基準として算出した値である。

本実施形態のシランポリマー溶液は、温和な環境下（好ましくは室温、大気圧下）において、混合溶媒にシランポリマーを混合し、撹拌することで、容易に所定濃度に調製できる。

シランポリマー溶液は、シリコン膜の成膜性を阻害しない限りにおいて、他の成分を含んでもよい。斯かる他の成分としては、例えば、ドーパント、表面張力調節剤等が挙げられる。ドーパントしては、ｎ型、ｐ型のシリコン膜を形成するにあたって従来使用される公知のドーパントを使用してよい。表面張力調節剤としては、フッ素系、シリコーン系等の従来公知の表面張力調節剤を使用してよい。

（シランポリマー溶液の塗布）
シランポリマー溶液を基板Ｗに塗布する方法としては、例えば、スピンコート法、ロールコート法、カーテンコート法、ディップコート法、スプレー法、インクジェット法等が挙げられる。中でも、基板Ｗにシリコン膜を成膜性よく形成し得る観点から、スピンコート法によりシランポリマー溶液を塗布することが好ましい。

（塗布装置の装置構成）
スピンコート法によりシリコン含有溶液を塗布する塗布装置の一例について、図３を参照して説明する。図３は、実施形態に係る塗布装置５０の概略構成を示す図である。

塗布装置５０は、チャンバ５１と、ステージ５２と、回転機構５３と、ノズル５４と、カップ５６とを備える。

チャンバ５１は、ステージ５２、回転機構５３、ノズル５４およびカップ５６を収容する。なお、チャンバ５１の天井部には、図示しないＦＦＵ（Fan Filter Unit）が設けられる。ＦＦＵは、チャンバ５１内にダウンフローを形成する。

ステージ５２は、チャンバ５１の略中央に設けられる。ステージ５２は、たとえばポーラスチャックであり、基板Ｗを水平に吸着保持する。回転機構５３は、ステージ５２を鉛直軸まわりに回転させる。これにより、ステージ５２に保持された基板Ｗが、水平方向に回転する。なお、基板Ｗは、凹部１１が形成された面を上方に向けた状態でステージ５２に保持される。

ノズル５４は、バルブや流量調節部等を含む供給機器群５４１を介してシリコン含有溶液を供給する溶液供給源５４２に接続されている。ノズル５４は、溶液供給源５４２から供給されるシリコン含有溶液を基板Ｗに吐出する。

カップ５６は、ステージ５２に保持された基板Ｗの周囲を取り囲むように配置され、ステージ５２の回転によって基板Ｗの外方に飛散するシリコン含有溶液を受け止める。カップ５６の底部には、排液口５６１が形成されており、カップ５６によって受け止められたシリコン含有溶液は、かかる排液口５６１から塗布装置５０の外部へ排出される。また、カップ５６の底部には、図示しないＦＦＵから供給されるダウンフローガスを塗布装置５０の外部へ排出する排気口５６２が形成される。

シリコン含有溶液を塗布する際、塗布装置５０のステージ５２には、基板Ｗが載置される。塗布装置５０は、回転機構５３を駆動させてステージ５２を鉛直軸まわりに回して基板Ｗを回転させる。そして、塗布装置５０は、シリコン含有溶液を溶液供給源５４２から供給し、ノズル５４からシリコン含有溶液を回転している基板Ｗに供給する。塗布装置５０は、シリコン含有溶液の塗布中、基板Ｗの回転速度を段階的に変化させる。例えば、塗布装置５０は、ステージ５２を第１の回転速度で回転させながらシリコン含有溶液を基板Ｗに滴下する。第１の回転速度は、例えば、５００～１０００ｒｐｍとする。回転時間は、例えば、１～３秒間の範囲とする。そして、塗布装置５０は、第１の回転速度よりも低い第２の回転速度でステージ５２を回転させながら滴下したシリコン含有溶液を基板Ｗ上で拡散させる。第２の回転速度は、例えば、３００～８００ｒｐｍとする。回転時間は、例えば、１０～２０秒間の範囲とする。そして、塗布装置５０は、第２の回転速度よりも速い第３の回転速度でステージ５２を回転させながらシリコン含有溶液を振り切る。第３の回転速度は、例えば、２４００～５１００ｒｐｍとする。回転時間は、例えば、２０～６０秒間の範囲とする。これにより、基板Ｗに、均一性よくシリコン含有溶液の塗布膜１４を形成できる。

