JP7347397B2 - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1A及び図2に示すように、本実施形態に係る磁気センサ1は、第1面61及び当該第1面61に対向する第2面62を有する基板6と、基板6の第1面61上に設けられている樹脂層2と、所定の方向の磁場を検出する磁気抵抗効果部3とを備える。基板6は、例えば、シリコン基板等の半導体基板;石英ガラス基板等のガラス基板;ポリエチレンテレフタレート基板等の樹脂基板等であればよい。
本実施形態に係る磁気センサ1の製造方法は、第1面71及び当該第1面71に対向する第2面72を有する樹脂材料層7を基板6の第1面61上に形成する工程(図9A参照)と、樹脂材料層7の第1面71に第1磁気抵抗効果部31を設ける工程(図9B参照)と、樹脂材料層7の第1面71に、当該第1面71に対して所定の角度で傾斜する傾斜面4を形成する工程(図9C参照)とを含む。
2…樹脂層
21…第1面
22…第2面
3…磁気抵抗効果部
31…第1磁気抵抗効果部
4…傾斜面
Claims (24)
- 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂層と、
所定方向の磁場を検出する磁気抵抗効果部と
を備え、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の前記磁場を検出する第1磁気抵抗効果部及び第2方向の前記磁場を検出する第2磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂層の前記第1面に平行な方向であり、
前記樹脂層の前記第1面には、前記第1面に対して所定の角度で傾斜する1つの傾斜面が形成され、
前記第1磁気抵抗効果部及び前記第2磁気抵抗効果部が、前記1つの傾斜面に設けられていることを特徴とする磁気センサ。 - 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂層と、
所定方向の磁場を検出する磁気抵抗効果部と
を備え、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の前記磁場を検出する第1磁気抵抗効果部及び第2方向の前記磁場を検出する第2磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂層の前記第1面に平行な方向であり、
前記樹脂層の前記第1面には、前記第1面に対して所定の角度で傾斜する傾斜面が形成され、
前記傾斜面は、傾斜方向が互いに異なる第1傾斜面及び第2傾斜面を含み、
前記第1磁気抵抗効果部及び前記第2磁気抵抗効果部が、前記第1傾斜面又は前記第2傾斜面に設けられていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記第1傾斜面の外周辺のうちの一辺と前記第2傾斜面の外周辺のうちの一辺とが共有されていることを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果部は、第3方向の前記磁場を検出する第3磁気抵抗効果部をさらに含み、
前記第3方向は、前記樹脂層の前記第1面に平行な方向であって、前記第2方向に直交する方向であり、
前記傾斜面は、前記第1傾斜面の傾斜方向及び前記第2傾斜面の傾斜方向のいずれとも異なる傾斜方向の第3傾斜面をさらに含み、
前記第3磁気抵抗効果部は、前記第3傾斜面に設けられていることを特徴とする請求項2又は3に記載の磁気センサ。 - 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂層と、
所定方向の磁場を検出する磁気抵抗効果部と
を備え、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の前記磁場を検出する第1磁気抵抗効果部、第2方向の前記磁場を検出する第2磁気抵抗効果部及び第3方向の前記磁場を検出する第3磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂層の前記第1面に平行な方向であり、
前記第3方向は、前記樹脂層の前記第1面に平行な方向であって、前記第2方向に直交する方向であり、
前記樹脂層の前記第1面には、前記第1面に対して所定の角度で傾斜する傾斜面が形成され、
前記傾斜面は、傾斜方向が互いに異なる第1傾斜面及び第2傾斜面、並びに前記第1傾斜面の傾斜方向及び前記第2傾斜面の傾斜方向のいずれとも異なる傾斜方向の第3傾斜面を含み、
前記第1磁気抵抗効果部は、前記第1傾斜面に設けられ、
前記第2磁気抵抗効果部は、前記第2傾斜面に設けられ、
前記第3磁気抵抗効果部は、前記第3傾斜面に設けられていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記第3傾斜面の外周辺のうちの一辺と前記第1傾斜面の外周辺のうちの一辺とが共有され、
前記第3傾斜面の外周辺のうちの前記第1傾斜面の前記一辺と共有されている一辺以外の一辺と前記第2傾斜面の外周辺のうちの一辺とが共有されていることを特徴とする請求項4または5に記載の磁気センサ。 - 前記傾斜面は、前記樹脂層の前記第1面から前記第2面に向かって傾斜していることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記傾斜面は、前記樹脂層の前記第1面から突出する方向に傾斜していることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果部は、反強磁性材料からなる反強磁性層を少なくとも有する磁気抵抗効果素子を含み、
