JP7276036B2 - エッチング装置およびエッチング方法 - Google Patents

Description

本発明は、エッチング装置およびエッチング方法に関し、より詳しくは、インプリントモールド用ブランクスの台座構造の形成に用いるエッチング装置およびエッチング方法に関する。

半導体リソグラフィにおいては、デバイスの微細化の要求に対して、露光波長の問題や製造コストの問題などからフォトリソグラフィ方式の限界が指摘されており、その対案として、ナノインプリントリソグラフィ（ＮＩＬ：Ｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）が注目を集めている。

ナノインプリントリソグラフィは、表面に微細な凹凸形状の転写パターンを形成したインプリントモールド（他に、テンプレート、スタンパ、金型とも呼ばれる）を、半導体ウェハなどの被転写体の上に形成された樹脂に接触させ、樹脂の表面側の形状を、インプリントモールドの転写パターンの凹凸形状に成型した後にインプリントモールドを離型し、次いで、ドライエッチング等により余分な樹脂部分（残膜部分）を除去することで、前記被転写体の上の樹脂にインプリントモールドの転写パターンの凹凸形状（より詳しくは、凹凸反転形状）を、転写させる技術である（例えば、特許文献１）。
このナノインプリントリソグラフィは、一度インプリントモールドを作製すれば、微細な凹凸形状を繰り返して転写成型でき、この転写工程には高額な露光装置（ステッパー）を用いないため、経済的にも有利である。

図１１は、インプリントモールドの一例を示す図であり、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線における概略断面図である。
図１１に示すインプリントモールド１００のように、微細な凹凸形状の転写パターン１１５が形成されている転写領域１１４は、通常、台座構造１１２の上面に設けられる。インプリント（すなわち、パターン転写）に際し、転写領域１１４以外の領域が被転写体や樹脂と接触することを避けるためである。

また、図１１に示すインプリントモールド１００のように、基部１１１の台座構造１１２が形成されている側の面とは反対側のインプリント装置に接する面１１７には、通常、凹部１１３が形成されている（例えば、特許文献２）。凹部１１３は、平面視において、台座構造１１２と重なり、かつ、台座構造１１２よりも広い面積を有している。

凹部１１３を形成する理由は、凹部１１３を形成することによって、転写パターン１１５が形成されている転写領域１１４の厚さを薄くして湾曲容易とし、インプリントモールド１００の転写パターン１１５を被転写体の樹脂に接触させる際には、凹部１１３内の気圧を高くしてインプリントモールド１００を湾曲させることにより、転写パターン１１５と樹脂との間の気泡残留を抑制することができるからである。また、離型に際しては、インプリントモールド１００の転写領域１１４を被転写体側に向かって凸状に湾曲させて、転写領域１１４の外縁部から、順次、部分的に離型していくことができるからである。

また、インプリントモールドのパターン寸法や歪みの補正は、インプリント装置（すなわち、パターン転写装置）において、インプリントモールドの側面を加圧することによって行われる（例えば、特許文献３）。
図１２は、インプリントモールドのパターン寸法や歪みの補正の一例を示す図である。ここで、図１２（ａ）に示すインプリントモールド１００Ａは補正前の状態であり、図１２（ｂ）に示すインプリントモールド１００Ｂは補正後の状態である。

例えば、図１２（ａ）に示すように、インプリントモールド１００Ａの転写パターン１１５Ａが、樽型の歪みを持った状態である場合、この歪みを是正するように、インプリントモールド１００Ａの対向する側面１１６Ｒ、１１６Ｌを加圧部２０１によって加圧する。これにより、図１２（ｂ）に示すように、加圧後のインプリントモールド１００Ｂの外形は糸巻き型に変形し、転写パターン１１５Ｂのように、歪みの無い状態に補正することができる。
加圧部２０１は、１ｎｍ以下の精密な駆動制御が必要とされ、個々に、例えば１０００Ｎまでの力でインプリントモールド１００Ａの側面に力を加える能力を持っている。

なお、インプリントモールドは、通常、インプリントモールド用ブランクスから製造される。図１３は、インプリントモールド用ブランクスの一例を示す図であり、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ線における概略断面図である。
ここで、図１３に示すインプリントモールド用ブランクス１０１においては、台座構造１１２や凹部１１３は形成されているが、この台座構造１１２の上面（転写領域１１４）には転写パターンが形成されておらず、平坦な状態である。図１３に示すインプリントモールド用ブランクス１０１の台座構造１１２の上面（転写領域１１４）に転写パターンが形成されることで、図１１に示すインプリントモールド１００が製造される。

特表２００４－５０４７１８号公報 特表２００９－５３６５９１号公報 特開２０１６－３１９５２号公報

ここで、台座構造１１２を形成する際には、インプリントモールド用基板の外縁部を保持具により保持した状態でエッチング液に浸漬させて、ウェットエッチングを行う方法が用いられる。

しかしながら、このような方法では、保持具で保持された部分、より詳しくは、保持のために保持具と接触する部分はエッチングされず、エッチング後のインプリントモールド用基板には、エッチング痕として突出部が生じてしまうことになる。

そして、このような突出部が生じてしまうと、第１の問題として、インプリントモールドのパターン寸法や歪みの補正に際し、加圧により突出部から異物が生じてしまうという問題がある。
そして、生じた異物がインプリントモールドの転写領域に付着してしまうと、以降、インプリントする被転写体の全てに欠陥を生じてしまうおそれがある。また、生じた異物がインプリントモールドの側面に付着等すると、加圧時にインプリントモールドが破壊されてしまうおそれもある。

また、このような突出部が生じてしまうと、第２の問題として、インプリントモールドをインプリント装置で転写する際に必要となる平坦性が得られないという問題がある。

さらに、第３の問題として、インプリントモールドの側面の平坦性が得られないといった問題がある。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、インプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成する際に、突出部が生じることを抑制することができるエッチング装置およびエッチング方法を提供することを、主たる目的とする。

第１の発明は、表面、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング装置であって、前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の連動保持部を備え、前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を移動させる機構を備える、エッチング装置である。

第２の発明は、第１の発明に係るエッチング装置であって、前記連動保持部が、前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有し、前記連動保持回転部が、前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、エッチング装置である。

第３の発明は、第２の発明に係るエッチング装置であって、一対の前記連動保持部は、動力の供給を受けて、各連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に移動させる機構を備え、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に繰り返し移動させることにより、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を、前記一対の連動保持部が有するそれぞれの連動保持回転部が移動する方向と交差する方向に移動させる、エッチング装置である。

第４の発明は、第３の発明に係るエッチング装置であって、一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の補助連動保持部を備え、前記補助連動保持部は、前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有し、前記補助連動保持回転部が、前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項３に記載のエッチング装置である。

第５の発明は、第４の発明に係るエッチング装置であって、一対の前記補助連動保持部は、各補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に移動させる機構を備え、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が相互に近づく方向に移動する際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は相互に離れる方向に移動し、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が相互に離れる方向に移動する際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は相互に近づく方向に移動する、エッチング装置である。

第６の発明は、第４または第５の発明に係るエッチング装置であって、前記インプリントモールド用基板が、前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、前記補助連動保持部が、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、エッチング装置である。

第７の発明は、第１から第６までのいずれかの発明に係るエッチング装置であって、前記インプリントモールド用基板が、前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、前記連動保持部が、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、エッチング装置である。

第８の発明は、表面、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング装置であって、前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の連動保持部を備え、前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を回転させる機構を備える、エッチング装置である。

第９の発明は、第８の発明に係るエッチング装置であって、前記連動保持部が、前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有し、前記連動保持回転部が、前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、エッチング装置である。

第１０の発明は、第９の発明に係るエッチング装置であって、一対の前記連動保持部は、動力の供給を受けて、各連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、一の方向および前記一の方向とは反対の方向に移動させる機構を備え、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、前記一の方向および前記一の方向とは反対の方向に繰り返し移動させることにより、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を、前記インプリントモールド用基板の前記表面の側から見て、時計方向および反時計方向に回転させる、エッチング装置である。

第１１の発明は、第１０の発明に係るエッチング装置であって、一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の補助連動保持部を備え、前記補助連動保持部は、前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有し、前記補助連動保持回転部が、前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、エッチング装置である。

