JP7320979B2 - チタン部材の製造方法 - Google Patents
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Description
[実施形態1]
実施形態1のチタン部材の製造方法は、ブラスト処理工程、第一加熱工程および第二加熱工程を含む。実施形態1の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有するチタン部材が得られる。
実施形態2のチタン部材の製造方法は、第一加熱工程および第二加熱工程を含む。また、窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程を含む。実施形態2の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有するチタン部材が得られる。また、得られるチタン部材は、チタン本来の色みを呈し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい。得られるチタン部材の詳細については、実施形態1での説明と同様である。
実施形態3のチタン部材の製造方法は、第一加熱工程、第二加熱工程および第二保持工程を含む。また、窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程を含む。実施形態3の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有するチタン部材が得られる。また、得られるチタン部材は、チタン本来の色みを呈し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい。得られるチタン部材の詳細については、実施形態1での説明と同様である。
実施形態4のチタン部材の製造方法は、さらに、実施形態1~3の製造方法で得られたチタン部材の上に、機能性層を形成する機能性層形成工程を含む。すなわち、実施形態4のチタン部材の製造方法は、純チタンまたはチタン合金を含むチタン部材と、該チタン部材の上に設けられた機能性層とを含む機能性チタン部材を製造する方法である。実施形態4の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有し、ビッカース硬さがHV240以上、好ましくはHV500以上である機能性チタン部材が得られる。機能性チタン部材に含まれるチタン部材の詳細、すなわち凹凸模様、色み、およびビッカース硬さなどの詳細については、実施形態1での説明と同様である。また、機能性チタン部材が有する凹凸模様の詳細についても、実施形態1での説明と同様である。
実施形態のチタン部材は、純チタンまたはチタン合金を含むチタン部材であって、表面に凹凸模様を有し、チタン本来の色みを呈し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい。凹凸模様、色み、およびビッカース硬さの詳細については、実施形態1のチタン部材の製造方法での説明と同様である。実施形態のチタン部材は、上述した製造方法によって得られる。
[1] 純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材を、減圧下で、室温から835℃以上935℃以下の温度T1まで昇温させて加熱する第一加熱工程と、上記第一加熱工程を経た上記チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る第二加熱工程と、窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程とを含み、上記チタン部材は、表面に凹凸模様を有し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい、チタン部材の製造方法。
[2] さらに、上記第一加熱工程を経た上記チタン部材を、減圧下で、温度T1で30分以上3時間以下の時間KT1の間保持する第一保持工程を含み、上記第二加熱工程は、上記第一保持工程を経た上記チタン部材を加熱し、チタン部材を得る工程である、[1]に記載のチタン部材の製造方法。
[3] さらに、上記第二加熱工程を経た上記チタン部材を、減圧下で、温度T2で30分以上6時間以下の時間KT2の間保持する第二保持工程を含む、[1]または[2]に記載のチタン部材の製造方法。
[4] 上記窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程が、上記第二加熱工程よる加熱とともに、時間HT2の内、30分以上8時間以下の間、6.7Pa以上67Pa以下となるように、窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程である、[1]から[3]のうちいずれか一つに記載のチタン部材の製造方法。
[5] 上記窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程が、上記第二保持工程よる保持とともに、時間KT2の内、10分以上5時間以下の間、6.7Pa以上67Pa以下となるように、窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程である、[3]に記載のチタン部材の製造方法。
