JP7354125B2 - 金属基材上の硬質材料層 - Google Patents

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Description

本発明は、鋼系基材と、鋼系基材の外面上の硬質材料層とを備える、硬質材料層でコーティングされた動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品であって、硬質材料層が、窒化金属を含有し、硬質材料層内の炭化金属含有量が、部品の外面に向かって減少する、チェーン部品に関する。
従来技術
チェーンジョイントを通じて互いに接続されているチェーンリンクを備える関節式チェーンは、多様な形態で使用される。ドライブチェーンまたはコンベヤチェーンとして作動する場合、特にチェーンリンクの領域には大きく負荷がかかるので、耐摩耗性のあるベアリング表面を必要とする。具体的には、部品量が多いことに関連して、費用のかかる解決策を費用効果が高いコーティング方法およびプロセスに置き換えることも理にかなう。
DE102005047449A1は、チェーンピンおよびチェーンスリーブに硬質材料コーティングが施されている、耐摩耗性が改善されたリンクチェーンを提示している。これらのコーティングは、PVD(物理蒸着)方法の方式によって適用される。硬質材料層は、1~10μmの厚さを有し、また摺動層、例えばPTFEによって取り囲まれ得る。
DE102006052869A1の本文は、ピンおよびスリーブのリンク領域にPVD硬質材料層が設けられているリンクチェーンについて記載している。ピンおよびスリーブは、0.4重量%~1.2重量%の炭素含有量を有する高炭素鋼で構成されている。
DE102011006294A1は、硬化コーティングされた金属部品を製造するための方法を提示している。金属部品は、エッジ層の炭素および/または窒素を濃縮するために熱処理され、次いでマルテンサイトの形成よりも低い温度まで焼き入れが行われる。次いで、金属部品は、その後のコーティングプロセスが行われる温度よりも高い温度で焼き戻しが行われる。コーティング自体は、CVD(化学蒸着)またはPVD方法を通じて実施される。
DE102013222244A1は、摩擦を低減する減摩コーティングが施されたチェーン用のリンクプレートについて記載している。コーティングは、PVDまたはPACVD方法を通じて適用される。
DE102016215709A1は、摩耗を低減するCrN層が設けられた鋼から作製されたスリーブ、タブ、ピン、およびローラーなどのチェーン部品を示している。CrN層は、CVD方法を用いて生成される。窒素は、処理前に窒化され得る窒化鋼から得られる。
ローラーチェーンまたはスリーブチェーンのリンクは、WO2014/019699A1に提示されている。窒化または炭化硬質材料層が、PVDまたはCVD方法の方式によってリンクに適用される。
硬化コーティングされた金属部品の製造について述べた解決策は、欠点を有する。PVD方法は、10-4~10Paの作動圧力を必要とし、コーティングのタイプによっては、摂氏数百度の作動温度で実施される。したがって、PVD方法におけるコーティングチャンバには、高い要求が課される。さらに、PVD方法は、バルク材料には好適ではない。基材および堆積される材料(ターゲット)は、コーティングチャンバ内で空間的に分離されている。PVD方法は、ターゲットに目視可能な領域のみがコーティングされる、視程プロセスと称されるものである。内側の領域または穴は、より薄くコーティングされる。対照的に、粉末コーティング方法では、硬質材料層内の炭素の拡散により、炭化物の形成がもたらされる問題がある。しかしながら、摩耗の観点では、窒化物、本明細書で具体的には、窒化クロムは、作動時の顕著に良好な部品耐久性を約束するので、特に表面に近接する領域での窒化物の形成を防ぐことが必要である。従来技術で提示された解決策では、いかなる方式でもこれを達成することはできない。
したがって、本発明の目的は、硬質材料層が高品質および耐久性を示し、使いやすく、単位時間当たりで大量の部品のコーティングを可能にし、作動させる費用効果が高い、硬化窒化物でコーティングされた金属部品を提供することである。
本発明による課題はまた、請求項1に記載のデバイスによって解決される。
本発明による動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品は、硬質材料層でコーティングされる。チェーン部品は、鋼系基材と、基材の外面上に硬質材料層とを有する。硬質材料層は、基材との境界と、境界とは反対側の外部表面とを有する。硬質材料層は、窒化金属を有するように構築されている。
CVDコーティングの方式により、高炭素鋼から作製された基材上に硬質層が堆積され、硬質層は、高度の耐摩滅性および耐摩耗性、高度の硬度および温度耐性、低レベルの摩擦、良好な化学的特性、ならびに低付着性を有する。硬質材料層は、耐摩耗性の改善に加えて、耐食性も増加させる。この点に関して、炭素鋼は十分な強度および耐焼き戻し性を有するので、これらの鋼は基材として好適であり得る。硬質材料層は、金属および非金属の硬質材料の両方からなり得る。クロム、タングステン、ジルコニウム、およびチタンなどの遷移金属のすべての炭化物、窒化物、窒化炭素、ホウ化物、およびケイ化物は、金属硬質材料と見なされる。例えば、ダイヤモンドおよびDLC(ダイヤモンドライクカーボン)、コランダム、炭化ホウ素、立方晶窒化ホウ素、炭化ケイ素、または窒化アルミニウムは、非金属硬質材料として好適である。高炭素鋼から作製された基材の表面を直接コーティングする場合に、具体的には窒化金属形成剤、特に窒化クロム(CrN)が好適であることが実証されている。他の金属および非金属の硬質材料と比較して、窒化クロムは、入手可能かつ安価である。また、窒化クロムは、CVDコーティングシステムで簡単に生成することができ、基材に十分に結合すると、高い耐摩耗性を有する、少なくとも1~5μmの層厚を有する薄い硬質材料層を作製する。CVD方法は、硬質材料層の作製に関して、従来技術から既知のPVD方法を上回る利点を提供する。PVD方法と比較して、CVD方法は、バルク材料に好適であり、例えば、コーティングされる基材を回転ドラムで窒素系粉末と混合するシステムのエンジニアリング、作動、およびプロセス技術の観点では、経済的な利点を提供する。コーティングプロセスは、およそ700~1200℃の特定のプロセス温度で数時間にわたって実施される。基材のすべての到達可能な領域は、狭い穴でさえも均一にコーティングされる。コーティングプロセスの終わりに、コーティングされた基材は冷却される。PVD方法では、基材と堆積される材料とが、空間的に分離されていることは不利である。コーティングは、10-4~10Paの作動圧力で堆積される材料を気化させることによって実施される。
硬質材料層は、主にCrNを含むように設計される。部品の表面上の硬質材料層は、外側(外面)および基材と接触する内側を有する。炭素鋼を基材として使用することを通じて、炭素は、高プロセス温度で鋼から硬質材料層に拡散し、炭化金属と称される金属と炭素との結合体を形成する。硬質材料層内の金属は、主に窒素系粉末に由来するクロム(Cr)と、基材または窒素系粉末に由来する鉄(Fe)である。炭化金属の含有量は、グロー放電発光分光方法(GDOES)を使用して決定される。硬質材料層は、炭化金属含有量が内面上よりも硬質材量層の外面上で少なくなるように、有利に構築される。結果的に、本発明によるチェーン部品の耐摩耗性、したがって耐久性がかなり増加する。さらに、硬質材料層は、その外面上にかなり多くの窒化金属含有量を有し、炭化金属から作製された硬質材料層と比較して、耐摩耗性の改善をもたらす。
硬質材料層を有するチェーン部品のための本発明のさらなる発展形態は、従属請求項2~15に示される。
本発明のさらなる発展形態では、硬質材料層の外側表面上の窒素の質量濃度は、炭素の質量濃度よりも高い。好ましいさらなる発展形態では、窒素の質量濃度対炭素の質量濃度の比は、3:1よりも高く、特に好ましくは5:1よりも高い。
本発明の追加の構成では、硬質材料層内の炭化金属含有量は、硬質材料層の外面に向かって基材近くの領域で増加する。炭素は、炭素鋼を含む基材の表面上での炭素の拡散を通じて、基材の表面上に蓄積する。したがって、硬質材料層の炭化金属含有量は、基材の表面近くで増加する。
本発明のさらなる実施形態では、炭化金属含有量は、硬質材料層内で最大に達する。炭素は、炭素鋼を含む基材の表面上の炭素の拡散を通じて、基材の表面上に蓄積する。したがって、硬質材料層の炭化金属含有量は、基材の表面近くで最大値を有する。
本発明の追加の発展形態では、硬質材料層の外面に対する硬質材料層内の炭化金属含有量の極大値距離は、硬質材料層と基材との間の境界に対する硬質材料層内の炭化金属含有量の極大値距離よりも小さい。炭素は、炭素鋼を含む基材の表面上の炭素の拡散を通じて、基材の表面上に蓄積する。したがって、硬質材料層内の炭化金属含有量の最大値は、基材近くである。
本発明の追加の構造では、基材近くの領域の硬質材料層内の炭化金属含有量の増加量は、炭化金属含有量が減少する領域における増加量よりも多い。炭化金属含有量は、基材近くの領域で急激に増加する。結果的に、硬質材料層で利用可能な炭素の大部分は、硬質材料層の非常に深いところに結合されている。