第１２の発明は、第１１の発明に係るエッチング装置であって、一対の前記補助連動保持部は、各補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を、前記一の方向および前記一の方向とは反対の方向に移動させる機構を備え、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が前記一の方向に移動する際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は前記一の方向とは反対の方向に移動し、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が前記一の方向とは反対の方向に移動する際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は前記一の方向に移動する、エッチング装置である。

第１３の発明は、第１１または第１２の発明に係るエッチング装置であって、前記補助連動保持部が前記補助連動保持回転部を２個有し、２個の前記補助連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、エッチング装置である。

第１４の発明は、第９から第１３までのいずれかの発明に係るエッチング装置であって、前記連動保持部が前記連動保持回転部を２個有し、２個の前記連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、エッチング装置である。

第１５の発明は、第１１から第１３までのいずれかの発明に係るエッチング装置であって、前記インプリントモールド用基板が、前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、前記補助連動保持部が、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、エッチング装置である。

第１６の発明は、第８から第１５までのいずれかの発明に係るエッチング装置であって、前記インプリントモールド用基板が、前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、前記連動保持部が、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、エッチング装置である。

第１７の発明は、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング方法であって、一対の連動保持部により、前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を移動させる、エッチング方法である。

第１８の発明は、第１７の発明に係るエッチング方法であって、前記連動保持部が、前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有しており、前記連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記連動保持回転部を回転させて、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、エッチング方法である。

第１９の発明は、第１８の発明に係るエッチング方法であって、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に繰り返し移動させることにより、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を、前記一対の連動保持部が有するそれぞれの連動保持回転部を移動させる方向と交差する方向に移動させる、エッチング方法である。

第２０の発明は、第１９の発明に係るエッチング方法であって、一対の補助連動保持部により、一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、前記補助連動保持部は、前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有しており、前記補助連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記補助連動保持回転部を回転させて、前記補助連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、エッチング方法である。

第２１の発明は、第２０の発明に係るエッチング方法であって、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を相互に近づく方向に移動させる際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を相互に離れる方向に移動させ、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を相互に離れる方向に移動させる際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を相互に近づく方向に移動させる、エッチング方法である。

第２２の発明は、第２０または第２１の発明に係るエッチング方法であって、前記インプリントモールド用基板が、前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有しており、前記補助連動保持部を、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、エッチング方法である。

第２３の発明は、第１７から第２２までのいずれかの発明に係るエッチング方法であって、前記インプリントモールド用基板が、前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、前記連動保持部を、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、エッチング方法である。

第２４の発明は、表面、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング方法であって、一対の連動保持部により、前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を回転させる、エッチング方法である。

第２５の発明は、第２４の発明に係るエッチング方法であって、前記連動保持部が、前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有しており、前記連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記連動保持回転部を回転させて、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、エッチング方法である。

第２６の発明は、第２５の発明に係るエッチング方法であって、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を回転させつつ、一の方向および前記一の方向とは反対の方向に繰り返し移動させることにより、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、前記インプリントモールド用基板を、前記インプリントモールド用基板の前記表面の側から見て、時計方向および反時計方向に回転させる、エッチング方法である。

第２７の発明は、第２６の発明に係るエッチング方法であって、一対の補助連動保持部により、一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、前記補助連動保持部は、前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有しており、前記補助連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記補助連動保持回転部を回転させて、前記補助連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、エッチング方法である。

第２８の発明は、第２７の発明に係るエッチング方法であって、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を前記一の方向に移動させる際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を前記一の方向とは反対の方向に移動させ、一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を前記一の方向とは反対の方向に移動させる際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を前記一の方向に移動させる、エッチング方法である。

第２９の発明は、第２７または第２８の発明に係るエッチング方法であって、前記補助連動保持部が前記補助連動保持回転部を２個有し、２個の前記補助連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、エッチング方法である。

第３０の発明は、第２５から第２９までのいずれかの発明に係るエッチング方法であって、前記連動保持部が前記連動保持回転部を２個有し、２個の前記連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、エッチング方法である。

第３１の発明は、第２７から第２９までのいずれかの発明に係るエッチング方法であって、前記インプリントモールド用基板が、前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、前記補助連動保持部を、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、エッチング方法である。

第３２の発明は、第２４から第３１までのいずれかの発明に係るエッチング方法であって、前記インプリントモールド用基板が、前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、前記連動保持部を、前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、エッチング方法である。

本発明によれば、インプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成する際に、突出部が生じることを抑制することができる。

本発明に係るエッチング装置の第１の実施形態の一例を示す図 図１に示すエッチング装置の動作について示す図 図１に示すエッチング装置の動作について示す図 図１に示すエッチング装置の連動保持部の一例を示す図 本発明に係るエッチング装置の第２の実施形態の一例を示す図 図５に示すエッチング装置の動作について示す図 図５に示すエッチング装置の動作について示す図 本発明に係るエッチング装置の第２の実施形態の変形例を示す図 図８に示すエッチング装置の連動保持部の一例を示す図 図８に示すエッチング装置の動作について示す図 インプリントモールドの一例を示す図。 インプリントモールドのパターン歪みの補正の一例を示す図 インプリントモールド用ブランクスの一例を示す図。 インプリントモールド用ブランクスの製造方法の一例を示す図 従来のインプリントモールド用ブランクスの製造方法における課題を示す図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平坦」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

（インプリントモールド用ブランクスの製造方法）
まず、インプリントモールド用ブランクスの製造方法における、上述した課題について、図１４、１５を用いてより詳しく説明する。

図１４は、インプリントモールド用ブランクスの製造方法の一例を示す図である。
図１４に示すインプリントモールド用ブランクス１０１を製造するには、まず、表面、裏面、および４つの側面を有する平板状のインプリントモールド用基板１１１Ａを準備する（図１４（ａ））。通常、インプリントモールド用基板１１１Ａは、酸化シリコン（ＳｉＯ₂）を含む材料から構成され、光透過性を有している。インプリントモールド用基板１１１Ａは、典型的には、合成石英基板、またはガラス基板等である。

次に、インプリントモールド用基板１１１Ａの表面の転写領域１１４（台座構造１１２の上面）となる領域１１４Ａに、エッチングマスク１２１を形成する（図１４（ｂ））。ここで、図１４（ｂ）に示すエッチングマスク１２１は、下層のハードマスク１２１ａと上層のレジストマスク１２１ｂから構成されている。
上記のような構成とする理由は、通常、レジストマスクよりもハードマスクの方が、インプリントモールド用基板１１１Ａとの密着性が高く、転写領域１１４（台座構造１１２の上面）となる領域１１４Ａに、エッチング液が侵入してくることを、より効果的に防止できるからである。

なお、図１４（ｂ）においては、エッチングマスク１２１が、下層としての１層のハードマスク１２１ａと、上層としての１層のレジストマスク１２１ｂから構成されている例を示したが、エッチングマスク１２１を構成するハードマスクは２層以上であってもよく、また、レジストマスクも２層以上であってもよい。
また、エッチングマスク１２１は、ハードマスクを有しておらずに、１層以上のレジストマスクから構成されるものであってもよい。この場合、ハードマスクを設けないことから、コスト削減や工程短縮が可能となる。

ハードマスク１２１ａを構成する材料としては、クロム（Ｃｒ）系材料を主成分とするものが好ましい。クロム系材料は、クロム、窒化クロム、酸化クロム、炭化クロム、炭化窒化クロム等のクロムを含む化合物を含むものである。
ハードマスク１２１ａの膜厚としては、インプリントモールド用基板１１１Ａを精度良く加工できれば特に限定されるものではないが、例えば１０ｎｍ～２００ｎｍの範囲内、中でも５０ｎｍ～１５０ｎｍの範囲内であることが好ましい。

次に、エッチングマスク１２１を形成したインプリントモールド用基板１１１Ａをウェットエッチングして、台座構造１１２を形成する（図１４（ｃ））。台座構造１１２の高さ（すなわちエッチング量）は、通常１０μｍ～５０μｍ程度である。
この工程で、インプリントモールド用基板１１１Ａは、エッチングマスク１２１から露出する部分がエッチングされて、当初より肉厚が薄い状態（中間体１１１Ｂ）になる。

