JP4739376B2 - バリア膜形成用内部電極及び成膜装置 - Google Patents
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Description
ここで、前記外部電極13は、上下端にフランジ21a,21bを有する円筒状のチャンバ22内に設けられており、該円筒状のチャンバ22は、円環状基台23上に載置されている。また、円板状の絶縁板24は、前記円環状基台23と前記外部下部電極13−2の底部側との間に配置されている。前記内部電極17のガス吹出し孔16の先端には円筒の絶縁部材20を設けることで局所的なプラズマ集中を防止するようにしている。
ここで、前記絶縁部材103の材料としては、フッ素系樹脂、PEEK、ポリイミドなどの耐熱性を有する材料や、アルミナ、ジルコニア、チタニア、シリカ等熱伝導率、耐熱衝撃性の高い材料を挙げることができる。
前記ガス供給管101は金属製であり、該金属製のガス供給管101内にメス部101bを形成すると共に、絶縁部材103にはオス部104を形成して、両者を螺合結合させることで、シール性を高める構造となる。また、シール部120を螺合部に設けることで、さらにシール性を向上させることができる。
ここで、前記シール部120の材料としては、例えばテフロン(登録商標)製のテープ等を例示することができる。
よって、内部電極部品の耐久性が向上し、そのメンテナンス性が向上する。
また、例えば反応性スパッタ法、イオンプレーティング法、アーク蒸着法、イオン蒸着法、プラズマイオン注入法等に代表される公知の物理的気相成膜法(Physical Vapor Deposition:PVD)を用いることができる。
なお、本発明においては、前記PVD法よりCVD法を適用する場合において、本発明の効果をより発揮することになる。これは、前記CVD法で作製する膜の方が、アモルファスカーボン膜中にダングリングボンドを多く含むためである。
なお、PVD法を用いる場合には、固体蒸発源も利用可能となる。
図1は、本実施形態に係る成膜装置を示す概念図である。図1に示すように、本実施例に係る成膜装置は、口部11を有するプラスチック容器12の内面に放電プラズマにより成膜を施す成膜装置であって、プラスチック容器12の外周を取り囲む大きさを有する外部電極13と、前記口部11が位置する側の前記外部電極13の端面に絶縁部材を介して取り付けられた排気管14と、前記外部電極13内の前記プラスチック容器12内に前記排気管14側から前記プラスチック容器12の長手のほぼ全長に亙って挿入され、接地側に接続されると共に、媒質ガスGを吹き出すためのガス吹出し口102を有する絶縁部材103が螺合されてなる図2に示す内部電極100−1と、前記排気管14に取り付けられた図示しない排気装置と、前記内部電極17に媒質ガスGを供給するための図示しないガス供給装置と、前記外部電極13に接続された高周波電源18とを具備してなるものである。
本発明にかかる第2の実施例にかかるバリア膜形成用内部電極の概略を図3に示す。図3に示すように、本実施例にかかるバリア膜形成用内部電極100−2は、口部を有するプラスチック容器の内部に挿入され、該プラスチック容器内に媒質ガスを供給し、前記プラスチック容器の外部に設けた外部電極に高周波電力を供給することで、プラスチック容器内面に放電プラズマを発生させプラスチック容器の内面にバリア膜を形成するバリア膜形成用内部電極であって、媒質ガスGを供給するガス流路101aを有するガス供給管101と、前記ガス供給管の端部に形成された凹部101c内に接着剤105を介して一体に設けられ、前記ガス流路101aと連通するガス吹出し口102を有する絶縁部材103とを具備するものである。
なお、前記かしめの際にはエッジ部がないようにすることで、局所的なプラズマの集中を防止するようにしている。
なお、前記かしめの際にはエッジ部がないようにすることで、局所的なプラズマの集中を防止するようにしている。
なお、前記凸部101dと絶縁部材103との間にはパッキン又はガスケット等のシール部材121が介装されており、そのガスシール性を向上させるようにしている。
