JP7351297B2

JP7351297B2 - 半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物、半導体封止材料、及び半導体装置

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Publication number: JP7351297B2
Application number: JP2020525561A
Authority: JP
Inventors: 陽介藤安; 彩笠原; 一也木口; 大輔藤本
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd; Showa Denko Materials Co Ltd; Resonac Corp
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 2018-06-12
Filing date: 2019-06-10
Publication date: 2023-09-27
Anticipated expiration: 2039-06-10
Also published as: TW202016215A; WO2019240092A1; JPWO2019240092A1

Description

本開示は、半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物、半導体封止材料、及び半導体装置に関する。

従来から、トランジスタ、ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等の半導体装置の素子を封止する封止材料として、生産性及びコスト等の面から樹脂が広く使用されている。その中でも特に、封止材料として、エポキシ樹脂組成物が広く使用されている（例えば特許文献１）。

また、近年、半導体装置の低コスト化、小型化、薄型化、軽量化、高性能、及び高機能化等を図るために、素子の配線の微細化、多層化、多ピン化、パッケージの小型化、及び薄型化等による高密度実装化が進んでいる。これに伴い、ＩＣの素子とほぼ同じサイズの半導体装置、すなわち、ＣＳＰ（ＣｈｉｐＳｉｚｅＰａｃｋａｇｅ）が広く用いられている。
さらに、コンピュータ、情報通信機器等は、近年ますます高性能化及び高機能化し、大量のデータを高速で処理するため、扱う信号が高周波数化する傾向にある。特に、携帯電話及び衛星放送には、例えばＧＨｚ帯の高周波数領域の電波が使用されている。

特許文献１：特開２００３－１３８１０６号公報

高周波数領域の信号を扱う場合は特に、伝送損失が低いことが望まれる。そして、伝送損失を抑制するため、半導体装置の素子を封止する半導体封止材料にも、低い誘電正接が望まれる。

本開示の課題は、誘電正接の低い半導体封止材料が得られる半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物、この半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物を硬化してなる半導体封止材料、及びこの半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物の硬化物を備える半導体装置を提供することである。

上記の課題を解決する手段は、以下の実施形態を含む。
＜１＞２以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物と２以上のアミノ基を有する化合物とを少なくとも共重合してなるポリイミド化合物と、半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物全体に対する含有率が６０体積％～９５体積％である無機充填材と、硬化開始剤と、を含み、１８０℃で１時間加熱したときの質量減少率が５質量％以下である半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
＜２＞前記ポリイミド化合物の重量平均分子量は、８００～１５００である＜１＞に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
＜３＞前記無機充填材は、シリカである＜１＞又は＜２＞に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
＜４＞ディスクフロー長が６０ｍｍ以上である＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
＜５＞＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物を硬化してなる半導体封止材料。
＜６＞半導体素子と、前記半導体素子を封止する、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物の硬化物と、を備える半導体装置。

本開示によれば、誘電正接の低い半導体封止材料が得られる半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物、この半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物を硬化してなる半導体封止材料、及びこの半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物の硬化物を備える半導体装置が提供される。

以下、本開示を実施するための形態について詳細に説明する。但し、本開示は以下の実施形態に限定されるものではない。以下の実施形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合を除き、必須ではない。数値及びその範囲についても同様であり、本開示を制限するものではない。

本開示において「～」を用いて示された数値範囲には、「～」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において各成分は該当する物質を複数種含んでいてもよい。組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、各成分の含有率又は含有量は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率又は含有量を意味する。
本開示において各成分に該当する粒子は複数種含んでいてもよい。組成物中に各成分に該当する粒子が複数種存在する場合、各成分の粒子径は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の粒子の混合物についての値を意味する。

〔半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物〕
本開示の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物（以下、単に「樹脂組成物」ともいう）は、２以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物と２以上のアミノ基を有する化合物とを少なくとも共重合してなるポリイミド化合物と、樹脂組成物全体に対する含有率が６０体積％～９５体積％である無機充填材と、硬化開始剤と、を含み、１８０℃で１時間加熱したときの質量減少率（以下、単に「質量減少率」ともいう）が５質量％以下である。
上記樹脂組成物は、上記構成であることにより、誘電正接の低い半導体封止材料が得られる。

ここで、上記「質量減少率」は、樹脂組成物を１８０℃で１時間加熱することで減少した質量の割合であり、加熱前における樹脂組成物の質量を基準としたときの値である。
具体的には、例えば、樹脂組成物をアルミ製のカップに１．０ｇ～１．１ｇ量り取り、１８０℃の温度に設定した乾燥機内に１時間放置した後の計測量と、加熱前の計測量とに基づき、次式により算出する。
式：質量減少率（％）＝｛（加熱前の計測量－放置した後の計測量）／加熱前の計測量｝×１００

なお、樹脂組成物における上記質量減少率が５質量％以下であることは、樹脂組成物に含まれる成分のうち、１８０℃で揮発する揮発分（例えば溶媒）が、樹脂組成物全体に対して５質量％以下であることを意味する。
樹脂組成物における質量減少率が５質量％以下であることにより、樹脂組成物を硬化させて封止材料とする過程におけるボイドの発生が抑制される。前記ボイド抑制の観点から、樹脂組成物における質量減少率は、３質量％以下であることが好ましく、１質量％以下であることがさらに好ましい。
以下、樹脂組成物の各成分について説明するが、本開示の樹脂組成物はこれらに限定されるものではない。

＜ポリイミド化合物＞
ポリイミド化合物は、２以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物（以下「ポリマレイミド化合物」ともいう）と２以上のアミノ基を有する化合物（以下「ポリアミノ化合物」ともいう）とを少なくとも共重合してなるものである。つまり、ポリイミド化合物は、ポリマレイミド化合物とポリアミノ化合物とを含有する組成物を重合させた重合体である。ポリマレイミド化合物とポリアミノ化合物とを含有する組成物を「モノマー組成物」と称する場合がある。
以下、モノマー組成物に含有される各成分について説明する。

－ポリマレイミド化合物－
ポリマレイミド化合物は、２以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物であれば限定されず、２つのＮ－置換マレイミド基を有する化合物であってもよく、３以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物であってもよい。入手容易性の観点から、ポリマレイミド化合物は、２つのＮ－置換マレイミド基を有する化合物であることが好ましい。

ポリマレイミド化合物の具体例としては、例えば、ビス（４－マレイミドフェニル）メタン、ビス（３－マレイミドフェニル）メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ビス（４－マレイミドフェニル）エーテル、ビス（４－マレイミドフェニル）スルホン、３，３’－ジメチル－５，５’－ジエチル－４，４’－ジフェニルメタンビスマレイミド、４－メチル－１，３－フェニレンビスマレイミド、ｍ－フェニレンビスマレイミド、ｐ－フェニレンビスマレイミド、２，２－ビス［４－（４－マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパン、１，２－ビスマレイミドエタン、１，６－ビスマレイミドヘキサン、１，１２－ビスマレイミドドデカン、１，６－ビスマレイミド－（２，２，４－トリメチル）ヘキサン、１，６－ビスマレイミド－（２，４，４－トリメチル）ヘキサンが挙げられる。

これらの中でも、安価である点から好ましいポリマレイミド化合物としては、例えば、ビス（４－マレイミドフェニル）メタンが挙げられる。また、誘電特性に優れ低吸湿性である点から好ましいポリマレイミド化合物としては、例えば、３，３’－ジメチル－５，５’－ジエチル－４，４’－ジフェニルメタンビスマレイミドが挙げられる。また、導体との高接着性、伸び及び破断強度等の機械特性に優れる点から好ましいポリマレイミド化合物としては、例えば、２，２－ビス［４－（４－マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパンが挙げられる。

これらのポリマレイミド化合物は、１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を併用してもよい。
２種類以上のポリマレイミド化合物を併用する形態としては、例えば、脂肪族ポリマレイミド化合物と芳香族ポリマレイミド化合物とを併用する形態が挙げられる。
脂肪族ポリマレイミド化合物は、芳香環を有さないポリマレイミド化合物であり、その中でも、アルキレン基を有するポリマレイミド化合物が好ましく、炭素数３以上１２以下のアルキレン基を有するポリマレイミド化合物がより好ましく、炭素数３以上１２以下の分岐状アルキレン基を有するポリマレイミド化合物がさらに好ましい。
芳香族ポリマレイミド化合物は、芳香環を有するポリマレイミド化合物であり、その中でも、フェニレン基を有するポリマレイミド化合物が好ましく、２以上のフェニレン基を有するポリマレイミド化合物がより好ましく、３以上のフェニレン基を有するポリマレイミド化合物がさらに好ましい。
ポリマレイミド化合物として脂肪族ポリマレイミド化合物と芳香族ポリマレイミド化合物とを併用する場合、ポリマレイミド化合物全体のＮ－置換マレイミド基数に対する脂肪族ポリマレイミド化合物のＮ－置換マレイミド基数の割合は、例えば１０％～５０％が挙げられ、２０％～４０％が好ましい。

－ポリアミノ化合物－
ポリアミノ化合物は、２以上のアミノ基を有する化合物であれば限定されず、２つのアミノ基を有する化合物であってもよく、３以上のアミノ基を有する化合物であってもよい。入手容易性の観点から、ポリアミノ化合物は、２つのアミノ基を有する化合物であることが好ましい。

ポリアミノ化合物の具体例としては、例えば、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメチル－ジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチル－ジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，３’－ジアミノジフェニルスルホン、４，４’－ジアミノジフェニルケトン、４，４’－ジアミノビフェニル、３，３’－ジメチル－４，４’－ジアミノビフェニル、２，２’－ジメチル－４，４’－ジアミノビフェニル、３，３’－ジヒドロキシベンジジン、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、３，３’－ジメチル－５，５’－ジエチル－４，４’－ジフェニルメタンジアミン、２，２－ビス（４－アミノフェニル）プロパン、２，２－ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、１，３－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル、１，３－ビス［１－（４－（４－アミノフェノキシ）フェニル）－１－メチルエチル］ベンゼン、１，４－ビス［１－（４－（４－アミノフェノキシ）フェニル）－１－メチルエチル］ベンゼン、４，４’－［１，３－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリン、４，４’－［１，４－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリン、３，３’－［１，３－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリン、ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４－（３－アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、９，９－ビス（４－アミノフェニル）フルオレンが挙げられる。

これらの中でも、有機溶媒への溶解性、合成時の反応性、及び耐熱性に優れる点から好ましいポリアミン化合物としては、例えば、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメチル－ジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチル－ジフェニルメタン、２，２－ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、４，４’－［１，３－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリン、及び４，４’－［１，４－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリンが挙げられる。また、誘電特性及び低吸水性に優れる点から好ましいポリアミン化合物としては、例えば３，３’－ジメチル－５，５’－ジエチル－４，４’－ジフェニルメタンジアミンが挙げられる。また、導体との高接着性並びに伸び及び破断強度等の機械特性に優れる点から好ましいポリアミン化合物としては、例えば、２，２－ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］プロパンが挙げられる。また、有機溶媒への溶解性、合成時の反応性、耐熱性、及び導体との高接着性に優れることに加えて、優れた高周波特性及び低吸湿性を発現できる点から好ましいポリアミン化合物としては、例えば、４，４’－［１，３－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリン、４，４’－［１，４－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリンが挙げられる。
これらのポリアミン化合物は、１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を併用してもよい。

