JP7335614B2 - スクリーンマスク、スクリーンマスクの製造方法及び印刷物の製造方法 - Google Patents
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Description
他の一形態にかかるスクリーンマスクは、塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が異なる位置に形成され前記塗布材の吐出側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、を備え、前記凹部は、印刷対象物に配される部品に対向する位置に形成され、少なくとも一部が前記開口部と連続し、前記部品との干渉を回避するとともに前記塗布材が前記開口部を通じて前記凹部に周り込み、前記部品に接続するように構成される。
他の一形態にかかるスクリーンマスクは、塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が異なる位置に形成され前記塗布材の吐出側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、を備え、前記凹部は、印刷対象物に配される部品に対向する位置に形成され、両側に配される前記開口部と連続し、前記部品との干渉を回避するとともに前記塗布材が前記開口部を通じて前記凹部に周りこみ、前記部品に接続するように構成される。
他の一形態にかかるスクリーンマスクは、塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が異なる位置に形成され前記塗布材の吐出側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、を備え、前記凹部は、印刷対象物に配される部品に対向する位置に形成され、片側の側部が前記開口部に連続し、前記部品との干渉を回避するとともに前記塗布材が前記開口部を通じて前記凹部に周りこみ、前記部品に接続するように構成される。
以下、本発明の第1実施形態にかかるスクリーン印刷装置10及びスクリーンマスク20について図1乃至図12を参照して説明する。図1は本実施形態に係るスクリーンマスク20の説明図であり、図2はスクリーン印刷装置10を示す説明図である。図3はスクリーンマスク20の斜視図である。図4はスクリーンマスク20の一部の構成を模式的に示す断面図、図5は斜視図、図6は平面図である。図7はスクリーンマスク20の一部の構成を模式的に示す断面図、図8は平面図、図9は斜視図である。なお、各図では説明のため、適宜構成を拡大、縮小、省略して示している。図中矢印X,Y,Zは互いに直交する3方向をそれぞれ示している。
凹部25は、複数設けられていてもよい。たとえば本実施形態において、凹部25は、パターン開口と少なくとも一部が異なる位置に形成されている。凹部25は、塗布材の吐出方向の一方側である印刷面側の表面が他方側に退避する逃げ部であり、印刷時の負荷を回避できる。
また、二層目のエッジと一層目のエッジを揃えることも可能である。
以下に、本願出願当初の特許請求の範囲に記載された発明と同等の記載を付記する。
[1]
塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が異なる位置に形成され前記塗布材の吐出方向の一方側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、
を備えるスクリーンマスク。
[2]
前記凹部は、印刷対象物に配される突起部に対向する位置に形成され、少なくとも一部が前記開口部と連続する、[1]に記載のスクリーンマスク。
[3]
前記凹部は、印刷対象物に配される突起部に対向する位置に形成され、前記開口部と離間した位置に配置される、[1]に記載のスクリーンマスク。
[4]
塗布材を透過可能な孔を有するサポート材に第1の乳剤を塗布して第1の乳剤層を形成する第1層形成工程と、
第1の乳剤層に所定の第1露光パターンで露光する第1パターニング工程と、
前記第1の乳剤層に第2の乳剤を重ねて塗布して第2の乳剤層を形成する第2層形成工程と、
前記第1露光パターンとは異なる第2露光パターンにて露光する第2パターニング工程と、
エッチング処理により前記第1の乳剤層及び前記第2の乳剤層に開口を形成するとともに、一方側の表面が他方側に退避する凹部を形成する、エッチング処理と、を備えるスクリーンマスクの製造方法。
[5]
前記露光はマスクレス露光である[4]に記載のスクリーンマスクの製造方法。
[6]
[1]乃至[3]のいずれかに記載のスクリーンマスクを、対向面に部品を有する印刷対象物に、前記凹部に前記部品が配されるように、対向配置させ、前記塗布材を前記開口部から供給することにより、前記開口部の形状に対応するパターンで塗布材を形成する、印刷物の製造方法。
