JP7362202B2 - エキスパンド装置、エキスパンド方法 - Google Patents
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Description
3 改質層
5 デバイス
7 エキスパンドシート
7a DAF(ダイアタッチフィルム)
9 フレーム
11 被加工物ユニット
13 分割溝
15 デバイスチップ
2 エキスパンド装置
4 フレーム保持ユニット
6 フレーム支持部
6a,8a 開口
8 フレーム押さえ部
10,26 エアシリンダ
12,28 ロッド
14 拡張ユニット
16 保持テーブル
18 吸引路
20 吸引口
22,42 開閉弁
24 吸引源
30 シート収縮ユニット
32 ロッド
32a,34a エアー供給管
34 支持プレート
36 加熱ユニット
38 エアー供給路
38a 熱風噴出口
40 エアー供給源
44 コイルヒーター
46 スイッチ
48 回転モーター
50 回転軸
52 シャッタープレート
52a 開口
Claims (4)
- 被加工物と、該被加工物に貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートの外周側が貼着された環状フレームと、を含む被加工物ユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド装置であって、
該被加工物ユニットの該環状フレームを保持できるフレーム保持ユニットと、
該フレーム保持ユニットに保持された該環状フレームを有した該被加工物ユニットに含まれる該エキスパンドシートを拡張できる拡張ユニットと、
該フレーム保持ユニットに保持された該環状フレームを有した該被加工物ユニットに含まれる該エキスパンドシートの該被加工物の外周と、該環状フレームの内周縁と、の間の領域を加熱し収縮させることで、該拡張ユニットにより拡張され弛みが生じた該エキスパンドシートの該弛みを低減するシート収縮ユニットと、を備え、
該シート収縮ユニットは、
該エキスパンドシートに対面した熱風噴出口と、
一端が該熱風噴出口に連通するとともに他端がエアー供給源に接続されたエアー供給路と、
該エアー供給路の内部を加熱することで該エアー供給源から供給されたエアーを加熱する加熱ユニットと、
該エアー供給源からのエアーの供給と遮断を制御するバルブと、
該加熱ユニットの加熱と、加熱の停止と、を切り替えるスイッチと、
該加熱ユニットの配置に対応する配置で開口を備えるシャッタープレートと、
該シャッタープレートを回転させることにより、該加熱ユニットの位置に該開口の位置を合わせられるとともに、該加熱ユニットの位置と、該開口の位置と、をずらせる回転モーターと、を含み、
該シート収縮ユニットは、該回転モーターにより該加熱ユニットの位置に該開口の位置に合わせるとともに該バルブを開いて該エアー供給源から該エアー供給路に該エアーを供給し、該エアー供給路において該エアーを該加熱ユニットで加熱することにより、該熱風噴出口から該開口を通じ加熱された該エアーを該エキスパンドシートの該領域に噴射でき、
該シート収縮ユニットは、該バルブを閉じて該エアー供給源から該エアー供給路へのエアーの供給を遮断することにより該加熱ユニットを停止することなく該熱風噴出口からの加熱された該エアーの噴射を停止できるとともに、該回転モーターにより該加熱ユニットの位置と、該開口の位置と、をずらすことで該加熱ユニットから該エキスパンドシートへの熱の伝わりを遮蔽できることを特徴とするエキスパンド装置。 - 該フレーム保持ユニットは、該被加工物ユニットの該環状フレームを支持できるフレーム支持部と、該フレーム支持部と共に該環状フレームを挟持できるフレーム押さえ部と、を備え、
該フレーム押さえ部には、該フレーム保持ユニットにより保持された該被加工物ユニットに冷風を供給できる冷却機構が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエキスパンド装置。 - 被加工物と、該被加工物に貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートの外周側が貼着された環状フレームと、をそれぞれ含む複数の被加工物ユニットの該エキスパンドシートを次々に拡張するエキスパンド方法であって、
該環状フレームを保持し、該エキスパンドシートを拡張する拡張ステップと、
該拡張ステップを実施した後、該エキスパンドシートの該被加工物の外周と、該環状フレームの内周縁と、の間の領域に加熱ユニットにより加熱されたエアーを噴射し、該エキスパンドシートの該領域を収縮させ、該拡張ステップで生成された該エキスパンドシートの弛みを低減するシート収縮ステップと、を備え、
複数の被加工物ユニットに対して次々に該拡張ステップと、該シート収縮ステップと、を実施する間、該加熱ユニットの作動を停止させず、
該シート収縮ステップは、該エアーの噴射を開始することで開始され、該エアーの噴射を停止することで終了され、
該シート収縮ステップでは、開口を有するシャッタープレートの該開口の位置を該加熱ユニットの位置に合わせ、該開口を通じて該エキスパンドシートの該被加工物の外周と、該環状フレームの内周縁と、の間の領域に加熱ユニットにより加熱されたエアーを噴射し、
該拡張ステップでは、該シャッタープレートの該開口の位置を該加熱ユニットの位置からずらし、該加熱ユニットから該エキスパンドシートへの熱の伝わりを遮蔽することを特徴とするエキスパンド方法。 - 該拡張ステップでは、該エキスパンドシートを拡張する前に予め該エキスパンドシートを冷却することを特徴とする請求項3に記載のエキスパンド方法。
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