JP2005249554A - 磁界検出装置 - Google Patents
磁界検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005249554A JP2005249554A JP2004059792A JP2004059792A JP2005249554A JP 2005249554 A JP2005249554 A JP 2005249554A JP 2004059792 A JP2004059792 A JP 2004059792A JP 2004059792 A JP2004059792 A JP 2004059792A JP 2005249554 A JP2005249554 A JP 2005249554A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic field
- component
- axis
- sensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
【課題】 3軸磁界計測装置の高さを薄くするための手法を提供する。
【解決手段】 縦方向に実装されるホール素子A,Bを傾けて実装し、これらのホール素子出力と、高さ方向のみの磁気成分を出力するホール素子Cの出力とから、水平方向の磁気成分と垂直方向の磁気成分を演算で分離し、3軸磁界計測値を得る。
【選択図】 図4
【解決手段】 縦方向に実装されるホール素子A,Bを傾けて実装し、これらのホール素子出力と、高さ方向のみの磁気成分を出力するホール素子Cの出力とから、水平方向の磁気成分と垂直方向の磁気成分を演算で分離し、3軸磁界計測値を得る。
【選択図】 図4
Description
本発明は、磁界検出装置に関する。さらに言えば、地磁気ベクトルを検出し、方位角を知ることができる磁界検出装置に関する。
太古より、地磁気を利用して進行方位や対向方位を求める方法は広く知られており、磁鉄鉱からなる針状物を浮きにつけ、水面に浮かべてその針の指し示す方向を知るものをいわゆる羅針盤と呼ばれている。近年は磁化された針状の鉄片の中心を突起でささえ、空中もしくは特殊なオイルで封止した容器の中にいれることで可搬性を改良した方位磁針(コンパス)が広く使われている。さらに、空間の磁界強度を検知し電気情報に換える磁気センサを用いて磁界強度に相関する電気信号を容易に得ることができるようになり、2軸または3軸の磁気センサの出力信号を取得し、アナログデジタルコンバータを介してマイクロプロセッサなどのデジタル演算装置に入力し、演算により地磁気方位の方向を知る、いわゆる電子コンパスも普及してきている。ここで、2軸または3軸とは、2次元もしくは3次元の直交座標系を設定し、その各軸に平行に入射される磁界成分を各軸で独立に検出することが可能な構成を意味する。
よく知られているように、地磁気は地球上の磁極と呼ばれる極点の一方から発し、他方に集束される。磁極は、現在は北緯、南緯それぞれ70度の付近と極帯にあり、磁束線はその磁極から磁極へと到達する。
したがって、地磁気を3次元ベクトルでみると、赤道付近では水平の略南北方向に磁束が向くが、緯度が高くなるにつれ、徐々に水平から傾いた成分を持ち始める。日本付近では、水平面から北方向に40度から50度の地面方向の傾きを持った磁束線が観測できる。南半球では逆に、南方向に地面方向の傾きを持った磁束線が観測できる。即ち、元来地磁気を検出するには3次元成分を検出する必要があるといえる。
羅針盤やコンパスというものは2次元の磁界成分を検出するものであるが、これは、羅針盤やコンパスは水面やオイル、また突起を介して空中に浮いた状態で使う構造であり、水平面に沿って設置される前提があり、この場合は水平方向の2軸の成分からで、十分に正確な地磁気方位が検出できる。
車載用ナビゲーション装置で電子コンパスを搭載した例がある。車載用のナビゲーション装置の場合は、大抵車両は地面に水平な位置を保つため、地磁気ベクトルの水平平面への投影成分を検知し、その情報をもとに水平方向方位を演算し、表示することで実用上十分な精度を得られた。
従って、磁気センサとしては水平面上でデカルト座標系上互いに90度離れて配置された2軸の成分を検知するセンサ素子を用いて地磁気成分を計測する事で十分であった。
一方、最近、携帯電話をはじめとする携帯機器に電子コンパス機能を搭載し、GPS装置と組み合わせることで、街中などでの歩行ナビゲーションに用いるという応用が注目されている。使い方の例としては、携帯電話を手に持ってその画面に表示された地図情報等を確認しながら自分の進行方位を確認するなどが考えられる。