前記樹脂層は、熱可塑性樹脂により構成され、
前記熱可塑性樹脂の軟化温度は、前記反強磁性材料のネール温度よりも低いことを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の磁気センサ。 - 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂層と、
所定方向の磁場を検出する磁気抵抗効果部と
を備え、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の前記磁場を検出する第1磁気抵抗効果部を少なくとも含み、
前記第1方向は、前記樹脂層の前記第1面に直交する方向であり、
前記樹脂層の前記第1面には、前記第1面に対して所定の角度で傾斜する傾斜面が形成され、
前記第1磁気抵抗効果部が、前記傾斜面に設けられており、
前記磁気抵抗効果部は、反強磁性材料からなる反強磁性層を少なくとも有する磁気抵抗効果素子を含み、
前記樹脂層は、熱可塑性樹脂により構成され、
前記熱可塑性樹脂の軟化温度は、前記反強磁性材料のネール温度よりも低いことを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子が、GMR素子またはTMR素子であることを特徴とする請求項9または10に記載の磁気センサ。
- 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する基板をさらに備え、
前記樹脂層は、前記基板の前記第1面上に設けられており、
前記樹脂層の前記第2面は、前記樹脂層の前記第1面よりも前記基板の前記第1面側に位置することを特徴とする請求項1~11のいずれかに記載の磁気センサ。 - 前記基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項12に記載の磁気センサ。
- 前記樹脂層及び前記磁気抵抗効果部を一体的に封止する封止部をさらに備えることを特徴とする請求項1~13のいずれかに記載の磁気センサ。
- 磁気センサを製造する方法であって、
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂材料層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に磁気抵抗効果部を設ける工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に、当該第1面に対して所定の角度で傾斜する傾斜面を形成する工程と
を含み、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の磁場を検出する第1磁気抵抗効果部、第2方向の磁場を検出する第2磁気抵抗効果部及び第3方向の磁場を検出する第3磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であり、
前記第3方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であって、前記第2方向に直交する方向であり、
前記傾斜面は、傾斜方向が互いに異なる第1傾斜面及び第2傾斜面、並びに前記第1傾斜面の傾斜方向及び前記第2傾斜面の傾斜方向のいずれとも異なる傾斜方向の第3傾斜面を含み、
前記樹脂材料層の前記第1面に設けられた前記第1磁気抵抗効果部を前記第1傾斜面に、前記樹脂材料層の前記第1面に設けられた前記第2磁気抵抗効果部を前記第2傾斜面に、前記樹脂材料層の前記第1面に設けられた前記第3磁気抵抗効果部を前記第3傾斜面に位置させるように、前記傾斜面を形成することを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 磁気センサを製造する方法であって、
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂材料層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に、前記第1面に対して所定の角度で傾斜する傾斜面を形成する工程と
前記傾斜面に磁気抵抗効果部を設ける工程と
を含み、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の磁場を検出する第1磁気抵抗効果部、第2方向の磁場を検出する第2磁気抵抗効果部及び第3方向の磁場を検出する第3磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であり、
前記第3方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であって、前記第2方向に直交する方向であり、
前記傾斜面は、傾斜方向が互いに異なる第1傾斜面及び第2傾斜面、並びに前記第1傾斜面の傾斜方向及び前記第2傾斜面の傾斜方向のいずれとも異なる傾斜方向の第3傾斜面を含み、
前記第1傾斜面に前記第1磁気抵抗効果部を設け、前記第2傾斜面に前記第2磁気抵抗効果部を設け、前記第3傾斜面に前記第3磁気抵抗効果部を設けることを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 磁気センサを製造する方法であって、
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂材料層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に磁気抵抗効果部を設ける工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に、当該第1面に対して所定の角度で傾斜する1つの傾斜面を形成する工程と
を含み、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の磁場を検出する第1磁気抵抗効果部及び第2方向の磁場を検出する第2磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であり、
前記樹脂材料層の前記第1面に設けられた前記第1磁気抵抗効果部及び前記第2磁気抵抗効果部を前記傾斜面に位置させるように、前記傾斜面を形成することを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 磁気センサを製造する方法であって、
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂材料層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に磁気抵抗効果部を設ける工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に、当該第1面に対して所定の角度で傾斜する傾斜面を形成する工程と
を含み、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の磁場を検出する第1磁気抵抗効果部及び第2方向の磁場を検出する第2磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であり、
前記傾斜面は、傾斜方向が互いに異なる第1傾斜面及び第2傾斜面を含み、
前記樹脂材料層の前記第1面に設けられた前記第1磁気抵抗効果部及び前記第2磁気抵抗効果部を前記第1傾斜面又は前記第2傾斜面に位置させるように、前記傾斜面を形成することを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 磁気センサを製造する方法であって、
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂材料層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に、当該第1面に対して所定の角度で傾斜する1つの傾斜面を形成する工程と、
前記傾斜面に磁気抵抗効果部を設ける工程と
を含み、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の磁場を検出する第1磁気抵抗効果部及び第2方向の磁場を検出する第2磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であり、
前記傾斜面に前記第1磁気抵抗効果部及び前記第2磁気抵抗効果部を設けることを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 磁気センサを製造する方法であって、
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する樹脂材料層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の前記第1面に、当該第1面に対して所定の角度で傾斜する傾斜面を形成する工程と、
前記傾斜面に磁気抵抗効果部を設ける工程と
を含み、
前記磁気抵抗効果部は、第1方向の磁場を検出する第1磁気抵抗効果部及び第2方向の磁場を検出する第2磁気抵抗効果部を含み、
前記第1方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に直交する方向であり、
前記第2方向は、前記樹脂材料層の前記第1面に平行な方向であり、
前記傾斜面は、傾斜方向が互いに異なる第1傾斜面及び第2傾斜面を含み、
前記第1傾斜面又は前記第2傾斜面に前記第1磁気抵抗効果部及び前記第2磁気抵抗効果部を設けることを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 前記樹脂材料層は、熱可塑性樹脂により構成され、
前記熱可塑性樹脂を軟化させ、前記傾斜面に対応する傾斜面を含む凹凸構造を有するテンプレートを前記樹脂材料層に押し当てることで、前記傾斜面を形成することを特徴とする請求項15~20のいずれかに記載の磁気センサの製造方法。 - 前記磁気抵抗効果部は、反強磁性材料からなる反強磁性層を少なくとも有する磁気抵抗効果素子を含み、
前記熱可塑性樹脂の軟化温度は、前記反強磁性材料のネール温度よりも低く、
前記熱可塑性樹脂の軟化温度以上、前記反強磁性材料のネール温度未満の温度で加熱することで前記熱可塑性樹脂を軟化させることを特徴とする請求項21に記載の磁気センサの製造方法。 - 前記磁気抵抗効果素子が、GMR素子又はTMR素子であることを特徴とする請求項22に記載の磁気センサの製造方法。
- 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する基板を準備する工程をさらに含み、
前記基板の前記第1面上に前記樹脂材料層を形成することを特徴とする請求項15~23のいずれかに記載の磁気センサの製造方法。
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