KR100660779B1 - 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치 - Google Patents

기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치 Download PDF

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Abstract

평판표시소자용 기판 제조를 위한 평판인쇄(in-plain printing) 공정에서 소프트 몰드를 이용한 임프린트(imprint) 방식으로 식각 및 비식각 영역을 간단하게 구분할 수 있는 장치에 관한 것으로, 특히 상기 기판과 소프트 몰드가 임프린트 동작된 상태에서 이들을 용이하게 분리할 수 있는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치를 개시한다.
그러한, 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치는,
평판 인쇄 작업이 진행되는 공간에 배치되며 기판을 로딩하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지에 로딩된 기판측에 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면을 가지는 소프트 몰드와, 상기 스테이지 위쪽에 위치하고 상기 기판에 대응하는 자세로 상기 소프트 몰드를 분리 가능하게 고정하기 위한 고정수단과, 상기 기판 또는 상기 소프트 몰드 중에서 어느 하나의 위치를 변화시키면서 임프린트 동작이 진행되도록 하는 리프트수단 그리고, 상기 기판과 상기 소프트 몰드가 임프린트 동작된 후 이들을 분리하기 전에 서로 맞대어진 접촉면 사이에 작용하는 접착력을 기체의 분사 압력으로 제거하기 위한 분사수단을 포함한다.
기판 제조를 위한 평판 인쇄 공정, 에치 레지스트의 식각 및 비식각 영역, 다이렉 트 패터닝 작업, 소프트 몰드, 임프린트 방식, 분사 기체, 기판과 소프트 몰드 사이의 접착력 제거, 리프트수단

Description

기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치{apparatus for making etching area on substrate}
도 1은 본 발명과 관련하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치의 전체 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 리프트수단 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1의 분사수단의 노즐부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 4의 노즐부의 다른실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 4의 노즐부의 또 다른실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7 및 도 8은 본 발명과 관련하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치의 분사수단 작용을 설명하기 위한 도면이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2: 스테이지 6: 소프트 몰드
10: 고정수단 20: 리프트수단
24: 분사수단 T: 작업대
G: 기판 A: 분사용 기체
본 발명은 평판표시소자용 기판 제조를 위한 평판인쇄(in-plain printing) 공정에서 소프트 몰드를 이용하여 임프린트(imprint) 방식으로 식각 및 비식각 영역을 직접 구분할 수 있으며, 특히 상기 기판과 소프트 몰드가 임프린트 동작된 상태에서 분사 기체를 이용하여 이들을 용이하게 분리할 수 있는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display)는 널리 사용되고 있는 평판표시장치 중에 하나로서, 전극이 각각 형성된 2장의 기판 사이에 액정이 봉입되어 상기 전극에 인가되는 전압에 의해 액정의 배열을 변화시켜서 빛을 통과시키거나 차단함으로서 화상을 구현한다.
상기 2장의 기판 중에서 어느 하나의 기판은 배선층을 포함하는 다층 구조의 박막 트랜지스터가 형성되고, 다른 하나의 기판에는 공통 전극과 칼라필터가 형성되어 있으며, 이 각 박막층들은 기판의 제조시 각각의 기능 구현을 위한 소정의 미세 패턴을 갖도록 하는 패터닝 작업을 거치면서 만들어진다.
이러한 패터닝 작업의 대표적인 방법으로는, 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 공정과, 노광 공정, 현상 공정 그리고 에칭 공정을 거치면서 미세 패턴을 형성하는 사진식각(photolithography) 방법이 있다.
그러나, 이 사진식각 작업은 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 마스킹용 패턴을 상기 포토레지스트층에 형성하기 위하여 상기 노광 공정에서 노광용 마스크로 상기 포토레지스트층을 노광하고, 이를 다시 현상하는 공정을 매번 거쳐야 하므 로 공정이 복잡하고, 과다한 작업 시간이 소요되는 단점이 있다.