－他の成分－
－－２以上のエチレン性不飽和二重結合を含む基を有する化合物－－
モノマー組成物は、ポリマレイミド化合物及びポリアミノ化合物のほかに、他の成分として、２以上のエチレン性不飽和二重結合を含む基を有する化合物（以下「エチレン性化合物」ともいう）を含有してもよい。モノマー組成物にエチレン性化合物を含有させることで、ポリイミド化合物の重合度等を調整しやすくなる。
エチレン性不飽和二重結合を含む基としては、例えば、ビニル基、アリル基、ビニルオキシ基、アリルオキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基が挙げられる。エチレン性化合物は、エチレン性不飽和二重結合を含む基を、１分子中に１種のみ有してもよく、２種以上有してもよい。
エチレン性化合物は、エチレン性不飽和二重結合を含む基のほかに、さらに他の基を有してもよい。他の基としては、例えば、アミノ基、エーテル基、スルフィド基等が挙げられる。
エチレン性化合物の具体例としては、例えば、ジアリルアミン、ジアリルエーテル、ジアリルスフィド、トリアリルイソシアヌレート等が挙げられる。
モノマー組成物がエチレン性化合物を含有する場合、モノマー組成物中におけるポリマレイミド化合物のＮ－置換マレイミド基数（Ｔａ１）に対する、モノマー組成物中におけるエチレン性化合物のエチレン性不飽和二重結合数（Ｔａ３）の当量比（Ｔａ３／Ｔａ１）としては、例えば、０．０５～０．２の範囲が挙げられる。

－－溶媒－－
モノマー組成物は、他の成分として溶媒を含有してもよい。溶媒としては、例えば有機溶媒が挙げられる。また、有機溶媒は特に限定されず、具体的には、メタノール、エタノール、ブタノール、ブチルセロソルブ、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類、メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、ブトキシエチルアセテート、酢酸エチル等のエステル類、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチル－２－ピロリドン等の含窒素類などが挙げられる。これらは１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を混合して用いてもよい。これら有機溶媒は、溶解性の観点から、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミドが好ましい。

－－反応触媒－－
モノマー組成物は、他の成分として、ポリマレイミド化合物とポリアミノ化合物との反応を促進させる反応触媒を含有してもよい。
反応触媒としては、特に制限されるものではなく、例えば、ｐ－トルエンスルホン酸等の酸性触媒、トリエチルアミン、ピリジン、トリブチルアミン等のアミン類、メチルイミダゾール、フェニルイミダゾール等のイミダゾール類、トリフェニルホスフィン等のリン系触媒などが挙げられる。これらは１種を単独で用いても、２種類以上を混合して用いてもよい。また、ポリマレイミド化合物及びポリアミノ化合物の合計量１００質量部に対する反応触媒の含有量は特に限定されず、例えば、０．０１質量部～５．０質量部の範囲が挙げられる。

－配合量－
モノマー組成物中におけるポリマレイミド化合物とポリアミノ化合物との当量比、すなわち、モノマー組成物中におけるポリアミノ化合物のアミノ基数（Ｔａ２）に対する、モノマー組成物中におけるポリマレイミド化合物のＮ－置換マレイミド基数（Ｔａ１）の当量比（Ｔａ１／Ｔａ２）を、１．０～１０．０の範囲とすることが好ましく、２．０～１０．０の範囲で配合することがより好ましい。当量比が上記範囲内となるようにポリマレイミド化合物とポリアミノ化合物とを配合することにより、高周波特性、耐熱性、難燃性、及びガラス転移温度がより良好な樹脂組成物が得られる。

－重合方法－
モノマー組成物の重合方法は、例えば、モノマー組成物を合成釜に仕込み、モノマー組成物中のポリマレイミド化合物とポリアミノ化合物とをマイケル付加反応させることによりポリイミド化合物が得られる。
上記重合の条件は特に限定されるものではなく、例えば、反応温度５０℃～１６０℃、反応時間１時間～１０時間の範囲で行うことが反応速度等の作業性及びゲル化抑制等の観点から好ましい。また、重合の過程で、溶媒の追加又はモノマー組成物の濃縮により、モノマー組成物の固形分濃度及び溶液粘度を調整してもよい。

モノマー組成物の固形分濃度は、特に制限はなく、１０質量％～９０質量％であることが好ましく、２０質量％～８０質量％であることがより好ましい。ここで、「固形分」とは、溶媒を除いた成分をいう。モノマー組成物の固形分濃度が１０質量％以上の場合、重合反応速度が遅くなりすぎず、ポリイミド化合物の製造コストの面で有利である。また、モノマー組成物の固形分濃度が９０質量％以下の場合、固形分の良好な溶解性が得られ、重合の過程における攪拌効率が良く、ゲル化することも少ない。
なお、ポリイミド化合物の製造後に、目的に合わせて溶媒の一部又は全部を除去して濃縮してもよく、溶媒を追加して希釈してもよい。追加で使用される溶媒としては、モノマー組成物に含まれる溶媒として例示した有機溶媒が適用できる。これらは１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を混合して用いてもよい。またこれらの中でも、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミドが溶解性の観点から好ましい。

モノマー組成物の重合体として得られるポリイミド化合物の重量平均分子量は、特に限定されるものではなく、例えば、８００～１５００の範囲であってもよく、８００～１３００の範囲であってもよく、８００～１１００の範囲であってもよい。
ポリイミド化合物の重量平均分子量は、下記実施例に記載のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により、求めることができる。

上記のようにして得られるポリイミド化合物は、前記ポリマレイミド化合物と前記ポリアミノ化合物とがマイケル付加反応してなる化合物であり、少なくとも前記ポリマレイミド化合物由来の構造単位（以下、「構造単位（ａ１）」ともいう）と、前記ポリアミノ化合物由来の構造単位（以下、「構造単位（ａ２）」ともいう）と、を含むものである。
構造単位（ａ１）としては、例えば、下記一般式（１－１）で表される構造単位、下記一般式（１－２）で表される構造単位が挙げられ、構造単位（ａ２）としては、例えば、下記一般式（２－１）で表される構造単位、下記一般式（２－２）で表される構造単位が挙げられる。

一般式（１－１）および（１－２）中、Ａは、前記ポリマレイミド化合物の残基を示し、一般式（２－１）及び（２－２）中、Ｂは、前記ポリアミノ化合物の残基を示す。すなわち、Ａの好ましい構造は、前記ポリマレイミド化合物として例示した好ましい化合物に由来する構造であり、Ｂの好ましい構造は、前記ポリアミノ化合物として例示した好ましい化合物に由来する構造である。
また、一般式（１－２）及び（２－２）中、＊は結合部を示す。
なお残基とは、重合前の化合物（すなわち、ポリマレイミド化合物又はポリアミノ化合物）から結合に供された官能基を除いた部分をいう。

