JP7278621B2 - エアヒータ - Google Patents

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Description

本発明は、エアヒータに関し、より詳細には、異物が発生しないエアヒータに関する。
加熱対象物に熱風を加えて加熱させるエアヒータは、様々な分野で使用されている。従来のエアヒータは、ガラス管内に螺旋状に巻いた熱線を挿入し、ガラス管内に空気を通過させる方式で空気を加熱された。
図1に示されたように、従来の公開実用新案20-2012-0002039は、ステンレスハウジングケース130の表面内側に絶縁のための石英ガラス管140を挿入し、エア注入口131に空気が注入されれば、高温用螺旋状ボビン110に取り付けられた長方形螺旋からなる熱線120を介して空気が通過しながら空気が加熱される。
しかしながら、加熱に使用されたニクロム線などの熱線は、金属の特性上、パーティクルが落ちて空気に混ざるようになる。したがって、従来のエアヒータを高純度の精製を必要とする半導体、LEDなどの分野において適用する場合には、異物が混ざり、製品の収率が低下するなどの問題が生じる。
したがって、本技術分野では、異物が発生しないエアヒータが求められている実情である。
特許文献1:公開実用新案第20-2012-0002039号
本発明の技術的課題は、加熱対象物に異物が流入せず、空気を効率的に加熱することができるエアヒータを提供することにある。
本発明の一態様によれば、エアヒータが提供される。前記エアヒータは、外部から供給される電流により加熱されるように備えられた直接発熱部、前記加熱された直接発熱部に物理的に接触することにより供給される伝導熱により加熱され、一側に備えられた流入口に流入する空気が他側に備えられた流出口を介して貫通する間、前記空気を加熱するように備えられた間接発熱部、及び絶縁性物質であって、内側に前記直接発熱部及び前記間接発熱部が配置され得る空間を提供し、一側に外部から前記空気が注入され得るように備えられた空気注入部を備え、他側に前記空気を外部に排出する空気排出口を備えるハウジングを備えて実現される。本発明の他の態様によれば、前記エアヒータは、前記ハウジングと前記間接発熱部との間で、前記ハウジングと間接発熱部とが一定の間隔をおいて固定され得るように支持するフレームをさらに備えて実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記エアヒータは、前記直接発熱部に電源を供給するリード部をさらに備えて実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記直接発熱部は、前記間接発熱部の内部に埋め込まれて実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記直接発熱部は、前記間接発熱部の外側に配置され、前記空気は、前記間接発熱部の内側に形成された空間を通過するように実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記ハウジングと前記間接発熱部との間に空気が流入することを防ぐためのパッキング部をさらに備えて実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記直接発熱部は、前記間接発熱部の内側に配置され、前記空気は、前記ハウジングと前記間接発熱部との外側間を通過するように実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記エアヒータは、前記ハウジングの一端に前記ハウジングと前記間接発熱部との間に空気が流入することを防ぐためのパッキング部をさらに備えて実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記ハウジングは、石英からなって実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記間接発熱部は、非金属性物質で構成される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記間接発熱部は、セラミックからなって実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記直接発熱部は、ニクロムまたはタングステンのうち、いずれか1つからなって実現される。
本発明のさらに他の態様によれば、前記間接発熱部は、円筒形構造で備えられる。
本発明によれば、パーティクルが発生せず、加熱対象物に異物が流入しないエアヒータが提供される。
従来技術に係るエアヒータ構造の一例を示す。
本発明の一実施形態に係るエアヒータの平面図を示す。
図2の実施形態に係るエアヒータの断面図を示す。
本発明の一実施形態に係る直接発熱部のパターン構造を示す。
本発明の他の実施形態に係るエアヒータの平面図を示す。
図5の実施形態に係るエアヒータの断面図を示す。
本発明のさらに他の実施形態に係るエアヒータの平面図を示す。
図7の実施形態に係るエアヒータの断面図を示す。
以下、添付された図面を参照して本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。しかし、本発明は、種々の相違した形態で実現されることができ、以下において開示される実施形態に限定されない。また、図面において本発明を明確に開示するために、本発明と関係ない部分は省略し、図面において同一であるか、類似した符号は、同一であるか、類似した構成要素を表す。
本発明の目的及び効果は、下記の説明によって自然に理解されるか、より明確になることができ、下記の記載だけで本発明の目的及び効果が制限されるものではない。
本発明の目的、特徴、及び長所は、次の詳細な説明によってさらに明確になるであろう。また、本発明を説明するにあたって、本発明と関連した公知技術についての具体的な説明が、本発明の要旨を不要に濁す恐れがあると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。以下、添付された図面を参照して本発明に係る実施形態を詳細に説明する。
図2及び図3は、本発明の一実施形態に係るエアヒータ200を示す。図2は、前記エアヒータ200の平面図を示し、図3は、前記エアヒータ200の断面図を示す。
図2及び図3に示すように、前記エアヒータ200は、ハウジング210、第1の間接発熱部230、第2の間接発熱部250、直接発熱部270、フレーム290、リード部295を備えて構成される。
ハウジング210は、内側に第1及び第2の間接発熱部230、250及び直接発熱部270が配置され得る空間を提供し、一側には、外部から空気が注入され得るように備えられた空気注入部211を備え、他側には、前記空気を外部に排出する空気排出口215を備える。前記ハウジング210は、絶縁性物質からなり、一例として、熱により変形されず、絶縁効果を有する石英材質からなることができる。図2及び図3では、ハウジング210は、円筒形からなっているが、三角柱、四角柱など、様々な形態からなることもできる。一方、ハウジング210によって加熱対象物に加熱された空気が排出され、前記ハウジング210の長さは、第1及び第2の間接発熱部230、250に比べて長く形成されることが好ましい。
第1の間接発熱部230及び第2の間接発熱部250は、前記ハウジング210の内部に配置され、中空の長い棒状で形成されることができる。前記第1及び第2の間接発熱部230、250の一側には、外部から空気が注入され得るように備えられた第1及び第2の空気注入口231、251が備えられる。前記第1及び第2の空気注入口231、251の位置は、第1及び第2の間接発熱部230、250で同じ位置に備えられる。一方、第1の間接発熱部230の他側には、前記第1及び第2の空気注入口231、251を介して注入された空気が流出し得る流出口235が備えられる。前記第1及び第2の間接発熱部230、250は、三角柱、四角柱、円柱など、様々な形態からなることができる。また、第1及び第2の間接発熱部230、250は、非金属性物質で構成され、特に、高温でも変形がなく、熱伝導性の高い非金属性物質で構成されることが好ましい。一例として、摂氏1600度の高温で焼いて製作されたセラミック材質が使用され得る。直接発熱部270は、電気を印加して発熱可能な電熱線または電熱パターンで構成される。一例として、ニクロム線、タングステンなどの金属材質からなることができる。一方、直接発熱部270は、様々な形態で構成されることができ、一例として、図4のような電熱パターンの形態で構成されることができる。直接発熱部270は、前記第1の間接発熱部230の外側を包んで配置され、前記直接発熱部270の外側には、再度外側セラミック部250が包むように配置される。したがって、前記直接発熱部270は、第1の間接発熱部230及び第2の間接発熱部250の間に埋め込まれる。フレーム290は、ハウジング210と第2の間接発熱部250とが一定の間隔をおいて固定され得るように支持し、リード部295は、前記直接発熱部270に電源を供給するために、電源供給源と直接発熱部270とを電気的に接続する。
本発明の一例によれば、前記第1の間接発熱部230内の一端から空気が流入して反対側端に排出されることができる。このとき、空気は、第1の間接発熱部230の内側と接触しながら高温で加熱される。空気は、直接発熱部270とは接触することなく、第1の間接発熱部230により加熱されるので、高温の金属から発生し得る異物が空気に流入しない。このとき、熱効率をより高めるために、第1の間接発熱部230は、第2の間接発熱部250に比べてより薄い厚みで形成されることができる。
他の一例として、前記第2の間接発熱部250及びハウジング210の間に形成された空間の一端から空気が流入して反対側端に排出されることができる。このとき、空気は、第2の間接発熱部250の外側と接触しながら高温で加熱される。この場合にも、空気は、第2の間接発熱部250及びハウジング210と接触されるだけであり、直接発熱部270とは接触されないため、高温の金属から発生し得る異物が空気に流入しない。このとき、熱効率をより高めるために、第2の間接発熱部250は、第1の間接発熱部230に比べてより薄い厚みで形成されることができる。
さらに他の一例として、空気は、前記第1の間接発熱部230の内部に形成された空間と前記第2の間接発熱部250及びハウジング210の間に形成された空間とを共に貫通することができる。このときには、空気が第1の間接発熱部230の内側及び第2の間接発熱部250の外側を介して加熱されて、前記2つの場合に比べて熱効率がより向上することができる。
一方、本実施形態において前記フレーム290は、前記ハウジング210及び第2の間接発熱部250の間の一部空間にのみ形成されて、前記ハウジング210及び第2の間接発熱部250間を支持する役割だけを行うが、前記ハウジング210及び第2の間接発熱部250の全体空間を防ぐように形成されて、ハウジング210と第2の間接発熱部250との間に空気が移動できないようにする蓋の役割を行うこともできる。
前記空気が加熱される速度は、直接発熱部270に供給される電力量、空気が第1の間接発熱部230及び/又は第2の間接発熱部250と接触される面積、空気が第1の間接発熱部230及び/又は第2の間接発熱部250を通過する速度によって決定される。したがって、前記変数等によって空気の温度を必要に応じて調節することができる。
図5及び図6は、本発明の他の実施形態に係るエアヒータ500を示す。図5は、前記エアヒータ500の平面図を示し、図6は、前記エアヒータ500の断面図を示す。
図5及び図6に示すように、前記エアヒータ500は、ハウジング510、間接発熱部530、直接発熱部570、フレーム590、リード部595を備えて構成される。
ハウジング510は、内側に間接発熱部530及び直接発熱部570が配置され得る空間を提供し、一側には、外部から空気が注入され得るように備えられた空気注入部511を備え、他側には、前記空気を外部に排出する空気排出口515を備える。前記ハウジング510は、絶縁性物質からなり、一例として、熱により変形されず、絶縁効果を有する石英材質からなることができる。図5及び図6では、ハウジング510は、円筒形からなっているが、三角柱、四角柱など、様々な形態からなることもできる。一方、ハウジング510によって加熱対象物に加熱された空気が排出され、前記ハウジング510の長さは、間接発熱部530に比べて長く形成されることが好ましい。
間接発熱部530は、前記ハウジング510の内部に配置され、中空の長い棒状で形成されることができる。前記間接発熱部530の一側には、外部から空気が注入され得るように備えられた空気注入口531が備えられる。一方、間接発熱部530の他側には、前記空気注入口531を介して注入された空気が流出し得る流出口535が備えられる。前記間接発熱部530は、三角柱、四角柱、円柱など、様々な形態からなることができる。また、間接発熱部530は、非金属性物質で構成され、特に、高温でも変形がなく、熱伝導性の高い非金属性物質で構成されることが好ましい。一例として、摂氏1600度の高温で焼いて製作されたセラミック材質が使用され得る。直接発熱部570は、前記間接発熱部530の外側を包むように配置され、電気の印加により発熱可能な電熱線または電熱パターンで構成される。一例として、ニクロム線、タングステンなどの金属材質からなることができる。一方、直接発熱部570は、様々な形態で構成されることができ、一例として、図4のような電熱パターンの形態で構成されることができる。直接発熱部570は、前記間接発熱部530の外側を包むように配置される。フレーム590は、ハウジング510と間接発熱部530とが一定の間隔をおいて固定され得るように支持し、リード部595は、前記直接発熱部570に電源を供給するために、電源供給源と直接発熱部570とを電気的に接続する。
本実施形態では、空気と直接発熱部570との摩擦を最小化するために、前記間接発熱部530により形成される空間内部の一端から空気が流入して反対側端に排出されることができる。このとき、空気は、間接発熱部530の内側面と接触しながら高温で加熱される。空気は、直接発熱部570とは摩擦することなく、間接発熱部530内部を通過しながら加熱されるので、高温の金属から発生し得る異物が空気に流入することを最小化できる。一方、図面には図示されていないが、ハウジング510の一端には、ハウジング510と間接発熱部530との間に空気が流入することを防ぐためのパッキング部をさらに備えることができる。また、前記フレーム590が前記ハウジング510と間接発熱部530との間で空気の流れを防ぐパッキング部の役割を行うことができる。
図7及び図8は、本発明の他の実施形態に係るエアヒータ700を示す。図7は、前記エアヒータ700の平面図を示し、図8は、前記エアヒータ700の断面図を示す。
図7及び図8に示すように、前記エアヒータ700は、ハウジング710、間接発熱部730、直接発熱部770、フレーム790、リード部795を備えて構成される。
ハウジング710は、内側に間接発熱部730及び直接発熱部770が配置され得る空間を提供し、一側には、外部から空気が注入され得るように備えられた空気注入部711を備え、他側には、前記空気を外部に排出する空気排出口715を備える。前記ハウジングは、絶縁性物質からなり、一例として、前記ハウジング710は、熱により変形されず、絶縁効果を有する石英材質からなることができる。図7及び図8では、ハウジング710は、円筒形からなっているが、三角柱、四角柱など、様々な形態からなることもできる。一方、ハウジング710によって加熱対象物に加熱された空気が排出され、前記ハウジング710の長さは、間接発熱部730に比べて長く形成されることが好ましい。
間接発熱部730は、前記ハウジング710の内部に配置され、中空の長い棒状で形成されることができる。前記間接発熱部730の一側には、外部から空気が注入され得るように備えられた空気注入口731が備えられる。一方、間接発熱部730の他側には、前記空気注入口731を介して注入された空気が流出し得る流出口735が備えられる。前記間接発熱部730は、三角柱、四角柱、円柱など、様々な形態からなることができる。また、間接発熱部730は、非金属性物質で構成され、特に、高温でも変形がなく、熱伝導性の高い物質で構成されることが好ましい。一例として、摂氏1600度の高温で焼いて製作されたセラミック材質が使用され得る。直接発熱部770は、前記間接発熱部730の内側壁面に配置され、電気を印加して発熱可能な電熱線または電熱パターンで構成される。一例として、ニクロム線、タングステンなどの金属材質からなることができる。一方、直接発熱部770は、様々な形態で構成されることができ、一例として、図4のような電熱パターンの形態で構成されることができる。フレーム790は、ハウジング710と間接発熱部730とが一定の間隔をおいて固定され得るように支持し、リード部795は、前記直接発熱部770に電源を供給するために、電源供給源と直接発熱部770とを電気的に接続する。
本実施形態では、空気と直接発熱部770との摩擦を最小化するために、前記ハウジング710と間接発熱部730との間に形成される空間の一端から空気が流入して反対側端に排出されることができる。このとき、空気は、間接発熱部730の外側面と接触しながら高温で加熱される。空気は、直接発熱部770とは摩擦することなく、ハウジング710と間接発熱部730との間の空間を通過しながら加熱されるので、高温の金属から発生し得る異物が空気に流入することを最小化できる。一方、図面には図示されていないが、間接発熱部730の内側に空気が流入することを防ぐために、間接発熱部730の一端にはパッキング部をさらに備えることができる。
一方、従来のエアヒータでは、空気が熱線に直接接触して加熱されることにより、熱線から微細な金属粒子などが空気に流入するという問題が生じたが、本発明では、上記のように、熱線は、セラミック間に埋め込まれ、空気は、熱線により直接加熱されるものでない、セラミックにより間接的に加熱されるので、金属粒子の流入なしに空気を加熱させることができる。

Claims (8)

  1. エアヒータにおいて、
    外部から供給される電流により加熱されるように備えられた直接発熱部と、
    前記加熱された直接発熱部に物理的に接触することにより供給される伝導熱により加熱され、一側に備えられた第1の開口部に流入する空気が他側に備えられた第2の開口部を介して通過する間、前記空気を加熱するように備えられた間接発熱部と、
    絶縁性物質であって、内側に前記直接発熱部及び前記間接発熱部が配置され得る空間を提供し、一側に外部から前記空気が注入され得るように備えられた空気注入部を備え、他側に前記空気を外部に排出する空気排出口を備えるハウジングと、
    を備え、
    前記空気は、第1の空気部分と第2の空気部分とに分けられ、前記第1の空気部分は前記間接発熱部の内部を通過し、前記第2の空気部分は前記ハウジングと前記間接発熱部との間の空間を通過し、
    第1の間接発熱部は、前記間接発熱部の内部を通過する前記第1の空気部分を熱し、同時に第2の間接発熱部は、記ハウジングと前記間接発熱部との間の空間を通過する前記第2の空気部分を熱し、これによって改善された熱効率を提供し、
    前記直接発熱部は、所定の領域でジグザグ形状の熱線で構成され
    前記直接発熱部は、前記間接発熱部の内部に埋め込まれることを特徴とする、
    エアヒータ。
  2. 前記エアヒータは、
    前記ハウジングと前記間接発熱部との間で、前記ハウジングと間接発熱部とが一定の間隔をおいて固定され得るように支持するフレームをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のエアヒータ。
  3. 前記エアヒータは、前記直接発熱部に電源を供給するリード部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のエアヒータ。
  4. 前記ハウジングは、石英からなることを特徴とする請求項1に記載のエアヒータ。
  5. 前記間接発熱部は、非金属性物質で構成されることを特徴とする請求項1に記載のエアヒータ。
  6. 前記間接発熱部は、セラミックからなることを特徴とする請求項に記載のエアヒータ。
  7. 前記直接発熱部は、ニクロムまたはタングステンのうち、いずれか1つからなることを特徴とする請求項1に記載のエアヒータ。
  8. ハウジングと前記間接発熱部とは、円筒形構造で備えられることを特徴とする請求項1に記載のエアヒータ。
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