JP7360821B2 - 断熱容器及びその製造方法 - Google Patents

断熱容器及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7360821B2
JP7360821B2 JP2019107158A JP2019107158A JP7360821B2 JP 7360821 B2 JP7360821 B2 JP 7360821B2 JP 2019107158 A JP2019107158 A JP 2019107158A JP 2019107158 A JP2019107158 A JP 2019107158A JP 7360821 B2 JP7360821 B2 JP 7360821B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
container
dlc
dlc layer
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019107158A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020199013A (ja
Inventor
康弘 古和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thermos KK
Original Assignee
Thermos KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thermos KK filed Critical Thermos KK
Priority to JP2019107158A priority Critical patent/JP7360821B2/ja
Priority to KR1020200061833A priority patent/KR20200140707A/ko
Priority to TW109117703A priority patent/TW202108471A/zh
Priority to CN202010483691.0A priority patent/CN112046939B/zh
Publication of JP2020199013A publication Critical patent/JP2020199013A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7360821B2 publication Critical patent/JP7360821B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/38—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation
    • B65D81/3876—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation insulating sleeves or jackets for cans, bottles, barrels, etc.
    • B65D81/3881—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation insulating sleeves or jackets for cans, bottles, barrels, etc. formed with double walls, i.e. hollow
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/38—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation
    • B65D81/3802—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation rigid container in the form of a barrel or vat
    • B65D81/3806—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation rigid container in the form of a barrel or vat formed with double walls, i.e. hollow
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47J—KITCHEN EQUIPMENT; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; APPARATUS FOR MAKING BEVERAGES
    • A47J41/00—Thermally-insulated vessels, e.g. flasks, jugs, jars
    • A47J41/02—Vacuum-jacket vessels, e.g. vacuum bottles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/38—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation
    • B65D81/3802—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation rigid container in the form of a barrel or vat