ポリイミド化合物中における構造単位（ａ１）と構造単位（ａ２）との含有比率は、前記モノマー組成物におけるポリマレイミド化合物とポリアミノ化合物との含有比率と同様である。すなわち、ポリイミド化合物中における、ポリアミノ化合物に由来するアミノ基及びポリアミノ化合物のアミノ基がマイケル付加してなる基の合計数（Ｔａ２’）と、ポリマレイミド化合物に由来するマレイミド基及びポリマレイミド化合物のマレイミド基がマイケル付加してなる基の合計数（Ｔａ１’）と、の当量比（Ｔａ１’／Ｔａ２’）が、１．０～１０．０の範囲であってもよく、２．０～１０．０の範囲であってもよい。当量比（Ｔａ１’／Ｔａ２’）を上記範囲内とすることにより、高周波特性、耐熱性、難燃性、及びガラス転移温度が良好な樹脂組成物が得られる傾向にある。

ポリイミド化合物中における、構造単位（ａ１）及び構造単位（ａ２）の合計含有量は、６０質量％～１００質量％であってもよく、８０質量％～１００質量％であってもよく、９０質量％～１００質量％であってもよい。構造単位（ａ１）及び構造単位（ａ２）の合計含有量を上記範囲内とすることにより、高周波特性、耐熱性、難燃性、及びガラス転移温度が良好な樹脂組成物が得られる傾向にある。

ポリイミド化合物は、有機溶媒への溶解性、高周波特性、導体との高密着性、及び混練時の取扱い性の観点から、下記一般式（３）で表されるポリアミノビスマレイミド化合物を含むことが好ましい。

一般式（３）中、Ａ_３は下記一般式（４）、（５）、（６）、又は（７）で表される残基であり、Ａ_４は下記一般式（８）で表される残基である。

一般式（４）中、Ｒ_１は各々独立に、水素原子、炭素数１～５の脂肪族炭化水素基、又はハロゲン原子を示す。

一般式（５）中、Ｒ_２及びＲ_３は各々独立に、水素原子、炭素数１～５の脂肪族炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ａ_５は炭素数１～５のアルキレン基若しくはアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルフォニル基、カルボオキシ基、ケトン基、単結合、又は下記一般式（５－１）で表される残基である。

一般式（５－１）中、Ｒ_４及びＲ_５は各々独立に、水素原子、炭素数１～５の脂肪族炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ａ_６は炭素数１～５のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルフォニル基、カルボオキシ基、ケトン基、又は単結合である。

一般式（６）中、ｉは１～１０の整数である。

一般式（７）中、Ｒ_６及びＲ_７は各々独立に、水素原子又は炭素数１～５の脂肪族炭化水素基を示し、ｊは１～８の整数である。

一般式（８）中、Ｒ_８及びＲ_９は各々独立に、水素原子、炭素数１～５の脂肪族炭化水素基、炭素数１～５のアルコキシ基、水酸基、又はハロゲン原子を示し、Ａ_７は炭素数１～５のアルキレン基若しくはアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルフォニル基、カルボオキシ基、ケトン基、フルオレニレン基、単結合、下記一般式（８－１）、又は下記一般式（８－２）で表される残基である。

一般式（８－１）中、Ｒ_１０及びＲ_１１は各々独立に、水素原子、炭素数１～５の脂肪族炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ａ_８は炭素数１～５のアルキレン基、イソプロピリデン基、ｍ－又はｐ－フェニレンジイソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルフォニル基、カルボオキシ基、ケトン基、又は単結合である。

一般式（８－２）中、Ｒ_１２は各々独立に、水素原子、炭素数１～５の脂肪族炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ａ_９及びＡ_１０は炭素数１～５のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルフォニル基、カルボオキシ基、ケトン基、又は単結合である。

＜無機充填材＞
無機充填材は、一般に封止用成形材料に用いられるものであってもよく、特に限定されるものではない。無機充填材として、具体的には、シリカ（例えば、球状シリカ、結晶シリカ）、ガラス、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸ジルコニウム、ケイ酸カルシウム、窒化珪素、窒化アルミ、窒化ホウ素、ベリリア、ジルコニア、ジルコン、フォステライト、ステアタイト、スピネル、ムライト、チタニア、タルク、クレー、マイカ等の無機物質の粉未、これらの無機物質を球形化したビーズなどが挙げられる。難燃効果を有する無機充填剤を用いてもよい。難燃効果のある無機充填剤としては、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、マグネシウムと亜鉛の複合水酸化物等の複合金属水酸化物、硼酸亜鉛などが挙げられる。中でも、線膨張係数の低減の観点からはシリカが好ましく、その中でも球状シリカがより好ましい。また、高熱伝導性の観点からはアルミナが好ましい。これらの無機充填剤は１種を単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。

無機充填材の含有率は、樹脂組成物の総量中６０体積％～９５体積％であり、６０体積％～９０体積％であることが好ましく、６５体積％～８５体積％であることが更に好ましい。無機充填材の含有率が６０体積％以上であると、樹脂組成物の硬化物における熱膨張係数、熱伝導率、及び弾性率等の特性がより向上する傾向がある。無機充填材の含有率が９５体積％以下であると、樹脂組成物の粘度上昇が抑制され、流動性がより向上して成形性がより良好になる傾向がある。

無機充填材の体積平均粒子径は、０．１μｍ～８０μｍが好ましく、０．３μｍ～５０μｍがより好ましい。無機充填材の体積平均粒子径が０.１μｍ以上であると、樹脂組成物の粘度上昇が抑えられやすく、無機充填材の体積平均粒子径が８０μｍ以下であると、樹脂組成物と無機充填材との混合性が向上し、硬化によって得られる樹脂組成物の硬化物が均質化する傾向があり、前記硬化物における特性のばらつきが抑えられるとともに、狭い領域への充填性が向上する傾向がある。
上記体積平均粒子径は、乾式の粒度分布測定装置により測定してもよく、水又は有機溶媒中に無機充填材を分散したスラリーを用いて湿式の粒度分布測定装置により測定してもよい。