その場合、30度から50度程度の傾き(ピッチ角およびロール角)を持った状態で携帯電話をもつのが自然であるが、この角度に携帯電話を保持した際に、2次元の磁気センサを内部基板上に実装した場合は、正しい方位角情報を得ることができない。
したがって、このような場合には3軸の磁気センサを搭載するのが好ましい。3軸の磁気センサに関しては、以下のような技術が知られている。
3軸磁気センサと3軸の傾斜角センサ、および3軸の角加速度センサによる姿勢検出装置(特許文献1参照)
3軸磁気センサと2軸の傾斜角センサによる地層方向の測定装置(特許文献2参照)
2軸の磁気センサと1軸の磁気センサを組み合わせた構成の3軸磁気センサ(特許文献3参照)
3軸磁気センサと3軸の傾斜角センサ、および3軸の角加速度センサによる姿勢検出装置(特許文献1参照)
3軸磁気センサと2軸の傾斜角センサによる地層方向の測定装置(特許文献2参照)
2軸の磁気センサと1軸の磁気センサを組み合わせた構成の3軸磁気センサ(特許文献3参照)
しかしながら、3軸の磁気センサを集積し、小さなパッケージに収めようとする場合にはその厚みが厚くなるという欠点がある。例えば、ホール素子は素子の感磁面に垂直方向の磁界成分に感度があるが、ホール素子で3軸方向の磁界成分を検出しようとすれば、水平方向の2軸を検出するための素子を縦に配置する必要がある。素子の感磁面の大きさが例えば1mm角であったとしたら、その縦型に配置するための基板や上面の封止樹脂を考えると1.5mmなどの厚みになってしまう。
磁気抵抗素子においては、素子の感磁面に水平方向の磁界線分に感度を持つので、垂直方向の磁気成分を検出するためには縦方向に向けて実装する必要があり、同様の問題が生ずる。
近年の携帯電話の内部部品は、できる限り薄い構造が求められており、同一の素子を用いた3軸の磁気センサの構造で、厚みを薄く作成する技術が求められている。
そこで本発明の目的は、以上のような問題を解消し、高さ方向を薄くできる3軸の磁気センサの構成を提供することにある。
本発明は、少なくとも2つの磁気センサの出力に基づいて、少なくとも直交する2軸方向の磁界成分を検出することによって少なくとも2次元の空間の磁界成分を得る磁界検出装置であって、前記少なくとも2つの磁気センサは、同一のパッケージに収納されており、前記少なくとも2つの磁気センサのうちの少なくとも一方の磁気センサは、その感度の方向が、前記パッケージの表面に対して斜めに配置して、前記少なくとも2つの磁気センサによって前記直交する2軸方向の磁界成分を検出することを特徴とする。
ここで、さらに第3の磁気センサを、その感度の方向が前記表面に対して斜めに且つ前記2つの磁気センサと異なる方向になるように配置して、互いに直交する3軸方向の磁界成分を検出することによって3次元空間の磁界成分を得ることができる。
さらに、前記磁気センサは、半導体薄膜を有し、その感度の方向が前記半導体薄膜に対して垂直の方向であるホール素子とすることができる。
または、前記磁気センサは、磁気抵抗素子または磁気インピーダンス素子とすることができる。
本発明によれば、形状の大きな磁気センサを用いても、厚み薄く構成できるという効果を有する。
本発明について、以下具体的に説明する。
磁気検知素子を基板に対して縦型に配置する場合に、基板面に垂直に立てるのではなく、水平面に対して傾きをもつように実装すると、同検知素子は、水平方向成分と垂直方向成分の合成成分を検知する。即ち、垂直方向の磁界成分にも感度を持つようになる。検知素子と基板面の為す角度が既知であれば、検知素子が出力する信号から、水平方向成分と垂直方向成分を分離することが可能である。すなわち、検知素子の出力信号値に基づいて、マイクロプロセッサ等の演算手段を用いて、例えば、3次元空間の磁界成分を計算することができる(以下の各実施例も同様)。
磁気検知素子を基板に対して縦型に配置する場合に、基板面に垂直に立てるのではなく、水平面に対して傾きをもつように実装すると、同検知素子は、水平方向成分と垂直方向成分の合成成分を検知する。即ち、垂直方向の磁界成分にも感度を持つようになる。検知素子と基板面の為す角度が既知であれば、検知素子が出力する信号から、水平方向成分と垂直方向成分を分離することが可能である。すなわち、検知素子の出力信号値に基づいて、マイクロプロセッサ等の演算手段を用いて、例えば、3次元空間の磁界成分を計算することができる(以下の各実施例も同様)。