게다가, 상기 노광 작업에 사용하는 장비는 대부분 고가일 뿐만 아니라, 공정의 특성상 포토레지스트 원료와 스트립 용액 등이 과다하게 사용되므로 제조 원가를 절감하기 어렵다.
따라서, 상기한 사진식각 공정의 문제점을 개선하기 위한 방법으로, 소프트 몰드를 이용하여 물리적인 접촉력으로 기판의 포토레지스트층에 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 마스킹용 패턴을 직접 형성하는 평판 인쇄 방법이 제시되고 있다.
상기 평판 인쇄 작업에 사용하는 소프트 몰드는, 기판에 대응하는 크기를 가지며 일측면에는 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면이 형성되어 있다.
상기 소프트 몰드는 기판이 수평하게 놓여진 상태에서 이 기판과 마주하는 평행한 자세로 근접하거나 그 반대로 이동하는 임프린트 동작에 의해 상기 기판의 포토레지스트층에 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 마스킹용 패턴을 직접 형성할 수 있다.
상기와 같이 소프트 몰드를 이용하여 식각 및 비식각 영역을 직접 구분하는 작업에 사용하는 장치는, 기판을 수평한 상태로 로딩하기 위한 스테이지와, 이 스테이지의 위쪽에 배치되며 구동수단에 의해 상기 소프트 몰드를 상기 기판에 수평한 상태로 근접하거나 그 반대로 이동시키기 위한 이송부를 포함하며, 이 이송부는 공기의 부압(負壓)으로 상기 소프트 몰드의 고정이 가능하도록 이루어져 있다.
상기 이송부는 평판 인쇄 작업시 상기 기판을 향하여 상기 소프트 몰드를 임 프린트 동작시키는 역할을 하며, 이러한 동작에 의해 상기 소프트 몰드가 상기 기판의 포토레지스트층을 덮는 상태로 위치될 때 작용하는 접촉 압력에 의해 상기 포토레지스트층이 눌려지면서 마스킹용 패턴들이 형성된다.
그리고, 상기 소프트 몰드와 상기 기판이 서로 맞대어진 상태로 소정의 경화 공정을 거치면서 포토레지스트층을 경화시킨 후 상기 기판으로부터 상기 소프트 몰드를 분리함으로서 소정의 형태 및 배열을 가지는 마스킹용 패턴들이 상기 기판측에 패터닝된다.
그러나, 상기한 종래의 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 장치는, 경화 공정 후 상기 소프트 몰드를 상기 기판측에서 분리하는 작업을 할 때 이 기판측에 형성된 마스킹용 패턴들이 쉽게 파손되어 불량 품질이 발생하는 문제가 있다.
이와 같이 불량 품질을 유발하는 주된 요인으로는, 임프린트 동작에 의해 상기 소프트 몰드와 상기 기판이 서로 맞대어진 상태에서 이들의 접촉면 사이에 작용하는 접착력에 의해 대부분 발생하고 있으며, 이러한 접착력은 상기 기판과 소프트 몰드를 분리할 때 분리 방향에 대응하는 저항력을 발생하여 상기 기판에서 마스킹용 패턴의 일부가 탈리(脫離)되거나 파손되는 현상을 유발한다.
특히, 전체 접촉면 중에서 테두리 부분에 작용하는 접착력은 상기 기판과 소프트 몰드의 분리 동작을 더욱 어렵게 하여 과다한 불량 품질을 유발하는 한 요인이 된다.