なお、樹脂組成物の流動性の観点からは、無機充填材の粒子形状は角形より球形が好ましく、かつ、無機充填材の粒度分布は広範囲に分布していることが好ましい。具体的には、例えば、無機充填材の含有率が樹脂組成物全体に対し７５体積％以上である場合、そのうち７０体積％以上を球状粒子とし、その球状粒子の粒子径は０．１μｍ～８０μｍという広範囲に分布していることが好ましい。このような無機充填剤は最密充填構造をとりやすいため配合量を増加させても材料の粘度上昇が少なく、流動性に優れた樹脂組成物を得ることができる。

＜硬化開始剤＞
硬化開始剤としては、熱により遊離ラジカルを発生させるラジカル重合開始剤等が挙げられ、具体的には、無機過酸化物、有機過酸化物、アゾ化合物等が挙げられる。
無機過酸化物としては、過硫酸カリウム（ペルオキソ硫酸二カリウム）、過硫酸ナトリウム、過硫酸アンモニウム等が挙げられる。
有機過酸化物としては、メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド等のケトンパーオキサイド、１，１－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２－ジ（４，４－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）シクロヘキシル）プロパン等のパーオキシケタール、ｐ－メンタンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、１，１，３，３－テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ｔ－ブチルハイドロパーオキサイド等のハイドロパーオキサイド、α、α’－ジ（ｔ－ブチルペルオキシ）ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ｔ－ブチルクミルパーオキサイド、ジ－ｔ－へキシルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキシン－３、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド等のジアルキルパーオキサイド、ジベンゾイルパーオキサイド、ジ（４－メチルベンゾイル）パーオキサイド等のジアシルパーオキサイド、ジ－ｎ－プロピルパーオキシジカーボネート、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート等のパーオキシジカーボネート、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ－へキシルパーオキシベンゾエート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ－ブチルパーオキシ２－エチルヘキサノネート等のパーオキシエステルなどが挙げられる。
アゾ化合物としては、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス－４－メトキシ－２，４－ジメチルバレロニトリル、アゾビスシクロヘキサノン－１－カルボニトリル、アゾジベンゾイル等が挙げられる。

硬化開始剤の含有量は、ポリイミド化合物１００質量部に対して０．１質量部～８．０質量部が好ましく、硬化性の観点から０．５質量部～６．０質量部がより好ましい。硬化開始剤の含有量が８．０質量部以下であると、揮発分が発生しにくく硬化中のボイドの発生がより抑制される傾向にある。また、硬化開始剤の含有量を１質量部以上とすることで、硬化性がより良好となる傾向にある。

＜硬化促進剤＞
樹脂組成物は、必要に応じてさらに硬化促進剤を含んでもよい。
硬化促進剤は特に限定されず、１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）－ウンデセン－７、１，５－ジアザビシクロ（４，３，０）－ノネン、５、６－ジブチルアミノ－１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）－ウンデセン－７、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等の３級アミン類及びこれらの誘導体、２－メチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニルイミダゾール、２－フェニル－４－メチルイミダゾール等のイミダゾール類及びこれらの誘導体（例えば、イミダゾール－イソシアネート付加物）、トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィン等の有機ホスフィン類及びこれらのホスフィン類に無水マレイン酸、ベンゾキノン、ジアゾフェニルメタン等のπ結合をもつ化合物を付加してなる分子内分極を有するリン化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレート、２－エチル－４－メチルイミダゾールテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンとベンゾキノンの付加物、トリパラトリルホスフィンとベンゾキノンの付加物、１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）－ウンデセン－７，２－フェニル－４－メチル－イミダゾール、トリフェニルホスホニウム－トリフェニルボランなどが挙げられる。硬化促進剤は単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

樹脂組成物が硬化促進剤を含む場合、その含有量は特に制限されず、ポリイミド化合物１００質量部に対して０．１質量部～８．０質量部であることが好ましく、０．５質量部～６．０質量部であることがより好ましい。

＜各種添加剤＞
樹脂組成物は、上述の成分に加えて、以下に例示するカップリング剤、イオン交換体、離型剤、応力緩和剤、難燃剤、着色剤等の各種添加剤を更に含有してもよい。なお、樹脂組成物は、以下に例示する添加剤以外にも、必要に応じて当技術分野で周知の各種添加剤を含有してもよい。

－カップリング剤－
樹脂組成物は、樹脂成分と無機充填材との接着性を高めるために、必要に応じてカップリング剤を含有してもよい。カップリング剤としては、エポキシシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、アルキルシラン、ウレイドシラン、ビニルシラン、酸無水物等の各種シラン系化合物；チタン系化合物；アルミニウムキレート化合物；アルミニウム／ジルコニウム系化合物；などの公知のカップリング剤が挙げられる。

樹脂組成物がカップリング剤を含有する場合、樹脂組成物中のカップリング剤の含有率は、無機充填材に対して０．０５質量％～５質量％であることが好ましく、０．１質量％～２．５質量％がより好ましい。前記含有率が０．０５質量％以上であると、樹脂成分と無機充填剤との接着性がより向上する傾向があり、５質量％以下であると、パッケージの成形性がより向上する傾向がある。

－イオン交換体－
樹脂組成物は、必要に応じてイオン交換体を含有してもよい。特に、樹脂組成物は、封止される素子を備える半導体装置の耐湿性及び高温放置特性を向上させる観点から、イオン交換体を含有することが好ましい。イオン交換体としては特に制限はなく、従来公知のものを用いることができる。具体的には、ハイドロタルサイト化合物、並びにマグネシウム、アルミニウム、チタン、ジルコニウム、及びビスマスからなる群より選ばれる少なくとも１種の元素の含水酸化物等が挙げられる。これらのイオン交換体は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、下記一般式（Ａ）で示されるハイドロタルサイトが好ましい。
Ｍｇ_１－ＸＡｌ_Ｘ（ＯＨ）_２（ＣＯ_３）_Ｘ／２・ｍＨ_２Ｏ …… （Ａ）
（０＜Ｘ≦０．５、ｍは正の数）

