JP2006214776A - 磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 - Google Patents
磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006214776A JP2006214776A JP2005025683A JP2005025683A JP2006214776A JP 2006214776 A JP2006214776 A JP 2006214776A JP 2005025683 A JP2005025683 A JP 2005025683A JP 2005025683 A JP2005025683 A JP 2005025683A JP 2006214776 A JP2006214776 A JP 2006214776A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluxgate
- magnetic sensor
- axis
- magnetic field
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
【課題】 フラックスゲート素子を用いて3次元で磁界を検出する3次元磁気センサーは従来、高さ方向が縦又は横寸法と同等又はそれ以上となるため、薄型とすることが出来ず、部品の高さに制限のある機器に搭載できないという問題を改善する。
【解決手段】 フラックスゲート素子11、12、13を使用して磁界を3次元で検出する磁気センサー素子10において、水平面に配置されるX軸とY軸の少なくとも一軸についてはフラックスゲート素子の2個11,12を一組として、それぞれのフラックスゲート素子を水平面に対しプラスおよびマイナス方向に1°から45°の範囲の傾斜角θ1、θ2で傾斜を持たせて配置するとともに、前記フラックスゲート素子11,12のそれぞれの出力と前記傾斜角の正弦又は余弦とに基づく演算により磁界の3次元成分を算出する演算手段5を備えた構成とする。
【選択図】 図1
Description
A1=Hxcos0°+Hycos90°+Hzcos90°=Hx
Y軸方向に配されたフラックスゲート112の検出対象となる磁界の強さをB1とすれば
B1=Hxcos90°+Hycos0°+Hzcos90°=Hy
Z軸方向に配されたフラックスゲート112の検出対象となる磁界の強さをC1とすれば
C1=Hxcos90°+Hycos90°+Hzcos0°=Hz
となる。このようにして、フラックスゲート111、112、113により、それぞれに
磁界Hの3次元成分Hx、Hy、Hzを検出することができる。
φ1=tan−1(Hy/Hx)・・・・(1)
H1の絶対値は
(H1)2=Hx2+Hy2
となる。次に、ベクトルH1にベクトルHzを合成した3次元ベクトルHを考え、H1からHへの回転角をφ2とすると、
φ2=tan−1(Hz/H1)
=tan−1[Hz/(Hx2+Hy2 )−1/2]・・・・(2)
となる。3次元ベクトルHの絶対値は
H2=(H1)2 +Hz2=Hx2+Hy2+Hz2・・・・(3)
となる。このようにして、3次元磁気センサーにより磁界のベクトルHのX、Y、Z方向の成分Hx、Hy、Hzを検出し、この値を電子コンパス等の磁気方位測定手段に入力し計算手段により演算を行うことにより、(1)、(2)式より前記のφ1およびφ2を算出し、磁界ベクトルHの3次元の方位を特定することができ、また、(3)式よりその大きさを求めることができる。
垂直方向の成分を求める演算が簡単となる。
フラックスゲート素子間の干渉が阻止でき、動作の安定性が確保できる。
前記フラックスゲート素子のそれぞれの出力と前記傾斜角の正弦又は余弦とに基づく演算により磁界の3次元成分を算出する演算手段を備えた構成とする。
A=k(Hx・cosθ1+Hz・sinθ1)・・・・(4)
となる。同様にしてフラックスゲート素子12の出力Bは
B=k(Hx・cosθ2+Hz・sinθ2)・・・・(5)
となる。
なお、図6に示すように、フラックスゲート出素子11および12がYZ面にあるときは、同様の原理により、フラックスゲート出素子11の出力は(4)式においてHxをHyに置き換えたものとなり、フラックスゲート出素子12の出力は(5)式においてHxをHyに置き換えたものとなる。
sinθ0=Hz/H0 cosθ0=Hx/H0 となる。又、磁界H0とフラックスゲート素子のなす角θは θ=θ0−θ1 となる。よって、フラックスゲート素子11の出力Aは
A=k・H0・cosθ=k・H0・cos(θ0−θ1)
=k・H0(cosθ0・cosθ1+sinθ0・sinθ1)
=k・H0[(Hx/H0)・cosθ1+(Hz/H0)・sinθ1]
=k(Hx・cosθ1+Hz・sinθ1)
となって、(4)式と一致する。同様にして、フラックスゲート素子1の出力Bについても、
B=k・H0・cos(θ0−θ2)=k(Hx・cosθ2+Hz・sinθ2)
となって(5)式と一致した式が成立つ。
Hz=(Acosθ2−Bcosθ1)/ksin(θ1−θ2)・・・・(6)
Hx=(Asinθ2−Bsinθ1)/ksin(θ2−θ1)・・・・(7)
となる。(6)式、(7)式より傾斜角θ1、θ2が任意の場合であっても出力Aおよび出力Bに基づいて、HzおよびHxを算出することができる。なお、ここで特殊な例として 傾斜角の方向が逆で絶対値が等しい場合すなわち θ2=−θ1 の場合は(6)式および(7)式より、それぞれ
Hz=(A−B)/2ksinθ1・・・・(8)
Hx=(A+B)/2kcosθ1・・・・(9)
が成立する。いずれにしても、フラックスゲート素子11の出力Aおよびフラックスゲート素子12の出力Bとから磁界のX、Z軸方向の成分Hx、Hzを求めることができる。
Hy=(Asinθ2−Bsinθ1)/ksin(θ2−θ1)・・・・(10)
によりこれを求めることができる。特に θ2=−θ1 の場合は(9)式においてHxをHyに置き換えた式
Hy=(A+B)/2kcosθ1・・・・(11)
によりこれを求めることができる。以上のようにして、磁界のX、Y、Z成分Hx、Hy、Hzを演算により求めることにより、磁界を3次元で検出することができる。
なお、例えばXZ面に配置したフラックスゲート素子11およびフラックスゲート素子12の出力からHxとHzを算出し、さらにHyを求めるには、図6に示すようなYZ面に配置され1対のフラックスゲート素子を用いることなく、図8に示すように第3のフラックスゲート素子13をY軸方向に配し、その出力Cから直ちに
Hy=C/k・・・・(12)
としてHyを求めることもできる。このようにして、磁界のX、Y、Z成分であるHx、Hy、Hzが全て求められると、すでに説明した(1)式及び(2)式より磁界の3次元の方位を求めることができる。又、必要に応じて(3)式より磁界の強さを求めることができる。