例えば、今、X、Y,Zからなる直交座標系を考え、磁気検知素子が取り付けられる基板がXY平面を構成するとする(図1参照)。磁気検知素子であるホール素子HExは、X方向にその感度の方向(感磁面)を向け、基板面に対して垂直に取り付けられているとする。すなわち、YZ平面上に取り付けられていることになる。このときは、ホール素子HExは環境磁界MのX方向成分Mxにのみ感度を持つ。同様に、Y方向の磁気成分を検知するホール素子HEyは、基板面に対して垂直に取り付けられており、環境磁界MのY方向成分Myにのみ感度を持つ。さらに、Z方向の磁気成分を検知するホール素子HEzは、基板面に対して水平に取り付けられており、環境磁界MのZ方向成分Mzにのみ感度を持つ。この様子は図1に示されているが、X方向の磁気成分を検知するホール素子HEx、Y方向の磁気成分を検知するホール素子HEyが、センサが固定される基板上に縦方向に実装されるので、センサ全体として高さが高くなっている。
本発明の考え方を図2、図3を例にして説明する。
X成分を検知するホール素子1を、X方向に感磁面を向くように保ちながら、基板となす角度を90度からθ(<90度)まで変化させる。即ち、図2の(A)のように、YZ平面に平行かつ、XY平面に近づくように傾けていく。ホール素子1はX方向成分Hxのみならず、Z方向成分Hzにも感度を持つ。このとき、ホール素子1の出力Vhは次式のように表される(図2の(B)、(C)参照)。
X成分を検知するホール素子1を、X方向に感磁面を向くように保ちながら、基板となす角度を90度からθ(<90度)まで変化させる。即ち、図2の(A)のように、YZ平面に平行かつ、XY平面に近づくように傾けていく。ホール素子1はX方向成分Hxのみならず、Z方向成分Hzにも感度を持つ。このとき、ホール素子1の出力Vhは次式のように表される(図2の(B)、(C)参照)。
ただし、Aは素子の感度であり、各ホール素子で同じとする。
したがって、基板から傾けた素子の出力(すなわち、上記式(1))から傾けていない参照素子(すなわち、XY平面である基板平面に直交するZ方向に感滋面を配置した素子)の出力を減算することで、もう一方の軸の成分(X方向成分)を得ることができる。
すなわち、今、Hz成分を検知する素子は基板に水平に取り付けられていて、独立にHzを検知できるとすると、
と、Hx成分が求まることになる。
さらに、X成分、および、またはY成分の検出用の素子を、X−Y平面に対して互いに交差するように傾けたものとする形状も考えられる。これが図3である。
さらに、X成分、および、またはY成分の検出用の素子を、X−Y平面に対して互いに交差するように傾けたものとする形状も考えられる。これが図3である。
X方向成分Hxの検出用のホール素子の場合を考えてみる。
第一のホール素子2、第二のホール素子3を持ち、両者ともにX−Z平面の磁気成分に感度を持ち、X−Y平面に対して逆向きにθa1、θa2の角度で交差しているとする(図3の(A)参照)。
第一のホール素子2、第二のホール素子3を持ち、両者ともにX−Z平面の磁気成分に感度を持ち、X−Y平面に対して逆向きにθa1、θa2の角度で交差しているとする(図3の(A)参照)。
素子2,3の出力信号をVhx1、Vhx2として
ただし、Bは素子感度で2つとも同一とする(図3の(B)(C)(D)(E)参照)。
いま、θa1=θa2 の場合を考えてみると、
つまり、縦方向の磁気センサを垂直に配置せずに傾きを持たせて配置しても、その傾き角が既知であれば、水平方向成分磁界と垂直方向成分磁界を分離して算出することが可能となり、傾けて配置する分だけ、実装後の厚みを薄くすることが可能となる。
この例では傾き角は2つのホール素子2,3が同一傾き角で逆方向に配置した場合を示したが、同一傾き角でなくとも傾き角が既知であればZ方向成分を算出できる。また、磁気検知素子の感度は各軸で同一としたが、何らかの方法で各素子の感度が補正されていれば素子間感度に差があっても問題ない。
ホール素子を用いた3軸磁気センサの構成を考えれば、X成分、Y成分の検出用の2素子はX−Y平面に対して縦方向に、Z方向成分検出用の素子はX−Y平面上に横方向に配置される。X,Y成分検出用の素子をX−Y平面に垂直ではなく、X−Y平面に対して角度θa、θbとなるように配置し、Z方向の素子はそのままの配置とすると、
によって、X成分、Y成分が得られる。
ただし、X成分検出用の素子、Y成分検出用の素子、Z成分検出用の素子の感度はすべて等しく、Aとした。