樹脂組成物がイオン交換体を含有する場合、その含有率は、ハロゲンイオン等のイオンを捕捉するのに充分な量であれば特に制限はない。イオン交換体の含有率は、ポリイミド化合物に対して０．１質量％～３０質量％であることが好ましく、１質量％～５質量％であることがより好ましい。

－離型剤－
樹脂組成物は、成形時における金型との良好な離型性を得る観点から、離型剤を含有してもよい。離型剤としては特に制限はなく、従来公知のものを用いることができる。具体的には、カルナバワックス、モンタン酸、ステアリン酸等の高級脂肪酸、高級脂肪酸金属塩、モンタン酸エステル等のエステル系ワックス、酸化ポリエチレン、非酸化ポリエチレン等のポリオレフィン系ワックスなどが挙げられる。これらの離型剤は１種を単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。中でも、カルナバワックスが好ましい。ポリオレフィン系ワックスとしては、市販品ではヘキスト社製のＨ４、ＰＥ、ＰＥＤシリーズ等の数平均分子量が５００～１００００程度の低分子量ポリエチレンなどが挙げられる。数平均分子量は、例えばゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定することができる。

樹脂組成物が離型剤を含有する場合、離型剤の含有率は、ポリイミド化合物の全量に対して０．０１質量％～１０質量％が好ましく、０．１質量％～５質量％がより好ましい。離型剤の含有率が０．０１質量％以上であると、離型性が充分に得られる傾向があり、１０質量％以下であると、より良好な接着性が得られる傾向がある。

－応力緩和剤－
樹脂組成物は、必要に応じて、シリコーンオイル、シリコーンゴム粒子等の応力緩和剤を含有してもよい。応力緩和剤を含有させることによって、パッケージの反り変形量及びパッケージクラックを低減させることが可能である。使用可能な応力緩和剤としては、当該技術分野で一般に用いられる公知の可とう剤（応力緩和剤）を適宜選択して使用することができる。

一般に、使用されている可とう剤としては、シリコーン、ポリスチレン、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエーテル、ポリアミド、ポリブタジエン等の熱可塑性エラストマー、ＮＲ（天然ゴム）、ＮＢＲ（アクリロニトリル－ブタジエンゴム）、アクリルゴム、ウレタンゴム、シリコーンパウダー等のゴム粒子；メタクリル酸メチル－スチレン－ブタジエン共重合体（ＭＢＳ）、メタクリル酸メチル－シリコーン共重合体、メタクリル酸メチル－アクリル酸ブチル共重合体等のコア－シェル構造を有するゴム粒子；などが挙げられる。応力緩和剤は、１種を単独で用いても２種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも、シリコーン系可とう剤が好ましく、シリコーン系可とう剤としては、エポキシ基を有するもの、アミノ基を有するもの、これらをポリエーテル変性したもの等が挙げられる。

－難燃剤－
樹脂組成物は、難燃性を付与するために、必要に応じて難燃剤を含有してもよい。難燃剤の種類は特に制限されない。具体的に、難燃剤としては、ハロゲン原子、アンチモン原子、窒素原子、又はリン原子を含む公知の有機化合物又は無機化合物、金属水酸化物、アセナフチレン等が挙げられる。難燃剤は、１種を単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。
難燃剤の含有率は、難燃効果が達成されれば特に制限はない。樹脂組成物が難燃剤を含有する場合、難燃剤の含有率は、ポリイミド化合物に対して、１質量％～３０質量％が好ましく、２質量％～１５質量％がより好ましい。

－着色剤－
樹脂組成物は、カーボンブラック、有機染料、有機着色剤、酸化チタン、鉛丹、ベンガラ等の着色剤を含有してもよい。着色剤の含有量は目的等に応じて適宜選択できる。
樹脂組成物は、その他、必要に応じて、本開示による効果を低下させない範囲において種々の添加剤を含有してもよい。

＜樹脂組成物の調製方法＞
樹脂組成物の調製方法は特に制限されず、各種成分を充分に分散混合できるのであれば、いかなる手法を用いてもよい。一般的な手法としては、成分をミキサー等によって充分混合した後、ミキシングロール、押出機等によって溶融混練し、冷却し、粉砕する方法を挙げることができる。より具体的には、例えば、上述した成分を充分に撹拌して混合し、予め７０℃～１４０℃に加熱してあるニーダー、ロール、エクストルーダー等で混練し、冷却し、粉砕することで得ることができる。樹脂組成物は、パッケージの成形条件に合うような寸法及び質量でタブレット化すると取り扱いが容易である。

＜樹脂組成物の特性＞
ＥＭＭＩ－１－６６法に準じて測定される樹脂組成物のスパイラルフロー長は、樹脂組成物の流動性の観点から、１００ｃｍ以上であることが好ましく、１１０ｃｍ以上であることがより好ましい。
なお、上記スパイラルフロー長は、ＥＭＭＩ－１－６６に準じたスパイラルフロー測定用金型を用いて、樹脂組成物をトランスファ成形機により、金型温度１８０℃、成形圧力２２．５ＭＰａ、硬化時間３００秒間の条件で成形して求めた流動距離をいう。

また、下記方法により測定される樹脂組成物のディスクフロー長は、樹脂組成物の流動性の観点から、６０ｍｍ以上であることが好ましく、６５ｍｍ以上であることがより好ましい。
なお、上記ディスクフロー長は、２００ｍｍ（Ｗ）×２００ｍｍ（Ｄ）×２５ｍｍ（Ｈ）の上型と２００ｍｍ（Ｗ）×２００ｍｍ（Ｄ）×１５ｍｍ（Ｈ）の下型とを有する円板フロー測定用平板金型を用いて測定した値である。具体的には、樹脂組成物５ｇを１８０℃に加熱した下型の中心部にのせ、５秒後に１８０℃に加熱した上型を閉じて、荷重７８Ｎ、硬化時間９０秒の条件で圧縮成形し、ノギスで成形品の長径（ｍｍ）及び短径（ｍｍ）を測定し、それらの値から求めた平均値（ｍｍ）をディスクフロー長とする。

〔樹脂組成物の硬化物〕
本開示の樹脂組成物の硬化物は、誘電正接が低いため、半導体装置の素子の封止に好適に用いられる。

〔半導体装置〕
本開示の半導体装置は、半導体素子と、前記半導体素子を封止する本開示の樹脂組成物の硬化物と、を備える。必要に応じてその他の構成要素を含んでもよい。特に、本開示の樹脂組成物の硬化物は、誘電正接が低いため、高周波数領域（例えば、１ＧＨｚ～１０ＧＨｚ）の信号を扱う半導体装置を用いた機器（例えば、コンピュータ、情報通信機器等）に好適に使用することができる。
本開示の樹脂組成物を用いて、半導体素子を封止する方法としては、例えば、コンプレッション法、低圧トランスファ成形法、インジェクション成形法、圧縮成形法が挙げられる。

以下、本開示について実施例によってより具体的に説明するが、本開示の範囲は以下に示す実施例によって制限されるものではない。

〔ポリイミド化合物の製造〕
ポリイミド化合物の原料として、以下のものを用意した。
・ポリマレイミド化合物１：１，６－ビスマレイミド－(２，２，４－トリメチル)ヘキサン（大和化成工業株式会社製、商品名：ＢＭＩ－ＴＭＨ）
・ポリマレイミド化合物２：２，２－ビス［４－（４－マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパン（ケイ・アイ化成株式会社製、商品名：ＢＭＩ－８０）
・ポリアミノ化合物１：４，４’－［１，３－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリン（三井化学ファイン株式会社製、商品名：ビスアニリンＭ）
・エチレン性化合物１：ジアリルアミン（東京化成株式会社製）

温度計、還流冷却管、撹拌装置を備えた加熱及び冷却可能な容積１リットルのガラス製フラスコ容器にポリマレイミド化合物として１，６－ビスマレイミド－(２，２，４－トリメチル)ヘキサンを６０．９質量部、２，２－ビス［４－（４－マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパンを２５４．７質量部、ポリアミノ化合物として４，４’－［１，３－フェニレンビス（１－メチルエチリデン）］ビスアニリンを２２．０質量部、エチレン性化合物としてジアリルアミンを１２．４質量部、及び溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルを１５０質量部投入し、液温を１２０℃に保ったまま、撹拌しながら１時間反応させた。その後、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより、反応物の重量平均分子量が９００～１０００であることを確認し、冷却及び２００メッシュの篩でろ過してポリイミド化合物とプロピレングリコールモノメチルエーテルとの混合物を得た。さらに、得られたポリイミド化合物とプロピレングリコールモノメチルエーテルとの混合物に対し、１１０℃で真空乾燥を２時間行い、ポリイミド化合物１（固形分９８質量％、重量平均分子量：１０３３）を製造した。

〔重量平均分子量の測定方法〕
得られたポリイミド化合物の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により、標準ポリスチレンを用いた検量線から換算した。検量線は、標準ポリスチレン：ＴＳＫｓｔａｎｄａｒｄＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ（Ｔｙｐｅ：Ａ－２５００、Ａ－５０００、Ｆ－１、Ｆ－２、Ｆ－４、Ｆ－１０、Ｆ－２０、Ｆ－４０）［東ソー株式会社製］を用いて３次式で近似した。ＧＰＣの条件は、以下に示す。
＜装置＞
・ポンプ：Ｌ－６２００型（株式会社日立ハイテクノロジーズ製）
・検出器：Ｌ－３３００型ＲＩ（株式会社日立ハイテクノロジーズ製）
・カラムオーブン：Ｌ－６５５Ａ－５２（株式会社日立ハイテクノロジーズ製）
＜カラム＞
・ガードカラム：ＴＳＫＧｕａｒｄｃｏｌｕｍｎＨＨＲ－Ｌ（東ソー製株式会社製）
・カラム：ＴＳＫｇｅｌ－Ｇ４０００ＨＨＲ＋ｇｅｌ－Ｇ２０００ＨＨＲ（東ソー製株式会社製）
・カラムサイズ：６．０×４０ｍｍ（ガードカラム）、７．８×３００ｍｍ（カラム）
＜測定条件＞
・溶離液：テトラヒドロフラン
・試料濃度：３０ｍｇ／５ｍＬ
・注入量：２０μＬ
・流量：１．００ｍＬ／分
・測定温度：４０℃

〔半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物の作製〕
無機充填材、硬化開始剤、及び硬化促進剤として以下のものを用意した。
・無機充填材１：平均粒子径４．５μｍ、比表面積３．２ｍ^２／ｇ、粒子径が２０μｍ以下である粒子の割合が全体の１００質量％であるシリカ（球状シリカ）
・硬化開始剤１：α、α’－ジ（ｔ－ブチルペルオキシ）ジイソプロピルベンゼン（日油株式会社製、商品名：パーブチルＰ）
・硬化促進剤１：イソシアネートマスクイミダゾール（第一工業製薬株式会社製、商品名：Ｇ８００９Ｌ）

また、比較例の樹脂組成物の作製に用いるエポキシ樹脂、硬化剤、及び硬化促進剤として、以下のものを用意した。
・エポキシ樹脂１：ビフェニレンアラルキル型エポキシ樹脂（日本化薬株式会社製、商品名：ＮＣ－３０００）
・エポキシ樹脂２：ビフェニル型エポキシ樹脂（三菱ケミカル株式会社製、商品名：ＹＸ－４０００）
・硬化剤１：ビフェニレンアラルキル型フェノール樹脂（エアウォータ株式会社製、商品名：ＨＥ－２００Ｃ－１０）
・硬化剤２：ノボラック型フェノール樹脂（日立化成株式会社製、商品名：ＨＰ－８５０Ｎ）
・硬化促進剤２：トリフェニルホスフィン（富士フイルム和光純薬株式会社製）

前記成分をそれぞれ表１に示す質量部で配合し、前ロール温度８０℃、後ロール温度１００℃、混練時間１５分の条件でロール混練を行うことによって、それぞれ、実施例１及び比較例１の樹脂組成物を得た。
なお、実施例１で得られた樹脂組成物の質量減少率を前述の方法で算出した結果０．１％未満であった。
樹脂組成物全体に対する無機充填材の含有率を併せて表１に示す。

〔樹脂板の作製〕
誘電正接の測定に用いた樹脂板は、以下の手順により作製した。
前記手法でロール混練して得られた樹脂組成物（すなわち、実施例及び比較例の樹脂組成物）を粉砕した。それらを型の中にいれ、プレス機に投入した。プレス機の熱板温度１７５℃に保持し、減圧しながら圧力７ＭＰａで３０分間プレスした。その後、型から樹脂組成物の硬化物を取り出し、それを誘電正接測定用の樹脂板とした。

〔誘電正接の測定方法〕
上記のようにして作製された樹脂板を、幅２ｍｍ、長さ７０ｍｍの試験片に切り出し、ネットワークアナライザー（アジレント・テクノロジー株式会社製、商品名：Ｅ８３６４Ｂ）と１ＧＨｚ対応空洞共振器と１０ＧＨｚ対応空洞共振器（株式会社関東電子応用開発製）とを用いて、誘電正接を測定した。測定温度は２５℃とした。測定結果を表２に示す。誘電正接が低いほど、誘電特性に優れることを示す。

〔スパイラルフロー長の測定〕
ＥＭＭＩ－１－６６に準じたスパイラルフロー測定用金型を用いて、実施例及び比較例の樹脂組成物をトランスファ成形機により、金型温度１８０℃、成形圧力２２．５ＭＰａ、硬化時間３００秒間の条件で成形して流動距離（ｃｍ）を測定し、スパイラルフロー長とした。結果を表２に示す。
スパイラルフロー長が１２０ｃｍ以上の良好なものを「Ａ」、１００ｃｍ以上１２０ｃｍ未満のものを「Ｂ」、１００ｃｍ未満の不良のものを「Ｃ」とした。

〔ディスクフロー長の測定〕
２００ｍｍ（Ｗ）×２００ｍｍ（Ｄ）×２５ｍｍ（Ｈ）の上型と２００ｍｍ（Ｗ）×２００ｍｍ（Ｄ）×１５ｍｍ（Ｈ）の下型とを有する円板フロー測定用平板金型を用いて測定する。具体的には、得られた実施例及び比較例の樹脂組成物５ｇを、１８０℃に加熱した下型の中心部にのせ、５秒後に１８０℃に加熱した上型を閉じて、荷重７８Ｎ、硬化時間９０秒の条件で圧縮成形し、ノギスで成形品の長径（ｍｍ）及び短径（ｍｍ）を測定し、それらの値から求めた平均値（ｍｍ）をディスクフロー長とした。結果を表２に示す。
ディスクフロー長が６０ｍｍ以上の良好なものを「Ａ」、４０ｍｍ以上６０ｍｍ未満のものを「Ｂ」、４０ｍｍ未満の不良のものを「Ｃ」とした。

〔シート化の可否評価〕
前記手法のロール混練後に得られた樹脂組成物（すなわち、実施例及び比較例の樹脂組成物）がシート状になり、取扱い時にシートの状態を保持できるかどうかを目視、および触感で評価した。結果を表２に示す。
樹脂組成物がシート状になり、取扱い性も良好なものを「Ａ」とし、シート状にならない又はシート状として取扱いのできない等の不良のものは「Ｂ」とした。

〔シート粉砕の可否評価〕
前記手法のロール混練後に得られた樹脂組成物（すなわち、実施例及び比較例の樹脂組成物）のシートを室温（すなわち、２５℃）になるまで静置し、金づちでたたいてシートが割れるかどうかを評価した。結果を表２に示す。
シートが割れて良好なものを「Ａ」とし、割れず不良のものを「Ｂ」とした。

表２に示す結果からわかるように、実施例１の樹脂組成物は、比較例１に比べて誘電正接が低く、誘電特性に優れる結果となった。また、実施例１の樹脂組成物は、流動性の指標であるスパイラルフロー長が１２０ｃｍ以上、ディスクフロー長が６０ｍｍ以上の値を示し、パッケージ充填性も優れる結果となった。

２０１８年６月１２日に出願された日本国特許出願２０１８－１１１９１２号の開示は、その全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、および技術規格は、個々の文献、特許出願、および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に取り込まれる。

Claims

２以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物と２以上のアミノ基を有する化合物と２以上のエチレン性不飽和二重結合を含む基を有する化合物とを少なくとも共重合してなるポリイミド化合物と、
半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物全体に対する含有率が６０体積％～９５体積％である無機充填材と、
前記ポリイミド化合物１００質量部に対する含有量が０．１質量部～８．０質量部である硬化開始剤と、
を含み、
１８０℃で１時間加熱したときの質量減少率が５質量％以下である半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
さらに硬化促進剤を含む請求項１に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
前記硬化開始剤は、無機過酸化物、有機過酸化物、及びアゾ化合物からなる群より選択される少なくとも１種を含む請求項１又は請求項２に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
前記２以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物は、２種類以上の化合物を含む請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
前記２以上のＮ－置換マレイミド基を有する化合物は、脂肪族ポリマレイミド化合物と芳香族ポリマレイミド化合物とを含む請求項４に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
前記ポリイミド化合物の重量平均分子量は、８００～１５００である請求項１～請求項５のいずれか１項に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
前記無機充填材は、シリカである請求項１～請求項６のいずれか１項に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
ディスクフロー長が６０ｍｍ以上である請求項１～請求項７のいずれか１項に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物。
請求項１～請求項８のいずれか１項に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物を硬化してなる半導体封止材料。
半導体素子と、
前記半導体素子を封止する、請求項１～請求項８のいずれか１項に記載の半導体封止材料用熱硬化性樹脂組成物の硬化物と、
を備える半導体装置。