次に、エッチングマスク１２１を除去し、保護膜１３１を形成後、機械的研削等の方法を用いて、中間体１１１Ｂの裏面（台座構造１１２を形成した側とは反対側の面）に凹部１１３を形成する（図１４（ｄ）、（ｅ））。
最後に、保護膜１３１を除去してインプリントモールド用ブランクス１０１を得る（図１４（ｆ））。

ここで、図１４（ｃ）に示す台座構造１１２を形成する工程では、従来においては、例えば、図１５（ａ）に示すように、インプリントモールド用基板１１１Ａの外縁部を保持具１４１により保持した状態でエッチング液に浸漬させて、ウェットエッチングを行う方法が用いられていた。

しかしながら、このような方法では、保持具１４１に保持された部分、より詳しくは、インプリントモールド用基板１１１Ａを保持するために、保持具１４１と接触するインプリントモールド用基板１１１Ａの部分はエッチングされず、エッチング後の中間体１１１Ｂには、エッチング痕として、保持具１４１に応じた突出部１４２が形成されてしまうことになる。

例えば、図１５（ｂ）に示すように、エッチング後の中間体１１１Ｂには、エッチング痕として、中間体１１１Ｂの外縁部の表面、裏面、および側面に突出部１４２が形成される。ここで、図１４（ｃ）に示す台座構造１１２を形成する工程におけるウェットエッチングは、通常、等方性のエッチングになるため、突出部１４２の最大突出量（最大段差）は、エッチング量（Ｅ１）に等しい大きさになり得る。

そして、このような突出部１４２が生じてしまうと、まず第１の問題として、図１２に示すインプリントモールドのパターン寸法や歪みの補正に際し、加圧部２０１による加圧で、突出部１４２が破損し、異物が生じてしまうという問題がある。
そして、生じた異物がインプリントモールドの転写領域に付着してしまうと、以降、このインプリントモールドを用いてインプリントする被転写体の全てに欠陥を生じてしまうおそれがある。

また、生じた異物がインプリントモールドの側面に付着して、加圧部２０１とインプリントモールドに接する側面で異物の噛み込みによる集中荷重が生じると、加圧時にインプリントモールドが破壊されてしまうおそれもある。
さらに、加圧部２０１が突出部１４２の角部に接触することで集中荷重が生じ、加圧時にインプリントモールドが破壊されてしまうおそれもある。

また、第２の問題として、インプリントモールド１００上の転写パターン１１５をインプリント装置で転写する際に必要となるインプリントモールド１００の表面の平坦性が得られないといった問題がある。
すなわち、台座構造１１２は、図１１に示すインプリントモールド１００の転写領域１１４以外の領域が被転写体や樹脂と接触することを避けるために形成されるものであるのに対し、この台座構造１１２に匹敵する高さを有する突出部１４２が、インプリントモールド１００の表面に生じてしまうことになる。

さらに、第３の問題として、インプリントモールド１００の側面の平坦性が得られないといった問題がある。
すなわち、図１２に示すインプリントモールド１００Ａのパターン寸法や歪みの補正に際し、加圧部２０１により加圧する場合に、インプリントモールド１００Ａの対抗する側面１１６Ｒ、１１６Ｌに突出部１４２が存在すると、加圧後のインプリントモールド１００Ｂの外形を糸巻き型に変形させて、転写パターン１１５Ｂのように、歪みの無い状態に精度良く補正することは困難になるおそれがある。

このような問題に対し、本発明に係るエッチング装置およびエッチング方法によれば、インプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成する際に、突出部が生じることを抑制することができる。

（エッチング装置およびエッチング方法）
＜第１の実施形態＞
次に、図１～４を用いて、本発明に係るエッチング装置の第１の実施形態について説明する。ここで、図１は、本発明に係るエッチング装置の第１の実施形態の一例を示す図であり、図２及び図３は、図１に示すエッチング装置の動作について示す図であり、図４は、図１に示すエッチング装置の連動保持部の一例を示す図である。

まず、図１に示すように、本実施形態に係るエッチング装置１０は、エッチング槽１１の中に、インプリントモールド用基板１を保持する一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）、および、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）を備えている。エッチング槽１１には、インプリントモールド用基板１をウェットエッチングして、台座構造１１２を形成するためのエッチング液が入る。

なお、図１に示すエッチング装置１０においては、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）に加えて、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）を備える構成を例示しているが、本実施形態に係るエッチング装置は、これに限定されず、補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）を備えていない構成であってもよい。
例えば、エッチング装置が図１に示すように縦型の装置であって、インプリントモールド用基板１も縦型に配置され、インプリントモールド用基板１を重力方向に対して下側の２つの側面の側から保持できる場合は、この下側の２つの側面の側から、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）によりインプリントモールド用基板１を保持する構成とすることで、補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）を省くこともできる。

インプリントモールド用基板１は、表面、裏面、および４つの側面を有し、表面の台座構造が形成される領域にエッチングマスク１２１が形成されている。
インプリントモールド用基板１の形状は、平面視において矩形状である。この場合、インプリントモールド用基板１の縦および横の長さは、用途等に応じて異なるものであるが、例えば１４２ｍｍ～１６２ｍｍ程度である。また、インプリントモールド用基板１の厚さは、材料や用途等に応じて異なるものであるが、例えば０．５ｍｍ～１０ｍｍ程度である。

また、詳細については、図４を用いた説明にて行うが、通常、インプリントモールド用基板１の４つの側面に沿った外縁部には、インプリントモールド用基板１の厚みが減少する向きの傾斜面を有している。この傾斜面は、丸みを帯びた面になっていることもあるし、平坦面であることもある。また、この傾斜面が平坦面である場合、傾斜面とインプリントモールド用基板１の表面、側面とは丸みを帯びた面を介して接続される場合もあるし、表面と鈍角を持って接する場合もある。

エッチングマスク１２１は、インプリントモールド用基板１の表面側の略中央部に形成されており、その平面形態は、台座構造の上面の形状に合わせて、矩形状の形態を有している。
その縦および横の長さは、用途等に応じて異なるものであるが、例えば２０ｍｍ～３５ｍｍ程度である。縦の長さ（図中のＬ１）と横の長さ（図中のＬ２）は、異なっていてもよい。

ウェットエッチングに用いられるエッチング液には、例えば、フッ化水素酸水溶液などを用いることができる。

一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）は、インプリントモールド用基板１の４つの側面のうちの隣り合う２つの側面（図１において、下側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１を保持している。
より詳しくは、各連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）は、それぞれ、インプリントモールド用基板１と接触する連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を有しており、この連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）がインプリントモールド用基板１の４つの側面のうちの隣り合う２つの側面の側から、インプリントモールド用基板１に押し当てられて、インプリントモールド用基板１を保持している。

各連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）は、それぞれの連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面が延びる方向に沿って、回転するように構成されている。
各連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）は動力の供給を受けて能動的に回転するように構成しても良いし、各連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）等のエッチング装置１０の構成要素や、各連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）に接するインプリントモールド用基板１等からの反力等によって受動的に回転するように構成しても良い。

また、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）は、インプリントモールド用基板１の４つの側面のうち、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面とは異なる２つの側面（図１において、上側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１を補助的に保持している。
より詳しくは、各補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）は、それぞれ、インプリントモールド用基板１と接触する補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）を有しており、この補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）がインプリントモールド用基板１の４つの側面のうち、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面とは異なる２つの側面（図１において、上側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１に押し当てられて、インプリントモールド用基板１を補助的に保持している。

各補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）は、それぞれの補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面が延びる方向に沿って、回転するように構成されている。
各補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）は動力の供給を受けて能動的に回転するように構成しても良いし、各補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）等のエッチング装置１０の構成要素や、各補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）に接するインプリントモールド用基板１等からの反力等によって受動的に回転するように構成しても良い。

ここで、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）は、動力の供給を受けて、各連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を相互に近づく方向および相互に離れる方向に移動させる機構を備えている。
それゆえ、図１に示すエッチング装置１０においては、一対の前記連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に繰り返し移動させることにより、連動保持部１２がインプリントモールド用基板１と接触する位置を変えつつ、インプリントモールド用基板１を、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が移動する方向と交差する方向に往復移動させることができる。

また、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）は、上記の一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）の動作に連動して、各補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に移動させる機構を備えている。
例えば、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が相互に近づく方向に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）は相互に離れる方向に移動し、逆に、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が相互に離れる方向に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）は相互に近づく方向に移動する。