    • B65D81/3811—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents with thermal insulation rigid container in the form of a barrel or vat formed of different materials, e.g. laminated or foam filling between walls
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/56—After-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Packages (AREA)
  • Thermally Insulated Containers For Foods (AREA)

Description

本発明は、断熱容器及びその製造方法に関する。
例えば、一端が開口した金属製の外容器及び内容器を有して、外容器の内側に内容器を収容した状態で互いの開口端同士が接合されると共に、外容器と内容器との間に真空断熱層が設けられた断熱容器がある。このような真空断熱構造を有する断熱容器では、優れた保温・保冷機能を持たせることが可能である。
ところで、従来の断熱容器では、内容器の内面にフッ素樹脂コーティングを施すことが行われている（例えば、下記特許文献１，２を参照。）。フッ素樹脂コーティングを施すことによって、内容器の基材である金属が覆われるため、基材の傷や錆の発生などを防止することが可能である。また、内容器の内側に撥水性を持たせて、内容器の内側を衛生的に保ち易くしたり、内容器の内側の清掃性を高めたりすることが可能である。
特許第３１９５２０９号公報 特許第３５０９４７２号公報
しかしながら、一般的なフッ素樹脂被膜の引っ掻き硬度は、鉛筆硬度でＨＢ～６Ｈ程度である。このため、上述したフッ素樹脂コーティングを施した断熱容器では、使い続けるうちに徐々にフッ素樹脂被膜に摩耗や傷などが生じてしまう。その結果、フッ素樹脂被膜の一部が剥離する、いわゆるピンホールの発生によって、このピンホールを起点にフッ素樹脂被膜が剥離し易くなってしまう。
フッ素樹脂被膜が剥離した箇所は、防錆機能が失われるため、基材表面の金属に錆などの腐食が発生し易くなる。一方、ピンホールの発生を予防するため、フッ素樹脂被膜の膜厚を厚くし過ぎると、フッ素樹脂被膜の密着性が低下してしまい、フッ素樹脂被膜が逆に剥がれ易くなってしまう。このため、フッ素樹脂被膜を適切な膜厚に設定しておく必要がある。
また、フッ素樹脂被膜には臭いなどが吸着し易く、フッ素樹脂自体の臭いもある。このため、使い続けるうちに内容器の内側に臭いが残ることがある。さらに、フッ素樹脂による撥水性が徐々に失われることによって、内容器の内側に汚れなどが残り易くなり、内容器の内側を衛生的に保つことが困難となってしまう。
本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、内容器の内面に、耐摩耗性や耐腐食性に優れ、なお且つ、汚れや臭いの付着を防止したコーティングを施すことを可能とした断熱容器及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
〔１〕 一端が開口した金属製の外容器及び内容器を有して、前記外容器の内側に前記内容器を収容した状態で互いに接合されると共に、前記外容器と前記内容器との間に真空断熱層が設けられた断熱容器であって、
前記内容器の内面に、中間層と、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層とが、順次積層して設けられ、
前記中間層の厚みが前記ＤＬＣ層の厚み以上であり、
前記中間層と前記ＤＬＣ層とを合わせた厚みが均一となることで、前記内容器の内側が全面に亘って均等に着色されていることを特徴とする断熱容器。
〔２〕 前記中間層と前記ＤＬＣ層との厚みの合計が４～２５０ｎｍであることを特徴とする前記〔１〕に記載の断熱容器。
〔３〕 前記中間層の厚みをＡとし、前記ＤＬＣ層の厚みＢとしたときに、Ａ：Ｂ＝（１～９）：１
の関係を満足することを特徴とする前記〔１〕又は〔２〕に記載の断熱容器。
〔４〕 前記ＤＬＣ層の表層がフッ素により改質されていることを特徴とする前記〔１〕～〔３〕の何れか一項に記載の断熱容器。
〔５〕 前記ＤＬＣ層の上にフッ素含有ＤＬＣ層が積層されていることを特徴とする前記〔１〕～〔３〕の何れか一項に記載の断熱容器。
〔６〕 前記中間層の厚みをＡとし、前記ＤＬＣ層の厚みをＢとし、前記フッ素含有ＤＬＣ層の厚みをＣとしたときに、
Ａ：Ｂ：Ｃ＝（５～８）：（１～２．５）：（１～２．５）の関係を満足することを特徴とする前記〔５〕に記載の断熱容器。
〔７〕 前記フッ素含有ＤＬＣ層における水の接触角が８０°以上であることを特徴とする前記〔４〕又は〔５〕に記載の断熱容器。
〔８〕 前記中間層は、炭素及び珪素と共に、窒素、水素、酸素のうち何れか１種以上の元素を含む非晶質の炭化珪素膜からなり、
前記ＤＬＣ層は、炭素及び水素を含む非晶質の硬質炭素膜からなることを特徴とする前記〔１〕～〔７〕の何れか一項に記載の断熱容器。
〔９〕 一端が開口した金属製の外容器及び内容器を有して、前記外容器の内側に前記内容器を収容した状態で互いにが接合されると共に、前記外容器と前記内容器との間に真空断熱層が設けられた断熱容器の製造方法であって、
前記内容器の内面に、プラズマ化学気相成長（プラズマＣＶＤ）法を用いて、中間層と、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層とを、順次積層して形成する工程を含み、
前記中間層の厚みを前記ＤＬＣ層の厚み以上とし、
前記中間層と前記ＤＬＣ層とを合わせた厚みを均一にすることで、前記内容器の内側を全面に亘って均等に着色することを特徴とする断熱容器の製造方法。