上記議論は、ホール素子に関して例示したが、磁気センサはその他のものを用いても同様である。磁気抵抗素子や磁気インピーダンス素子、またフラックスゲート素子などの感磁面に対して水平方向の磁界成分に感度がある素子を用いる場合は、X,Y方向成分の素子は基板上に水平方向に実装し、Z方向成分の素子について、X方向またはY方向に傾けて配置する、もしくはX方向に傾けた素子とY方向に傾けた素子の両方を配置する構成とすることで、素子を垂直に配置することなく、3軸の磁界検出装置を構成できる。
本発明を実施例に基づいて説明する。
[実施例1]
ホール素子の場合
本発明の実施例1を図4にしたがって説明する。
空間上にX、Y,Zの3軸直交座標系を考える。ホール素子Cはその感磁面がXY平面上になるように配置され、Z軸方向の磁界成分を検知する。ホール素子Aの感磁面はY軸に平行であり、YZ平面からX軸方向に傾けられて配置され、XY平面とはθaの角度を持つ。ホール素子Bの感磁面はX軸に平行であり、XZ平面からY軸方向に傾けて配置され、XY平面とはθbの角度を持つ。簡単のために、各素子の感度は同一とするが、感度差がある素子で、感度補正ができていたと考えてもよい。
[実施例1]
ホール素子の場合
本発明の実施例1を図4にしたがって説明する。
空間上にX、Y,Zの3軸直交座標系を考える。ホール素子Cはその感磁面がXY平面上になるように配置され、Z軸方向の磁界成分を検知する。ホール素子Aの感磁面はY軸に平行であり、YZ平面からX軸方向に傾けられて配置され、XY平面とはθaの角度を持つ。ホール素子Bの感磁面はX軸に平行であり、XZ平面からY軸方向に傾けて配置され、XY平面とはθbの角度を持つ。簡単のために、各素子の感度は同一とするが、感度差がある素子で、感度補正ができていたと考えてもよい。
さて、ホール素子CはZ方向磁界Hzを検知する。ホール素子AはX方向とZ方向に感度を持つ。ホール素子BはY方向とZ方向に感度を持つ。
ホール素子Aの出力をHa、ホール素子Bの出力をHbとすると、
Ha=Hx・Sinθa+Hz・Cosθa
Hb=Hy・Sinθb+Hz・Cosθb
Hc=Hz
Ha=Hx・Sinθa+Hz・Cosθa
Hb=Hy・Sinθb+Hz・Cosθb
Hc=Hz
ただし、Hx、Hy,HzはそれぞれX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の磁界強度、θaはホール素子Aの、θbはホール素子BのXY平面に対する取り付け角となる。
今、θa,θbが既知であるとし、HzはC素子が検知するので既知とすると、Hx,HyはそれぞれHa,HbおよびHcより求まる。
Hx=(Ha−Hc・Cosθa)/Sinθa
Hy=(Hb−Hc・Cosθa)/Sinθb
Hx=(Ha−Hc・Cosθa)/Sinθa
Hy=(Hb−Hc・Cosθa)/Sinθb
[実施例2]
本発明の実施例2を図5に示す。
実施例1と同様に考えてもよいが、本実施例では別の導出がある。
本発明の実施例2を図5に示す。
実施例1と同様に考えてもよいが、本実施例では別の導出がある。
今、ホール素子A1とA2が、X方向とZ方向に感度を持つように配置されており、それぞれX−Y平面とθa1、θa2の角度で逆向きに交差をしている。また。ホール素子B1とB2がはY方向とZ方向に感度を持ち、それぞれX−Y平面とθb1、θb2の角度で逆向きに交差をしている。
この場合ホール素子A1、A2、B1,B2の出力は、それぞれHa1、Ha2、Hb1,Hb2としたときに、次のように表される。
Ha1=Hx・Sin(θa1)+Hz・Cos(θa1)
Ha2=―Hx・sin(θa2)+Hz・Cos(θa2)
Hb1=Hy・Sin(θb1)+Hz・Cos(θb1)
Hb2=―Hy・Sin(θb2)+Hz・Cos(θb2)
Ha1=Hx・Sin(θa1)+Hz・Cos(θa1)
Ha2=―Hx・sin(θa2)+Hz・Cos(θa2)
Hb1=Hy・Sin(θb1)+Hz・Cos(θb1)
Hb2=―Hy・Sin(θb2)+Hz・Cos(θb2)
ただし、Hx、Hy,HzはそれぞれX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の磁界強度、ここで、θa1=θa2、θb1=θb2であった場合は、
Hx=(Ha1−Ha2)/(2・Sin(θa1))
Hy=Hb1−Hb2/(2・Sinθb1)
Hz=(Ha1+Ha2)/(2・Cos(θa1))=(Hb1+Hb2)/(2・Cos(θb2))