なお、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）の機構は、動力の供給を受けて能動的に動くものではなく、受動的なものであってよい。例えば、一対の補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）は、バネの力や圧力等で、それぞれ、インプリントモールド用基板１の側面の側に押し当てられているものであってもよい。

上記のエッチング装置１０の動作について、図２、３を用いて、より詳しく説明する。
例えば、図２に示す状態（すなわち、連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が、相互に遠く離れている状態）において、連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を相互に近づく方向（図中の矢印ＹＡ１、ＹＡ２の方向）に移動させると、インプリントモールド用基板１は、一対の連動保持部（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が移動する方向と交差する方向（この場合は、図中の上向きの矢印ＹＵの方向）に、移動することになる。

そして、上記の連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を相互に近づく方向に移動させる動作において、連動保持回転部１３Ｌは、連動保持部１２Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部１３Ｌが接触する側の側面Ｈ２）が延びる方向（この場合は角部Ｃ１２に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、上記の連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を相互に近づく方向（図中の左右方向の矢印方向）に移動させる動作において、連動保持回転部１３Ｒは、連動保持部１２Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部１３Ｒが接触する側の側面Ｈ１）が延びる方向（この場合は角部Ｃ１２に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

また、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が、相互に近づく方向に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持部１４（１４Ｌ、１４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）が相互に離れる方向（図中の矢印ＹＡ３、ＹＡ４の方向）に移動する。

この際、補助連動保持回転部１５Ｌは、補助連動保持部１４Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部１５Ｌが接触する側の側面Ｈ３）が延びる方向（この場合は角部Ｃ２３に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、補助連動保持回転部１５Ｒは、補助連動保持部１４Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部１５Ｒが接触する側の側面Ｈ４）が延びる方向（この場合は角部Ｃ４１に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

次に、図２に示す状態とは逆に、図３に示す状態（すなわち、連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が、相互に近づいた位置にある状態）において、連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を、相互に離れる方向（図中の矢印ＹＢ１、ＹＢ２の方向）に移動させると、インプリントモールド用基板１は、一対の連動保持部（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が移動する方向と交差する方向（この場合は、図中の下向きの矢印ＹＳの方向）に、移動することになる。

そして、上記の連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を相互に離れる方向に移動させる動作において、連動保持回転部１３Ｌは、連動保持部１２Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部１３Ｌが接触する側の側面Ｈ２）が延びる方向（この場合は角部Ｃ２３に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、上記の連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を相互に離れる方向に移動させる動作において、連動保持回転部１３Ｒは、連動保持部１２Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部１３Ｒが接触する側の側面Ｈ１）が延びる方向（この場合は角部Ｃ４１に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

また、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が、相互に離れる方向に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持回転部１５（１５Ｌ、１５Ｒ）が相互に近づく方向（図中の矢印ＹＢ３、ＹＢ４の方向）に移動する。

この際、補助連動保持回転部１５Ｌは、補助連動保持部１４Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部１５Ｌが接触する側の側面Ｈ３）が延びる方向（この場合は角部Ｃ３４に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、補助連動保持回転部１５Ｒは、補助連動保持部１４Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部１５Ｒが接触する側の側面Ｈ４）が延びる方向（この場合は角部Ｃ３４に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

上記のように、エッチング装置１０においては、インプリントモールド用基板１をエッチング液に浸漬させた状態で、連動保持部１２の連動保持回転部１３および補助連動保持部１４の補助連動保持回転部１５が、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変えつつ、インプリントモールド用基板１を保持できる。

それゆえ、従来のように、インプリントモールド用基板１と接触する位置が固定の保持具（例えば、図１５（ａ）に示す保持具１４１）を用いる装置や方法とは異なり、エッチング装置１０を用いたエッチング方法においては、連動保持部１２の連動保持回転部１３および補助連動保持部１４の補助連動保持回転部１５がインプリントモールド用基板１と接触する位置を変えるため、位置が変わる前まで連動保持回転部１３や補助連動保持回転部１５と接触していたインプリントモールド用基板１の部分も、位置が変わった後にはエッチングされることになる。
その結果、図１５（ｂ）に示すようなエッチング痕としての突出部１４２が生じることを抑制することができる。

また、上記のように、エッチング装置１０においては、エッチング液に浸漬させた状態で、一対の連動保持部（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）が移動する方向と交差する方向（図１における上下方向）に、インプリントモールド用基板１を往復移動させることができる。すなわち、エッチング液に浸漬させた状態で、図１に示すＺ方向に沿って、インプリントモールド用基板１を上下に揺動させることができる。

それゆえ、インプリントモールド用基板１の表面、裏面、および各側面に対して、エッチング槽１１内の未反応のエッチング液が次々と供給されて、エッチングが促進されることになる。また、インプリントモールド用基板１を、例えば重力方向に対して上下方向に揺動させることにより、エッチング槽１１内のエッチング液が攪拌されるため、より均一なエッチングが進行することになる。
すなわち、本実施形態のエッチング装置１０を用いたエッチング方法によれば、インプリントモールド用基板１を固定した状態でエッチングする場合に比べて、より速く、より均一なエッチングをインプリントモールド用基板１に施すことができる。

なお、インプリントモールド用基板１を固定した状態でエッチングする場合は、例えば、台座構造１１２の高さ（すなわちエッチング量）として、３０μｍエッチングするのに、１時間以上を要していた。

上述のように、エッチング装置１０において、連動保持回転部１３および補助連動保持回転部１５は、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変えながら、インプリントモールド用基板１を保持する。
それゆえ、連動保持回転部１３および補助連動保持回転部１５は、インプリントモールド用基板１の側面や、表面および裏面に接触するものであってもよいが、インプリントモールド用基板１の側面や、表面および裏面に接触しないものである方が、インプリントモールド用基板１の側面や、表面および裏面に、エッチング痕としての突出部が生じなくなる点で、より好ましい。

ここで、通常、インプリントモールド用基板１は、所定の形状に切断された際に生じる余分な突起（いわゆるバリ）等を除去するために、外縁部に研磨が施されている。すなわち、インプリントモールド用基板１は、各側面が延びる方向に沿って、表面と裏面の外縁部にインプリントモールド用基板１の厚みが減少する向きの傾斜面が形成されている。
この傾斜面は、丸みを帯びた面になっていることもあるし、平坦面であることもある。また、この傾斜面が平坦面である場合、傾斜面とインプリントモールド用基板１の表面、側面とは丸みを帯びた面を介して接続される場合もあるし、表面と鈍角を持って接する場合もある。この傾斜面は、外縁部の外端から内側に向かって、一般に１ｍｍ程度以下の幅の領域に形成されている。

それゆえ、エッチング装置１０においては、連動保持回転部１３および補助連動保持回転部１５が、この傾斜面でインプリントモールド用基板１と接触することが好ましい。インプリントモールド用基板１の側面や、表面および裏面に接触しないものとすることができるからである。

例えば、図４（ａ）に示すように、インプリントモールド用基板１は、表面１ａの外縁部（図中のＰ１からＰ２の領域）にインプリントモールド用基板１の厚みが減少する向きの傾斜面１ｑを有し、同様に、裏面１ｂの外縁部（図中のＰ３からＰ４の領域）にインプリントモールド用基板１の厚みが減少する向きの傾斜面１ｒを有している。そして、インプリントモールド用基板１の厚みは、外縁部でＴ１からＴ２に減少している。
なお、図４（ａ）に示すインプリントモールド用基板１の形態は、例えば、図２に示す状態のインプリントモールド用基板１の側面Ｈ１を角部Ｃ１２から角部Ｃ４１の方向に沿って見た場合の形態に相当する（すなわち、この場合は、図４（ａ）に示す側面１ｃが図２に示す側面Ｈ１になる）。

それゆえ、例えば図４（ｂ）に示すように、連動保持回転部１３の形態を、面１３ａと面１３ｂで構成される溝を有する滑車状の形態とすることで、連動保持回転部１３の面１３ａと面１３ｂが、それぞれ、インプリントモールド用基板１の傾斜面１ｑと傾斜面１ｒと接触するようにできる。
換言すれば、連動保持回転部１３は、インプリントモールド用基板１の側面１ｃや、表面１ａおよび裏面１ｂに接触しないものとすることができる。