なお、スピンコート法による塗布の条件は、上記に限定されず、シランポリマーの分子サイズや溶液濃度、所望するシリコン膜の厚さを考慮して、適宜決定してよい。

また、シランポリマー溶液の塗布量は、シランポリマーの分子サイズや溶液濃度、基板Ｗの寸法及び構造、所望するシリコン膜の厚さ等を考慮して、適宜決定してよい。また、後述のようにシランポリマー溶液の塗布を２回以上行う場合、各塗布量は同じでも異なってもよい。

また、基板Ｗへのシランポリマー溶液の塗布は、１回のみ行ってもよく、２回以上行ってもよい。例えば、低濃度のシランポリマー溶液を用いて薄いシリコン膜を基板Ｗの全面に形成することができる。したがって、低濃度のシランポリマー溶液を基板Ｗに２回以上塗布して所期の厚さのシリコン膜を形成することも可能である。

次に、実施形態に係るエアギャップ形成方法によりエアギャップを形成した実験の結果について説明する。実験では、凹部１１の間隔を４０～３００ｎｍとした複数の基板Ｗを用意した。そして、実施形態に係るエアギャップ形成方法により、それぞれ基板Ｗにエアギャップを形成した。基板Ｗは、熱酸化（Ｔｈ－Ｏｘ）処理したシリコン基板、または、熱酸化（Ｔｈ－Ｏｘ）処理したシリコン基板上に１．５ｎｍのアモルファスシリコンを成膜した基板とした。図４は、エアギャップを形成した実験結果を示す図である。図４には、凹部１１の間隔が４０～３００ｎｍの各基板Ｗに対して、エアギャップを形成した際の変化が示されている。「ＡｓＤｅｐｏ」は、基板Ｗの凹部１１内をポリ尿素膜１３で埋め込んだ状態を示している。ポリ尿素膜１３は、厚さ１２０ｎｍ分成膜した。「ＥＢ」は、基板Ｗに成膜したポリ尿素膜１３の少なくとも一部を除去した状態を示している。例えば、基板Ｗを２９０℃に１０分間加熱してポリ尿素膜１３をエッチングバックした。この基板Ｗの熱分解性ポリマー上にシリコン含有溶液を塗布し、４００℃で基板Ｗを焼成してエアギャップ１６を形成した。「４００℃」は、４００℃で基板Ｗを焼成した状態を示している。なお、基板Ｗを焼成する工程は、基板Ｗを第１温度にした後、第１温度より高い第２温度で基板Ｗを焼成してもよい。例えば、基板Ｗを２００℃にして一定時間保った後、基板Ｗを４００℃で基板Ｗを焼成してもよい。

図４に示すように、エアギャップ１６は、凹部１１の間隔を４０～３００ｎｍの何れの場合においても、安定した形状で形成できている。このように、実施形態に係るエアギャップ形成方法によれば、凹部１１の間隔に関わらず、エアギャップ１６を効率よく形成できる。

［効果］
このように、実施形態に係るエアギャップ形成方法は、基板Ｗの凹部１１内を熱分解性ポリマーで埋め込む工程（ステップＳ１１）と、熱分解性ポリマー上にシリコン含有溶液を塗布する工程（ステップＳ１３）と、基板Ｗを焼成して熱分解性ポリマーを分解しつつ、シリコン含有溶液を固化してエアギャップ１６を形成する工程（ステップＳ１４）と、を含む。これにより、エアギャップ形成方法は、エアギャップ１６を効率よく形成できる。