Hz=(B−Acosθ2)/ksinθ2・・・・(11)
Hx=A/k・・・・(12)
としてHzとHxを求めることができる。
以上に、本発明の原理につき説明を行ったが、本発明のより具体的な実施の態様につき、実施例を用いて以下に説明する。
D=K(Hxcosθ3+Hysinθ3)
となる。これより、Hyは
Hy=[(D/K)−Hxcosθ3]/sinθ3・・・・(13)
となり、(13)式を用いてHyを求めることができる。すなわち、本実施例3においては、フラックスゲート素子11の出力A、フラックスゲート素子12の出力B、フラックスゲート素子14の出力DをコントロールIC5に入力すると、先ずA、Bにより(6)式および(7)式を用いてHzとHxが算出される。次に算出されたHxと出力Dにより(13)式を用いてHyが算出される。このようにして算出されたHz、Hx、HyとよりコントロールIC5において、すでに説明した計算により、磁界の方位を算出することもできる。本実施例3においては、台座としては1個の台座6のみを使用するので、装置の平面寸法を更に小さくすることができる。又、フラックスゲート素子11、12、14を接触せずに、台座2を介して離して配置できるのでフラックスゲート素子間の干渉を防ぐことができる。
2 第1の台座
2b、2c、3b、4b、4c、6b、6c 台座の側面
3 第2の台座
4 第3の台座
5 コントロールIC
6 幅広台座
6d 台座の上面
7 素子接続端子
8 IC用接続端子
10、20、30 3次元磁気センサー素子
11 第1のフラックスゲート素子
12 第2のフラックスゲート素子
13 第3のフラックスゲート素子
14 上面用フラックスゲート素子
Claims (6)
- フラックスゲート素子を使用して磁界を3次元で検出する磁気センサー素子において、水平面に配置されるX軸とY軸の少なくとも一軸についてはフラックスゲート素子2個を一組として、それぞれのフラックスゲート素子を水平面に対しプラスおよびマイナス方向に1°から45°の範囲の傾斜角で傾斜を持たせて配置するとともに、前記フラックスゲート素子のそれぞれの出力と前記傾斜角の正弦又は余弦とに基づく演算により磁界の3次元成分を算出する演算手段を備えたことを特徴とする磁気センサー素子。
- 前記の2個が一組のフラックスゲート素子の一方のフラックスゲート素子が水平面に対しプラス方向に傾斜し、他の一方のフラックスゲート素子が水平方向に対しマイナス方向に傾斜し、そのプラス方向の傾斜角とマイナス方向の傾斜角の絶対値が略等しい場合において、一方のフラックスゲート素子の出力と他方のフラックスゲートの出力の和を用いてX軸又はY軸方向の磁界成分の強度を算出し、これらの出力の差を用いて前記水平面に直交するZ軸方向の磁界成分の強度を算出する演算手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサー素子。
- 前記X軸とY軸の両方の軸について、フラックスゲート素子2個を一組として、それぞれのフラックスゲート素子を水平面に対しプラスおよびマイナス方向に1°から45°の範囲で傾斜を持たせて配置することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の磁気センサー素子。
- 前記の2個が一組のフラックスゲート素子の一方のフラックスゲート素子と他の一方の
フラックスゲート素子は互いに間隔をおいた平行面内に保持されることを特徴とする請求1乃至請求項3のいずれかに記載の磁気センサー素子。 - 水平面に配置した磁気センサー素子の基板と、その基板に設けられた略直方体の台座を有し、台座の略垂直の側面にフラックスゲート素子を固定することを特徴とする請求1乃至請求項3のいずれかに記載の磁気センサー素子。
- 水平面に配置した磁気センサー素子の基板と、その基板に設けられた略直方体の台座を有し、台座の略垂直の側面にフラックスゲート素子を固定するとともに、前記台座の側面と直交する上面の水平面にX軸又はY軸に対し傾斜する方向に第3のフラックスゲート素子を固定したことを特徴とする請求1乃至請求項3のいずれかに記載の磁気センサー素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005025683A JP4804764B2 (ja) | 2005-02-01 | 2005-02-01 | 磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005025683A JP4804764B2 (ja) | 2005-02-01 | 2005-02-01 | 磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006214776A true JP2006214776A (ja) | 2006-08-17 |
JP4804764B2 JP4804764B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=36978139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005025683A Expired - Fee Related JP4804764B2 (ja) | 2005-02-01 | 2005-02-01 | 磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4804764B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011134904A1 (fr) | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Magnetometre a porte de flux et procede de fabrication de ce magnetometre |
WO2018230010A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2018-12-20 | キヤノン電子株式会社 | 3軸磁気検出装置および航行体 |
EP3411911A4 (en) * | 2016-02-05 | 2019-03-27 | Texas Instruments Incorporated | INTEGRATED MAGNETOMETRIC DEVICE WITH THREE DIMENSIONAL DETECTION |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004108804A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Omron Corp | 複次元方位センサおよび複次元方位検出システム |
JP2004271481A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Citizen Watch Co Ltd | 3軸磁気センサー |
