JP7338675B2 - 静電チャック部材、静電チャック装置、および静電チャック部材の製造方法 - Google Patents
静電チャック部材、静電チャック装置、および静電チャック部材の製造方法 Download PDFInfo
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Description
また、各図には、Z軸を図示する。本明細書において、Z軸は、必要に応じて載置面と直交するする方向である。また、載置面が向く方向である上面を+Z方向とする。
静電チャック装置1は、ウエハ(試料)Wを搭載する載置面2sを有する静電チャック部材2と、静電チャック部材2を載置面2sの反対側から支持する基台3と、静電チャック部材2に電圧を付与する給電端子16と、を備える。なお、静電チャック部材2の上面の外周部には、ウエハWを囲むフォーカスリングが配置されていてもよい。
なお、ここでの上下方向は、あくまで説明の簡素化のために用いる方向であって、静電チャック装置1の使用時の姿勢を限定するものではない。
本実施形態のガス流路60は、静電チャック部材2の中心軸Cを中心として円環状に延びる。すなわち、ガス流路60は、誘電体基板11の中心に対し円弧状に延びる。本実施形態の誘電体基板11には、2つのガス流路60が設けられる。複数のガス流路60は、同心円状に配置される内周流路61と外周流路62とを含む。内周流路61は、前記誘電体基板の中心に対し円弧状に延びる。外周流路62は、内周流路61の同心円状外側に配置され円弧状に延びる。
一対の側面部60c、60dの少なくとも一方は、厚さ方向(Z軸方向)に対して傾斜する。本実施形態では、一対の側面部60c、60dがともに厚さ方向に対して傾斜する。本実施形態では、内周流路61の内周側面部60cは、厚さ方向に対して傾斜角度θ1で傾斜し、外周側面部60dは、厚さ方向に対して傾斜角度θ2で傾斜する。同様に、外周流路62の内周側面部60cは、厚さ方向に対して傾斜角度θ3で傾斜し、外周側面部60dは、厚さ方向に対して傾斜角度θ4で傾斜する。
θ1≦θ3、 θ2≦θ4、 θ1<θ2、 θ3<θ4
静電チャック部材2は、以上の工程を経ることで製造される。また、製造された静電チャック部材2は、端子用碍子23および伝熱ガスGの流路用の碍子24を設けた基台3に搭載されて静電チャック装置1を構成する。
図7は、変形例の静電チャック部材102の部分断面模式図である。
上述の実施形態と同様に、静電チャック部材102は、誘電体基板11と、誘電体基板11の内部に埋め込まれる吸着電極13と、を備える。また、誘電体基板11の内部には、ガス流路60が設けられる。
Claims (8)
- 試料を搭載する載置面が設けられ前記載置面に直交する方向を厚さ方向とする誘電体基板と、
前記誘電体基板の内部に埋め込まれる吸着電極と、を備え、
前記誘電体基板の内部には、前記載置面の平面方向に沿って延びるガス流路が設けられ、
前記ガス流路の内側面は、
前記載置面と同方向を向く底面部と、
前記底面部に対向する天面部と、
前記底面部と前記天面部とを繋ぐ一対の側面部と、を有し、
一対の側面部の少なくとも一方は、前記厚さ方向に対して傾斜し、
前記ガス流路は、前記誘電体基板の中心に対し円弧状に延び、
一対の前記側面部のうち、一方は円弧内周側に配置される内周側面部であり、他方は円弧外周側に配置される外周側面部であり、
前記外周側面部の傾斜角度は、前記内周側面部の傾斜角度より大きい、
静電チャック部材。 - 複数の前記ガス流路は、
前記誘電体基板の中心に対し円弧状に延びる内周流路と、
前記内周流路の同心円状外側に配置され円弧状に延びる外周流路と、を含み、
一対の前記側面部のうち、一方は円弧内周側に配置される内周側面部であり、他方は円弧外周側に配置される外周側面部であり、
前記外周流路の前記外周側面部の傾斜角度は、前記内周流路の前記外周側面部の傾斜角度より大きい、
請求項1に記載の静電チャック部材。 - 前記外周流路の前記内周側面部の傾斜角度は、前記内周流路の前記内周側面部の傾斜角度より大きい、
請求項2に記載の静電チャック部材。 - 前記誘電体基板は、前記厚さ方向に積層される第1支持板および第2支持板を有し、
前記ガス流路は、前記第1支持板と前記第2支持板との間に設けられる、
請求項1~3の何れか一項に記載の静電チャック部材。 - 前記第1支持板と前記第2支持板とは、接合層を介して接合され、
前記側面部の少なくとも一部は、前記接合層に設けられ、
前記接合層の熱伝導率は、前記第1支持板および前記第2支持板の熱伝導率より高い、請求項4に記載の静電チャック部材。 - 前記誘電体基板の内部に埋め込まれる副電極層をさらに備え、
前記副電極層は、前記ガス流路と同一平面上に配置される、
請求項1~5の何れか一項に記載の静電チャック部材。 - 請求項1~6の何れか一項に記載の静電チャック部材と、
前記静電チャック部材を前記載置面の反対側から支持する基台と、を備える、静電チャック装置。 - 請求項1~6の何れか一項に記載の静電チャック部材の製造方法であって、
前記誘電体基板は、第1支持板および第2支持板を有し、
前記第1支持板又は前記第2支持板のうち少なくとも一方に凹溝を形成する凹溝形成工程と、
前記第1支持板と前記第2支持板とを厚さ方向に積層し接合する接合工程と、を有し、
凹溝形成工程において、開口側に向かうに従い幅寸法を大きくする前記凹溝を形成する、
静電チャック部材の製造方法。
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