Claims (10)
- 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が連通するとともに前記塗布材の吐出側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、を備えるスクリーンマスクを、対向面に部品を有する印刷対象物に、前記凹部に前記部品が配されるように、対向配置させ、前記塗布材を前記開口部から供給することにより、前記開口部の形状に対応するパターンで塗布材を形成するとともに、前記開口部を通じて塗布材を前記凹部内に周りこませて塗布材を前記凹部にある前記部品の周りに形成し、前記部品に接続させる、印刷物の製造方法。
- 前記塗布材は導電性であり、前記印刷対象物は基板であり、前記塗布材により前記部品に接続される配線パターンを形成する、請求項1に記載の印刷物の製造方法。
- 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が異なる位置に形成され前記塗布材の吐出側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、
を備え、
前記凹部は、印刷対象物に配される部品に対向する位置に形成され、少なくとも一部が前記開口部と連続し、前記部品との干渉を回避するとともに前記塗布材が前記開口部を通じて前記凹部に周り込み、前記部品に接続するように構成される、スクリーンマスク。 - 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が異なる位置に形成され前記塗布材の吐出側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、
を備え、
前記凹部は、印刷対象物に配される部品に対向する位置に形成され、両側に配される前記開口部と連続し、前記部品との干渉を回避するとともに前記塗布材が前記開口部を通じて前記凹部に周りこみ、前記部品に接続するように構成される、スクリーンマスク。 - 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に形成され、厚さ方向に貫通するとともに前記塗布材が通過する開口部と、前記開口部と少なくとも一部が異なる位置に形成され前記塗布材の吐出側である印刷面側の表面が他方側に退避する凹部と、を有する、マスク膜と、
を備え、
前記凹部は、印刷対象物に配される部品に対向する位置に形成され、片側の側部が前記開口部に連続し、前記部品との干渉を回避するとともに前記塗布材が前記開口部を通じて前記凹部に周りこみ、前記部品に接続するように構成される、スクリーンマスク。 - 複数の異なる高さの前記凹部を有する、請求項3乃至5のいずれかに記載のスクリーンマスク。
- 前記凹部は、印刷面からの深さΔDが、3μm以上、乳厚TE以下であり、
前記乳厚TEは、スクリーンマスクの総厚Tの80%未満である、請求項3乃至6のいずれかに記載のスクリーンマスク。 - 前記塗布材は導電性であり、前記印刷対象物は基板であり、前記塗布材により前記部品に接続される配線パターンを形成する請求項3乃至7のいずれかに記載のスクリーンマスク。
- 請求項3乃至8のいずれかに記載のスクリーンマスクを、対向面に部品を有する印刷対象物に、前記凹部に前記部品が配されるように、対向配置させ、前記塗布材を前記開口部から供給することにより、前記開口部の形状に対応するパターンで塗布材を形成するとともに、前記開口部を通じて塗布材を前記凹部の前記部品に接続させる、印刷物の製造方法。
- 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材に第1の乳剤を塗布して第1の乳剤層を形成する第1層形成工程と、
第1の乳剤層に所定の第1露光パターンでマスクレス露光する第1パターニング工程と、
前記第1の乳剤層に第2の乳剤を重ねて塗布して第2の乳剤層を形成する第2層形成工程と、
シーズニング工程と、
前記第1露光パターンとは異なる第2露光パターンにてマスクレス露光する第2パターニング工程と、
エッチング処理により前記第1の乳剤層及び前記第2の乳剤層に開口部を形成するとともに、片側または両側が、前記開口部と連続し、一方側の表面が他方側に退避し、印刷対象物に配される部品に対向する位置に形成され前記部品との干渉を回避するとともに前記塗布材が前記開口部を通じて周りこむことで前記部品に接続するように構成される凹部を形成する、エッチング処理と、を備え、請求項3乃至8のいずれかに記載のスクリーンマスクを形成する、スクリーンマスクの製造方法。
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