ここで、連動保持回転部１３の面１３ａと面１３ｂのなす角度θ１は、面１３ａ、面１３ｂの大きさにもよるが、例えば、３０°以上１５０°以下とすることができる。
通常、角度θ１が大きいほど、面１３ａ、１３ｂが接触する部分は、傾斜面１ｑ、１ｒにおいて、より側面１ｃに近い位置になり、角度θ１が小さいほど、面１３ａ、１３ｂが接触する部分は、傾斜面１ｑ、１ｒにおいて、より側面１ｃから遠い位置になる。

なお、連動保持回転部１３は、回転軸１３ｃの周りに回転できるものであり、この回転は、一の方向のみならず、一の方向の逆方向にも回転できるものである（すなわち、正転と逆転とが可能である）。

さらに、連動保持回転部１３の面１３ａ、面１３ｂは剛性体で構成することもできるが、樹脂等の弾性体で構成することもできる。弾性体とした場合は、連動保持回転部１３の面１３ａ、面１３ｂの角度とインプリントモールド用基板１の傾斜面１ｑ、傾斜面１ｒの角度が異なる場合や、傾斜面１ｑ、傾斜面１ｒが丸みを帯びているでも、連動保持回転部１３の面１３ａ、面１３ｂの表面が撓むことによってインプリントモールド用基板１を確実に保持することが出来るので、より好ましい。

また、同様に、補助連動保持回転部１５の形態も上記のような形態、すなわち、図４（ｂ）に示す連動保持回転部１３のような滑車状の形態とすることができる。この場合、連動保持回転部１３において得られる効果と同様の効果を、補助連動保持回転部１５においても得ることができる。

エッチング装置１０において、エッチング槽１１、連動保持部１２、連動保持回転部１３、補助連動保持部１４、補助連動保持回転部１５を構成する材料は、エッチング液に耐性を有する材料であれば、特に限定されない。連動保持回転部１３（補助連動保持回転部１５も同様）を構成する材料、特に面１３ａ、面１３ｂを構成する材料は、インプリントモールド用基板１に傷を付けない点で、樹脂製であることが好ましい。

例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー（ＦＥＰ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）等のフッ素樹脂によって、連動保持回転部１３を形成することができる。

なお、図１に示すエッチング装置１０においては、重力方向に対して、インプリントモールド用基板１が上下に搖動する、縦型の装置形態を例示したが、本実施形態はこれに限定されない。例えば、本実施形態のエッチング装置は、インプリントモールド用基板１が水平に搖動する、横型の装置形態であってもよい。上下左右方向の搖動を組み合わせた、例えば、斜め方向の搖動、ボックス型（例：上昇→右→下降→左）に移動する搖動、円を描く搖動、さらには方向、距離が段階ごとに変動する搖動であっても良い。

より詳しくは、図１に示すエッチング装置１０においては、連動保持部１２、連動保持回転部１３、補助連動保持部１４、補助連動保持回転部１５が重力方向に対して水平な面に沿った方向に移動する構成を例示したが、連動保持部１２、連動保持回転部１３、補助連動保持部１４、補助連動保持回転部１５が重力方向に対して垂直な面に沿った方向に移動してインプリントモールド用基板１を移動させても良い。
また、連動保持回転部１３、補助連動保持回転部１５が重力方向に対して水平な面に沿った方向、連動保持部１２、補助連動保持部１４が重力方向に対して垂直な面に沿った方向、若しくは、連動保持回転部１３、補助連動保持回転部１５が重力方向に対して垂直な面に沿った方向、連動保持部１２、補助連動保持部１４が重力方向に対して水平な面に沿った方向に移動してインプリントモールド用基板１を移動させても良い。
さらには、その他の方向に移動してインプリントモールド用基板１を移動させても良いし、インプリントモールド用基板１の表面に垂直な方向にインプリントモールド用基板１全体を移動させても良いし、インプリントモールド用基板１の上辺、下辺、または左辺、右辺を表面に垂直な方向に交互に前後させるあおる動作をさせても良い。

エッチング中のインプリントモールド用基板１の移動形態は揺動に限定されず、エッチングの均一性、エッチング後のインプリントモールド用基板１の表面、裏面、側面形状（突出部形成抑制を含む）、寸法精度等をはじめとするエッチング工程の品質、エッチング速度、その他の特性を改善させられる移動形態であれば良いし、その他の目的でインプリントモールド用基板１を移動させられる形態であっても良い。

＜第２の実施形態＞
次に、図５～７を用いて、本発明に係るエッチング装置の第２の実施形態について説明する。ここで、図５は、本発明に係るエッチング装置の第２の実施形態の一例を示す図であり、図６及び図７は、図５に示すエッチング装置の動作について示す図である。
なお、上述した第１の実施形態と重複する内容については、適宜説明を省略する。

図５に示すように、本実施形態に係るエッチング装置２０は、エッチング槽２１の中に、インプリントモールド用基板１を保持する一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）、および、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）を備えている。

なお、図５に示すエッチング装置２０においても、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）に加えて、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）を備える構成を例示しているが、本実施形態に係るエッチング装置は、これに限定されず、補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）を備えていない構成であってもよい。
例えば、エッチング装置が図５に示すように縦型の装置であって、インプリントモールド用基板１も縦型に配置され、インプリントモールド用基板１を重力方向に対して下側の２つの側面の側から保持できる場合は、この下側の２つの側面の側から、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）によりインプリントモールド用基板１を保持する構成とすることで、補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）を省くこともできる。

図５に示すエッチング装置２０においても、上記の図１に示すエッチング装置１０と同様に、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）は、インプリントモールド用基板１の４つの側面のうちの隣り合う２つの側面（図５において、下側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１を保持している。
より詳しくは、各連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）は、それぞれ、インプリントモールド用基板１と接触する連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を有しており、この連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）がインプリントモールド用基板１の４つの側面のうちの隣り合う２つの側面の側から、インプリントモールド用基板１に押し当てられて、インプリントモールド用基板１を保持している。

各連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）は、それぞれの連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面が延びる方向に沿って、回転するように構成されている。各連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）は動力の供給を受けて能動的に回転するように構成しても良いし、各連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）等のエッチング装置２０の構成要素や、各連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）に接するインプリントモールド用基板１等からの反力によって受動的に回転するように構成しても良い。

また、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）は、インプリントモールド用基板１の４つの側面のうち、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面とは異なる２つの側面（図５において、上側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１を補助的に保持している。
より詳しくは、各補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）は、それぞれ、インプリントモールド用基板１と接触する補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）を有しており、この補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）がインプリントモールド用基板１の４つの側面のうち、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面とは異なる２つの側面（図５において、上側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１に押し当てられて、インプリントモールド用基板１を補助的に保持している。

各補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は、それぞれの補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面が延びる方向に沿って、回転するように構成されている。各補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は動力の供給を受けて能動的に回転するように構成しても良いし、各補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）等のエッチング装置２０の構成要素や、各補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）に接するインプリントモールド用基板１等からの反力によって受動的に回転するように構成しても良い。

ここで、上記の図１に示すエッチング装置１０においては、一対の連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）は、動力の供給を受けて、各連動保持部１２（１２Ｌ、１２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部１３（１３Ｌ、１３Ｒ）を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に移動させる機構を備えていた。

一方、図５に示すエッチング装置２０においては、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）は、動力の供給を受けて、各連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向（図中のＸ方向）および前記一の方向とは反対の方向に移動させる機構を備えている。
各連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）は動力の供給を受けて能動的に回転するように構成しても良いし、各連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）等のエッチング装置２０の構成要素や、各連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）に接するインプリントモールド用基板１等からの反力によって受動的に回転するように構成しても良い。

それゆえ、図５に示すエッチング装置２０においては、一対の前記連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向（図中のＸ方向）および前記一の方向とは反対の方向に繰り返し移動させることにより、連動保持部２２がインプリントモールド用基板１と接触する位置を変えつつ、インプリントモールド用基板１を、インプリントモールド用基板１の表面側から見て、時計方向および反時計方向に、回転させることができる。