〔１０〕 前記断熱容器を成膜室の内部に設置した後に、前記成膜室の内部を減圧し、カソード側の前記断熱容器とアノード側の補助電極との間で電圧を印加した状態で、前記内容器の内側に順次導入される前記中間層と前記ＤＬＣ層との原料ガスをプラズマ化することによって、前記中間層と、前記ＤＬＣ層とを、順次積層して形成することを特徴とする前記〔９〕に記載の断熱容器の製造方法。
〔１１〕 前記ＤＬＣ層の表層をフッ素により改質することを特徴とする前記〔９〕又は〔１０〕に記載の断熱容器の製造方法。
〔１２〕 前記断熱容器を成膜室の内部に設置した後に、前記成膜室の内部を減圧し、カソード側の前記断熱容器とアノード側の補助電極との間で電圧を印加した状態で、前記内容器の内側に順次導入される前記中間層と前記ＤＬＣ層との原料ガスをプラズマ化することによって、前記中間層と、前記ＤＬＣ層とを、順次積層して形成した後に、
前記内容器の内側に、フルオロカーボン系ガスを導入し、プラズマ化することによって、前記ＤＬＣ層の表層をフッ素により改質することを特徴とする前記〔１１〕に記載の断熱容器の製造方法。
〔１３〕 前記ＤＬＣ層の上にフッ素含有ＤＬＣ層を形成することを特徴とする前記〔９〕又は〔１０〕に記載の断熱容器の製造方法。
〔１４〕 前記断熱容器を成膜室の内部に設置した後に、前記成膜室の内部を減圧し、カソード側の前記断熱容器とアノード側の補助電極との間で電圧を印加した状態で、前記内容器の内側に順次導入される前記中間層と前記ＤＬＣ層との原料ガスをプラズマ化することによって、前記中間層と、前記ＤＬＣ層とを、順次積層して形成した後に、
前記内容器の内側に、前記ＤＬＣ層の原料ガスと共にフルオロカーボン系ガスを導入し、プラズマ化することによって、前記ＤＬＣ層の上にフッ素含有ＤＬＣ層を形成することを特徴とする前記〔１３〕に記載の断熱容器の製造方法。
〔１５〕 前記中間層の原料ガスとして、有機珪素化合物ガスを用い、
前記ＤＬＣ層の原料ガスとして、炭化系水素ガスを用いることを特徴とする前記〔９〕～〔１４〕の何れか一項に記載の断熱容器の製造方法。
〔１６〕 前記中間層を形成する前に、前記内容器の内面を加熱する加熱工程を含むことを特徴とする前記〔９〕～〔１５〕の何れか一項に記載の断熱容器の製造方法。
〔１７〕 前記加熱工程において、前記内容器の内面をプラズマエッチングすることにより加熱することを特徴とする前記〔１６〕に記載の断熱容器の製造方法。
〔１８〕 前記加熱工程において、前記内容器の内面の温度を８０～２５０℃とすることを特徴とする前記〔１６〕又は〔１７〕に記載の断熱容器の製造方法。
以上のように、本発明によれば、内容器の内面に、耐摩耗性や耐腐食性に優れ、なお且つ、汚れや臭いの付着を防止したコーティングを施すことを可能とした断熱容器及びその製造方法を提供することが可能である。
本発明の一実施形態に係る断熱容器の構成を示す断面図である。 図１に示す断熱容器が備える内容器の内側を一部拡大したものであり、（ａ）はその一例を示す断面図、（ｂ）はその他例を示す断面図である。 図１に示す断熱容器の製造工程を示すフローチャートである。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らないものとする。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
（断熱容器）
先ず、本発明の一実施形態として、例えば図１及び図２（ａ），（ｂ）に示す断熱容器１について説明する。
なお、図１は、断熱容器１の構成を示す断面図である。図２は、断熱容器１が備える内容器３の内側を一部拡大したものであり、（ａ）はその一例を示す断面図、（ｂ）はその他例を示す断面図である。
本実施形態の断熱容器１は、図１に示すように、例えばステンレス等からなる金属製の外容器２及び内容器３を備えている。断熱容器１は、一端が開口した外容器２の内側に一端が開口した内容器３を収容した状態で、互いの開口端同士が接合されると共に、これら外容器２と内容器３との間に真空断熱層４が設けられた真空断熱構造を有している。
真空断熱層４は、例えば、高真空に減圧（真空引き）されたチャンバー内で、外容器２の底面中央部に設けられた脱気孔をろう材により封止することによって形成することができる。
断熱容器１では、このような真空断熱構造を有することで、保温や保冷といった機能を持たせることが可能である。
また、本実施形態の断熱容器１は、蓋付き容器として、この断熱容器１に対して螺合により脱着される蓋体（図示せず。）によって、この断熱容器１の上部開口部を開閉することが可能となっている。
なお、本実施形態の断熱容器１は、全体として略円筒状の外観形状を有しているが、断熱容器１の外観形状については、特に限定されるものではなく、サイズやデザイン等に合わせて、適宜変更を加えることが可能である。また、外容器２の外面には、塗装や印刷等が施されていてもよい。
ところで、本実施形態の断熱容器１では、図２（ａ）に示すように、内容器３の内面に、中間層１１と、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層１２とが、順次積層して設けられている。また、ＤＬＣ層１２には、その表層をフッ素により改質したフッ素改質部１２ａが設けられている。
又は、本実施形態の断熱容器１では、図２（ｂ）に示すように、内容器３の内面に、中間層１１と、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層１２と、フッ素含有ＤＬＣ層１３とが、順次積層して設けられている。
中間層１１は、炭素（Ｃ）及び珪素（Ｓｉ）と共に、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）、酸素（Ｏ）のうち何れか１種以上の元素を含む非晶質（アモルファス）の炭化珪素膜からなる。中間層１１は、ＤＬＣ層１２の密着性を向上させるため、内容器３の内面とＤＬＣ層１２との間に設けられている。
中間層１１の厚みは、ＤＬＣ層１２の厚み以上となっている。中間層１１の厚みがＤＬＣ層１２の厚み未満になると、内容器３の内面とＤＬＣ層１２との間における密着性が悪くなり、ＤＬＣ層１２が剥離し易くなる。