本発明の追加の態様では、硬質材料層内の窒素(N)の質量濃度は、硬質材料層の外面に向かって増加する。したがって、硬質材料層の外面は、より深い領域よりも高い窒化金属の割合を有する。結果的に、本発明によるチェーン部品の耐摩耗性は、かなり増加する。
本発明の追加の構成では、基材近くの領域の硬質材料層内の窒化金属含有量の勾配は、硬質材料層の外面近くの領域内の窒化金属含有量の勾配よりも大きい。したがって、硬質材料層の窒化金属含有量は、基材の表面近くで最大値を有する。
本発明のさらなる発展形態では、硬質材料層内の平均窒化金属含有量は、硬質材料層内の平均炭化金属含有量よりも多い。可能な限り均質な硬質材料層を構築するために、窒化金属含有量は、好適なプロセスパラメータを通じて、例えば、基材の窒化を通じて、および/または窒素系粉末の使用を通じて、有利に増加させることができる。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料層内の平均窒化金属含有量は、硬質材料層内の平均炭化金属含有量よりも2倍、好ましくは3倍、特に好ましくは4倍多い。この実施形態は、硬質材料層がかなりの程度の窒化金属で構成されることを保証する。
本発明の追加の構成では、表面近くの硬質材料層の領域内の平均窒化金属含有量は、あらゆる深さでの硬質材料層内の平均炭化金属含有量よりも多い。炭素鋼で作製された基材からの炭素は、基材近くの硬質材料層のより深いところで蓄積する。この炭素濃縮により、炭化金属の形成がもたらされる。表面近くの領域は、層厚の50%まで、好ましくは層厚の65%、特に好ましくは層厚の80%までの深さを含む。
本発明のさらなる発展形態では、硬質材料層内のクロム(Cr)の平均質量濃度は、硬質材料層内の鉄(Fe)の平均質量濃度よりも高い。Crは、主に、例えば、CVDプロセス中にCr-Fe系粉末を使用するコーティングプロセスを通じて、硬質材料層に組み込まれる。
本発明の追加の構成では、硬質材料層内の平均Cr質量濃度は、硬質材料層内の平均Fe質量濃度よりも2倍、好ましくは4倍、特に好ましくは6倍高い。硬質材料層内のFeは、基材上の硬質材料層の付着特性を改善するためには、少量で十分である。
本発明の追加の構成では、表面近くの硬質材料層の領域内の平均Cr質量濃度は、あらゆる深さでの硬質材料層内の平均Fe質量濃度よりも高い。鋼で作製された基材からのFeは、基材近くの硬質材料層のより深いところで蓄積する。表面近くの領域は、層厚の50%まで、好ましくは層厚の65%、特に好ましくは層厚の80%までの深さを含む。
本発明による硬質材料層を有するチェーン部品、および本発明による方法の実施形態は、簡略化された形態で図面に概略的に提示され、以下の記載により詳細に説明される。
チェーンドライブに使用するためのチェーンの構造。 ピン上の硬質材料層の断面。 元素Fe、Cr、N、およびCのサンプル1の深さプロファイル分析。 元素Fe、Cr、N、およびCのサンプル2の深さプロファイル分析。
図1は、例えばチェーンドライブに使用することができる、チェーン10の2つのチェーンジョイントを示している。チェーン10は、1つのチェーンリンクを使用して各々接続された内部チェーンジョイントおよび外部チェーンジョイントを備えた、スリーブチェーンとして設計される。各内部チェーンジョイントは、2つの平行に走る内部タブ13、および内部タブ13を一緒に接続する2つのスリーブ12を備え、それによってスリーブ12が、内部タブ13に垂直である。
外部チェーンジョイント14は、2つのピン11と一緒に接続されている2つの平行に走る外部タブ14を備え、それによってピン11は、内部チェーンジョイント13のスリーブ12に回転可能に取り付けられる。外部チェーンジョイント14は、ピン11によって隣接する内部チェーンジョイント13に回転可能に固定され、外部タブ14を通じて、内部チェーンジョイント13を第2の内部チェーンジョイント13に接続し、それによって外部タブ14が、内部タブ13に平行に走る。外部チェーンジョイント14のピン11は、内部チェーンジョイント13のスリーブ12に回転可能に取り付けられ、各接続は、チェーン10の1つのチェーンリンクを形成する。チェーン10のピン11は、完全に炭素鋼で作製されており、それによってピン11のリンク表面には、CVD方法で適用されたCrN硬質材料層が設けられる。代替的または追加的に、スリーブ12はまた、炭素系材料から製造され得、そのリンク表面/軸受表面上にCVD硬質材料層を設けられ得る。