となる。
Hx=(Ha1−Ha2)/(2・Sin(θa1))
Hy=Hb1−Hb2/(2・Sinθb1)
Hz=(Ha1+Ha2)/(2・Cos(θa1))=(Hb1+Hb2)/(2・Cos(θb2))
となる。
[実施例3]
本発明の実施例3を図6に表す。
ホール素子以外の磁気センサでも実施例1や実施例2で示したものと同様の構成が考えられるが、磁気インピーダンス素子の場合は図6のような構成がある。
本発明の実施例3を図6に表す。
ホール素子以外の磁気センサでも実施例1や実施例2で示したものと同様の構成が考えられるが、磁気インピーダンス素子の場合は図6のような構成がある。
磁気インピーダンス素子をワイヤー状に構成し、その長手方向の磁界に感度を持つような場合において、磁気インピーダンス素子B3はY軸方向の磁気成分を検出し、磁気インピーダンス素子C3はX軸方向の磁気成分に感度があるとする。磁気インピーダンス素子A3はY−Z平面に平行であり、X−Y平面に対して角度θaで交差する。
磁気インピーダンス素子A3の出力をHa、磁気インピーダンス素子B3の出力をHb、磁気インピーダンス素子C3の出力をHc、とすると、
Ha=Hy+Hz・Cosθa
Hb=Hy
Hc=Hx
Ha=Hy+Hz・Cosθa
Hb=Hy
Hc=Hx
ただし、Hx、Hy,HzはそれぞれX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の磁界強度、したがって、
Hx=Hc
Hy=Hb
Hz=(Ha−Hb)/Cosθa
となる。
Hx=Hc
Hy=Hb
Hz=(Ha−Hb)/Cosθa
となる。
同様に図7の構成も考えられる。
これは実施例2(図5)と同様である。
これは実施例2(図5)と同様である。
以上、磁気検知素子を用いた3軸磁界検出装置について述べてきたが、本発明は磁気に限らず、その他の物理量を検知する多軸ベクトル量検知装置一般にも適用されることは言うまでもない。
重力、加速度、光、電波などの検出にあたっても、同様の思想は適用されうる。
本発明は、磁気検出装置の分野に関する。さらにいえば、携帯機器に搭載される電子コンパスを目的とした3軸方位角検出装置において好適に利用できる。
A,B,C ホール素子
A1,A2,B1,B2 ホール素子
A3,B3,C3 磁気インピーダンス素子
A4,B4,C4 磁気インピーダンス素子
A1,A2,B1,B2 ホール素子
A3,B3,C3 磁気インピーダンス素子
A4,B4,C4 磁気インピーダンス素子
Claims (4)
- 少なくとも2つの磁気センサの出力に基づいて、少なくとも直交する2軸方向の磁界成分を検出することによって少なくとも2次元の空間の磁界成分を得る磁界検出装置であって、
前記少なくとも2つの磁気センサは、同一のパッケージに収納されており、前記少なくとも2つの磁気センサのうちの少なくとも一方の磁気センサは、その感度の方向が、前記パッケージの表面に対して斜めに配置して、前記少なくとも2つの磁気センサによって前記直交する2軸方向の磁界成分を検出することを特徴とする磁界検出装置。 - 請求項1において、
さらに第3の磁気センサを、その感度の方向が前記表面に対して斜めに且つ前記2つの磁気センサと異なる方向になるように配置して、互いに直交する3軸方向の磁界成分を検出することによって3次元空間の磁界成分を得ることを特徴とする磁界検出装置。 - 前記磁気センサは、半導体薄膜を有し、その感度の方向が前記半導体薄膜に対して垂直の方向であるホール素子であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁界検出装置。
- 前記磁気センサは、磁気抵抗素子または磁気インピーダンス素子であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁界検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004059792A JP2005249554A (ja) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | 磁界検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004059792A JP2005249554A (ja) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | 磁界検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005249554A true JP2005249554A (ja) | 2005-09-15 |