ＤＬＣ層１２は、例えば、水素化テトラヘドラルアモルファスカーボン（ｔａ－Ｃ：Ｈ）や水素化アモルファスカーボン（ａ－Ｃ：Ｈ）などの炭素（Ｃ）及び水素（Ｈ）を含む非晶質の硬質炭素膜からなる。ＤＬＣ層１２の水素含有量は、１０～４０原子％であることが好ましく、２０～３０原子％であることが特に好ましい。また、ＤＬＣ層１２としては、例えば、テトラヘドラルアモルファスカーボン（ｔａ－Ｃ）やアモルファスカーボン（ａ－Ｃ）などの水素（Ｈ）を含まない非晶質の硬質炭素膜を用いてもよい。ＤＬＣ層１２は、ヌープ硬度（ＨＫ）で１５００～３０００であることが好ましい。
ＤＬＣ層１２は、高硬度、低摩擦、化学的に不活性、高い離型性、非吸着性といった優れた特性を有している。これにより、内容器２の内側における耐摩耗性、耐腐食性、清掃性などを向上させることが可能である。また、汚れや臭いの付着を防止することが可能である。
中間層１１とＤＬＣ層１２とを合わせた厚み合計、又は、中間層１１とＤＬＣ層１２とフッ素含有ＤＬＣ層１３とを合わせた厚みの合計は、４～２５０ｎｍであることが好ましい。この厚みの合計が４ｎｍ未満になると、内容器３の内側において、均等に成膜することが困難となる。一方、この厚みの合計が２５０ｎｍを超えると、内容器３の内側において、内容器３の変形や、外力による変形圧力に耐えられず、破壊や剥離が生じ易くなる。また、この厚みの合計が増加すると、成膜の原料コストが嵩むため不経済である。
本実施形態の断熱容器１では、中間層１１とＤＬＣ層１２とを合わせた厚み合計、又は、中間層１１とＤＬＣ層１２とフッ素含有ＤＬＣ層１３とを合わせた全体の厚みを均一にすることによって、内容器３の内側を全面に亘って均等に着色することが可能である。また、これら全体の厚みを制御することによって、色味を変化させることも可能である。
また、本実施形態の断熱容器１では、中間層１１の厚みをＡとし、ＤＬＣ層１２の厚みＢとしたときに、下記式（１）の関係を満足することが好ましい。
Ａ：Ｂ＝１～９：１ …（１）
上記式（１）の関係を満足することで、内容器３の内面とＤＬＣ層１２との間における密着性を中間層１１により安定的に保持することが可能である。
フッ素改質部１２ａは、ＤＬＣ層１２の表層をフッ素により改質したものからなり、ＤＬＣ層１２の表面から深さ方向に向かうに従ってフッ素濃度が低くなっている。一方、フッ素含有ＤＬＣ層１３は、フッ素（Ｆ）を含有した非晶質の硬質炭素膜からなり、ＤＬＣ層１２の上に積層して設けられている。
本実施形態の断熱容器１では、フッ素改質部１２ａを含むＤＬＣ層１２の表面又はフッ素含有ＤＬＣ層１３の表面における水の接触角が８０°以上であり、且つ、ヌープ硬度（ＨＫ）が１０００以上であることが好ましい。これにより、撥水性に優れた高硬度のフッ素含有ＤＬＣ層１３とすることが可能である。
また、本実施形態の断熱容器１では、中間層１１の厚みをＡとし、ＤＬＣ層１２の厚みをＢとし、フッ素含有ＤＬＣ層１３の厚みをＣとしたときに、下記式（２）の関係を満足することが好ましい。
Ａ：Ｂ：Ｃ＝（５～８）：（１～２．５）：（１～２．５） …（２）
上記式（２）の関係を満足することで、内容器３の内面とＤＬＣ層１２との間における密着性を中間層１１により安定的に保持しながら、ＤＬＣ層１２の上に良好なフッ素含有ＤＬＣ層１３を設けることが可能である。
以上のように、本実施形態の耐熱容器１では、上述した従来のフッ素樹脂コーティングよりも耐久性や耐摩耗性に優れ、なお且つ、汚れや臭いの付着を防止したコーティング（以下、「ＤＬＣコーティング」という。）を内容器３の内面に施すことが可能である。
（断熱容器の製造方法）
次に、上記断熱容器１の製造方法について、図３を参照しながら説明する。
なお、図３は、断熱容器１の製造工程を示すフローチャートである。
本実施形態の断熱容器１の製造方法では、内容器３の内面に、プラズマ化学気相成長（プラズマＣＶＤ）法を用いて、中間層１１と、ＤＬＣ層１２とを、順次積層して形成する。また、ＤＬＣ層１２の表層をフッ素により改質したフッ素改質部１２ａを形成する。又は、ＤＬＣ層１２の上にフッ素含有ＤＬＣ層１３を形成する。
具体的には、先ず、図３に示すステップＳ１において、ＤＬＣコーティングを施す前（成膜前）の断熱容器１を準備する。
次に、図３に示すステップＳ２において、断熱容器１をプラズマＣＶＤ成膜装置の成膜室（チャンバー）の内側に設けられたホルダに設置した後、成膜室の内部を真空引きにより減圧状態とし、カソード側の断熱容器１とアノード側の補助電極との間で電圧を印加した状態とする。断熱容器１は、導電性材料（金属）からなるため、カソードとして機能する。
このとき、高周波電源の周波数は、５０ｋＨｚ以上、１３．５６ＭＨｚ以下であることが好ましく、５００ｋＨｚ以上、８００ｋＨｚ以下であることがより好ましい。また、成膜室内の圧力は、０．５Ｐａ以上、１００Ｐａ以下であることが好ましい。
この状態で、内容器３の内側に、導入管を通してアルゴン（Ａｒ）ガスを導入し、プラズマを発生させることによって、内容器３の内面をプラズマエッチングする。これにより、内容器３の基材表面を清浄に処理（クリーニング）する。また、Ａｒガスに替えて、他の不活性ガス（例えば、Ｘｅ、Ｈｅ、Ｎ２など。）を用いることができる。
また、このプラズマエッチングによって、内容器３の基材表面を加熱することができる。このとき、基材の表面温度は、８０～２５０℃とすることが好ましく、１２０～２００°とすることがより好ましい。基材の表面温度が８０℃未満であると、後述する内容器３の内面に中間層１１及びＤＬＣ層１２を形成する際の温度が不足し、ＤＬＣ層１２が剥離し易くなる。一方、基材の表面温度が２５０℃を超えると、プラズマエッチングにかかる時間が長くなり、製造コストが嵩むことになる。
次に、図３に示すステップＳ３において、内容器３の内側に、導入管を通して中間層１１の原料ガスを導入し、プラズマ化することによって、内容器３の内面に中間層１１を形成する。