[6] さらに、純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材に対して、ブラスト処理を行い、ブラスト処理済チタン部材を得るブラスト処理工程を含む、[1]から[5]のうちいずれか一つに記載のチタン部材の製造方法。
[7] さらに、上記チタン部材の上に、機能性層を形成する機能性層形成工程を含む、[1]から[6]のうちいずれか一つに記載のチタン部材の製造方法。
<分析方法および評価方法>
(純チタン板材の硬度測定)
純チタン板材の硬度測定は、微小押込み硬さ試験機(FISCHER製、H100)を用いて荷重5mNで行った。
(チタン部材の硬度測定)
チタン部材の硬度測定は、微小押込み硬さ試験機(FISCHER製、H100)を用いて行った。
ブラスト処理あるいは窒素ガスまたは水蒸気の導入を実施すると、表面の状態が著しく変化し、表面からの硬度測定結果に影響を及ぼす。このため、すべて集束イオンビーム(Focused Ion Beam:FIB)装置を用いて表面と垂直に切断を行い、切断面を研磨して測定を行った。表面近傍の硬度測定は、加重を5mNで最表面から深さ方向に10μm±5μmの位置で、水平方向に100μm以上の間隔をあけて測定した。測定は12点実施し、その平均を試料の硬度とした。
硬質膜の硬度測定は、微小押込み硬さ試験機(FISCHER製、H100)を用いて荷重5mNで行った。硬質膜の硬度測定は、成膜時に同梱したSiウエハーにて実施した。
結晶の配向性測定には、株式会社リガク製のAmartlabを使用して行った。測定条件は以下の条件で行った。
全体定性分析条件 X線出力:40kV、30mA、スキャン軸:2θ/θ、スキャン範囲:5°~120°、0.02ステップ、ソーラースリット:5deg、長手制限スリット:15mm
微小部定性分析条件 X線出力:40kV、30mA、スキャン軸:2θ/θ、スキャン範囲:5°~120°、0.02ステップ、ソーラースリット:2.5deg、長手制限スリット:15mm
・RGB測定
結晶の表面観察には、株式会社キーエンス製VHX-5000マイクロスコープを用いた。測定は白色光リング照明の落射方式を用いて、明るさ70、ゲイン30、倍率は20倍にて実施した。色調測定は同装置のRGB測定により実施した。マイクロスコープ上で異なった色調に見える結晶粒子について、異なる色調ごとに、RGB測定を8点以上測定し、R、G、Bそれぞれの平均値を算出した。異なる色調ごとに、R、G、Bの平均値の最大値からR、G、Bの平均値の最小値を減じた値を色味の判定に使用した。たとえば、ある色調において、Rの平均値が100、Gの平均値が100、Bの平均値が120の場合、120-100=20となる。
・色調判定
R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値が10以下の場合、青やピンクのような色調はないと判定した。つまり白色やグレー色、黒色(無彩色)であり、螺鈿細工のような色味にならずチタン本来の金属色になることが確認できる。
・凹凸模様判定
異なる色調ごとに、R、G、Bの平均値から、以下の計算式を用いて輝度L*を算出した。異なって見える色調のL*の差が50以上である場合は、結晶模様(凹凸模様)が存在することに対応するといえる。結晶模様が存在しており、これが視認できるならば、少なくとも見え方(輝度)が異なるためである。
L*=0.299×R+0.587×G+0.114×B (輝度最大値:255)
作製したチタン部材および機能性チタン部材の複合硬度Hcを算出した。具体的には、複合硬度Hcは下記の計算式(1)を用いて算出した。
耐傷性試験は、以下のように行った。アルミナ粒子が均一に分散した磨耗紙を試験サンプルに一定加重で接触させ、一定回数擦ることで傷を発生させた。傷がついた試験サンプルの表面を、キズの方向と垂直方向にスキャンして表面粗さを測定し、二乗平均粗さを求めた。この二乗平均粗さから耐傷性を評価した。なお、傷の発生量が多いほど、傷の深さが深いほど二乗平均粗さの数値が大きくなり、逆に傷の発生量が少ないほど、傷の深さが浅いほど二乗平均粗さの数値が小さくなる。このことから、耐傷性を数値的に評価できる。
膜厚測定では、マスクを施したSiウエハーを基材とともに成膜装置内に導入し、成膜後にマスクを除去して、マスクされていた部分とマスクされていない部分での段差を測定した。
図3は、参考例1の機能性チタン部材10の構造を示す断面模式図である。参考例1では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材11を得た。このチタン部材11上に、TiCからなる硬化層(機能性層)12を形成し、機能性チタン部材10を得た。なお、図3では、チタン部材11表面および硬化層12表面の凹凸模様は省略している。図3以外の断面模式図においても同様である。
図9は、比較例1の機能性チタン部材20の構造を示す断面模式図である。比較例1では、JIS規定の純チタンに真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材21を得た。このチタン部材21上に、TiCからなる硬化層(機能性層)22を形成し、機能性チタン部材20を得た。
