JP7320047B2 - オゾン発生器 - Google Patents

Description

本発明は、オゾン発生器に関する。

特許文献１に開示されるオゾン発生器では、オゾンセンサが筐体内部（流路内）に収容されている。このオゾンセンサは、吸気口から排気口へと向かう直線状の流路内に配置されている。

特開平５－４９８３１号公報

特許文献１に開示されるオゾン発生器では、オゾンセンサが強い気流の生じ易い位置に配置されている。そのため、オゾンセンサは、強い気流に晒されてオゾン濃度の測定において気流の影響を受け易くなってしまう。

本発明は、オゾンセンサにおける気流の影響を抑制し得るオゾン発生器を提供する。

［１］本発明のオゾン発生体は、吸気口から排気口へ気体を流す流路と、流路内に配置されるオゾン発生体と、オゾン発生体よりも流路の上流側において流路内に配置されるオゾンセンサと、を備え、流路は、オゾン発生体よりも上流側の気体通過空間を構成するとともに所定方向一方側から他方側に気体を流す上流側流路を有し、吸気口は、オゾンセンサよりも上流側流路の外周部側に設けられている。

このような構成によって、所定方向一方側から他方側に気体を流す上流側流路において、吸気口がオゾンセンサよりも外周部側に設けられるため、吸気口から所定方向他方側に向かう気流が中央側にあるオゾンセンサに向かいにくくなる。そのため、オゾンセンサにおける気流の影響を抑制することができる。

［２］上記吸気口よりも上流側流路の中央側にフィルタが設けられることが好ましい。オゾンセンサは、フィルタよりも上流側流路の中央側に設けられていることが好ましい。

このような構成によって、気体がフィルタを通過することによって気流が弱められるため、オゾンセンサにおける気流の影響をより一層抑制することができる。

［３］上記吸気口及びオゾンセンサの下流側において、排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられることが好ましい。オゾンセンサは、ファンの回転軸方向から見て、ファンと重なっていることが好ましい。

このような構成によって、吸気口からファンに向かう方向は、オゾンセンサとファンが重なる回転軸方向とは異なる方向となるため、吸気口からファンに向かう気流がオゾンセンサ側に向かいにくくなり、オゾンセンサにおける気流の影響をより一層抑制することができる。

［４］上記ファンは、ロータと、ロータから径方向に突出する羽根部と、を有していることが好ましい。オゾンセンサは、回転軸方向から見て、ロータの中心からロータの径の１．２倍以内となる範囲内に配置されていることが好ましい。

このような構成によって、気体の流れが生じにくい位置（回転軸方向においてファンのロータと重なる位置）を避けてオゾンセンサを配置し易くなり、オゾンセンサにおける気流の影響をより一層抑制することができる。

［５］上記吸気口及びオゾンセンサの下流側において、排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられていることが好ましい。オゾンセンサの検知面は、吸気口とファンとの間におけるファンの回転軸方向の長さの中心より吸気口側に位置することが好ましい。

このような構成によって、オゾンセンサの検知面を、吸気口とファンとの間に生じる気流から遠ざけ易くなる。そのため、オゾンセンサが気流の影響をより一層受けにくくなる。

［６］上記吸気口及びオゾンセンサの下流側において、排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられていることが好ましい。オゾンセンサの検知面は、ファンの回転軸方向において吸気口よりもファン側に位置することが好ましい。

このような構成によって、オゾンセンサをオゾン発生器の内側（下流側）に収め易くなり、オゾン発生器のサイズを低減し易くなる。

［７］上記吸気口及びオゾンセンサの下流側において、排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられていることが好ましい。流路は、外周部よりも径の小さな小径流路を有していることが好ましい。ファンは、小径流路内に配置されていることが好ましい。

このような構成によって、比較的狭い小径流路でファンが強い気流を生じさせる一方で、そのファンよりも上流側にオゾンセンサが配置されるため、オゾンセンサが強い気流の影響を受けにくくなる。

［８］上記外周部の周方向に沿って環状に配列される複数の吸気口が設けられていることが好ましい。

このような構成によって、気体の吸気量を十分に確保しつつ、複数の吸気口から入り込むいずれの気体の流れに対してもオゾンセンサが影響を受けにくい構成とすることができる。

［９］上記オゾンセンサは、電気化学式ガスセンサであることが好ましい。

このような構成によって、オゾンガスの濃度に応じて流れる電流に基づいた測定を行うことができる。特に、電気化学式ガスセンサは、検知面が気流にさらされることによって検知結果が気流の影響を受けやすい。そのため、電気化学式ガスセンサを用いる構成に本開示のオゾン発生器の構成を適用することで、オゾンセンサにおける気流の影響を抑制する効果が、より効果的に奏される。

［１０］上記オゾンセンサは、対象気体に含まれるオゾンガスの濃度を検知するガスセンサであって、電気化学方式によりガスの濃度を検知する第１検知素子と、電気化学方式によりガスの濃度を検知する第２検知素子と、第１検知素子を格納する内部空間が自身の内部に構成される第１格納部と、第１格納部の外側の流路と内部空間との間に設けられる第１導入口と、第１導入口に設けられ、流路から内部空間へのオゾンガスの透過を実質的に遮断する透湿膜と、を備え、第２検知素子は、対象気体に含まれる水蒸気及びオゾンガスが入り込む流路に配置されていることが好ましい。

このような構成によって、オゾンセンサにおいて、第１検知素子が、対象気体からオゾンガスを実質的に除いた状態でオゾンガスの濃度を検知するため、水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価することができる。一方、第２検知素子は、水蒸気とオゾンガスとを含んだ成分を対象として濃度を検知することができる。これにより、オゾンセンサは、第１検知素子による検知結果（水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価した結果）を、第２検知素子によるオゾンガスの濃度検知に利用することができるため、オゾンガスの濃度を正確に検知する上で有利である。

［１１］上記透湿膜は、上記流路から上記内部空間への水蒸気の透過を許容し、上記流路から上記内部空間への上記オゾンガスの透過を実質的に遮断する水蒸気透過フィルタである。

上記オゾンセンサは、上記流路から上記内部空間への水蒸気の透過を許容し、上記流路から上記内部空間へのオゾンガスの透過を実質的に遮断する機能を、水蒸気透過フィルタによって実現できる。

本発明によれば、オゾンセンサにおける気流の影響を抑制できる。

図１は、オゾン発生器の斜視図である。 図２は、オゾン発生器の断面の斜視図である。 図３は、図２とは異なる切断面におけるオゾン発生器の断面図である。 図４は、オゾン発生体の斜視図である。 図５は、オゾン発生体を短手方向から見た図である。 図６は、オゾン発生体を並び方向から見た図である。 図７は、オゾン発生体の分解斜視図である。 図８は、オゾン発生体のホルダを取り付ける前の状態を示す斜視図である。 図９は、図６のＡ－Ａ線断面図である。 図１０は、オゾン発生体が保持部に保持された状態を示す斜視図である。 図１１は、オゾン発生器の電気的構成を示すブロック図である。 図１２は、流路構成部、フィルタフレーム、フィルタ、及び吸気部の分解斜視図である。 図１３は、図２と同様の断面において、流路内の詳細構成を説明する断面図である。 図１４は、オゾンセンサの素子部を例示する断面概略図である。 図１５は、オゾンセンサの電気的構成を簡略的に示す回路図である。

１．第１実施形態
１－１．オゾン発生器１００の構成
図１に示すオゾン発生器１００は、外部の空気（酸素を含む空気）を吸い込み、誘電体バリア放電により空気中の酸素からオゾンを発生させ、外部に排出させる装置である。オゾン発生器１００は、図２及び図３に示すように、気体の流路１と、ファン２と、オゾン発生体３と、オゾンセンサ４と、を有する。

流路１は、吸気口５と、排気口６と、を有する。吸気口５は、オゾン発生器１００の外部の気体（例えば空気）を流路１内に取り込む。排気口６は、流路１内の気体を、オゾン発生器１００の外部に排出する。流路１は、吸気口５から吸い込んだ気体を排気口６から排出させる。