図2aは、鋼系ピン11上の硬質材料層6の概略断面図を示している。硬質材料層6は、主に窒化金属を含むように設計されている。炭素鋼を基材11として使用することを通じて、炭素は、高プロセス温度で鋼から硬質材料層6に拡散し、炭化金属が形成される。しかしながら、窒化物、具体的には窒化クロムは、炭化物よりもかなり良好な耐摩耗性を有する。硬質材料層6は、炭化金属含有量が、内面上よりも硬質材料層6の外面上で少なくなるように構築される。硬質材料層6内の金属は、ほとんどがクロム(Cr)および鉄(Fe)である。CrおよびNは、好ましくは、コーティングプロセスを通じて硬質材料層6に組み込まれ、したがって、硬質材料層6は、主に窒化クロムを含む。
図2bは、中間層7を有する硬質材料層6を概略的に示している。ピン11の耐摩耗性を改善するために、硬質材料層6の外側領域は、それが主に窒化金属を含むように構築される。金属CrおよびFeは、窒素系粉末に由来し、コーティングプロセス中に硬質材料層6に組み込まれる。中間層7は、主に炭化金属、CrCおよびFeCを含む。
CVD方法の方式によって硬質材料層で各々コーティングされている、本発明による2つの異なるチェーン部品の2つの濃度プロファイルを以下に提示している。サンプルは、窒化鋼40CrMoV13-9から作製されたピン11である。層は、主に窒化クロムおよび炭化クロムを含み、層厚は、ほぼ10μmである。2つのサンプルの濃度プロファイルは、GDOES方法を使用して決定されている。このプロセスでは、直流プラズマの陰極として金属サンプルを使用する。表面から始めて、サンプルは、アルゴンイオンを用いる陰極スパッタリングを通じて層を徐々に除去する。除去された原子は、拡散を通じてプラズマに入る。衝突プロセスを通じて励起され、原子は特徴的な波長を有する光子を放出し、下流の分光計を使用して光子の放出を記録し、その後定量化される。
図3は、サンプル1の濃度プロファイルを示している。分離プロセス中に、まず、0℃~960℃までおよそ1時間加熱した。保持時間は6時間継続させ、次いで200℃までゆっくりと(約10時間)冷却した。プロセス中に、反応器を窒素でフラッシュした。横軸は、見やすくするために、対数スケールでの深度を示す。縦軸はまた、明確性の理由から、相対的なスケールでの質量濃度を示している。縦軸の100%は、100%の元素FeおよびCr、20%のN、ならびに5%のCの質量濃度に等しい。窒素は主に、窒化金属の形態で存在するが、炭素は主に、炭化金属の形態で存在する。
Fe質量濃度は、0~7.5μmの領域内では常にほぼ0%である。8μmから、Fe質量濃度は5%まで増加する。10μmよりも深い領域内から27μmまでのFe質量濃度は、90%まで急激に増加する。27μmを超える深さから50μmまでのFe質量濃度は、少ない勾配で92%まで常に増加する。したがって、硬質材料層には、Fe系炭化物または窒化物はほとんどない。
0~7.5μmの範囲内のCr質量濃度は、0μmでの86%から7.5μmでの88%まで常に増加する。深さ7.5μm~25μmまでのCr質量濃度は、10%の値まで急激に降下する。Cr質量濃度およびFe質量濃度は反比例し、硬質材料層6の層厚が10μmであることが確認される。深さ25μmから深さ50μmでのCr質量濃度は、5%の値まで降下する。Cr質量濃度のかなり高い値は、主にCr系炭化物および窒化物が硬質材料層内に存在することを示している。
N質量濃度は、0μmでは10.8%の値を有し、7.5μmでは6%の値まで降下する。質量濃度の低減は一定ではなく、深さ2.5μmでは、N質量濃度の9.4%への増加を検出することができる。深さ7.5μm~10μmでのN質量濃度は、最大値15.6%まで急激に増加する。深さ130μmから25μmでのN質量濃度は、2%の値まで急激に降下する。これは、基材から始めて、最初に第1の領域では窒化物含有量が急激に増加し、次いでその後の第2の領域では、窒化物含有量が再び第1の窒化物ピークのおよそ30%のレベルに低下することを示している。次いで、第3の領域での窒化物含有量は、硬質材料層の表面まで連続的に増加する。したがって、層厚は、およそ13μmである。
C質量濃度の分布によると、0μmでの硬質材料層の表面近くの炭化物含有量は、非常に低い値を有し、直線的な勾配で2.5μmで2倍の値に増加する。次いで深さ2.5μm~7.5μmでのC含有量は、硬質材料層の表面での値のおよそ4倍の最大値に急激に増加する。次いで深さ7.5μmから第3の領域での炭化物含有量は、再び急激に低下し、25μmで、硬質材料層表面での値よりも低い値に達する。
硬質材料層の表面近くの硬質材料層の領域での窒化物含有量は、深さ7.5μmまで連続的に降下するが、同じ領域での炭化物含有量は、連続的に増加する。したがって、硬質材料層6は、主にその表面にCrNを有し、CrC含有量は、深さ7.5μmにあるが、CrN含有量は、同じ位置では最小である。