また、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）は、上記の一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）の動作に連動して、各補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）を回転させつつ、一の方向（図中のＸ方向）および前記一の方向とは反対の方向に移動させる機構を備えている。
各補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は動力の供給を受けて能動的に回転するように構成しても良いし、各補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）等のエッチング装置２０の構成要素や、各連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）に接するインプリントモールド用基板１等からの反力によって受動的に回転するように構成しても良い。

例えば、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）が一の方向（図中のＸ方向）に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は前記一の方向とは反対の方向に移動し、逆に、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）が前記一の方向とは反対の方向に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は前記一の方向に移動する。

なお、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）の機構は、動力の供給を受けて能動的に動くものではなく、受動的なものであってよい。例えば、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は、バネの力や圧力等で、それぞれ、インプリントモールド用基板１の側面の側に押し当てられているものであってもよい。

上記のエッチング装置２０の動作について、図６、７を用いて、より詳しく説明する。
例えば、図６に示す状態において、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向（図中の矢印ＹＣ１、ＹＣ２の方向）に移動させると、この動作に連動して、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は回転しながら前記一の方向とは反対の方向（図中の矢印ＹＣ３、ＹＣ４の方向）に移動し、インプリントモールド用基板１は、インプリントモールド用基板１の表面側から見て、時計方向（図中の矢印ＹＲの方向）に回転することになる。

そして、上記の連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向（図中の矢印ＹＣ１、ＹＣ２の方向）に移動させる動作において、連動保持回転部２３Ｌは、連動保持部２２Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部２３Ｌが接触する側の側面Ｈ２）が延びる方向（この場合は角部Ｃ１２に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、上記の連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向（図中の矢印ＹＣ１、ＹＣ２の方向）に移動させる動作において、連動保持回転部２３Ｒは、連動保持部２２Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部２３Ｒが接触する側の側面Ｈ１）が延びる方向（この場合は角部Ｃ４１に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

また、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）が一の方向（図中の矢印ＹＣ１、ＹＣ２の方向）に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は前記一の方向とは反対の方向（図中の矢印ＹＣ３、ＹＣ４の方向）に移動する。

この際、補助連動保持回転部２５Ｌは、補助連動保持部２４Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部２５Ｌが接触する側の側面Ｈ３）が延びる方向（この場合は角部Ｃ２３に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、補助連動保持回転部２５Ｒは、補助連動保持部２４Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部２５Ｒが接触する側の側面Ｈ４）が延びる方向（この場合は角部Ｃ３４に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

次に、図７に示す状態において、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向とは反対の方向（図中の矢印ＹＤ１、ＹＤ２の方向）に移動させると、この動作に連動して、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は回転しながら一の方向（図中の矢印ＹＤ３、ＹＤ４の方向）に移動し、インプリントモールド用基板１は、インプリントモールド用基板１の表面側から見て、反時計方向（図中の矢印ＹＬの方向）に回転することになる。

そして、上記の連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向とは反対の方向（図中の矢印ＹＤ１、ＹＤ２の方向）に移動させる動作において、連動保持回転部２３Ｌは、連動保持部２２Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部２３Ｌが接触する側の側面Ｈ２）が延びる方向（この場合は角部Ｃ２３に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、上記の連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を回転させつつ、一の方向とは反対の方向（図中の矢印ＹＤ１、ＹＤ２の方向）に移動させる動作において、連動保持回転部２３Ｒは、連動保持部２２Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、連動保持回転部２３Ｒが接触する側の側面Ｈ１）が延びる方向（この場合は角部Ｃ１２に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

また、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が有するそれぞれの連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）が、一の方向とは反対の方向（図中の矢印ＹＤ１、ＹＤ２の方向）に移動する際には、この動作に連動して、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）が有するそれぞれの補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）は一の方向（図中の矢印ＹＤ３、ＹＤ４の方向）に移動する。

この際、補助連動保持回転部２５Ｌは、補助連動保持部２４Ｌが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部２５Ｌが接触する側の側面Ｈ３）が延びる方向（この場合は角部Ｃ３４に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

同様に、補助連動保持回転部２５Ｒは、補助連動保持部２４Ｒが保持する側のインプリントモールド用基板１の側面（すなわち、補助連動保持回転部２５Ｒが接触する側の側面Ｈ４）が延びる方向（この場合は角部Ｃ４１に向かう方向）に沿って回転して、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変える。

上記のように、エッチング装置２０においても、インプリントモールド用基板１をエッチング液に浸漬させた状態で、連動保持部２２の連動保持回転部２３および補助連動保持部２４の補助連動保持回転部２５は、インプリントモールド用基板１と接触する位置を変えつつ、インプリントモールド用基板１を保持できる。

それゆえ、エッチング装置２０を用いたエッチング方法においても、上記のエッチング装置１０を用いたエッチング方法と同様に、図１５（ｂ）に示すようなエッチング痕としての突出部１４２が生じることを抑制することができる。

また、エッチング装置２０においても、エッチング液に浸漬させた状態で、インプリントモールド用基板１を揺動させることができる。より詳しくは、エッチング装置２０においては、エッチング液に浸漬させた状態で、インプリントモールド用基板１を、インプリントモールド用基板１の表面側から見て、時計方向および反時計方向に回転させることができる。

それゆえ、エッチング装置２０においても、インプリントモールド用基板１の表面、裏面、および各側面に対して、エッチング槽２１内の未反応のエッチング液が次々と供給されて、エッチングが促進されることになる。また、インプリントモールド用基板１の回転により、エッチング槽２１内のエッチング液が攪拌されるため、より均一なエッチングが進行することになる。
すなわち、本実施形態のエッチング装置２０を用いたエッチング方法においても、インプリントモールド用基板１を固定した状態でエッチングする場合に比べて、より速く、より均一なエッチングをインプリントモールド用基板１に施すことができる。

なお、エッチング装置２０において、連動保持部２２が有する連動保持回転部２３の形態は、エッチング装置１０の連動保持部１２が有する連動保持回転部１３と同様とすることができ、この場合、エッチング装置１０で得られる効果と同様の効果を得ることができる。
例えば、連動保持回転部２３の形態は、図４（ｂ）に示す連動保持回転部１３の形態と同様とすることができる。

また、同様に、補助連動保持回転部２５の形態も上記のような形態、すなわち、図４（ｂ）に示す連動保持回転部１３のような滑車状の形態とすることができる。この場合、連動保持回転部１３において得られる効果と同様の効果を、補助連動保持回転部２５においても得ることができる。

エッチング装置２０においても、エッチング槽２１、連動保持部２２、連動保持回転部２３、補助連動保持部２４、補助連動保持回転部２５を構成する材料は、エッチング液に耐性を有する材料であれば、特に限定されない。
連動保持回転部２３および補助連動保持回転部２５を構成する材料は、インプリントモールド用基板１に傷を付けない点で、樹脂製であることが好ましい。連動保持回転部２３および補助連動保持回転部２５を構成する材料は、エッチング装置１０の連動保持回転部１３と同様とすることができる。

また、図５に示すエッチング装置２０においては、インプリントモールド用基板１が縦型に配置される縦型の装置形態を例示したが、本実施形態はこれに限定されない。例えば、本実施形態のエッチング装置は、インプリントモールド用基板１が水平に配置される横型の装置形態であってもよい。

より詳しくは、図５に示すエッチング装置２０においては、連動保持部２２、連動保持回転部２３、補助連動保持部２４、補助連動保持回転部２５が重力方向に対して水平な面に沿った方向に移動する構成を例示したが、連動保持部２２、連動保持回転部２３、補助連動保持部２４、補助連動保持回転部２５が重力方向に対して垂直な面に沿った方向、若しくは、その他の方向に移動してインプリントモールド用基板１を移動させても良い。

エッチング中のインプリントモールド用基板１の移動形態は上記の移動に限定されず、エッチングの均一性、エッチング後のインプリントモールド用基板１の表面、裏面、側面形状（突出部形成抑制を含む）、寸法精度等をはじめとするエッチング工程の品質、エッチング速度、その他の特性を改善させられる移動形態であれば良いし、その他の目的でインプリントモールド用基板１を移動させられる形態であっても良い。

例えば、インプリントモールド用基板１の回転は、インプリントモールド用基板１の表面に垂直でインプリントモールド用基板１の中心を通る軸を中心としたものに限定されず、インプリントモールド用基板１の中心からずれた場所を通る軸、インプリントモールド用基板１の外を通る軸、さらにはインプリントモールド用基板１の表面に対して垂直方向から傾いた軸を中心として回転させても良い。さらに、回転と、第１の実施形態に記載した移動を組み合わせても良い。