따라서, 평판 인쇄 작업시 임프린트 동작 후 기판과 소프트 몰드 사이에 작 용하는 접착력에 의해 발생하는 문제점들을 개선하지 않고서는 만족할 만한 패터닝 품질 및 생산성 등을 기대할 수 없다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 소프트 몰드를 이용한 임프린트 방식으로 기판측에 식각 및 비식각 영역을 직접 패터닝할 수 있으며, 특히 임프린트 동작 후 상기 기판과 몰드를 분리할 때 이들 사이에 작용하는 접착력을 용이하게 제거할 수 있는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,
평판 인쇄 작업이 진행되는 공간에 배치되며 기판을 로딩하기 위한 스테이지;
상기 스테이지에 로딩된 기판측에 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면을 가지는 소프트 몰드;
상기 스테이지 위쪽에 위치하고 상기 기판에 대응하는 자세로 상기 소프트 몰드를 분리 가능하게 고정하기 위한 고정수단;
상기 기판 또는 상기 소프트 몰드 중에서 어느 하나의 위치를 변화시키면서 임프린트 동작이 진행되도록 하는 리프트수단;
상기 기판과 상기 소프트 몰드가 임프린트 동작된 후 이들을 분리하기 전에 서로 맞대어진 접촉면 사이에 작용하는 접착력을 기체의 분사 압력으로 제거하기 위한 분사수단을 포함하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치를 제공한다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 여러가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명과 관련하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치의 전체 구조를 나타내는 도면으로서, 도면 부호 2는 스테이지를 지칭한다. 이 스테이지(2)는 기판(G) 제조시 평판 인쇄 작업이 진행되는 작업대(T) 위에 설치된다.
상기 스테이지(2)는 기판(G) 전체를 수용할 수 있는 크기의 로딩면(4)을 가지는 금속이나 합성수지판이 사용된다.
그리고, 상기 스테이지(2)는 상기 로딩면(4)측에 기판(G)을 분리 가능하게 로딩할 수 있도록 도면에는 나타내지 않았지만 복수개의 흡착홀들이 형성되고, 이 각 흡착홀들은 공기의 부압을 발생하는 장치와 연결되어 있다.
상기 스테이지(2) 위쪽에는 임프린트 방식으로 기판(G)의 포토레지스트층(G1)을 직접 누루면서 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 소프트 몰드(6)가 위치된다.
상기 소프트 몰드(6)는 기판(G) 전체를 덮을 수 있는 크기를 가지며 일측면 에는 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면(F)이 형성되어 있다.
상기 소프트 몰드(6)는 PDMS(Poly Dimethyl Siloxane)와 같은 연질의 실리콘 계열의 수지 원료를 이용하여 통상의 몰딩 작업으로 만들어진다.
그리고, 상기 소프트 몰드(6)에서 상기 패턴면(F)의 반대편에는 백플레이트(8)가 부착될 수 있다. 이 백플레이트(8)는 상기 연질의 소프트 몰드(6)가 평탄한 상태로 임프린트 동작되도록 형태를 유지해주는 역할을 한다.
상기 소프트 몰드(6)는 상기 스테이지(2) 위쪽에서 고정수단(10)에 의해 평탄한 자세로 분리 가능하게 위치된다.
상기 고정수단(10)은, 상기 소프트 몰드(6)를 분리 가능하게 고정하기 위한 홀더(12)와, 상기 작업대(T) 위에서 상기 홀더(12)를 수평한 자세로 고정하기 위한 로더(14)를 포함하여 이루어진다.
상기 홀더(12)는 상기 소프트 몰드(6)를 평탄하게 고정할 수 있는 크기를 가지는 금속이나 합성수지판이 사용될 수 있으며, 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 공기 부압력으로 상기 소프트 몰드(6)를 흡착하면서 분리 가능하게 고정할 수 있도록 이루어져 있다.
상기 로더(14)는 상기 홀더(12)를 적어도 2군데 이상을 분리 가능한 걸림 상태로 장착할 수 있도록 도 1에서와 같이 내부 공간이 아래쪽으로 개구되고, 이 개구부의 양측에는 상기 홀더(12)의 마주하는 2개의 테두리변을 걸림 상태로 고정하기 위한 걸림부(16)가 도면에서와 같이 각각 마련되어 있다.