Family
ID=35030165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004059792A Withdrawn JP2005249554A (ja) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | 磁界検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005249554A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006214776A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Citizen Electronics Co Ltd | 磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 |
JP2008064761A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Samsung Electro Mech Co Ltd | ハイブリッド型センサモジュール及びそれを用いたセンシング方法 |
JP2008096261A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 磁気センサ |
JP2009522710A (ja) * | 2006-01-06 | 2009-06-11 | ベンホフ ゲーエムベーハー エルエルシー | ハードディスクドライブ、漏洩磁界センサシステム、及び関連する方法 |
JP2011505574A (ja) * | 2007-12-03 | 2011-02-24 | シーティーエス・コーポレーション | リニアポジションセンサー |
US10698043B2 (en) | 2016-12-20 | 2020-06-30 | Tdk Corporation | Triaxial magnetic sensor and method of manufacturing such |
JP2022071641A (ja) * | 2020-10-28 | 2022-05-16 | Tdk株式会社 | 磁気センサ及びその製造方法 |
JP7126645B1 (ja) | 2021-04-23 | 2022-08-29 | マグネデザイン株式会社 | 磁石体の位置・方位検出装置 |
-
2004
- 2004-03-03 JP JP2004059792A patent/JP2005249554A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006214776A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Citizen Electronics Co Ltd | 磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 |
JP4866427B2 (ja) * | 2006-01-06 | 2012-02-01 | ベンホフ ゲーエムベーハー エルエルシー | ハードディスクドライブ、漏洩磁界センサシステム、及び関連する方法 |
JP2009522710A (ja) * | 2006-01-06 | 2009-06-11 | ベンホフ ゲーエムベーハー エルエルシー | ハードディスクドライブ、漏洩磁界センサシステム、及び関連する方法 |
JP2008064761A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Samsung Electro Mech Co Ltd | ハイブリッド型センサモジュール及びそれを用いたセンシング方法 |
US7870678B2 (en) | 2006-09-06 | 2011-01-18 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Hybrid sensor module and sensing method using the same |