また、実施形態に係るエアギャップ形成方法は、熱分解性ポリマーで埋め込む工程（ステップＳ１１）の後に、熱分解性ポリマーの少なくとも一部を除去する工程（ステップＳ１２）をさらに含む。シリコン含有溶液を塗布する工程（ステップＳ１３）は、少なくとも一部を除去された熱分解性ポリマー上にシリコン含有溶液を塗布する。これにより、エアギャップ形成方法は、熱分解性ポリマーの除去量を制御することにより、形成されるエアギャップ１６の高さを調整できる。

また、熱分解性ポリマーは、ポリ尿素である。ポリ尿素は、例えば、３００℃程度の加熱と冷却をすることで断面形状を変えることができるため、凹部１１内に容易に埋め込むことができる。

また、基板Ｗを焼成する焼成温度は、３５０～６００℃である。基板Ｗを３５０～６００℃で焼成することで、熱分解性ポリマーの分解と、シリコン含有溶液の塗布膜１４の固化を同時に進行できる。

また、シリコン含有溶液は、分子中に６～８員の単環式飽和炭素環を含み沸点が１６０℃未満である第１の溶媒と、分子中に飽和炭素環又は部分飽和炭素環を含み沸点が１６０℃以上である第２の溶媒とを含む混合溶媒に、シランポリマーを溶解させた溶液である。このようなシリコン含有溶液を用いることにより、分子サイズの大きなシランポリマーからシリコン膜を成膜性よく形成できる。

以上、種々の例示的実施形態について説明してきたが、上述した例示的実施形態に限定されることなく、様々な追加、省略、置換、及び変更がなされてもよい。また、異なる実施形態における要素を組み合わせて他の実施形態を形成することが可能である。

例えば、上記の実施形態では、基板Ｗをシリコン基板とする場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。基板Ｗは、例えば、シリコン基板；ガラス基板；ＩＴＯなどの透明電極；金、銀、銅、パラジウム、ニッケル、チタン、アルミニウム、タングステン等の金属基板；プラスチック基板；及びこれらの複合材料からなる基板が挙げられる。

１１凹部
１２金属膜
１３ポリ尿素膜
１４塗布膜
１５アモルファスシリコン膜
１６エアギャップ
５０塗布装置
５１チャンバ
５２ステージ
５３回転機構
５４ノズル
５６カップ
Ｗ基板

Claims

凹部を有する基板にエアギャップを形成するエアギャップ形成方法であって、
前記基板の前記凹部内を熱分解性ポリマーで埋め込む工程と、
前記熱分解性ポリマー上にシリコン含有溶液を塗布する工程と、
前記基板を焼成して前記熱分解性ポリマーを分解しつつ、前記シリコン含有溶液を固化してエアギャップを形成する工程と、
を含み、
前記シリコン含有溶液は、分子中に６～８員の単環式飽和炭素環を含み沸点が１６０℃未満である第１の溶媒と、分子中に飽和炭素環又は部分飽和炭素環を含み沸点が１６０℃以上である第２の溶媒とを含む混合溶媒に、シランポリマーを溶解させた溶液である
エアギャップ形成方法。
前記熱分解性ポリマーで埋め込む工程の後に、前記熱分解性ポリマーの少なくとも一部を除去する工程をさらに含み、
前記シリコン含有溶液を塗布する工程は、少なくとも一部を除去された前記熱分解性ポリマー上に前記シリコン含有溶液を塗布する
請求項１に記載のエアギャップ形成方法。
前記熱分解性ポリマーは、ポリ尿素である
請求項１又は２に記載のエアギャップ形成方法。
前記基板を焼成する焼成温度は、３５０～６００℃である
請求項１～３の何れか１つに記載のエアギャップ形成方法。
前記エアギャップを形成する工程は、前記基板を第１温度にした後、前記第１温度より高い第２温度で前記基板を焼成する
請求項１～４の何れか１つに記載のエアギャップ形成方法。
前記熱分解性ポリマーの少なくとも一部を除去する工程での前記熱分解性ポリマーの除去量を制御することにより、形成されるエアギャップの高さを調整する
請求項２に記載のエアギャップ形成方法。