具体的に、中間層１１の原料ガスとしては、例えば、テトラメチルシラン（Ｓｉ（ＣＨ３）４）や、トリメトキシシラン（ＳｉＨ（ＯＣＨ３）３）テトラエトキシシラン（Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４）、ヘキサメチルジシラザン（Ｃ６Ｈ１９ＮＳｉ２）、ヘキサメチルジシロキサン（Ｃ６Ｈ１８ＯＳｉ２）、トリスジメチルアミノシラン（ＳｉＨ［Ｎ（ＣＨ３）２］３）、などの有機珪素化合物ガスを用いることができる。
中間層１１の原料ガスは、内容器３の内側に導入される。このとき、中間層１１の原料ガスをプラズマ状態とし、生成されるラジカルを内容器３の内面（基材表面）に堆積させながら、中間層１１を成膜する。
次に、図３に示すステップＳ４において、内容器３の内側に、導入管を通してＤＬＣ層１２の原料ガスを導入し、プラズマ化することによって、内容器３の内面に中間層１１を介してＤＬＣ層１２を形成する。
具体的に、ＤＬＣ層１２の原料ガスとしては、例えば、メタン（ＣＨ４）や、エタン（Ｃ２Ｈ６）、エチレン（Ｃ２Ｈ４）、アセチレン（Ｃ２Ｈ２）、トルエン（Ｃ６Ｈ５ＣＨ３）などの炭化水素系ガスを用いることができる。ＤＬＣ層１２の原料ガスは、内容器３の内側に導入される。このとき、ＤＬＣ層１２の原料ガスをプラズマ状態とし、生成されるラジカルを中間層１１の上に堆積させながら、ＤＬＣ層１２を成膜する。
上述したように、中間層１１の厚みをＤＬＣ層１２の厚み以上とすることで、中間層１１を介して内容器３の内面とＤＬＣ層１２との間における密着性を良くすることが可能である。また、上記式（１）の関係を満足することが好ましい。これにより、内容器３の内面とＤＬＣ層１２との間における密着性を中間層１１により安定的に保持することが可能である。
また、中間層１１を形成する前に、上述したプラズマエッチングを含む加熱工程によって、内容器３の内面を加熱することが好ましい。この場合、熱膨張した内容器３の表面に中間層１１が形成されるため、成膜後に常温となった中間層１１及びＤＬＣ層１２には、冷却に伴う内容器３の収縮によって圧縮応力が加わることになる。これにより、使用時に断熱容器１に温かい飲料等を入れた場合に、内容器３の熱膨張に対して中間層１１及びＤＬＣ層１２に引張応力が加わることを回避できる。その結果、これら中間層１１及びＤＬＣ層１２にヒビや割れ等が発生することを防ぐと共に、ＤＬＣ層１２の密着性を向上させることが可能である。
次に、図３に示すステップＳ５において、ＤＬＣ層１２の表層をフッ素により改質したフッ素改質部１２ａを形成する。又は、ＤＬＣ層１２の上にフッ素含有ＤＬＣ層１３を形成する。
具体的に、内容器３の内側に、例えば、テトラフルオロメタン（ＣＦ４）や、ヘキサフルオロエタン（Ｃ２Ｆ６）、オクタフルオロプロパン（Ｃ３Ｆ８）、オクタフルオロシクロブタン（ｃ－Ｃ４Ｆ８）、トリフルオロメタン（ＣＨＦ３）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）、トリフルオロアミン（ＮＦ３）などのフッ素系ガスを導入し、プラズマ化することによって、ＤＬＣ１２層の表層を改質する。これにより、ＤＬＣ層１２の表層にフッ素改質部１２ａを形成することができる。
一方、内容器３の内側に、上述したフッ素系ガスをＤＬＣ層１２の原料ガスと共に導入し、プラズマ化することによって、ＤＬＣ層１２の上にフッ素含有ＤＬＣ層１３を形成することができる。
上述したように、フッ素含有ＤＬＣ層１３を形成する際は、上記式（２）の関係を満足することが好ましい。これにより、内容器３の内面とＤＬＣ層１２との間における密着性を中間層１１により安定的に保持しながら、ＤＬＣ層１２の上に良好なフッ素含有ＤＬＣ層１３を形成することが可能である。
次に、図３に示すステップＳ６において、成膜室１２の内部に窒素（Ｎ２）ガスを導入して、成膜室の内部圧力を常圧とする。これにより、成膜室を開放し、断熱容器１を取り出すことができる。
以上のような工程を経ることによって、内容器３の内面にＤＬＣコーティングが施された断熱容器１を製造することが可能である。
以上のように、本実施形態の断熱容器１の製造方法では、上述した従来のフッ素樹脂コーティングよりも耐摩耗性や耐腐食性に優れ、なお且つ、汚れや臭いの付着を防止したＤＬＣコーティングを内容器３の内面に施した断熱容器１を製造することが可能である。
なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
具体的に、上記断熱容器１では、内容器３の内面の全面に亘ってＤＬＣコーティングが施された構成となっているが、例えば、外容器２の外面に設けられた口頸部には、蓋体を螺合により脱着する雄ネジ部が設けられている。この雄ネジ部にＤＬＣコーティングを施した構成としてもよい。さらに、内容器３の内面と共に、外容器２の外面にＤＬＣコーティングを施した構成であってよい。
また、上記断熱容器１では、上述したフッ素改質部１２ａ又はフッ素含有ＤＬＣ層１３を省略し、内容器３の内面に、中間層１１と、ＤＬＣ層１２とが、順次積層して設けられた構成とすることも可能である。
１…断熱容器 ２…外容器 ３…内容器 ４…真空断熱層 １１…中間層 １２…ＤＬＣ層 １２ａ…フッ素改質部 １３…フッ素含有ＤＬＣ層

Claims (18)

  1. 一端が開口した金属製の外容器及び内容器を有して、前記外容器の内側に前記内容器を収容した状態で互いに接合されると共に、前記外容器と前記内容器との間に真空断熱層が設けられた断熱容器であって、
    前記内容器の内面に、中間層と、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層とが、順次積層して設けられ、
    前記中間層の厚みが前記ＤＬＣ層の厚み以上であり、
    前記中間層と前記ＤＬＣ層とを合わせた厚みが均一となることで、前記内容器の内側が全面に亘って均等に着色されていることを特徴とする断熱容器。