상기 로더(14)는 상기 작업대(T)에 설치된 고정플레이트(18)에 도 1에서와 같이 고정될 수 있으며, 상기 2개의 걸림부(16) 사이의 개구부는 상기 스테이지(2)가 통과할 수 있는 크기 범위로 형성된다.
상기 홀더(12)와 이 홀더(12)를 걸림 상태로 지지하는 로더(14)의 각 걸림부(16)에는 서로 분리 가능하게 끼워지는 돌기(P1)와 홈(P2)이 각각 형성될 수 있다.
상기 돌기(P1)와 홈(P2)들은 상기 로더(14)측에 상기 홀더(12)가 장착될 때 이들의 장착 위치를 가이드함과 아울러 장착된 상태에서 상기 홀더(12)의 위치가 좌우방향으로 변화되는 것을 방지하는 역할을 한다.
상기 기판(G) 또는 소프트 몰드(6) 중에서 어느 하나는 상기 작업대(T)에서 리프트수단(20)에 의해 임프린트 동작이 가능하도록 위치가 변화된다. 이를 위하여 본 실시예에서는 도 1에서와 같이 상기 리프트수단(20)에 의해 상기 스테이지(2)의 위치가 승,하강하면서 상기 기판(G)이 상기 소프트 몰드(6)를 향하여 임프린트 동작이 진행되도록 하고 있다.
상기 리프트 수단(20)은 상기 스테이지(2)의 위치 변화를 위한 구동원으로 실린더(C)를 사용하고, 이 실린더(C) 본체는 상기 작업대(T) 위에 고정되고 상기 스테이지(2)측에 피스톤로드(C1)가 연결된다.
상기 실린더(C)는 상기 피스톤 로드(C1)의 통상적인 직선 왕복 운동에 의해 상기 스테이지(2)를 위아래 방향으로 승,하강시켜서 상기 기판(G)이 상기 홀더(12)측에 고정된 소프트 몰드(6)를 향하여 평행한 자세로 근접하거나 그 반대 방향으로 이동되도록 한다.
상기 작업대(T)에는 상기 스테이지(2)가 상기 실린더(C)에 의해 승,하강할 때 적어도 2군데 이상의 지점을 가이드하기 위한 복수개의 가이드축(22)이 더 설치될 수 있다. 이 가이드축(22)은 상기 스테이지(2)의 승,하강 동작시 자세나 위치 등이 변화되는 것을 방지하는 통상의 가이드 역할을 한다.
상기에서는 스테이지(2)의 이동을 위한 구동원으로 실린더(C)를 사용하는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.
예를들면, 도면에는 나타내지 않았지만 모터 축과 연결된 스크류가 상기 스테이지(2) 일측과 나사 결합으로 관통하는 상태로 연결되어 상기 스크류의 통상적인 정,역 회전에 의해 상기 스테이지(2)가 승,하강 동작되도록 셋팅할 수도 있다.
상기한 리프트수단(20)은, 도 2에서와 같이 기판(G)이 로딩된 상태로 상기 스테이지(2)를 이동시켜서 상기 소프트 몰드(6)의 패턴면(F)이 상기 기판(G)의 포토레지스트층(G1)과 서로 맞대어진 상태로 임프린트 동작이 진행되도록 한다.
그리고, 상기 기판(G)과 상기 소프트 몰드(6)가 임프린트 동작된 상태로 소정의 경화 공정을 거친 후 상기 소프트 몰드(6)와 상기 기판(G)이 분리될 수 있도록 상기 스테이지(2)를 아래쪽으로 이동시켜서 원래의 위치로 리턴시킨다.
이러한 리프트수단(20)의 구동에 의해 임프린트 동작이 가능하도록 상기 기판(G)을 핸들링하면서 도 3에서와 같이 상기 기판(G)의 포토레지스트층(G1)에 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 마스킹용 패턴(G2)을 형성할 수 있다.
한편, 상기 작업대(T)에는 상기 소프트 몰드(6)와 상기 기판(G)의 임프린트 동작 후 이들을 분리하기 전에 기체의 분사 압력을 이용하여 상기 기판(G)과 상기 소프트 몰드(6)의 접촉면 사이에 작용하는 접착력을 제거할 수 있도록 분사수단 (24)이 설치된다.
상기 분사수단(24)은, 노즐부(26)와, 이 노즐부(26)측에 분사용 기체(A)를 공급하기 위한 기체공급부(28)를 포함하여 이루어지고, 상기 노즐부(26)는 상기 작업대(T)에서 임프린트 동작에 의해 서로 맞대어진 상태의 기판(G)과 소프트 몰드(6)의 적어도 2군데 이상의 테두리변을 향하도록 위치한다.
상기 노즐부(26)는 기체의 분사가 가능한 통상의 노즐 구조를 가지며 임프린트 동작된 상태의 기판(G)과 소프트 몰드(6)의 접촉면 사이로 분사용 기체(A)가 분사되도록 상기 로더(14)측에 직접 형성될 수 있다.
그리고, 상기 각 노즐부(26)는 상기 기체공급부(28)로부터 분사용 기체(A)를 공급받도록 호스(30)로 연결되어 있다.
도 4를 참조하면, 상기 각 노즐부(26)는 배출측이 일정한 폭을 가지며 상기 기판(G)과 소프트 몰드(6)의 테두리변 전체 길이에 대응하는 크기를 가지는 단일의 장방형상으로 형성된 구조일 수 있다.
상기 기체공급부(28)는 압력 기체를 발생하는 통상의 콤프레서나 블로워 장치가 사용될 수 있다. 그리고, 이 기체공급부(28)와 상기 노즐부(26) 사이에 연결되는 호스(30)에는 분사용 기체(A)의 공급을 제어하기 위한 밸브(V)가 더 설치된다.
상기 밸브(V)는 전기적 신호에 의해 제어되면서 관체의 유로를 차단하거나 개방하는 통상의 솔레노이드 밸브가 사용될 수 있다.
상기에서는 각 노즐부(26)가 상기 로더(14)측에서 장방형상을 가지는 단일의 노즐 구조로 이루어진 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.
예를들면, 상기 각 노즐부(26)의 배출측이 도 5에 나타낸 바와 같이 복수개의 원형(또는 다각형) 홀들로 분할 구성된 노즐 구조로 형성될 수 있다. 이러한 노즐 구조는, 임프린트 동작에 의해 서로 맞대어진 상태의 기판(G)과 소프트 몰드(6)의 마주하는 테두리변을 향하여 적어도 1군데 이상의 지점을 향하여 분사용 기체(A)가 분사되도록 한다.
그리고, 상기 각 노즐부(26)는 상기와 같이 로더(14)측에 직접 형성되는 구조 이외에도 도 6에서와 같이 상기 로더(14)와 독립된 별도의 구조로 제작되어 상기 기판(G)과 소프트 몰드(6)를 사이에 두고 적어도 2군데 이상의 테두리변을 향하여 분사용 기체(A)의 분사가 가능하도록 도면에서와 같이 상기 작업대(T)에 설치될 수 있다.
상기한 구조로 이루어지는 분사수단(24)은 상기 기판(G)이 상기 소프트 몰드(6)를 향하여 도 7에서와 같이 임프린트 동작되고, 이 상태로 소정의 경화 공정을 거친 후 상기 소프트 몰드(6)로부터 상기 기판(G)을 분리하기 전에 상기 기판(G)과 소프트 몰드(6)의 접촉면 사이에 일정한 압력으로 분사용 기체(A)를 분사한다.
이와 같이 분사된 기체(A)는 상기 기판(G)과 상기 소프트 몰드(6)의 접촉면에서 서로 맞대어진 2개의 면을 분리하는 역할을 하므로 접촉면 전체 또는 2개의 마주하는 테두리 부분에 작용하는 접착력을 제거할 수 있다.
특히, 상기 기판(G)과 소프트 몰드(6)를 분리하기 전에 이들 전체 접촉면 중 에서 테두리측 접착력을 제거함으로서 상기 기판(G)의 분리가 용이해진다.
따라서, 상기와 같이 분사용 기체(A)를 일정한 압력으로 분사하여 상기 기판(G)과 상기 소프트 몰드(6) 사이에 작용하는 접착력을 용이하게 제거할 수 있으며, 접착력이 제거된 상태에서 상기 리프트수단(20)을 이용하여 도 8에서와 같이 상기 소프트 몰드(6)로부터 상기 기판(G)을 용이하게 분리할 수 있다.
상기와 같이 서로 맞대어진 기판(G)과 소프트 몰드(6)를 분리하기 전에 이들의 접촉면 전체 또는 테두리 부분에 작용하는 접착력을 제거하면, 상기 기판(G)의 분리시 분리 동작이 원활하게 이루어지면서 이 기판(G)측에 소정의 형태 및 배열로 패터닝된 마스킹용 패턴(G2)이 파손되거나 탈리되는 현상을 방지할 수 있는 상태로 패터닝 작업을 진행할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치는, 소프트 몰드를 이용한 임프린트 방식으로 기판측에 식각 및 비식각 영역을 직접 패터닝할 수 있으며, 특히 임프린트 동작 후 상기 기판과 소프트 몰드를 분리하기 전에 이들의 접촉면 사이에 작용하는 접착력을 기체의 분사 압력을 이용하여 용이하게 제거할 수 있다.
따라서, 패터닝 작업시 임프린트 동작된 상태의 기판과 소프트 몰드를 분리할 때 이들의 접촉면 사이에 존재하는 접착력에 의해 발생하는 각종 불량 품질을 대폭 줄일 수 있다.

Claims (7)

  1. 평판 인쇄 작업이 진행되는 공간에 배치되며 기판을 로딩하기 위한 스테이지;
    상기 스테이지에 로딩된 기판측에 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면을 가지는 소프트 몰드;
    상기 스테이지 위쪽에 위치하고 상기 기판에 대응하는 자세로 상기 소프트 몰드를 분리 가능하게 고정하기 위한 고정수단;
    상기 기판 또는 상기 소프트 몰드 중에서 어느 하나의 위치를 변화시키면서 임프린트 동작이 진행되도록 하는 리프트수단;
    상기 기판과 상기 소프트 몰드가 임프린트 동작된 후 이들을 분리하기 전에 서로 맞대어진 접촉면 사이에 작용하는 접착력을 기체의 분사 압력으로 제거하기 위한 분사수단을 포함하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 고정수단은, 상기 소프트 몰드를 평탄하게 고정하기 위한 홀더와, 이 홀더를 적어도 2군데 이상 걸림 상태로 수평하게 고정하기 위한 로더를 포함하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 분사수단은, 노즐부와, 이 노즐부에 분사용 기체를 공급하기 위한 기체공급부를 포함하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위 한 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 노즐부는, 서로 맞대어진 기판과 소프트 몰드를 사이에 두고 배치되며 이들의 테두리변을 향하여 적어도 2군데 이상의 지점에서 일정한 압력으로 기체를 분사하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치.
  5. 청구항 3에 있어서, 상기 기체공급부는, 콤프레서나 블로워가 사용되는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치.
  6. 청구항 3에 있어서, 상기 노즐부는, 기판과 소프트 몰드의 테두리변에 대응하는 단일 또는 복수개의 노즐홀들로 이루어지는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 리프트수단은, 실린더나 모터와 같은 구동원에 의해 상기 스테이지나 상기 고정수단 중에서 어느 하나의 위치를 변화시키면서 상기 기판 또는 상기 소프트 몰드가 임프린트 동작되도록 하는 기판 상에 식각 및 비식각 영역을 만들기 위한 장치.
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