＜第２の実施形態の変形例＞
次に、図８～１０を用いて、本発明に係るエッチング装置の第２の実施形態の変形例について説明する。ここで、図８は、本発明に係るエッチング装置の第２の実施形態の変形例を示す図であり、図９は、図８に示すエッチング装置の連動保持部の一例を示す図であり、図１０は、図８に示すエッチング装置の動作について示す図である。
なお、上述した第２の実施形態と重複する内容については、適宜説明を省略する。

図８に示すように、本実施形態に係るエッチング装置３０は、エッチング槽３１の中に、インプリントモールド用基板１を保持する一対の連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）、および、一対の補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）を備えている。

なお、図８に示すエッチング装置３０においても、一対の連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）に加えて、一対の補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）を備える構成を例示しているが、本実施形態に係るエッチング装置は、これに限定されず、補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）を備えていない構成であってもよい。
例えば、エッチング装置が図８に示すように縦型の装置であって、インプリントモールド用基板１も縦型に配置され、インプリントモールド用基板１を重力方向に対して下側の２つの側面の側から保持できる場合は、この下側の２つの側面の側から、一対の連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）によりインプリントモールド用基板１を保持する構成とすることで、補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）を省くこともできる。

図８に示すエッチング装置３０においても、上記の図５に示すエッチング装置２０と同様に、一対の連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）は、インプリントモールド用基板１の４つの側面のうちの隣り合う２つの側面（図８において、下側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１を保持している。
より詳しくは、各連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）は、それぞれ、インプリントモールド用基板１と接触する連動保持回転部３３（３３Ｌ、３３Ｒ）を有しており、この連動保持回転部３３（３３Ｌ、３３Ｒ）がインプリントモールド用基板１の４つの側面のうちの隣り合う２つの側面の側から、インプリントモールド用基板１に押し当てられて、インプリントモールド用基板１を保持している。
各連動保持回転部３３（３３Ｌ、３３Ｒ）は、それぞれの連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面が延びる方向に沿って、回転するように構成されている。

また、一対の補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）は、インプリントモールド用基板１の４つの側面のうち、一対の連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面とは異なる２つの側面（図８において、上側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１を補助的に保持している。
より詳しくは、各補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）は、それぞれ、インプリントモールド用基板１と接触する補助連動保持回転部３５（３５Ｌ、３５Ｒ）を有しており、この補助連動保持回転部３５（３５Ｌ、３５Ｒ）がインプリントモールド用基板１の４つの側面のうち、一対の連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面とは異なる２つの側面（図８において、上側の２つの側面）の側から、インプリントモールド用基板１に押し当てられて、インプリントモールド用基板１を補助的に保持している。
各補助連動保持回転部３５（３５Ｌ、３５Ｒ）は、それぞれの補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面が延びる方向に沿って、回転するように構成されている。

ここで、上記の図５に示すエッチング装置２０においては、一対の連動保持部２２（２２Ｌ、２２Ｒ）は、それそれ、１個の連動保持回転部２３（２３Ｌ、２３Ｒ）を有していた。また、一対の補助連動保持部２４（２４Ｌ、２４Ｒ）は、それそれ、１個の補助連動保持回転部２５（２５Ｌ、２５Ｒ）を有していた。

一方、図８に示すエッチング装置３０においては、一対の連動保持部３２（３２Ｌ、３２Ｒ）は、それぞれ、連動保持回転部３３（３３Ｌ、３３Ｒ）を２個有し、２個の連動保持回転部３３（３３Ｌ、３３Ｒ）が回転可能な支点に連結されている。
また、一対の補助連動保持部３４（３４Ｌ、３４Ｒ）は、それそれ、補助連動保持回転部３５（３５Ｌ、３５Ｒ）を２個有し、２個の補助連動保持回転部３５（３５Ｌ、３５Ｒ）が回転可能な支点に連結されている。

上記の連動保持部３２が有する２個の連動保持回転部３３について、図９を用いて、より詳しく説明する。なお、補助連動保持部３４が有する２個の補助連動保持回転部３５の構成や動作も、図９に示す連動保持部３２が有する２個の連動保持回転部３３と同様とすることができる。
ここで、図９（ａ）は、連動保持部３２が有する２個の連動保持回転部３３の構成例を示す図であり、図９（ｂ）は、連動保持部３２が有する２個の連動保持回転部３３の動作を示す図である。

まず、図９（ａ）に示すように、連動保持部３２は、連動保持回転部３３を２個有し、２個の連動保持回転部３３が支点３２ａに連結されている。
このような構成を有するため、連動保持部３２においては、図９（ｂ）に示すように、支点３２ａを軸にして、２個の連動保持回転部３３を連結する部分が一の塊として回転可能（いわゆる首振り可能）になっている。

それゆえ、図８に示すエッチング装置３０においては、連動保持部３２や補助連動保持部３４が保持する側のインプリントモールド用基板１の側面が延びる方向に沿ってインプリントモールド用基板１と接触する位置を変える移動に際して、たとえ、その保持する側の側面の端部を通り越してしまった場合にも、インプリントモールド用基板１を落下させずに保持状態を維持できる。

例えば、図１０に示すように、連動保持部３２Ｌの連動保持回転部３３Ｌが、インプリントモールド用基板１の側面Ｈ２に沿って、角部Ｃ１２に向かって移動し、連動保持部３２Ｌが有する２個の連動保持回転部３３Ｌの片方が側面Ｈ２の端部を通り越してしまった場合にも、２個の連動保持回転部３３Ｌを連結する部分が支点を軸に回転して、側面Ｈ２の端部を通り越してしまった方の連動保持回転部３３Ｌは側面Ｈ１に沿ってインプリントモールド用基板１との接触を保ち、残った方の連動保持回転部３３Ｌは側面Ｈ２に沿ってインプリントモールド用基板１との接触を保つため、インプリントモールド用基板１を落下させずに保持状態を維持できる。

同様に、図１０に示す例においては、補助連動保持部３４Ｒの補助連動保持回転部３５Ｒが、インプリントモールド用基板１の側面Ｈ４に沿って、角部Ｃ３４に向かって移動し、補助連動保持部３４Ｒが有する２個の補助連動保持回転部３５Ｒの片方が側面Ｈ４の端部を通り越してしまった場合にも、２個の補助連動保持回転部３５Ｒを連結する部分が支点を軸に回転して、側面Ｈ４の端部を通り越してしまった方の補助連動保持回転部３５Ｒは側面Ｈ３に沿ってインプリントモールド用基板１との接触を保ち、残った方の補助連動保持回転部３５Ｒは側面Ｈ４に沿ってインプリントモールド用基板１との接触を保つため、インプリントモールド用基板１を落下させずに保持状態を維持できる。

すなわち、図８に示すエッチング装置３０においては、図５に示すエッチング装置２０において得られる効果に加えて、上記のようなインプリントモールド用基板１の落下防止の効果も得ることができる。

以上、本発明に係るエッチング装置およびエッチング方法について、それぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。

１ インプリントモールド用基板
１ａ 表面
１ｂ 裏面
１ｃ 側面
１ｑ、１ｒ 傾斜面
１０ エッチング装置
１１ エッチング槽
１２、１２Ｌ、１２Ｒ 連動保持部
１３、１３Ｌ、１３Ｒ 連動保持回転部
１３ａ、１３ｂ 面
１３ｃ 回転軸
１４、１４Ｌ、１４Ｒ 補助連動保持部
１５、１５Ｌ、１５Ｒ 補助連動保持回転部
２０ エッチング装置
２１ エッチング槽
２２、２２Ｌ、２２Ｒ 連動保持部
２３、２３Ｌ、２３Ｒ 連動保持回転部
２４、２４Ｌ、２４Ｒ 補助連動保持部
２５、２５Ｌ、２５Ｒ 補助連動保持回転部
３０ エッチング装置
３１ エッチング槽
３２、３２Ｌ、３２Ｒ 連動保持部
３２ａ 支点
３３、３３Ｌ、３３Ｒ 連動保持回転部
３４、３４Ｌ、３４Ｒ 補助連動保持部
３５、３５Ｌ、３５Ｒ 補助連動保持回転部
１００、１００Ａ、１００Ｂ インプリントモールド
１０１ インプリントモールド用ブランクス
１１１ 基部
１１２ 台座構造
１１３ 凹部
１１４ 転写領域
１１５、１１５Ａ、１１５Ｂ 転写パターン
１１６Ｒ、１１６Ｌ 側面
１１１Ａ インプリントモールド用基板
１１１Ｂ 中間体
１１４Ａ 領域
１２１ エッチングマスク
１２１ａ ハードマスク
１２１ｂ レジストマスク
１３１ 保護膜
１４１ 保持具
１４２ 突出部
２０１ 加圧部

Claims (32)

1. 表面、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング装置であって、
   前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の連動保持部を備え、
   前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、
   前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
   前記インプリントモールド用基板を移動させる機構を備える、エッチング装置。
2. 前記連動保持部が、
   前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有し、
   前記連動保持回転部が、
   前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項１に記載のエッチング装置。
3. 一対の前記連動保持部は、
   動力の供給を受けて、各連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に移動させる機構を備え、
   一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に繰り返し移動させることにより、
   前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
   前記インプリントモールド用基板を、前記一対の連動保持部が有するそれぞれの連動保持回転部が移動する方向と交差する方向に移動させる、請求項２に記載のエッチング装置。
4. 一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の補助連動保持部を備え、
   前記補助連動保持部は、
   前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有し、
   前記補助連動保持回転部が、
   前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項３に記載のエッチング装置。
5. 一対の前記補助連動保持部は、
   各補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に移動させる機構を備え、
   一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が相互に近づく方向に移動する際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は相互に離れる方向に移動し、
   一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が相互に離れる方向に移動する際には、
   一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は相互に近づく方向に移動する、請求項４に記載のエッチング装置。
6. 前記インプリントモールド用基板が、
   前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、
   前記補助連動保持部が、
   前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、請求項４または請求項５に記載のエッチング装置。
7. 前記インプリントモールド用基板が、
   前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、
   前記連動保持部が、
   前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載のエッチング装置。
8. 表面、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング装置であって、
   前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の連動保持部を備え、
   前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、
   前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
   前記インプリントモールド用基板を回転させる機構を備える、エッチング装置。
9. 前記連動保持部が、
   前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有し、
   前記連動保持回転部が、
   前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項８に記載のエッチング装置。
10. 一対の前記連動保持部は、
    動力の供給を受けて、各連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を回転させつつ、一の方向および前記一の方向とは反対の方向に移動させる機構を備え、
    一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を回転させつつ、前記一の方向および前記一の方向とは反対の方向に繰り返し移動させることにより、
    前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
    前記インプリントモールド用基板を、前記インプリントモールド用基板の前記表面の側から見て、時計方向および反時計方向に回転させる、請求項９に記載のエッチング装置。
11. 一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持する一対の補助連動保持部を備え、
    前記補助連動保持部は、
    前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有し、
    前記補助連動保持回転部が、
    前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って回転して、前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項１０に記載のエッチング装置。
12. 一対の前記補助連動保持部は、
    各補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を回転させつつ、前記一の方向および前記一の方向とは反対の方向に移動させる機構を備え、
    一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が前記一の方向に移動する際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は前記一の方向とは反対の方向に移動し、
    一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部が前記一の方向とは反対の方向に移動する際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部は前記一の方向に移動する、請求項１１に記載のエッチング装置。
13. 前記補助連動保持部が前記補助連動保持回転部を２個有し、
    ２個の前記補助連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、請求項１１または請求項１２に記載のエッチング装置。
14. 前記連動保持部が前記連動保持回転部を２個有し、
    ２個の前記連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、請求項９乃至請求項１３のいずれか一項に記載のエッチング装置。
15. 前記インプリントモールド用基板が、
    前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、
    前記補助連動保持部が、
    前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、請求項１１乃至請求項１３のいずれか一項に記載のエッチング装置。
16. 前記インプリントモールド用基板が、
    前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、
    前記連動保持部が、
    前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触する、請求項８乃至請求項１５のいずれか一項にエッチング装置。
17. 表面、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング方法であって、
    一対の連動保持部により、前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、
    前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、
    前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
    前記インプリントモールド用基板を移動させる、エッチング方法。
18. 前記連動保持部が、
    前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有しており、
    前記連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記連動保持回転部を回転させて、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項１７に記載のエッチング方法。
19. 一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を、相互に近づく方向および相互に離れる方向に繰り返し移動させることにより、
    前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
    前記インプリントモールド用基板を、前記一対の連動保持部が有するそれぞれの連動保持回転部を移動させる方向と交差する方向に移動させる、請求項１８に記載のエッチング方法。
20. 一対の補助連動保持部により、
    一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、
    前記補助連動保持部は、
    前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有しており、
    前記補助連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記補助連動保持回転部を回転させて、前記補助連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項１９に記載のエッチング方法。
21. 一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を相互に近づく方向に移動させる際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を相互に離れる方向に移動させ、
    一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を相互に離れる方向に移動させる際には、
    一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を相互に近づく方向に移動させる、請求項２０に記載のエッチング方法。
22. 前記インプリントモールド用基板が、
    前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有しており、
    前記補助連動保持部を、
    前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、請求項２０または請求項２１に記載のエッチング方法。
23. 前記インプリントモールド用基板が、
    前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、
    前記連動保持部を、
    前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、請求項１７乃至請求項２２のいずれか一項に記載のエッチング方法。
24. 表面、裏面、および４つの側面を有するインプリントモールド用基板をエッチングして台座構造を形成するエッチング方法であって、
    一対の連動保持部により、前記インプリントモールド用基板の４つの前記側面のうちの隣り合う２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、
    前記インプリントモールド用基板をエッチング液に浸漬させた状態で、
    前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
    前記インプリントモールド用基板を回転させる、エッチング方法。
25. 前記連動保持部が、
    前記インプリントモールド用基板と接触する連動保持回転部を有しており、
    前記連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記連動保持回転部を回転させて、前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項２４に記載のエッチング方法。
26. 一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を回転させつつ、一の方向および前記一の方向とは反対の方向に繰り返し移動させることにより、
    前記連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変えつつ、
    前記インプリントモールド用基板を、前記インプリントモールド用基板の前記表面の側から見て、時計方向および反時計方向に回転させる、請求項２５に記載のエッチング方法。
27. 一対の補助連動保持部により、
    一対の前記連動保持部が保持する側の前記インプリントモールド用基板の前記側面とは異なる２つの前記側面の側から、前記インプリントモールド用基板を保持し、
    前記補助連動保持部は、
    前記インプリントモールド用基板と接触する補助連動保持回転部を有しており、
    前記補助連動保持部により保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記補助連動保持回転部を回転させて、前記補助連動保持部が前記インプリントモールド用基板と接触する位置を変える、請求項２６に記載のエッチング方法。
28. 一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を前記一の方向に移動させる際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を前記一の方向とは反対の方向に移動させ、
    一対の前記連動保持部が有するそれぞれの前記連動保持回転部を前記一の方向とは反対の方向に移動させる際には、一対の前記補助連動保持部が有するそれぞれの前記補助連動保持回転部を前記一の方向に移動させる、請求項２７に記載のエッチング方法。
29. 前記補助連動保持部が前記補助連動保持回転部を２個有し、
    ２個の前記補助連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、請求項２７または請求項２８に記載のエッチング方法。
30. 前記連動保持部が前記連動保持回転部を２個有し、
    ２個の前記連動保持回転部が回転可能な支点に連結されている、請求項２５乃至請求項２９のいずれか一項に記載のエッチング方法。
31. 前記インプリントモールド用基板が、
    前記補助連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、
    前記補助連動保持部を、
    前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、請求項２７乃至請求項２９のいずれか一項に記載のエッチング方法。
32. 前記インプリントモールド用基板が、
    前記連動保持部が保持する側の前記側面が延びる方向に沿って、前記表面と前記裏面の外縁部に、前記インプリントモールド用基板の厚みが減少する向きの傾斜面を有し、
    前記連動保持部を、
    前記傾斜面で前記インプリントモールド用基板と接触させる、請求項２４乃至請求項３１のいずれか一項にエッチング方法。

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