  2. 前記中間層と前記ＤＬＣ層との厚みの合計が４～２５０ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の断熱容器。
  3. 前記中間層の厚みをＡとし、前記ＤＬＣ層の厚みＢとしたときに、Ａ：Ｂ＝（１～９）：１
    の関係を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の断熱容器。
  4. 前記ＤＬＣ層の表層がフッ素により改質されていることを特徴とする請求項１～３の何れか一項に記載の断熱容器。
  5. 前記ＤＬＣ層の上にフッ素含有ＤＬＣ層が積層されていることを特徴とする請求項１～３の何れか一項に記載の断熱容器。
  6. 前記中間層の厚みをＡとし、前記ＤＬＣ層の厚みをＢとし、前記フッ素含有ＤＬＣ層の厚みをＣとしたときに、
    Ａ：Ｂ：Ｃ＝（５～８）：（１～２．５）：（１～２．５）の関係を満足することを特徴とする請求項５に記載の断熱容器。
  7. 前記内容器の内側の最表層における水の接触角が８０°以上であることを特徴とする請求項４又は５に記載の断熱容器。
  8. 前記中間層は、炭素及び珪素と共に、窒素、水素、酸素のうち何れか１種以上の元素を含む非晶質の炭化珪素膜からなり、
    前記ＤＬＣ層は、炭素及び水素を含む非晶質の硬質炭素膜からなることを特徴とする請求項１～７の何れか一項に記載の断熱容器。
  9. 一端が開口した金属製の外容器及び内容器を有して、前記外容器の内側に前記内容器を収容した状態で互いに接合されると共に、前記外容器と前記内容器との間に真空断熱層が設けられた断熱容器の製造方法であって、
    前記内容器の内面に、プラズマ化学気相成長（プラズマＣＶＤ）法を用いて、中間層と、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層とを、順次積層して形成する工程を含み、
    前記中間層の厚みを前記ＤＬＣ層の厚み以上とし、
    前記中間層と前記ＤＬＣ層とを合わせた厚みを均一にすることで、前記内容器の内側を全面に亘って均等に着色することを特徴とする断熱容器の製造方法。
  10. 前記断熱容器を成膜室の内部に設置した後に、前記成膜室の内部を減圧し、カソード側の前記断熱容器とアノード側の補助電極との間で電圧を印加した状態で、前記内容器の内側に順次導入される前記中間層と前記ＤＬＣ層との原料ガスをプラズマ化することによって、前記中間層と、前記ＤＬＣ層とを、順次積層して形成することを特徴とする請求項９に記載の断熱容器の製造方法。
  11. 前記ＤＬＣ層の表層をフッ素により改質することを特徴とする請求項９又は１０に記載の断熱容器の製造方法。
  12. 前記断熱容器を成膜室の内部に設置した後に、前記成膜室の内部を減圧し、カソード側の前記断熱容器とアノード側の補助電極との間で電圧を印加した状態で、前記内容器の内側に順次導入される前記中間層と前記ＤＬＣ層との原料ガスをプラズマ化することによって、前記中間層と、前記ＤＬＣ層とを、順次積層して形成した後に、
    前記内容器の内側に、フルオロカーボン系ガスを導入し、プラズマ化することによって、前記ＤＬＣ層の表層をフッ素により改質することを特徴とする請求項１１に記載の断熱容器の製造方法。
  13. 前記ＤＬＣ層の上にフッ素含有ＤＬＣ層を形成することを特徴とする請求項９又は１０に記載の断熱容器の製造方法。
  14. 前記断熱容器を成膜室の内部に設置した後に、前記成膜室の内部を減圧し、カソード側の前記断熱容器とアノード側の補助電極との間で電圧を印加した状態で、前記内容器の内側に順次導入される前記中間層と前記ＤＬＣ層との原料ガスをプラズマ化することによって、前記中間層と、前記ＤＬＣ層とを、順次積層して形成した後に、
    前記内容器の内側に、前記ＤＬＣ層の原料ガスと共にフルオロカーボン系ガスを導入し、プラズマ化することによって、前記ＤＬＣ層の上にフッ素含有ＤＬＣ層を形成することを特徴とする請求項１３に記載の断熱容器の製造方法。
  15. 前記中間層の原料ガスとして、有機珪素化合物ガスを用い、
    前記ＤＬＣ層の原料ガスとして、炭化系水素ガスを用いることを特徴とする請求項９～１４の何れか一項に記載の断熱容器の製造方法。
  16. 前記中間層を形成する前に、前記内容器の内面を加熱する加熱工程を含むことを特徴とする請求項９～１５の何れか一項に記載の断熱容器の製造方法。
  17. 前記加熱工程において、前記内容器の内面をプラズマエッチングすることにより加熱することを特徴とする請求項１６に記載の断熱容器の製造方法。
  18. 前記加熱工程において、前記内容器の内面の温度を８０～２５０℃とすることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の断熱容器の製造方法。
JP2019107158A 2019-06-07 2019-06-07 断熱容器及びその製造方法 Active JP7360821B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019107158A JP7360821B2 (ja) 2019-06-07 2019-06-07 断熱容器及びその製造方法
KR1020200061833A KR20200140707A (ko) 2019-06-07 2020-05-22 단열 용기 및 그 제조 방법
TW109117703A TW202108471A (zh) 2019-06-07 2020-05-27 絕熱容器及其製造方法
CN202010483691.0A CN112046939B (zh) 2019-06-07 2020-06-01 隔热容器及其制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019107158A JP7360821B2 (ja) 2019-06-07 2019-06-07 断熱容器及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020199013A JP2020199013A (ja) 2020-12-17