JP2005249554A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁界検出装置 |
-
2005
- 2005-02-01 JP JP2005025683A patent/JP4804764B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004108804A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Omron Corp | 複次元方位センサおよび複次元方位検出システム |
JP2004271481A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Citizen Watch Co Ltd | 3軸磁気センサー |
JP2005249554A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁界検出装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011134904A1 (fr) | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Magnetometre a porte de flux et procede de fabrication de ce magnetometre |
FR2959570A1 (fr) * | 2010-04-29 | 2011-11-04 | Commissariat Energie Atomique | Magnetometre a porte de flux et procede de fabrication de ce magnetometre |
EP3411911A4 (en) * | 2016-02-05 | 2019-03-27 | Texas Instruments Incorporated | INTEGRATED MAGNETOMETRIC DEVICE WITH THREE DIMENSIONAL DETECTION |
US10914796B2 (en) | 2016-02-05 | 2021-02-09 | Texas Instruments Incorporated | Integrated fluxgate device with three-dimensional sensing |
WO2018230010A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2018-12-20 | キヤノン電子株式会社 | 3軸磁気検出装置および航行体 |
EP3640657A4 (en) * | 2017-06-15 | 2021-03-03 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | TRIAXIAL MAGNETIC EARTH DETECTOR AND NAVIGATION BODY |
US11029371B2 (en) | 2017-06-15 | 2021-06-08 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Triaxial magnetism detecting apparatus and satellite |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4804764B2 (ja) | 2011-11-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5977780B2 (ja) | 垂直ダイ・チップオンボード | |
JP4904052B2 (ja) | 磁気方位検出装置 | |
US8339132B2 (en) | Magnetic detection device | |
JP4252555B2 (ja) | 傾斜センサおよびこれを用いた方位計測装置 | |
WO2011158856A1 (ja) | 誤差要因判定方法およびその装置、並びに誤差補償方法、3軸磁気センサ、センサモジュール、誤差要因判定用のプログラム | |
JP2008064761A (ja) | ハイブリッド型センサモジュール及びそれを用いたセンシング方法 | |
JP6998285B2 (ja) | 磁気センサ装置 | |
KR101532150B1 (ko) | 직교형 플럭스게이트 센서 | |
JP2004012156A (ja) | 三次元磁気センサおよびその製造方法 | |
US20120313193A1 (en) | Systems and methods for three dimensional sensors | |
JP4804764B2 (ja) | 磁界を3次元で検出する小型磁気センサー素子 | |
JP2008216181A (ja) | 方位センサ及び電子機器 | |
JP6932561B2 (ja) | 3軸磁気検出装置および人工衛星 | |
JP2022095669A (ja) | 3次元検知を備える集積フラックスゲートデバイス | |
JP2007303864A (ja) | 磁界センサおよび磁界センシングの方法 | |
JP6993956B2 (ja) | 磁気センサ装置 | |
JP5816986B2 (ja) | 電流センサ | |
KR100649781B1 (ko) | 교류자기저항 센서를 이용한 3축 자기센서와, 이를 이용한전방위 자기센서 | |
EP1500905A2 (en) | Magnetic compass | |
JP4404364B2 (ja) | 磁気式加速度センサを用いた小型の加速度地磁気検出装置 | |
JP4125059B2 (ja) | 多軸傾斜検出装置 | |
US20220155102A1 (en) | Contactless magnetic sensing system | |
KR100801276B1 (ko) | 하이브리드형 지자기 센서 및 그 제조방법 | |
KR100676411B1 (ko) | 반도체 부품 및 이의 제조방법 | |
JP2008058210A (ja) | センサーモジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110809 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110810 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4804764 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |