JP7333828B2 - 回折バックライトを製造する方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2019年4月28日に出願された米国仮特許出願第62/839,736号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
該当なし
Claims (20)
- 回折バックライトを製造する方法であって、前記方法が、
導光体基板上にユニバーサル格子を形成する工程と、
前記導光体基板上に反射島部を形成する工程と、
前記反射島部を使用して前記ユニバーサル格子の一部分を選択し、格子要素を画定する工程と、を含み、
前記回折バックライトの反射回折格子要素が、前記格子要素と前記反射島部との組み合わせを含む、方法。 - 前記導光体基板上にユニバーサル格子を形成する工程が、ナノインプリントモールドを使用して、前記導光体基板のナノインプリント受容層内に前記ユニバーサル格子をナノインプリントする工程を含む、請求項1に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記反射島部を形成する工程が、反射材料の層をパターニングして前記反射島部を画定する工程を含み、前記反射材料の層が、金属、金属ポリマー、及び高屈折率誘電体のうちの1又はそれ以上を含む、請求項1に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記ユニバーサル格子が、前記導光体基板の表面上に位置しており、前記反射島部が、前記ユニバーサル格子上に形成されている、請求項1に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記反射島部を形成する工程が、
前記ユニバーサル格子上に反射材料層を堆積する工程と、
パターニングされたフォトレジストを使用して前記反射材料層をエッチングして、前記反射材料層の一部分を除去し、前記反射島部を画定する工程と、を含む、請求項4に記載の回折バックライトを製造する方法。 - 前記反射島部を使用して前記ユニバーサル格子の前記一部分を選択し、格子要素を画定する工程が、前記反射島部によって覆われていない前記ユニバーサル格子の露出部分をエッチングすることによって、前記露出部分を除去する工程を含む、請求項4に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記反射島部を使用して前記ユニバーサル格子の前記一部分を選択し、格子要素を画定する工程が、前記ユニバーサル格子及び反射島部を光学材料層で覆う工程を含み、前記光学材料層が、前記ユニバーサル格子に屈折率整合されている、請求項4に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記反射島部が、前記導光体基板の表面上に位置しており、前記ユニバーサル格子が、前記反射島部上に形成されている、請求項1に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記反射島部と前記ユニバーサル格子との間に光学材料層を設ける工程を更に含み、前記光学材料層が、前記導光体基板の材料に屈折率整合され、前記ユニバーサル格子が、前記光学材料層上に形成されている、請求項8に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記ユニバーサル格子の一部分を選択する工程が、
フォトレジストを塗布して前記ユニバーサル格子を覆う工程と、
コリメート光源を使用して前記フォトレジストを露光し、前記反射島部が位置する側とは反対側の前記導光体基板の側から前記フォトレジストを照射する工程であって、前記フォトレジストが、ポジ型フォトレジストであり、前記反射島部が、前記フォトレジストが現像された後に残存する前記フォトレジストの一部分を画定するためのフォトマスクとして機能する、工程と、を含み、
前記ユニバーサル格子の一部分を選択して前記格子要素を画定する工程が、残存する前記フォトレジストによって覆われていない前記ユニバーサル格子の露出部分を除去する工程を含む、請求項8に記載の回折バックライトを製造する方法。 - 前記ユニバーサル格子の前記露出部分を除去する工程が、前記露出部分をエッチングして、前記フォトレジストによって覆われていない前記ユニバーサル格子の材料を除去する工程を含む、請求項10に記載の回折バックライトを製造する方法。
- ネガ型フォトレジストを塗布して前記反射島部及び前記格子要素を覆う工程と、
コリメート光源を使用して前記ネガ型フォトレジストを露光して、前記ネガ型フォトレジストを照射し、前記格子要素の上方の前記フォトレジストに開口部を画定する工程と、
前記フォトレジスト内の前記開口部を通して前記格子要素に反射材料を堆積する工程と、を更に含み、
前記反射材料が、前記格子要素のみを覆う、請求項10に記載の回折バックライトを製造する方法。 - 前記導光体基板上に光学材料層を堆積する工程を更に含み、前記光学材料層が、前記格子要素、前記反射島部、及び前記格子要素を覆う前記反射材料を埋め込んでおり、前記ユニバーサル格子の前記露出部分を除去する工程は、前記露出部分が前記光学材料層によって覆われていることを含む、請求項12に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 回折バックライトを製造する方法であって、前記方法が、
導光体の表面上に反射島部を形成する工程であって、前記反射島部が、金属、金属ポリマー、及び高屈折率誘電体のうちの1又はそれ以上を含む、工程と、
前記導光体上に光学材料層を堆積して、前記反射島部を覆う工程であって、前記光学材料が、前記導光体の材料に屈折率整合されている、工程と、
ナノインプリントリソグラフィを使用して、前記光学材料層上にユニバーサル格子を形成する工程と、
前記反射島部を使用して前記ユニバーサル格子の一部分を選択し、格子要素を画定する工程と、を含み、
前記回折バックライトの反射回折格子要素が、前記格子要素と前記反射島部との組み合わせを含む、方法。 - 前記ユニバーサル格子の一部分を選択する工程が、
フォトレジストを塗布して前記ユニバーサル格子を覆う工程と、
コリメート光源を使用して前記フォトレジストを露光し、前記反射島部が位置する側とは反対側の前記導光体の側から前記フォトレジストを照射する工程であって、前記反射島部が、前記フォトレジストが現像された後に残存する前記フォトレジストの一部分を画定するためのフォトマスクとして機能する、工程と、を含み、
前記ユニバーサル格子の一部分を選択して前記格子要素を画定する工程が、残存する前記フォトレジストによって覆われていない前記ユニバーサル格子の露出部分をエッチングする工程、および前記ユニバーサル格子の前記露出部分を前記光学材料の層で覆う工程のうちの1つを含む、請求項14に記載の回折バックライトを製造する方法。 - 前記格子要素上に反射材料層を堆積する工程と、前記堆積された反射材料層を前記光学材料の層で更に覆う工程と、を更に含む、請求項15に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 回折バックライトを製造する方法であって、前記方法が、
ナノインプリントモールドを使用してユニバーサル格子をナノインプリントすることによって、導光体の表面に前記ユニバーサル格子を形成する工程と、
前記ユニバーサル格子上に反射島部を形成する工程と、
前記反射島部を使用して前記ユニバーサル格子の一部分を選択し、格子要素を画定する工程と、を含み、
前記回折バックライトの反射回折格子要素が、前記格子要素と前記反射島部との組み合わせを含む、方法。 - 前記反射島部を使用して前記ユニバーサル格子の一部分を選択し、格子要素を画定する工程が、前記反射島部によって覆われていない前記ユニバーサル格子の露出部分をエッチングすることによって、前記露出部分を除去する工程、および前記ユニバーサル格子及び前記反射島部を光学材料層で覆う工程のうちの1つを含み、前記光学材料層が、前記ユニバーサル格子に屈折率整合されている、請求項17に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記ユニバーサル格子が、前記ユニバーサル格子内に開口部を含み、前記方法が、前記開口部内に反射材料の層を堆積して、前記反射回折格子要素内に含まれない反射島部を設ける工程を更に含む、請求項17に記載の回折バックライトを製造する方法。
- 前記ユニバーサル格子上に前記反射島部を形成する工程が、反射材料の層をパターニングして前記反射島部を画定する工程を含み、前記反射材料の層が、金属、金属ポリマー、及び高屈折率誘電体のうちの1又はそれ以上を含む、請求項17に記載の回折バックライトを製造する方法。
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