JP7360821B2 true JP7360821B2 (ja) 2023-10-13

Family

ID=73609774

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019107158A Active JP7360821B2 (ja) 2019-06-07 2019-06-07 断熱容器及びその製造方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7360821B2 (ja)
KR (1) KR20200140707A (ja)
CN (1) CN112046939B (ja)
TW (1) TW202108471A (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4297619A2 (en) * 2021-03-04 2024-01-03 Yeti Coolers, LLC Surface coating of drinkware
JP2022143826A (ja) 2021-03-18 2022-10-03 サーモス株式会社 断熱容器及びその製造方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000116541A (ja) 1998-10-12 2000-04-25 Tiger Vacuum Bottle Co Ltd 金属製真空二重容器とその内面コーティン グ方法
JP2007261077A (ja) 2006-03-28 2007-10-11 Kirin Holdings Co Ltd Ｄｌｃ膜コーティング生分解性プラスチック容器又はフィルム及びその製造方法
JP2008231560A (ja) 2007-03-23 2008-10-02 Toyota Motor Corp 皮膜の成膜方法、及び皮膜形成部材
CN101497994A (zh) 2009-03-04 2009-08-05 张海涛 一种制备dlc薄膜的方法、由此制造的dlc膜容器及生产装置
US20110123736A1 (en) 2008-05-28 2011-05-26 Twister B.V. Ice-phobic coating and use thereof
JP2012193303A (ja) 2011-03-17 2012-10-11 Kirin Brewery Co Ltd 被覆プラスチック成形体及びその製造方法
JP2013194273A (ja) 2012-03-19 2013-09-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 耐食および耐摩耗コーティング構造
WO2015068776A1 (ja) 2013-11-06 2015-05-14 Ｄｏｗａサーモテック株式会社 基材とｄｌｃ膜との間に形成される中間層の形成方法、ｄｌｃ膜形成方法及び基材とｄｌｃ膜との間に形成される中間層
US20150203270A1 (en) 2012-03-13 2015-07-23 Cj Cheiljedang Corporation Food container having si-dlc layer and manufacturing method thereof
JP6517994B1 (ja) 2018-10-26 2019-05-22 アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社 保護膜、保護膜付き容器、その製造方法及びプラズマｃｖｄ装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS509472A (ja) 1973-05-21 1975-01-30
JPH08337874A (ja) * 1995-06-13 1996-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基材表面被覆層及びその形成方法並びに熱交換器用フィン及びその製造方法。
JPH10203896A (ja) * 1997-01-17 1998-08-04 Mitsubishi Electric Corp ダイヤモンドライクカーボン薄膜が形成された部材およびその形成方法
JP2003299582A (ja) * 2002-04-08 2003-10-21 Thermos Kk 断熱容器およびその製造方法
KR20130098606A (ko) * 2012-02-28 2013-09-05 씨제이제일제당 (주) 향상된 산소차단성을 갖는 식품용기 및 그의 제조방법
JP5837958B2 (ja) * 2014-03-24 2015-12-24 サーモス株式会社 金属製真空断熱容器
JP3195209U (ja) 2014-10-22 2015-01-08 株式会社Ａｆｌ 照明器具及び電子機器
JP2016098422A (ja) * 2014-11-25 2016-05-30 株式会社ジェイテクト 炭素系被膜、それを備えた摺動部材、および摺動部材製造方法
CN106282935A (zh) * 2015-05-15 2017-01-04 新科实业有限公司 具有类金刚石涂层的材料及其制备方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000116541A (ja) 1998-10-12 2000-04-25 Tiger Vacuum Bottle Co Ltd 金属製真空二重容器とその内面コーティン グ方法
JP2007261077A (ja) 2006-03-28 2007-10-11 Kirin Holdings Co Ltd Ｄｌｃ膜コーティング生分解性プラスチック容器又はフィルム及びその製造方法