炭素および窒素の質量濃度分布の分析は、硬質材料層の表面では、窒素の質量濃度が炭素の質量濃度よりも高いことを示している。窒化金属の質量濃度対炭化金属の質量濃度の比は、およそ14:1であり、したがって10:1よりも高い。
図4は、主にCrCを含む中間層が硬質材料層に組み込まれている、サンプル2の濃度プロファイルを示している。分離プロセス中に、まず、0℃~950℃までおよそ45分間加熱した。保持時間は7時間継続させ、次いで200℃までゆっくりと(約10時間)冷却した。プロセス中に、反応器を窒素でフラッシュした。図3のように、横軸は、深さを対数スケールでも示している。縦軸は、質量濃度を相対スケールで示している。縦軸の100%は、100%の元素FeおよびCr、20%のN、ならびに5%のCの質量濃度に等しい。
Fe質量濃度は、0~3μmの領域内では常にほぼ0%である。3μmから、Fe質量濃度は5%まで増加する。8μmよりも深い領域でのFe質量濃度は、27μmまで88%まで急激に増加する。27μmを超える深さから50μmまでのFe質量濃度は、少ない勾配で90%まで常に増加する。したがって、硬質材料層も中間層も、顕著な割合のFe炭化物またはFe窒化物を含有しない。
深さ0μmでのCr質量濃度は、81%であり、その後深さ2μmで78%の値までゆるやかに降下する。深さ2μmから深さ3μmでのCr質量濃度は、85%の最大値まで増加する。深さ3μmから深さ8μmでのCr質量濃度は、75%の値まで降下する。実際、硬質材料層のこの領域の変動は、測定公差内であり、ほぼ一定のCr質量濃度を想定することができることを意味する。深さ8μm~25μmまでのCr質量濃度は、5%の値まで急激に降下する。したがって、硬質材料層は、少なくとも8μmの層厚を有する。
N質量濃度は、0μmで9.8%の値を有し、N質量濃度は、深さ2μmでほぼ同一の値の9.4%である。深さ2μmから深さ4μmでのN質量濃度は、4.4%の値まで降下する。次いでN質量濃度は、8μmの深さで17.6%の最大値まで急激に増加する。深さ12μmでのN質量濃度は、25μmで2%の値まで急激に降下する。したがって、窒化物含有量は、深さおよそ2μmまでほぼ一定であり、次いで深さおよそ4μmまでは低下し、表面の窒化物含有量のほぼ半分になる。そこから、窒化物含有量は、深さおよそ8μmで硬質材料層内のその最大値まで増加し、そこから深さ25μmでほぼ0の値まで低下する。したがって、層厚は、およそ12μmである。
C質量濃度は、0μmでは2.5%の値を有し、2μmでは2.6%の値まで増加する。深さ2μm~4μmでのC質量濃度は、最大値3.75%まで急激に増加する。深さ4μmからは15μmでのC質量濃度は、0.35%の値まで急激に低下する。したがって、炭化物含有量は、深さおよそ2μmまでほぼ一定であり、次いで深さおよそ4μmまでは、表面の炭化物含有量のほぼ2倍まで低下する。そこから、炭化物含有量は、15μmの深さでほぼ0の値まで降下する。
N質量濃度は、硬質材料層6の表面での9.8%から深さ4μmでの4.4%まで低下する。同じ領域内でのC質量濃度は、硬質材料層6の表面での2.5%から4μmで3.75%のその最大値まで変化する。硬質材料層6の深さ4μmでのN質量濃度は、相対的に最小であり、C質量濃度はその最大であり、同時にCr質量濃度はこの深さ4μmで85%である。したがって、この深さに窒化金属および炭化金属(本明細書ではCrNおよびCrC)が中間層7として、ほぼ同じ質量濃度で存在する。
4~8μmの深さ領域内では、N質量濃度およびC質量濃度、ならびに窒化物含有量および炭化物含有量は反比例し、したがって、CrNの質量濃度は、硬質材料層6のより深いところで再び上昇する。
炭素および窒素の質量濃度分布の分析は、硬質材料層の表面では、窒素の質量濃度が炭素の質量濃度よりも高いことを示している。窒化金属の質量濃度対炭化金属の質量濃度の比は、およそ4:1である。
1 分離剤
2 活性剤
3 金属
4 窒化金属
5 バルク材料
6 硬質材料層
7 中間層
10 チェーン
11 ピン
12 スリーブ
13 内部タブ
14 外部タブ
M 金属
N 窒素

Claims (15)

  1. ・鋼系基材と、
    ・前記鋼系基材の外面上の硬質材料層であって、前記硬質材料層が窒化金属を含むものと、
    ・前記硬質材料層内の炭化金属と、を含み、
    前記硬質材料層内の炭化金属含有量が前記硬質材料層の前記外面に向かって減少し、かつ
    前記硬質材料層内の平均窒化金属含有量が、前記硬質材料層内の平均炭化金属含有量よりも多いことを特徴とする、硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  2. 前記硬質材料層内の前記炭化金属含有量が、前記硬質材料層の内部側面に向かって前記基材近くの領域で増加することを特徴とする、請求項1に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  3. 前記硬質材料層内の前記炭化金属含有量が前記硬質材料層内で極大値を有することを特徴とする、請求項1または請求項2のいずれかに記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  4. 前記硬質材料層の前記外面に対する前記硬質材料層内の前記炭化金属含有量の前記極大値距離が、前記硬質材料層と前記基材との間の境界に対する前記硬質材料層内の前記炭化金属含有量の前記極大値距離よりも小さいことを特徴とする、請求項3に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  5. 前記基材近くの領域の前記硬質材料層内の前記炭化金属含有量の勾配が、前記炭化金属含有量が減少する領域内の前記勾配よりも大きいことを特徴とする、請求項2~4のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  6. 前記硬質材料層内の窒化金属含有量が前記硬質材料層の前記外面に向かって増加することを特徴とする、請求項1~5のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  7. 前記基材近くの領域の前記硬質材料層内の前記窒化金属含有量の増加が、前記硬質材料層の前記外面近くの領域における増加よりも大きいことを特徴とする、請求項6に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  8. 前記硬質材料層内の前記平均窒化金属含有量が、前記硬質材料層内の前記平均炭化金属含有量よりも2倍多いことを特徴とする、請求項1~7のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  9. 前記硬質材料層の表面近くの領域内の各層区画内の前記平均炭化金属含有量が、20重量%未満であり、それによって、前記表面近くの領域が、前記硬質材料層の総厚の80%の厚さを有することを特徴とする、請求項1~のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  10. 前記硬質材料層内の平均Cr質量濃度が、前記硬質材料層内の平均Fe質量濃度よりも高いことを特徴とする、請求項1~のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  11. 前記硬質材料層内の前記平均Cr質量濃度が、前記硬質材料層内の前記平均Fe質量濃度よりも2倍高いことを特徴とする、請求項10に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  12. 前記硬質材料層の表面近くの領域内の前記平均窒化金属含有量が、前記硬質材料層内のあらゆる地点での前記平均炭化金属含有量よりも多いことを特徴とする、請求項1~11のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  13. 前記硬質材料層の表面近くの領域内の平均Cr質量濃度が、前記硬質材料層内のあらゆる地点での平均Fe質量濃度よりも高いことを特徴とする、請求項1~12のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  14. 前記硬質材料層の表面近くの領域が、前記硬質材料層の総厚の50%の厚さを有することを特徴とする、請求項12および/または請求項13に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
  15. 前記硬質材料層の表面での窒化金属の質量濃度が、前記硬質材料層の前記外面上の前記炭化金属の前記質量濃度よりも高いことを特徴とする、請求項1~14のうち1つ以上に記載の硬質材料層でコーティングされた、動力を伝達するためのチェーンのチェーン部品。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015081353A (ja) 2013-10-21 2015-04-27 大同工業株式会社 チェーン用軸受部、その製造方法、及びそれを用いたチェーン

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4818351A (en) 1986-07-30 1989-04-04 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Method for the surface treatment of an iron or iron alloy article
US5865021A (en) * 1997-08-25 1999-02-02 Amsted Industries Incorporated Coated roller chain pin
JP2003301889A (ja) 2002-04-10 2003-10-24 Tsubakimoto Chain Co 耐摩耗チェーン
JP2003301888A (ja) 2002-04-12 2003-10-24 Tsubakimoto Chain Co サイレントチェーン
DE102005047449B8 (de) 2005-03-11 2015-03-26 JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG Verschleißverbesserte Gliederkette sowie Verfahren zu deren Herstellung
DE102006052869B4 (de) 2006-11-09 2020-10-01 JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG PVD-Hartstoffbeschichtung von Kettengelenkteilen
JP5378715B2 (ja) * 2008-06-27 2013-12-25 エア・ウォーターNv株式会社 鋼材の表面処理方法および表面処理装置
JP2010222649A (ja) * 2009-03-24 2010-10-07 Ryukoku Univ 炭素鋼材料の製造方法および炭素鋼材料
DE102011006294B4 (de) 2011-03-29 2018-10-04 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren zur Herstellung eines gehärteten, beschichteten Metallbauteils
CN104271291B (zh) * 2012-04-19 2016-08-17 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
US9657810B2 (en) 2012-08-03 2017-05-23 Iwis Motorsysteme Gmbh & Co. Kg Friction- and wear-reducing joint for a bush chain or roller chain
DE102012217028A1 (de) 2012-09-21 2014-03-27 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Kettenelement
JP6010508B2 (ja) * 2013-07-03 2016-10-19 ボーグワーナー インコーポレーテッド 摺動部材の製造方法、ならびにチェーン用リンクの製造方法および当該リンクを備えたチェーンの製造方法
JP5965378B2 (ja) * 2013-10-31 2016-08-03 株式会社リケン ピストンリング及びその製造方法
DE102013222244A1 (de) 2013-10-31 2015-04-30 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Kettenlasche und Verfahren zur Herstellung von Kettenlaschen
DE102016215709A1 (de) * 2015-08-28 2017-03-02 Tsubakimoto Chain Co. Kettenkomponente und Kette
CN107201496A (zh) * 2017-06-12 2017-09-26 武汉铭高新材料有限公司 一种在不锈钢表面制备铬基金属陶瓷硬化层的方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015081353A (ja) 2013-10-21 2015-04-27 大同工業株式会社 チェーン用軸受部、その製造方法、及びそれを用いたチェーン

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