流路１は、所定のＺ方向（本実施形態では上下方向）に沿って延びている。吸気口５は、Ｚ方向の一端側（本実施形態では下端側）に配置され、Ｚ方向の一端側（本実施形態では下方）に開口している。吸気口５の吸気方向は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）である。排気口６は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上端側）に配置され、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）に開口している。排気口６の排気方向は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）である。

吸気口５は、Ｚ方向を軸方向とした環状（具体的には円環状）に沿って配置されている。排気口６は、吸気口５が配置される環状部分よりも内側に配置されている。排気口６は、円形状に配置されている。

流路１は、誘導流路７と、排気側流路８と、吸気側流路９と、を有する。吸気側流路９は、吸気口５から排気口６側に延びている。吸気側流路９は、吸気口５からＺ方向の他端側（本実施形態では上方）に延びており、吸気口５から吸い込まれた気体をＺ方向の他端側（本実施形態では上方）に誘導する。誘導流路７は、吸気側流路９の下流側の端部に連なり、環状に沿って配置された吸気口５から吸い込まれた気体を、吸気口５の内周よりも内側に誘導する。排気側流路８は、誘導流路７の下流側の端部から排気口６側に向けてＺ方向の他端側（本実施形態では上方）に延びている。排気側流路８の下流側の端部は、排気口６につながっている。排気側流路８は、誘導流路７によって内側に誘導された気体を排気口６側（本実施形態では上方）に誘導し、排気口６から排出させる。

ファン２は、流路１に気流（具体的には旋回流）を生成する装置であり、本実施形態では軸流ファンである。ファン２は、流路１の吸気口５側から排気口６側に向けて気体を送り込む送風動作を行う。ファン２は、ロータ２Ａと、ロータ２Ａから径方向外側に突出する羽根部２Ｂと、モータ（図示略）を有する。ファン２は、電力が供給されることでモータが駆動し、送風動作を行う。ファン２は、流路１（具体的には排気側流路８）に設けられる。ファン２は、ファン２の軸方向をＺ方向に向けた状態で配置される。ファン２は、Ｚ方向を軸方向として回転する。ファン２は、後述する吸気口５及びオゾンセンサ４の下流側に設けられている。

オゾン発生体３は、交流電圧が印加されることによって誘電体バリア放電を生じさせ、吸気口５から吸い込まれた空気中の酸素を原料として流路１にオゾンを発生させるものである。オゾン発生体３は、流路１内に配置されている。オゾン発生体３は、図４から図７に示すように、第１電極１０と、第２電極３０と、第１誘電体１１と、第２誘電体３１と、第１端子１２と、第２端子３２と、支持部５０と、を有する。

第１電極１０及び第２電極３０は、金属製であり、本実施形態ではタングステン（Ｗ）を材料として形成される。なお、第１電極１０及び第２電極３０は、タングステンに限らず、例えばモリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）などを材料として形成されてもよい。第１電極１０及び第２電極３０は、薄い金属層として構成され、所定方向に長い形態をなしている。第１電極１０及び第２電極３０（金属層）の厚さは、密着強度を確保する観点から１０μｍ以上であることが望ましく、厚過ぎることによる剥がれを抑制する観点から５０μｍ以下とすることが望ましい。第１電極１０及び第２電極３０の幅と長さは、必要なオゾン発生量に応じて任意に設定される。第１電極１０及び第２電極３０の幅ＷＥ（図６参照）は、１ｍｍとする。第１電極１０及び第２電極３０の長さは、第１電極１０と第２電極３０との間に支持部５０が存在しない部分の長さＬＥ（図５参照）を基準に設定される。長さＬＥは、１０ｍｍとする。

第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、本実施形態ではアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を材料として形成される。なお、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、アルミナに限らず、ガラス（ＳｉＯ２）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）等の別のセラミックやそれらの混合物を材料として形成されてもよい。第１誘電体１１は、第１電極１０を覆い、第２誘電体３１は、第２電極３０を覆う。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ板状をなしている。

第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向に並んで配置される。つまり、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向に対向する。第１誘電体１１と第２誘電体３１との間には、放電空間ＤＳが形成される。互いに対向する面は、それぞれ平坦な面であり、矩形状をなす。互いに対向する面のうち一方の面は、他方の面に沿って延びる。互いに対向する面のうち一方の面は、他方の面に対して平行であってもよいし、平行でなくてもよい。第１電極１０及び第２電極３０の厚さ方向は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向と同じである。第１誘電体１１及び第２誘電体３１の並び方向を、以下では「並び方向」という。

第１電極１０は、並び方向において、第１誘電体１１内の第２電極３０側に寄った位置に配置される。第２電極３０は、並び方向において、第２誘電体３１内の第１電極１０側に寄った位置に配置される。第１電極１０及び第２電極３０は、薄く形成された誘電体層の上面に印刷等により配置される。その上に、更に厚めの誘電体層を形成することで第１電極１０を覆う第１誘電体１１及び第２電極３０を覆う第２誘電体３１が製造される。

第１誘電体１１のうち第１電極１０よりも放電空間ＤＳ側の厚さ（第１電極１０の放電空間ＤＳ側の面と第１誘電体１１の放電空間ＤＳ側の面との距離）をＤ１とする（図５参照）。第２誘電体３１のうち第２電極３０よりも放電空間ＤＳ側の厚さ（第２電極３０の放電空間ＤＳ側の面と第２誘電体３１の放電空間ＤＳ側の面との距離）をＤ２とする（図５参照）。この場合、Ｄ１＋Ｄ２の最小値は、下記式（１）によって求められる。
（Ｄ１＋Ｄ２の最小値）＝（オゾン発生体３に印加する電圧［ｋＶ］）／（第１誘電体１１及び第２誘電体３１の材料の耐電圧（ｋＶ／ｍｍ）・・・式（１）
アルミナの耐電圧は１５ｋＶ／ｍｍであり、高圧の交流電圧のピーク値を４．５ｋＶとすると、Ｄ１＋Ｄ２の最小値は、０．３ｍｍとなる。
他方、Ｄ１，Ｄ２が厚過ぎると、第１誘電体１１及び第２誘電体３１での損失が大きくなり、電力効率が低下する。このため、Ｄ１＋Ｄ２の最大値は、Ｄ１＋Ｄ２の最小値の２倍程度となる。具体的には、Ｄ１＋Ｄ２は、０．３ｍｍ以上且つ０．６ｍｍ以下であることが好ましい。つまり、Ｄ１，Ｄ２は、それぞれ０．１５ｍｍ以上且つ０．３ｍｍ以下であることが好ましい。本実施形態では、製造の容易さを考慮して、Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ０．１５ｍｍとしている。

第１電極１０及び第２電極３０の延び方向（長手方向）は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長手方向（以下、単に「長手方向」という）と同じである。長手方向は、「第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向」の一例に相当する。なお、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の短手方向は、以下では、単に「短手方向」という。

第１誘電体１１は、第１誘電体本体１３と、第１張出部１４と、第１凹部１５と、を有する。第１誘電体本体１３は、板状をなし、直方体形状をなす。第１誘電体本体１３は、第１電極１０を覆う。第１張出部１４は、長さ方向の一端側において、第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）に張り出した形態をなしている。第１張出部１４は、第１誘電体１１における短手方向全領域にわたって形成されている。第１張出部１４は、第１誘電体１１の長さ方向の一端まで形成されている。第１凹部１５は、第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面において、長さ方向の一端側に形成されている。第１凹部１５は、第１張出部１４を凹ませた形態をなしている。第１凹部１５は、第１誘電体１１の長さ方向の一端に開口している。

第２誘電体３１は、第２誘電体本体３３と、第２張出部３４と、第２凹部３５と、を有する。第２誘電体本体３３は、板状をなし、直方体形状をなす。第２誘電体本体３３は、第２電極３０を覆う。第２誘電体本体３３は、第１誘電体本体１３と対向し、第１誘電体本体１３との間に放電空間ＤＳを形成する。第２張出部３４は、長さ方向の一端側において、第２誘電体３１の外側（第１誘電体１１側とは反対側）に張り出した形態をなしている。第２張出部３４は、第２誘電体３１における短手方向全領域にわたって形成されている。第２張出部３４は、第２誘電体３１の長さ方向の一端まで形成されている。第２凹部３５は、第２誘電体３１の外側（第１誘電体１１側とは反対側）の面において、長さ方向の一端側に形成されている。第２凹部３５は、第２張出部３４を凹ませた形態をなしている。第２凹部３５は、第２誘電体３１の長さ方向の一端に開口している。