JP2008231560A (ja) 2007-03-23 2008-10-02 Toyota Motor Corp 皮膜の成膜方法、及び皮膜形成部材
US20110123736A1 (en) 2008-05-28 2011-05-26 Twister B.V. Ice-phobic coating and use thereof
CN101497994A (zh) 2009-03-04 2009-08-05 张海涛 一种制备dlc薄膜的方法、由此制造的dlc膜容器及生产装置
JP2012193303A (ja) 2011-03-17 2012-10-11 Kirin Brewery Co Ltd 被覆プラスチック成形体及びその製造方法
US20150203270A1 (en) 2012-03-13 2015-07-23 Cj Cheiljedang Corporation Food container having si-dlc layer and manufacturing method thereof
JP2013194273A (ja) 2012-03-19 2013-09-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 耐食および耐摩耗コーティング構造
WO2015068776A1 (ja) 2013-11-06 2015-05-14 Ｄｏｗａサーモテック株式会社 基材とｄｌｃ膜との間に形成される中間層の形成方法、ｄｌｃ膜形成方法及び基材とｄｌｃ膜との間に形成される中間層
JP6517994B1 (ja) 2018-10-26 2019-05-22 アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社 保護膜、保護膜付き容器、その製造方法及びプラズマｃｖｄ装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN112046939A (zh) 2020-12-08
CN112046939B (zh) 2023-05-23
KR20200140707A (ko) 2020-12-16
JP2020199013A (ja) 2020-12-17
TW202108471A (zh) 2021-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7360821B2 (ja) 断熱容器及びその製造方法
JP5275543B2 (ja) 高いバリア性を有する合成樹脂製容器
KR101660557B1 (ko) 성형 물품의 내부 표면 상에 보호 코팅으로서 다이아몬드상 카본을 증착하는 방법
JP6071020B2 (ja) 被覆部材の製造方法
KR100848221B1 (ko) 배리어막 형성용 내부 전극 및 성막 장치
CN101091006B (zh) 真空装置的密封结构
KR20210146421A (ko) 플루오로-어닐링된 필름으로 코팅된 물품
CN110777335B (zh) 耐温的碳涂层
US11198612B2 (en) Graphene structure and method for manufacturing graphene having wrinkle pattern
JP4365501B2 (ja) 硬質炭素積層膜とその形成方法
TW202318535A (zh) 用於基板處理的塗佈的基板支撐組件
JP2022143826A (ja) 断熱容器及びその製造方法
US20230272525A1 (en) Method of in situ ceramic coating deposition
JP2013227628A (ja) 樹脂製品の製造方法並びに樹脂製品
JP2006057008A (ja) シール材およびその製造方法
JP4739376B2 (ja) バリア膜形成用内部電極及び成膜装置
JP2010021282A (ja) 半導体用ケース
KR100787891B1 (ko) 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법 및 그 제품
JP2010043347A (ja) ウルトラナノ結晶ダイヤモンド膜積層体およびその製造方法
WO2009083673A1 (fr) Procede de realisation de revetement en carbone amorphe hydrogene
JP7390673B2 (ja) めっきレスロール
JP2008007343A (ja) アルミナ被覆材およびその製造方法
TW202223985A (zh) 硬遮罩及藉由電漿輔助化學氣相沉積形成硬遮罩的製程
TW202231906A (zh) 形成硬遮罩之方法
Wang et al. In-situ DLC/TiC Composite Coating by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220316

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230307

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20230426

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230912

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231002

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7360821

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150