この場合、キャップ部材106とガス供給管101とを同種の材料とすることで熱膨張による熱応力緩和に起因する螺合部の密着性の長期間に亙る維持をすることができる。
このように、積極的に突起部131aを設けることにより、プラズマ放電によるプラズマ発生個所の安定化を図ることができる。
このプラズマ発生部131は絶縁部材103の先端部分から10mm程度離れた場所に設置することが望ましい。これは、絶縁部材103とあまりにも近いとプラズマの局所的な集中の影響により、絶縁材料に欠け、割れが生じるのを防止するためである。
また、図1におけるガス供給管101においては、容器の口部から肩部にかけての位置は避けるようにし、容器の中央部分から先端部分のいずれかにプラズマ発生部131を設けるようにすることが好ましい。これは、口部及び肩部でのプラズマの積極的な発生を防止し、容器内面の色ムラを防止するためである。
また、容器の中央部分において積極的にプラズマを発生させることで、均一の成膜が可能となる。
実施例6においては、プラズマ発生部131に突起を設けたものであるが、本実施例では窪み部131bを設けるようにしている。
窪み部131bは突起部131aと同様に積極的にプラズマ発生個所を特定することができ、実施例7と同様の効果を得ることができる。なお、窪み部131bの設置場所は突起部131aの設置場所と同様とすればよい。
101 ガス供給管
102 ガス吹出し口
103 絶縁部材
104 オス部
105 接着剤
106 キャップ部材
120 シール部
131 プラズマ発生部
11 口部
12 プラスチック容器
13 外部電極
14 排気管
16 ガス吹き出し孔
17 内部電極
18 高周波電源
G 媒質ガス
Claims (7)
- 口部を有するプラスチック容器の内部に挿入され、該プラスチック容器内に媒質ガスを供給し、前記プラスチック容器の外部に設けた外部電極に高周波電力を供給することで、プラスチック容器内面に放電プラズマを発生させプラスチック容器の内面にバリア膜を形成するバリア膜形成用内部電極であって、
媒質ガスを供給するガス流路を有し、先端部が軸方向に長い空間を有する凹部を設けたガス供給管と、
前記ガス供給管の凹部の内面に螺合し、前記ガス流路と連通するガス吹出し口を有する絶縁部材と、
前記凹部に側面が面一となるように螺合部で螺合すると共に、前記絶縁部材のガス吹出し口の外周と嵌合する軸方向に亙って孔を形成してなる中実のキャップ部材とを具備することを特徴とするバリア膜形成用内部電極。 - 請求項1において、
前記ガス供給管に少なくとも1以上の突起部又は窪み部を有するプラズマ発生部を一体に設けてなることを特徴とするバリア膜形成用内部電極。 - 請求項2において、
前記プラズマ発生部は、熱伝導率が高い材料からなることを特徴とするバリア膜形成用内部電極。 - 請求項1において、
前記螺合部分をシールするシール部材を設けてなることを特徴とするバリア膜形成用内部電極。 - 請求項1乃至4のいずれか一つにおいて、
前記ガス供給管が金属製であることを特徴とするバリア膜形成用内部電極。 - 請求項1乃至5のいずれか一つのバリア膜形成用内部電極を備えてなり、プラスチック容器の内面にバリア膜を成膜してなることを特徴とする成膜装置。
- 口部を有するプラスチック容器の内面に放電プラズマによりバリア膜を施す成膜装置であって、
プラスチック容器の外周を取り囲む大きさを有する外部電極と、
前記口部が位置する側の前記外部電極の端面に絶縁部材を介して取り付けられた排気管と、
前記外部電極内の前記プラスチック容器内に前記排気管側から前記プラスチック容器の長手のほぼ全長に亙って挿入され、接地側に接続された請求項1乃至5のいずれか一つのバリア膜形成用内部電極と、
前記排気管に取り付けられた排気装置と、
前記内部電極に媒質ガスを供給するガス供給装置と、
前記外部電極に接続された高周波電源とを具備してなることを特徴とする成膜装置。
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