JP7301914B2 - 表面異物検出装置およびそれを用いた表面異物検出方法 - Google Patents
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- 測定対象物に直交する方向から平行光を投光する測定光投光部と前記測定対象物をはさんで前記測定光投光部とは反対側に配置された測定光受光部とを有する測定装置に付設される異物検出装置において、
前記測定光投光部と前記測定光受光部とを結ぶ線に対して斜めの位置であって、前記測定対象物よりも前記測定光投光部および前記測定光受光部のいずれか一方の側に、パターン投影部とパターン撮像部を配設し、前記パターン投影部と前記測定対象物と前記パターン撮像部はV字配置を形成し、前記パターン投影部が前記測定対象物に投影して前記測定対象物表面に形成されたパターンを前記パターン撮像部が撮像することを特徴とする異物検出装置。 - 複数のスリットが形成された遮蔽パターンまたは格子状の遮蔽パターンが形成されているマスクを前記パターン投影部が含むことを特徴とする請求項1に記載の異物検出装置。
- 前記マスクの前記複数のスリットから前記測定対象物表面へ投射されたスリットの間隔を、検出しようとする異物の最小大きさの1/2以下としたことを特徴とする請求項2に記載の異物検出装置。
- 前記測定対象物が外形円形状の軸状部材であるときに、前記遮蔽パターンにより前記測定対象物に形成される投影像が2次曲線の縞模様となるように前記パターン投影部を配置したことを特徴とする請求項2または3に記載の異物検出装置。
- 前記パターン投影部と前記パターン撮像部は複数個配置されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の異物検出装置。
- 測定対象物に直交する方向から平行光を投光する測定光投光部と前記測定対象物をはさんで前記測定光投光部とは反対側に配置された測定光受光部とを有する測定装置に付設される異物検出装置を用いて、前記測定対象物で遮蔽されて形成された影の大きさから前記測定対象物の外径を測定する際に、前記測定対象物の外表面に付着した異物を検出する異物検出方法において、
前記測定光投光部と前記測定光受光部とを結ぶ線に対して斜めの位置であって、前記測定対象物よりも前記測定光投光部および前記測定光受光部のいずれか一方の側に、パターン投影部とパターン撮像部を配設し、
前記パターン投影部と前記測定対象物と前記パターン撮像部はV字配置を形成し、
前記パターン投影部が前記測定対象物に投影して前記測定対象物表面に形成されたパターンを前記パターン撮像部が撮像し、
撮像された撮像画面を予め準備した基準画面と比較し、
撮像した前記パターンが所定大きさ以上歪んでいたら異物が付着していると制御手段が判断する、ことを特徴とする異物検出方法。 - 前記測定対象物が、外形が円形である連続する線材または間欠的に測定部に供給される外形が円形の軸部材であるときに、前記パターン投影部が投影して前記測定対象物に形成された前記パターンが2次曲線の縞模様となるように前記パターン投影部を配置したことを特徴とする請求項6に記載の異物検出方法。
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