第１誘電体１１（具体的には第１誘電体本体１３）と第２誘電体３１（具体的には第２誘電体本体３３）との距離である誘電体間ギャップＧＣ（図５参照）は、空気の耐電圧が３．０ｋＶ／ｍｍ程度であることを考慮すると、オゾン発生体３に印加する交流電圧のピーク値を４．５ｋＶとする場合、放電させるためには１．５ｍｍ未満とする必要がある。しかし、放電時間を長くし安定した放電を維持するためには、その３分の１以下、つまり０．５ｍｍ以下にすることが好ましい。他方、誘電体間ギャップＧＣが小さくなりすぎると、供給される空気が不足し、オゾン発生量が低下する。このため、誘電体間ギャップＧＣは、０．２ｍｍ以上であることが好ましい。例えば、誘電体間ギャップＧＣは、０．３７ｍｍであることが好ましい。なお、誘電体間ギャップＧＣは、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の互いの対向面が平行でない場合、第１電極１０及び第２電極３０の先端（長さ方向の他端）の位置を基準とする。

第１電極１０及び第２電極３０は、互いに同一の大きさで且つ同一形状をなしており、面対称となる位置関係で配置される。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、互いに同一の大きさで且つ同一形状をなしており、面対称となる位置関係で配置される。

第１端子１２及び第２端子３２は、それぞれ金属製であり、板状をなす。第１端子１２は、第１凹部１５に配置され、第２端子３２は、第２凹部３５に配置される。第１端子１２は、第１電極１０に電気的に接続され、第２端子３２は、第２電極３０に電気的に接続される。第１端子１２及び第２端子３２は、それぞれ短手方向から見てＬ字型をなす。

第１端子１２は、第１接続部２１と、第１突出部２２と、第３接続部２３と、を有する。第１接続部２１は、図５及び図６に示すように、第１誘電体１１に設けられた第１導電部２４を介して第１電極１０に電気的に接続される。第１導電部２４は、本実施形態では、第１誘電体１１に形成されるビアである。第１導電部２４は、第１電極１０から第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面まで延びている。第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面には、第１導電部２４が露出しており、第１導電部２４の露出部分にランドが形成される。このランドに対して、第１接続部２１がロウ付けされる。これにより、第１端子１２が第１電極１０に電気的に接続される。第１突出部２２は、第１接続部２１の一端に連なり、第１誘電体１１の端部よりも一端側に突出している。第３接続部２３は、第１突出部２２の先端（一端側の端部）から屈曲して並び方向に延びている。

第２端子３２は、第２接続部４１と、第２突出部４２と、第４接続部４３と、を有する。第２接続部４１は、第２誘電体３１に設けられる第２導電部４４を介して第２電極３０に電気的に接続される。第２導電部４４は、本実施形態では、第２誘電体３１に形成されるビアである。第２接続部４１は、上述した第１接続部２１と第１電極１０との接続と同様に、第２電極３０に接続される。第２突出部４２は、第２接続部４１の一端に連なり、第２誘電体３１の端部よりも一端側に突出している。第４接続部４３は、第２突出部４２の先端（一端側の端部）から屈曲して並び方向に延びている。第３接続部２３及び第４接続部４３は、互いに反対方向に延びている。

支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を支持する。支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を長さ方向の一端側で片持ち支持する。つまり、支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を同じ側で片持ち支持する。支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のいずれよりもヤング率が低い。支持部５０は、樹脂（例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）、ＡＢＳ、ＰＶＣ、ＰＰなど）を材料として形成される。ＰＣなどの樹脂材料のヤング率は、１から２．５ＧＰａ程度であり、アルミナのヤング率２８０ＧＰａと比較して非常に小さい。このため、アルミナで形成される第１誘電体１１及び第２誘電体３１の振動を、支持部５０によって吸収しやすい。支持部５０は、スペーサ５１と、ホルダ５２と、を有する。

スペーサ５１は、長さ方向の一端側において第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置され、長さ方向の他端側において第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に放電空間ＤＳを形成させる。スペーサ５１は、板状をなしている。スペーサ５１は、厚さ方向を、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の並び方向に向けて配置される。スペーサ５１は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置されるスペーサ部５３と、スペーサ部５３から長さ方向の一端側に延びて第１突出部２２と第２突出部４２との間に配置される延設部５４と、を有する。

スペーサ部５３は、板状をなす。スペーサ部５３は、短手方向において、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の範囲内に収まる。スペーサ部５３の長さ方向の一端は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長さ方向の一端よりも他端側に配置され、スペーサ部５３の長さ方向の他端は、第１張出部１４及び第２張出部３４の他端よりも一端側に配置される。

延設部５４は、板状をなす。延設部５４は、スペーサ部５３よりも厚さが小さい。なお、延設部５４は、スペーサ部５３よりも厚さが小さくなくてもよく、例えばスペーサ部５３と同じ厚さであってもよい。延設部５４は、短手方向において、第１端子１２及び第２端子３２の両側の端部よりも外側まで延びている。延設部５４は、長手方向において、第１端子１２及び第２端子３２の一端側の端部よりも一端側に延びている。

オゾン発生体３は、スペーサ５１に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を接着させる両面テープ５５を有する。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ両面テープ５５によってスペーサ５１のスペーサ部５３に接着される。

ホルダ５２は、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持する部材である。ホルダ５２は、環状（具体的には角筒状）をなしており、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲むように配置される。なお、ホルダ５２は、円環状であってもよいし、円環状以外であってもよい。ホルダ５２は、ホルダ本体５６と、係止部５７と、第１切欠部５８と、第２切欠部５９と、を有する。

ホルダ本体５６は、環状（具体的には角筒状）をなしている。なお、ホルダ本体５６は、円環状であってもよいし、円環状以外であってもよい。ホルダ本体５６は、並び方向の両側に配置される一対の第１壁部５６Ａと、短手方向の両側に配置される一対の第２壁部５６Ｂと、を有する。

係止部５７は、ホルダ本体５６における長さ方向の他端側の内面から内側に突出する形態をなしている。係止部５７は、一対の第１壁部５６Ａの内面からそれぞれ突出している。係止部５７は、第１壁部５６Ａにおける短手方向全領域にわたって形成されている。

第１切欠部５８は、第１端子１２及び第２端子３２を露出させるように切り欠いた形態をなしている。第１切欠部５８は、一対の第１壁部５６Ａにおける長さ方向の一端側の端部を切り欠いた形態をなしている。

第２切欠部５９は、放電空間ＤＳを露出させるように切り欠いた形態をなしている。第２切欠部５９は、一対の第２壁部５６Ｂにおける長さ方向の他端側の端部を切り欠いた形態をなしている。第２切欠部５９の長さ方向の一端は、第１切欠部５８の長さ方向の他端よりも他端側に配置されている。第２切欠部５９の幅（並び方向の間隔）は、誘電体間ギャップＧＣよりも大きいことが好ましい。

ホルダ５２は、図８に示すように、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１に対し、長さ方向の他端側から挿し通される。ホルダ５２は、係止部５７が第１誘電体１１の第１張出部１４及び第２誘電体３１の第２張出部３４の長さ方向の端部に接触することで、位置決めされる。なお、図９に示すように、並び方向において、スペーサ５１を挟んだ状態の第１誘電体本体１３及び第２誘電体本体３３の外面同士の間隔をＬ１とし、スペーサ５１を挟んだ状態の第１張出部１４及び第２張出部３４の外面同士の間隔をＬ２とし、ホルダ５２の一対の第２壁部５６Ｂの内面同士の最小の間隔をＬ３とし、ホルダ５２の一対の係止部５７の内面同士の間隔をＬ４とした場合、以下の式（２）及び式（３）が成り立つ。
Ｌ１≦Ｌ４ ・・・式（２）
Ｌ４＜Ｌ２≦Ｌ３ ・・・式（３）

オゾン発生器１００は、図２及び図３に示すように、流路構成部６０と、周壁部６１と、底部６２と、天井部６３と、フィンガーガード６４と、吸気部６５と、拡散板６６と、を有する。

流路構成部６０は、流路１を構成する部位である。流路構成部６０は、周方向に複数（本実施形態では２）の分割体に分割される構造となっている。具体的には、流路構成部６０は、周方向に分割された第１分割体６０Ａ及び第２分割体６０Ｂを有し、第１分割体６０Ａ及び第２分割体６０Ｂを連結させることで構成される。

周壁部６１は、環状（具体的には筒状、より具体的には円筒状）をなしており、流路構成部６０及び流路１の外周を囲む形態をなしている。オゾン発生器１００の外周の直径（周壁部６１の外径）は、２２５ｍｍであり、オゾン発生器１００の高さは、２０４ｍｍである。

底部６２は、載置面に載置される部位である。底部６２は、上側に配置される流路構成部６０を支持する。底部６２は、環状に配置される吸気口５の内側に収まる形態をなしている。また、底部６２は、周壁部６１の内周よりも小さい外形をなしている。

天井部６３は、オゾン発生器１００におけるＺ方向の他端側に配置され、Ｚ方向を軸方向とした環状をなしている。天井部６３の内側には、排気口６が形成されている。天井部６３は、外周が周壁部６１の他端側の端部（本実施形態では上端部）に連結されており、周壁部６１と一体に形成されている。周壁部６１及び天井部６３は、フィンガーガード６４を間に挟んで流路構成部６０の上側に配置され、流路構成部６０に支持される。周壁部６１は、載置面から浮いた状態で支持される。

フィンガーガード６４は、複数の貫通孔が形成された平面状（本実施形態では円板状）の部位である。貫通孔は、スリット状に形成されている。フィンガーガード６４は、流路１内の排気を許容しつつ、外部からの異物（例えば指など）の侵入を抑制する機能を有する。フィンガーガード６４は、流路構成部６０及び天井部６３とは別部材として構成されている。フィンガーガード６４は、拡散板６６よりも下流側に配置される。

吸気部６５は、吸気口５を形成する部位であり、環状をなしている。吸気部６５は、周壁部６１の下端側の内周側と、底部６２の上端側の外周側との間に配置され、流路構成部６０に対して係止される。吸気部６５は、複数の吸気口５が形成されている。複数の吸気口５は、環状の吸気部６５に沿って環状に並んで配置されている。吸気口５は、径方向に長い形状をなしている。

拡散板６６は、オゾン発生体３が発生させたオゾンを流路１内に拡散させるものである。拡散板６６は、流路１のうちオゾン発生体３よりも下流側に配置される。拡散板６６は、流路１の壁面１Ａから内側に突出した形態をなしている。拡散板６６は、壁面１Ａの周方向の一部から突出している。拡散板６６は、壁面１Ａから離れるにつれて幅が小さくなっている。拡散板６６は、扇形状をなしている。拡散板６６は、Ｚ方向の他端側から見た場合に、オゾン発生体３と重なる位置に配置される。拡散板６６は、流路構成部６０（具体的には第１分割体６０Ａ）と一体に形成されている。

オゾン発生器１００は、図３及び図１０に示すように、保持部７０と、第１相手側端子７１と、第２相手側端子７２と、ねじ７３と、交流電源７４と、を有する。

保持部７０は、オゾン発生体３を保持する部位である。保持部７０は、第１収容部７５と、端子固定部７６と、第２収容部７７と、を有する。第１収容部７５は、底面と、底面から突出してホルダ５２の外周を囲む囲み部と、を有する。第１収容部７５には、ホルダ５２における長さ方向の一端側が収容される。ホルダ５２の少なくとも一部は、第１収容部７５の開口端から突出する。第１収容部７５は、オゾン発生体３の第１端子１２及び第２端子３２が嵌まる切欠溝７５Ａを有する。端子固定部７６は、第１端子１２及び第２端子３２のそれぞれに対応して設けられている。端子固定部７６は、雌ねじ部を有する。第１端子１２の第３接続部２３は、一方の端子固定部７６に対し、ねじ７３によって第１相手側端子７１と共締めされる。第２端子３２の第４接続部４３は、他方の端子固定部７６に対し、ねじ７３によって第２相手側端子７２と共締めされる。第１相手側端子７１及び第２相手側端子７２は、それぞれ交流電源７４に電気的に接続される。

第２収容部７７は、第１収容部７５に収容されたオゾン発生体３における長さ方向の一端側を収容し、少なくとも第１端子１２及び第２端子３２の全体を収容する。第２収容部７７の内部は、少なくとも第１端子１２及び第２端子３２の全体が埋まる位置まで樹脂モールドされる。ホルダ５２の少なくとも一部（具体的には、少なくとも第２切欠部５９の長さ方向の一端よりも他端側）は、モールドされた樹脂から突出した状態となる。

保持部７０は、流路構成部６０の外側面に対して固定される。保持部７０は、図３に示すように、流路１の壁面１Ａの外側に配置され。壁面１Ａの外側でオゾン発生体３の支持部５０を保持する。流路１の壁面１Ａには、オゾン発生体３を内側に突出させる開口部１Ｂが形成されている。オゾン発生体３の第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、開口部１Ｂから壁面１Ａの内側に突出した状態で配置される。第１電極１０の少なくとも一部及び第２電極３０の少なくとも一部は、壁面１Ａよりも内側に配置される。また、ホルダ５２も、開口部１Ｂから壁面１Ａの内側に突出した状態で配置される。

交流電源７４は、トランスを有し、交流電力を供給しうる。交流電源７４は、オゾン発生器１００の外部の商用電源から供給される電力に基づいて所望の交流電力を生成し、オゾン発生体３等に供給する。

オゾン発生器１００は、図１１に示すように、制御部８０と、操作部８１と、オゾン検出部８２と、表示部８３と、音出力部８４と、を有する。制御部８０は、オゾン発生器１００の動作を制御する。制御部８０は、マイクロコンピュータを主体として構成され、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、駆動回路等を有する。

操作部８１は、例えば押圧によってオンオフ状態が切り替わるスイッチであり、例えばタクトスイッチである。操作部８１の操作結果を示す信号は、制御部８０に入力される。オゾン検出部８２は、オゾン発生器１００の外部の空気のオゾン濃度を検出する。オゾン検出部８２の検出値を示す信号は、制御部８０に入力される。

制御部８０は、交流電源７４を介して、オゾン発生体３の動作を制御しうる。制御部８０は、オゾン発生体３に印加する交流電圧を制御することで、オゾン発生体３が発生させるオゾンの量を調整しうる。制御部８０は、操作部８１の操作結果に基づいてオゾンの発生量を調整しうる。制御部８０は、オゾン検出部８２で検出されたオゾン濃度に基づいて、オゾン濃度が目標値に近づくようにオゾン発生体３の動作をフィードバック制御しうる。

制御部８０は、ファン２の動作を制御しうる。制御部８０は、ファン２にＰＷＭ信号を与えることで、ファン２をＰＷＭ制御する。これにより、制御部８０は、風量を調整しうる。

制御部８０は、表示部８３の動作を制御しうる。表示部８３は、例えばＬＥＤランプである。表示部８３は、ＬＥＤの点灯状態によって、電源のオンオフ状態や、ファン２の動作状態、外部のオゾン濃度などを示す。

制御部８０は、音出力部８４の動作を制御しうる。音出力部８４は、音を出力するものであり、例えばブザーである。音出力部８４は、例えばオゾン発生器１００に異常が生じた場合に警報音を出力する。

１－２．フィルタ９０の構成
オゾン発生器１００は、図２、図３及び図１２に示すように、フィルタ９０と、フィルタフレーム９１と、を有する。

フィルタ９０は、誘導流路７に配置される。フィルタ９０は、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタ、中性能フィルタなどである。フィルタ９０は、環状（具体的には円環状）をなしている。フィルタ９０は、周方向に分割された複数（本実施形態では４）の分割フィルタ９０Ａを有する。

フィルタフレーム９１は、フレーム本体９２と、つまみ部９３と、を有する。フレーム本体９２は、環状（具体的には円環状）をなしている。フレーム本体９２は、周方向に分割された複数（本実施形態では２）の分割フレーム９２Ａを有する。フレーム本体９２は、フィルタ９０が取り付けられる取付孔９４を有する。取付孔９４は、フィルタフレーム９１の周方向に沿って複数（本実施形態では４）設けられている。各々の取付孔９４には、各々の分割フィルタ９０Ａが取り付けられる。これにより、取付孔９４に、フィルタ９０が取り付けられる。つまみ部９３は、フレーム本体９２の外周面から外側に突出している。つまみ部９３は、板状をなしており、周方向を厚さ方向としている。つまみ部９３は、分割フレーム９２Ａにおける周方向の中央部に配置されている。つまみ部９３は、フレーム本体９２の軸方向の片側に偏って配置されている。つまみ部９３は、フレーム本体９２の軸方向において、フレーム本体９２の一端よりも突出している。

上述した流路構成部６０は、図１２に示すように、排気側流路８を構成する筒状（具体的には円筒状）の第１構成部１０１と、第１構成部１０１のＺ方向の一端側から径方向外側に延びる第２構成部１０２と、第２構成部１０２の外周側の端部からＺ方向の一端側に延びる環状の第３構成部１０３と、を有する。第１構成部１０１の径は、第２構成部１０２の径よりも小さい。特に、第１構成部１０１の径は、第２構成部１０２の外径（外周縁の径）よりも小さい。第１構成部１０１におけるＺ方向の他端側に排気口６が設けられている。

第２構成部１０２は、環状をなしており、Ｚ方向の一端側を向いた構成面１０４を有する。構成面１０４は、誘導流路７の一部を構成する。第２構成部１０２は、更に、フィルタフレーム９１が装着される装着部１１０を有する。装着部１１０は、構成面１０４上に配置される。第２構成部１０２には、ファン２が設けられている。

第１構成部１０１の高さ（Ｚ軸方向の高さ）は、第２構成部１０２の高さ（Ｚ軸方向の高さ）及び第３構成部の高さ（Ｚ軸方向の高さ）よりも大きい。より具体的には、第１構成部１０１の高さ（Ｚ軸方向の高さ）は、第２構成部１０２の高さ（Ｚ軸方向の高さ）及び第３構成部の高さ（Ｚ軸方向の高さ）よりも２倍以上大きいことが好ましい。第１構成部１０１の高さ（Ｚ軸方向の高さ）は、第２構成部１０２の径方向の大きさ及びの径方向の大きさよりも大きい。より具体的には、第１構成部１０１の高さ（Ｚ軸方向の高さ）は、第２構成部１０２の径方向の大きさ及びの径方向の大きさよりも２倍以上大きいことが好ましい。

吸気部６５は、フィルタフレーム９１のＺ方向の一端側に配置される。吸気部６５（より具体的には吸気口５）は、第１構成部１０１よりも径方向外側に設けられている。吸気部６５は、図１２に示すように、環状（具体的には円環状）をなしている。吸気部６５は、板状をなしており、軸方向を厚さ方向としている。吸気口５は、吸気部６５において軸方向に貫通して形成されている。吸気口５は、吸気部６５の周方向に沿って等間隔で並んで配置されている。吸気口５は、吸気部６５の周方向の長さよりも径方向の長さの方が長い。吸気部６５（より具体的には吸気口５）は、排気口６よりも径方向外側に設けられている。

１－４．オゾンセンサ４の構成
オゾンセンサ４は、図１３に示すように、オゾン発生体３よりも流路１の上流側において流路１内に配置されている。流路１の誘導流路７及び吸気側流路９によって、上流側流路１３０が構成されている。上流側流路１３０は、オゾン発生体３よりも上流側の気体通過空間ＡＲを構成している。上流側流路１３０は、所定方向一方側から他方側に気体を流す。ここで、「所定方向」とは、Ｚ方向（上下方向）であり、「一方側」が下方側であり、「他方側」が上方側である。オゾンセンサ４は、底部６２内に設けられている。底部６２は、ケース状であり、内部に回路基板１２１が設けられている。回路基板１２１上にオゾンセンサ４が配置されている。底部６２の上壁部６２Ａは、気体通過空間ＡＲを下方側から遮蔽している。上壁部６２Ａの上面（Ｚ軸方向他端側の面）は、Ｚ軸方向（上下方向）に対して略直交している。上壁部６２Ａには、第１開口６２Ｂと、第２開口６２Ｃとが設けられている。第１開口６２Ｂは、後述する第１格納部２３１の第１導入口２３１Ａに連通している。第２開口６２Ｃは、後述する第２格納部２３２の第２導入口２３２Ａに連通している。

図１４に示されるオゾンセンサ４は、対象気体に含まれるオゾンガスの濃度を検知する。オゾンセンサ４は、主に、検知部２１２と、制御部２１４と、を備える。検知部２１２は、素子部２２０と出力回路部２１６とを備える。なお、制御部２１４は、上述した制御部８０と同一の制御部として構成されていてもよい。オゾンセンサ４は、流路１から入り込む気体に含まれるオゾンガスの濃度を検出する。

素子部２２０は、水蒸気量の差に起因する電流を評価する信号である第１信号Ｖ１と、対象気体に含まれるオゾンガスの濃度に応じた信号である第２信号Ｖ２とを生成する部分である。図１４に示されるように、素子部２２０は、第１検知素子２２１と、第２検知素子２２２と、第１格納部２３１と、第２格納部２３２と、第１導入口２３１Ａと、第２導入口２３２Ａと、透湿膜２２４と、第１防水フィルタ２２７と、第２防水フィルタ２２８とを備える。

第１格納部２３１は、自身の内部（内部空間２９３）に第１検知素子２２１を格納する部分である。第１格納部２３１は、第１導入口２３１Ａが設けられている。第１導入口２３１Ａは、第１格納部２３１に形成された開口部である。第１導入口２３１Ａは、第１格納部２３１の一部をなす上壁部において、上下に貫通した形態で設けられている 。

透湿膜２２４は、第１導入口２３１Ａに設けられるフィルタである。透湿膜２２４は、流路１内の空間に存在する水分を自身の内部（膜内）に取り込むとともにその水分に応じた水分を内部空間２９３に導く機能を有する膜体であり、且つ被検出ガスを実質的に透過しない膜体である。例えば、透湿膜２２４は、流路１内の空間に存在する水分を取り込み、自身の内部を通過させて内部空間２９３に導き得る構成であってもよい。或いは、透湿膜２２４は、流路１内の空間に存在する水分を取り込んで自身の内部でイオン交換を行い、このイオン交換で生じる水分を内部空間２９３に導き得る構成であってもよい。透湿膜２２４は、ポリスチレンスルホン酸、ポリビニルアルコール、ビニルアルコール共重合体、フッ素系イオン交換樹脂、繰り返し単位にプロトン性親水性基を有する樹脂、繰り返し単位に非プロトン性親水性基を有する樹脂などを用いることができる。フッ素樹脂系のイオン交換膜としては、例えば、Ｎａｆｉｏｎ（登録商標）、Ｆｌｅｍｉｏｎ（登録商標）、Ａｃｉｐｌｅｘ（登録商標）等が使用され得る。なお、透湿膜２２４は、疎水性多孔質膜に重ねて用いられてもよい。すなわち、第１導入口２３１Ａに設けられた透湿膜２２４の存在によって内部空間２９３の絶対湿度と流路１内の空間の絶対湿度を同程度に近づけ得る構成であればよい。

図１４の例では、透湿膜２２４は、水蒸気透過フィルタによって構成され、流路１から内部空間２９３へのオゾンガスの透過を実質的に遮断する。透湿膜２２４では、体積ベースで、オゾンガスの透過量が水蒸気の透過量の５０分の１以下である。透湿膜２２４は、第１導入口２３１Ａを塞ぐ構成で設けられている。従って、流路１から内部空間２９３へ入り込む気体は、透湿膜２２４を通過して内部空間２９３に入り込む。

第１防水フィルタ２２７は、水蒸気やオゾンなどの気体の通過を許容し、液体の通過を実質的に遮断するフィルタである。第１防水フィルタ２２７では、体積ベースで、液体の透過量が気体の透過量の５０分の１以下である。第１防水フィルタ２２７は、第１導入口２３１Ａを塞ぐ構成で設けられている。従って、流路１から内部空間２９３へ入り込む気体は、第１防水フィルタ２２７を通過して内部空間２９３に入り込む。

第２格納部２３２は、自身の内部（内部空間２９４）に第２検知素子２２２を格納する部分である。第２格納部２３２は、第２導入口２３２Ａが設けられている。

第２防水フィルタ２２８は、水蒸気やオゾンなどの気体の通過を許容し、液体の通過を実質的に遮断するフィルタである。第２防水フィルタ２２８では、体積ベースで、液体の透過量が気体の透過量の５０分の１以下である。第２防水フィルタ２２８は、第２導入口２３２Ａを塞ぐ構成で設けられている。従って流路１から内部空間２９４へ入り込む気体は、第２防水フィルタ２２８を通過して内部空間２９４に入り込む。

第１検知素子２２１及び第２検知素子２２２はいずれも、電気化学方式によりオゾン（オゾンガス）の濃度に応じた電流が流れる素子である。但し、第１検知素子２２１及び第２検知素子２２２はいずれも、素子内と素子外の水蒸気量の差に応じた起電力が発生する素子でもある。第１検知素子２２１は、第２検知素子２２２と同一の構成をなす。第１検知素子２２１及び第２検知素子２２２はいずれも、自身の周囲の空間にオゾンガスが存在すると、自身の検知電極（図示省略）において還元反応が生じ、自身の対向電極（図示省略）においては酸化反応が生じるため、このような反応によってオゾンガス濃度に応じた電流を流す。但し、第１検知素子２２１及び第２検知素子２２２はいずれも、オゾンガス濃度に応じた電流に加えて、「水蒸気量の差に起因する電流」も流す。具体的には、第１検知素子２２１及び第２検知素子２２２はいずれも、流路１から流入する気体の水蒸気量と素子内部（素子内部の空間又は素子内部の電解液）の水蒸気量に差が生じると、この差に応じた電流を発生させる。

例えば、第１検知素子２２１の検知電極と対向電極との間には、内部空間２９３のオゾンガス濃度に応じた電流と、第１検知素子２２１の内外の水蒸気量の差に起因する電流とが流れる。具体的には、内部空間２９３を介して第１検知素子２２１に供給されるオゾンガスによって第１検知素子２２１内の電解液において上述の反応が生じることでオゾンガス濃度に応じた電流が流れ、この電流に加えて、第１検知素子２２１の内外の水蒸気量の差に起因する電流が流れる。内部空間２９３のオゾンガス濃度と、第１検知素子２２１で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」との関係は、予め定められた演算式で特定される関係であり、内部空間２９３のオゾンガス濃度が大きくなるほど第１検知素子２２１で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」は大きくなる。但し、透湿膜２２４によって内部空間２９３へのオゾンガスの流入は実質的に遮断されるため、第１検知素子２２１では、オゾンガス濃度に応じた電流は流れないか、流れたとしても極めて微少である。

同様に、第２検知素子２２２の検知電極と対向電極との間には、内部空間２９４のオゾンガス濃度に応じた電流と、第２検知素子２２２の内外の水蒸気量の差に起因する電流とが流れる。具体的には、内部空間２９４を介して第２検知素子２２２に供給されるオゾンガスによって第２検知素子２２２内の電解液において上述の反応が生じることでオゾンガス濃度に応じた電流が流れ、この電流に加えて、第２検知素子２２２の内外の水蒸気量の差に起因する電流が流れる。内部空間２９４のオゾンガス濃度と、第２検知素子２２２で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」との関係は、予め定められた演算式で特定される関係であり、内部空間２９４のオゾンガス濃度が大きくなるほど第２検知素子２２２で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」は大きくなる。第１検知素子２２１の内外での水蒸気量の差と、第２検知素子２２２の内外での水蒸気量の差とが同程度であれば、第２検知素子２２２で生じる「水蒸気量の差に起因する電流」と、第１検知素子２２１で生じる「水蒸気量の差に起因する電流」とが同程度となる。

出力回路部２１６は、第１出力回路２１６Ａと第２出力回路２１６Ｂとを備える。第１出力回路２１６Ａは、抵抗Ｒ１１，Ｒ１２及びオペアンプＯＰ１を有する。抵抗Ｒ１１の抵抗値はＲａであり、抵抗Ｒ１２の抵抗値はＲｂである。第１出力回路２１６Ａは、第１検知素子２２１で生じる電流Ｉａを電圧Ｖａに変換し、この電圧Ｖａを所定の増幅率（Ｒｂ／Ｒａ）で増幅した電圧Ｖ１を出力する回路である。第１出力回路２１６Ａでは、第１検知素子２２１で生じる電流Ｉａが抵抗Ｒ１１に流れ、電流Ｉａに応じた電圧Ｖａ（Ｖａ＝Ｉａ×Ｒａ）が抵抗Ｒ１１の両端に生じる。電圧Ｖａと、第１出力回路２１６Ａが制御部２１４に出力する電圧Ｖ１と、第１検知素子２２１で生じる電流Ｉａとの関係は、Ｖ１＝Ｖａ×Ｒｂ／Ｒａ＝Ｉａ×Ｒｂである。

同様に、第２出力回路２１６Ｂは、抵抗Ｒ２１，Ｒ２２及びオペアンプＯＰ２を有する。抵抗Ｒ２１の抵抗値はＲｃであり、抵抗Ｒ２２の抵抗値はＲｄである。第２出力回路２１６Ｂは、第２検知素子２２２で生じる電流Ｉｂを電圧Ｖｂに変換し、この電圧Ｖｂを所定の増幅率（Ｒｄ／Ｒｃ）で増幅した電圧Ｖ２を出力する回路である。第２出力回路２１６Ｂでは、第２検知素子２２２で生じる電流Ｉｂが抵抗Ｒ２１に流れ、電流Ｉｂに応じた電圧Ｖｂ（Ｖｂ＝Ｉｂ×Ｒｃ）が抵抗Ｒ２１の両端に生じる。電圧Ｖｂと、第２出力回路２１６Ｂが制御部２１４に出力する電圧Ｖ２と、第２検知素子２２２で生じる電流Ｉｂとの関係は、Ｖ２＝Ｖｂ×Ｒｄ／Ｒｃ＝Ｉｂ×Ｒｄである。

図１５に示される制御部２１４は、演算機能、情報処理機能、制御機能などを有する情報処理装置として構成されている。制御部２１４は、ＡＤ変換器やＭＣＵ（Micro Controller Unit）などを備える。制御部２１４には、第１出力回路２１６Ａから電圧Ｖ１が入力され、第２出力回路２１６Ｂから電圧Ｖ２が入力される。制御部２１４は、電圧Ｖ１，Ｖ２をデジタル信号に変換することができ、電圧Ｖ１，Ｖ２を用いた演算を行い得る。

オゾンセンサ４は、例えば、Ｒａ＝Ｒｃ且つＲｂ＝Ｒｄであり、第１出力回路１６Ａでの増幅率と第２出力回路１６Ｂでの増幅率とが同一とされている。そして、第１検知素子２２１と第２検知素子２２２とが同一の素子であり、第１検知素子２２１では水蒸気量の差に起因する電流（第１検知素子２２１内外の水蒸気量の差に応じた電流）が流れ、第２検知素子２２２では水蒸気量の差に起因する電流（第２検知素子２２２内外の水蒸気量の差に応じた電流）に加え、流路１内の空間のオゾン濃度に応じた電流が重畳されて流れるように構成されている。従って、Ｖ２－Ｖ１の値は、第１検知素子２２１及び第２検知素子２２２で生じる「水蒸気量の差に起因する電流」の影響をキャンセルした値であり、流路１内の空間のオゾンガス濃度に応じた電圧値である。

検知部２１２では、流路１内の空間のオゾンガス濃度Ｙ１が大きいほど、Ｖ２－Ｖ１の値が大きくなるように、Ｖ２－Ｖ１の値とオゾンガス濃度Ｙ１との間には、相関関係がある。この相関関係は、例えば、Ｙ１＝β（Ｖ２－Ｖ１）＋Ｂの関係式（直線式）で表すことができる。この関係式では、Ｂの値は、予め定められた固定値（定数）である。βの値は、予め定められた固定値（定数）であってもよいが、絶対湿度に基づいて定まる変数であってもよい。つまり、上記関係式（直線式）における傾きβの値は、絶対湿度に応じて補正されてもよい。制御部２１４は、上記関係式と電圧Ｖ１，Ｖ２とに基づいてオゾンガスの濃度を算出する演算を行うことができる。なお、制御部２１４は、オゾンガスの濃度を算出するにあたって、算出された濃度Ｙ１をそのまま採用してもよいが、応答遅れを想定すると、移動平均を適用することが望ましい。例えば、所定の時間間隔でオゾンガスの濃度Ｙ１を周期的に繰り返し検出する場合には、直近のｎ個のデータ（濃度Ｙ１）の平均を求めるように単純移動平均を算出し、その値をオゾンガス濃度として採用してもよい。

このように、オゾンセンサ４は、第１検知素子２２１の出力Ｉａと第２検知素子２２２の出力Ｉｂとに基づき、水蒸気の影響をキャンセルしてオゾンガス濃度Ｙ１を求めることができる。具体的には、上述のように、Ｖ１＝Ｒｂ×Ｉａの式及びＶ２＝Ｒｄ×Ｉｂ＝Ｒｂ×Ｉｂの式によって、Ｖ２－Ｖ１の値が定まる。そして、上述のように、Ｖ２－Ｖ１の値は、第１検知素子２２１及び第２検知素子２２２で生じる「水蒸気量の差に起因する電流」の影響をキャンセルした値であり、流路１内の空間のオゾンガス濃度に応じた電圧値であり、Ｒｂ（Ｉｂ－Ｉａ）の式で表される値である。つまり、オゾンセンサ４は、出力Ｉａと出力Ｉｂとの差（Ｉｂ－Ｉａ）に基づいて水蒸気の影響をキャンセルしてオゾンガスの濃度が検知可能である。

１－５．オゾンセンサ４の配置構成
図１３に示すように、吸気口５は、オゾンセンサ４よりも上流側流路１３０の外周部１３１側に設けられている。外周部１３１は、流路構成部６０の第２構成部１０２及び第３構成部１０３と、吸気部６５とによって構成されている。外周部１３１は、環状である。外周部１３１の中心軸は、ファン２の回転軸Ｌと同じになっている。外周部１３１は、底部６２の上端側を囲んでいる。オゾンセンサ４は、外周部１３１の中央側（中心軸側）に配置されている。

上流側流路１３０を通過する気流は、図１３に示す矢印Ａ１のように、吸気側流路９及び誘導流路７を通過した後、上方に曲げられ、排気側流路８における第１構成部１０１とロータ２Ａとの間を通過する。吸気口５がオゾンセンサ４よりも外周部１３１側に設けられるため、吸気口５から所定方向他方側（上方側）に向かう気流が外周部１３１の中央側にあるオゾンセンサ４に向かいにくくなる。すなわち、気流は、誘導流路７を通過した後、外周部１３１の中央側（ファン２の中心軸側）まで到達することなく、オゾンセンサ４から離れる方向（上方）へと経路を進むことになる。そのため、オゾンセンサ４における気流の影響を抑制することができる。

図１３に示すように、吸気口５よりも上流側流路１３０の中央側にフィルタ９０が設けられている。そのため、吸気口５から入り込んだ気体は、フィルタ９０を通過して排気側流路８へと流れる。また、オゾンセンサ４は、フィルタ９０よりも上流側流路１３０の中央側に設けられている。そのため、気体がフィルタ９０を通過することによって気流が弱められ、オゾンセンサ４における気流の影響をより一層抑制することができる。

オゾンセンサ４は、ファン２の回転軸方向（回転軸Ｌの軸方向）から見て、ファン２と重なっている。すなわち、オゾンセンサ４は、ファン２の下方側に配置されている。吸気口５からファン２に向かう方向は、オゾンセンサ４とファン２が重なる回転軸方向とは異なる方向となるため、吸気口５からファン２に向かう気流がオゾンセンサ４側に向かいにくくなる。そのため、オゾンセンサ４における気流の影響をより一層抑制することができる。

オゾンセンサ４は、ファン２の回転軸方向から見て、ロータ２Ａの中心からロータ２Ａの径の１．２倍以内となる範囲内に配置されている。オゾンセンサ４は、ファン２の回転軸方向から見て、ロータ２Ａと重なっていることがより好ましい。このような構成によって、気体の流れが生じにくい位置（回転軸方向にから見てロータ２Ａと重なる位置）を避けてオゾンセンサ４を配置し易くなり、オゾンセンサ４における気流の影響をより一層抑制することができる。

オゾンセンサ４は、ファン２の回転軸方向から見て、排気口６と重なっている。オゾンセンサ４の後述する検知面４Ａは、排気口６を向くように配置されている。

図１３に示すように、オゾンセンサ４の検知面４Ａは、透湿膜２２４及び第２防水フィルタ２２８によって構成されている。オゾンセンサ４の検知面４Ａは、回転軸方向において吸気口５よりもファン２側に位置している。これにより、オゾンセンサ４をオゾン発生器１００の内側（下流側）に収め易くなり、オゾン発生器１００のサイズを低減し易くなる。より具体的には、オゾンセンサ４の検知面４Ａは、吸気口５とファン２との間におけるファン２の回転軸方向の長さの中心より吸気口５側に位置している。すなわち、オゾンセンサ４の検知面４Ａの高さは、吸気口５の高さとファン２の高さ（例えばファン２の下端の高さ）との間の長さの中心より下方側に位置している。このような構成によって、オゾンセンサ４の検知面４Ａを、吸気口５とファン２との間に生じる気流から遠ざけ易くなる。そのため、オゾンセンサ４が気流の影響をより一層受けにくくなる。

図１３に示すように、オゾンセンサ４の検知面４Ａは、流路構成部６０（より具体的には、気体通過空間ＡＲ）に露出している。すなわち、オゾンセンサ４の検知面４Ａは、気体通過空間ＡＲを通過する気体の経路側（気流の生じる側）を向いている。オゾンセンサ４の検知面４Ａは、Ｚ方向他端側を向いている。オゾンセンサ４の検知面４Ａは、上壁部６２Ａの上面（Ｚ軸方向他端側の面）と略平行になっている。オゾンセンサ４の検知面４Ａは、第２構成部１０２の下面（Ｚ方向一端側の面）と略平行になっている。

図１３に示すように、ファン２は、外周部１３１よりも径の小さな排気側流路８内に配置されている。排気側流路８は、本開示の「小径流路」の一例に相当する。そのため、比較的狭い排気側流路８でファン２が強い気流を生じさせる一方で、そのファン２よりも上流側にオゾンセンサ４が配置されるため、オゾンセンサ４が強い気流の影響を受けにくくなる。

図１３に示すように、複数の吸気口５は、外周部１３１の周方向に沿って環状（より具体的には、円環状）に配列されている。そのため、気体の吸気量を十分に確保しつつ、複数の吸気口５から入り込むいずれの気体の流れに対してもオゾンセンサ４が影響を受けにくい構成とすることができる。

１－６．第１実施形態の効果
第１実施形態では、吸気口５は、オゾンセンサ４よりも上流側流路１３０の外周部１３１側に設けられている。このため、所定方向一方側から他方側に気体を流す上流側流路１３０において、吸気口５がオゾンセンサ４よりも外周部１３１側に設けられるため、吸気口５から所定方向他方側に向かう気流が中央側にあるオゾンセンサ４に向かいにくくなる。そのため、オゾンセンサ４における気流の影響を抑制することができる。

更に、オゾンセンサ４は、フィルタ９０よりも上流側流路１３０の中央側に設けられている。このため、気体がフィルタ９０を通過することによって気流が弱められるため、オゾンセンサ４における気流の影響をより一層抑制することができる。

更に、オゾンセンサ４は、ファン２の回転軸方向から見て、ファン２と重なっている。このため、吸気口５からファン２に向かう方向は、オゾンセンサ４とファン２が重なる回転軸方向とは異なる方向となるため、吸気口５からファン２に向かう気流がオゾンセンサ４側に向かいにくくなり、オゾンセンサ４における気流の影響をより一層抑制することができる。

更に、オゾンセンサ４は、回転軸方向から見て、ロータ２Ａの中心からロータ２Ａの径の１．２倍以内となる範囲内に配置されている。このため、気体の流れが生じにくい位置（回転軸方向においてファン２のロータ２Ａと重なる位置）を避けてオゾンセンサ４を配置し易くなり、オゾンセンサ４における気流の影響をより一層抑制することができる。

更に、オゾンセンサ４の検知面４Ａは、吸気口５とファン２との間におけるファン２の回転軸方向の長さの中心より吸気口５側に位置する。このため、オゾンセンサ４の検知面４Ａを、吸気口５とファン２との間に生じる気流から遠ざけ易くなる。そのため、オゾンセンサ４が気流の影響をより一層受けにくくなる。

更に、オゾンセンサ４の検知面４Ａは、回転軸方向において吸気口５よりもファン２側に位置する。このため、オゾンセンサ４をオゾン発生器１００の内側（下流側）に収め易くなり、オゾン発生器１００のサイズを低減し易くなる。

更に、ファン２は、外周部１３１よりも径の小さな排気側流路８内に配置されている。このため、比較的狭い排気側流路８でファン２が強い気流を生じさせる一方で、そのファン２よりも上流側にオゾンセンサ４が配置されるため、オゾンセンサ４が強い気流の影響を受けにくくなる。

更に、複数の吸気口５は、外周部１３１の周方向に沿って環状に配列される。このため、気体の吸気量を十分に確保しつつ、複数の吸気口５から入り込むいずれの気体の流れに対してもオゾンセンサ４が影響を受けにくい構成とすることができる。

更に、オゾンセンサ４は、電気化学式ガスセンサである。このため、オゾンガスの濃度に応じて流れる電流に基づいた測定を行うことができる。特に、電気化学式ガスセンサは、検知面が気流にさらされることによって検知結果が気流の影響を受けやすい。そのため、電気化学式ガスセンサを用いる構成に本開示のオゾン発生器１００の構成を適用することで、オゾンセンサ４における気流の影響を抑制する効果が、より効果的に奏される。

更に、オゾンセンサ４において、第１検知素子２２１が、対象気体からオゾンガスを実質的に除いた状態でオゾンガスの濃度を検知するため、水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価することができる。一方、第２検知素子２２２は、水蒸気とオゾンガスとを含んだ成分を対象として濃度を検知することができる。これにより、オゾンセンサ４は、第１検知素子２２１による検知結果（水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価した結果）を、第２検知素子２２２によるオゾンガスの濃度検知に利用することができるため、オゾンガスの濃度を正確に検知する上で有利である。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わされてもよい。

上記実施形態では、吸気口５が、外周部１３１を構成する吸気部６５に設けられていたが、第３構成部１０３に設けられていてもよい。すなわち、吸気口５は、外周部１３１において、下方側に開放される構成ではなく、上下方向に直交する側方に開放される構成であってもよい。この場合、オゾンセンサ４の検知面４Ａは、吸気口５の下縁とファン２との間におけるファン２の回転軸方向の長さの中心より吸気口５側に位置していることが好ましい。

上記実施形態では、Ｚ方向が上下方向であったが、上下方向に限らない。例えば、Ｚ方向は、上下方向に対して傾斜する方向であってもよい。

上記実施形態では、支持部が第１誘電体及び第２誘電体を片持ち支持する構成であったが、両持ち支持する構成であってもよい。

上記実施形態では、支持部が第１誘電体及び第２誘電体を同じ側で片持ち支持する構成であったが、同じ側で片持ち支持する構成でなくてもよく、例えば互い違いに反対側の端部で片持ち支持する構成であってもよい。

なお、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、今回開示された実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示された範囲内又は特許請求の範囲と均等の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

１…流路
２…ファン
２Ａ…ロータ
２Ｂ…羽根部
３…オゾン発生体
４…オゾンセンサ
５…吸気口
６…排気口
８…排気側流路（小径流路）
９０…フィルタ
１００…オゾン発生器
１３０…上流側流路
１３１…外周部
２２１…第１検知素子
２２２…第２検知素子
２２４…透湿膜
２３１…第１格納部
２３１Ａ…第１導入口
ＡＲ…気体通過空間

Claims (11)

1. 吸気口から排気口へ気体を流す流路と、
   前記流路内に配置されるオゾン発生体と、
   前記オゾン発生体よりも前記流路の上流側において前記流路内に配置されるオゾンセンサと、
   を備え、
   前記流路は、前記オゾン発生体よりも上流側の気体通過空間を構成するとともに所定方向一方側から他方側に前記気体を流す上流側流路を有し、
   前記吸気口は、前記オゾンセンサよりも前記上流側流路の外周部側に設けられているオゾン発生器。
2. 前記吸気口よりも前記上流側流路の中央側にフィルタが設けられ、
   前記オゾンセンサは、前記フィルタよりも前記上流側流路の中央側に設けられている請求項１に記載のオゾン発生器。
3. 前記吸気口及び前記オゾンセンサの下流側において、前記排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられ、
   前記オゾンセンサは、前記ファンの回転軸方向から見て、前記ファンと重なっている請求項１又は請求項２に記載のオゾン発生器。
4. 前記ファンは、ロータと、前記ロータから径方向に突出する羽根部と、を有し、
   前記オゾンセンサは、前記回転軸方向から見て、前記ロータの中心から前記ロータの径の１．２倍以内となる範囲内に配置されている請求項３に記載のオゾン発生器。
5. 前記吸気口及び前記オゾンセンサの下流側において、前記排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられ、
   前記オゾンセンサの検知面は、前記吸気口と前記ファンとの間における前記ファンの回転軸方向の長さの中心より前記吸気口側に位置する請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のオゾン発生器。
6. 前記吸気口及び前記オゾンセンサの下流側において、前記排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられ、
   前記オゾンセンサの検知面は、前記ファンの回転軸方向において前記吸気口よりも前記ファン側に位置する請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のオゾン発生器。
7. 前記吸気口及び前記オゾンセンサの下流側において、前記排気口側に向けて気体を送り込むファンが設けられ、
   前記流路は、前記外周部よりも径の小さな小径流路を有し、
   前記ファンは、前記小径流路内に配置されている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のオゾン発生器。
8. 前記外周部の周方向に沿って環状に配列される複数の前記吸気口が設けられる請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のオゾン発生器。
9. 前記オゾンセンサは、電気化学式ガスセンサである請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のオゾン発生器。
10. 前記オゾンセンサは、
    対象気体に含まれるオゾンガスの濃度を検知するガスセンサであって、
    電気化学方式によりガスの濃度を検知する第１検知素子と、
    電気化学方式によりガスの濃度を検知する第２検知素子と、
    前記第１検知素子を格納する内部空間が自身の内部に構成される第１格納部と、
    前記第１格納部の外側の前記流路と前記内部空間との間に設けられる第１導入口と、
    前記第１導入口に設けられ、前記流路から前記内部空間への前記オゾンガスの透過を実質的に遮断する透湿膜と、
    を備え、
    前記第２検知素子は、前記対象気体に含まれる水蒸気及び前記オゾンガスが入り込む前記流路に配置されている請求項９に記載のオゾン発生器。
11. 前記透湿膜は、前記流路から前記内部空間への水蒸気の透過を許容し、前記流路から前記内部空間への前記オゾンガスの透過を実質的に遮断する水蒸気透過フィルタである
    請求項１０に記載のオゾン発生器。

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