図12は、参考例2の機能性チタン部材30の構造を示す断面模式図である。参考例2では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材31を得た。このチタン部材31上に、DLCからなる硬化層(機能性層)32を形成し、機能性チタン部材30を得た。なお、DLCからなる硬化層32は、硬化とともに着色の機能を有する。
図17は、参考例3の機能性チタン部材40の構造を示す断面模式図である。参考例3では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材41を得た。このチタン部材41上に、TiCからなる硬化層(機能性層)42を形成し、機能性チタン部材40を得た。
図21は、参考例4の機能性チタン部材50の構造を示す断面模式図である。参考例4では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材51を得た。このチタン部材51上に、TiCからなる硬化層(機能性層)52を形成し、機能性チタン部材50を得た。
参考例1~4では、チタン基材にブラスト処理を施して硬度を上昇させ、結晶模様を作製する場合について述べた。実施例5、6では、ブラスト処理を施さずに硬度を上昇させ、結晶模様を付与する場合について示す。
図28は、実施例6の機能性チタン部材70の構造を示す断面模式図である。実施例6では、JIS規定の純チタンに、窒素を導入しながら真空熱処理を施し、結晶模様を析出させたチタン部材71を得た。このチタン部材71上に、TiCからなる硬化層(機能性層)72を形成し、機能性チタン部材70を得た。
11、21、31、41、51、61、71 チタン部材
12、22、32、42、52、62、72 硬化層
Claims (6)
- 純チタンを含む原料チタン部材を、減圧下で、室温から835℃以上935℃以下の温度T1まで昇温させて加熱する第一加熱工程と、
前記第一加熱工程を経た前記チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る第二加熱工程と、
窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程とを含み、
前記窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程が、前記第二加熱工程による加熱とともに、時間HT2の内、30分以上8時間以下の間、6.7Pa以上67Pa以下となるように、窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程であり、
前記チタン部材は、表面に凹凸模様を有し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい、
チタン部材の製造方法。 - さらに、前記第一加熱工程を経た前記チタン部材を、減圧下で、温度T1で30分以上3時間以下の時間KT1の間保持する第一保持工程を含み、
前記第二加熱工程は、前記第一保持工程を経た前記チタン部材を加熱し、チタン部材を得る工程である、
請求項1に記載のチタン部材の製造方法。 - さらに、前記第二加熱工程を経た前記チタン部材を、減圧下で、温度T2で30分以上6時間以下の時間KT2の間保持する第二保持工程を含む、
請求項1または2に記載のチタン部材の製造方法。 - 純チタンを含む原料チタン部材を、減圧下で、室温から835℃以上935℃以下の温度T1まで昇温させて加熱する第一加熱工程と、
前記第一加熱工程を経た前記チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る第二加熱工程と、
窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程とを含み、
さらに、前記第二加熱工程を経た前記チタン部材を、減圧下で、温度T2で30分以上6時間以下の時間KT2の間保持する第二保持工程を含み、
前記窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程が、前記第二保持工程による保持とともに、時間KT2の内、10分以上5時間以下の間、6.7Pa以上67Pa以下となるように、窒素ガスまたは水蒸気を導入する工程であり、
前記チタン部材は、表面に凹凸模様を有し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい、
チタン部材の製造方法。 - さらに、純チタンを含む原料チタン部材に対して、ブラスト処理を行い、ブラスト処理済チタン部材を得るブラスト処理工程を含む、
請求項1から4のうちいずれか一項に記載のチタン部材の製造方法。 - さらに、前記チタン部材の上に、機能性層を形成する機能性層形成工程を含む、
請求項1から5のうちいずれか一項に記載のチタン部材の製造方法。
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