JP2008096261A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 磁気センサ |
JP4548401B2 (ja) * | 2006-10-11 | 2010-09-22 | パナソニック電工株式会社 | 磁気センサ |
JP2011505574A (ja) * | 2007-12-03 | 2011-02-24 | シーティーエス・コーポレーション | リニアポジションセンサー |
US10698043B2 (en) | 2016-12-20 | 2020-06-30 | Tdk Corporation | Triaxial magnetic sensor and method of manufacturing such |
JP2022071641A (ja) * | 2020-10-28 | 2022-05-16 | Tdk株式会社 | 磁気センサ及びその製造方法 |
JP7347397B2 (ja) | 2020-10-28 | 2023-09-20 | Tdk株式会社 | 磁気センサ及びその製造方法 |
JP7126645B1 (ja) | 2021-04-23 | 2022-08-29 | マグネデザイン株式会社 | 磁石体の位置・方位検出装置 |
JP2022167609A (ja) * | 2021-04-23 | 2022-11-04 | マグネデザイン株式会社 | 磁石体の位置・方位検出装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE45023E1 (en) | Three-axis magnetic sensor, an omnidirectional magnetic sensor and an azimuth measuring method using the same | |
KR100894171B1 (ko) | 3축 자기 센서 및 전방위 자기 센서 | |
JP4919142B2 (ja) | 磁気コンパス | |
US6836971B1 (en) | System for using a 2-axis magnetic sensor for a 3-axis compass solution | |
JP3848941B2 (ja) | 地磁界センサの姿勢誤差補償装置及び方法 | |
WO2006035505A1 (ja) | 磁気センサの制御方法、制御装置、および携帯端末装置 | |
KR20110081205A (ko) | 전자 나침반 | |
JP2004012416A (ja) | 方位角計測装置、キャリブレーション方法およびキャリブレーションプログラム | |
JP2006300880A (ja) | 傾斜センサおよびこれを用いた方位計測装置 | |
JP2008064761A (ja) | ハイブリッド型センサモジュール及びそれを用いたセンシング方法 | |
JP2006226810A (ja) | 方位計測装置 | |
JP2005249554A (ja) | 磁界検出装置 | |
JP2006023318A (ja) | 3軸磁気センサ、全方位磁気センサおよびそれらを用いた方位測定方法 | |
JP2008216181A (ja) | 方位センサ及び電子機器 | |
JP2004309228A (ja) | 方位角計測装置及び方位角計測プログラム、並びに方位角計測方法 | |
JP2006275523A (ja) | 電子方位装置および記録媒体 | |
JP2005207799A (ja) | 立体画像表示システム及び立体ナビゲーションシステム | |
JP2008241676A (ja) | 電子コンパスシステム | |
JP4149344B2 (ja) | 地磁気方位センサおよび地磁気方位センサの使用方法 | |
JPH08278137A (ja) | 方位出力装置 | |
KR100743250B1 (ko) | 네비게이션 기능을 구비한 휴대용 단말기 | |
JP2006133154A (ja) | 地磁気センサ及びこの地磁気センサを備えた移動体表示装置 | |
KR100674194B1 (ko) | 자기 센서의 제어 방법, 제어 장치 및 휴대 단말 장치 | |
JPH0246913B2 (ja) | ||
JP2003156335A (ja) | 電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |