JP7276021B2 - 検出装置、検出方法およびプログラム - Google Patents

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Description

本発明は、検出装置、検出方法およびプログラムに関する。
鉛フリーはんだを用いたはんだ付け工程において、電子部品のリード部および基板の露出電極部から銅がはんだ中に溶け出し、はんだ槽中のはんだの銅濃度が高くなる。はんだの銅濃度が高くなるとはんだの融点が高くなる。はんだの融点の上昇は、濡れ性の悪化を引き起こし、はんだ付け不良の発生頻度を高める。そのため、はんだの銅濃度が管理される。
はんだの銅濃度の管理方法として各種の分析装置を用いた方法がある。例えば、はんだ槽からくみ出されたはんだを型に流してインゴット状のサンプルを作製し、滴定法または分光光度法(蛍光X線分析、ICP(Inductivity coupled plasma)発光分光分析など)を用いて、はんだの銅濃度が分析される。
特開2007-80891号公報(特許文献1)には、分析装置を用いずに、はんだの銅濃度を推定する方法が開示されている。特許文献1に開示の推定方法は、はんだの銅濃度と電子部品のリード部および基板の露出電極部の銅の溶解率との関係やドロスの除去時間間隔とドロスの生成量との関係を用いて、はんだ槽中のはんだの銅濃度の経時変化を推定する。
特開2007-80891号公報
分析装置を用いて銅濃度を分析する場合、通常、外部の分析メーカにサンプルを提出して分析結果を得るため、分析結果を得るまでに時間がかかるとともに、コストがかかる。そのため、頻繁に銅濃度を測定することができず、例えば1ケ月に1回だけ測定される。はんだの銅濃度が上昇するとはんだ付け不良の発生頻度が高まるため、銅濃度は高頻度で測定されることが好ましい。
特許文献1に開示の技術では、はんだの銅濃度と電子部品のリード部および基板の露出電極部の銅の溶解率との関係やドロスの除去時間間隔とドロスの生成量との関係を予め取得しておく必要がある。さらに、複雑な計算を行なうため、計算負荷が大きくなる。
本開示は、上記の問題点に着目してなされたもので、その目的は、はんだの銅濃度の変動を容易にかつ高頻度で検出可能な検出装置、検出方法およびプログラムを提供することである。
本開示の一例によれば、検出装置は、はんだ槽内のはんだの温度を取得するための取得部と、昇温過程および降温過程の少なくとも一方における温度の時間変化からはんだの融点を測定するための測定部と、融点の変動に基づいて、はんだの銅濃度の変動を検出するための検出部とを備える。
この開示によれば、昇温過程および降温過程の少なくとも一方におけるはんだの温度の時間変化に基づいて、はんだの銅濃度の変動を容易に検出できる。はんだの銅濃度の変動は、昇温過程または降温過程で検出され得る。そのため、高頻度で、はんだの銅濃度の変動を検出できる。このように、はんだの銅濃度の変動を容易にかつ高頻度で検出できる。
上述の開示において、検出部は、融点が第1閾値を超える場合に、銅濃度の異常を検出する。
この開示によれば、融点と第1閾値との比較により容易に銅濃度の異常を検出できる。これにより、作業者は、適切なタイミングでメンテナンス等の実施することができる。
上述の開示において、検出部は、融点が第1閾値よりも小さい第2閾値を超える場合に、銅濃度の異常予兆を検出する。
この開示によれば、融点と第2閾値との比較により容易に銅濃度の異常予兆を検出できる。これにより、作業者は、メンテナンス等の準備を前もって行なうことができる。
上述の開示において、取得部は、はんだ槽内のはんだを加熱するためのヒータへの通電開始後に温度を所定周期ごとに取得する。この開示によれば、測定部は、昇温過程の温度の時間変化から融点を測定できる。
上述の開示において、取得部は、はんだ槽内のはんだを加熱するためのヒータへの通電停止後に温度を所定周期ごとに取得する。この開示によれば、測定部は、降温過程の温度の時間変化から融点を測定できる。
本開示の一例によれば、検出方法は、はんだ槽内のはんだの温度を取得するステップと、昇温過程および降温過程の少なくとも一方における温度の時間変化からはんだの融点を測定するステップと、融点の変動に基づいて、はんだの銅濃度の変動を検出するステップとを備える。本開示の一例によれば、プログラムは、上記の検出方法をコンピュータに実行させる。これらの開示によっても、はんだの銅濃度の変動を容易にかつ高頻度で検出できる。
本開示によれば、はんだの銅濃度の変動を容易にかつ高頻度で検出できる。
本実施の形態に係るはんだ付けシステムの全体構成を示す模式図である。 検出装置のハードウェア構成を示す模式図である。 昇温過程および降温過程におけるはんだの温度の時間変化の一例を示す図である。 はんだの銅濃度と融点との関係を示す図である。 ヒータへの通電を開始したときにおける銅濃度の変動の検出処理の流れを示すフローチャートである。 ヒータへの通電を停止したときにおける銅濃度の変動の検出処理の流れを示すフローチャートである。
<適用例>
図1および図2を参照して、本発明が適用される場面の一例について説明する。図1は、本実施の形態に係るはんだ付けシステムの全体構成を示す模式図である。
図1に示されるように、はんだ付けシステム1は、基板Wを搬送するための搬送装置10と、基板Wに対して溶融したはんだSを噴出させてはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置20と、コントローラ30と、検出装置40と、表示装置50とを備える。
噴流式はんだ付け装置20は、はんだ槽21と、ダクト22,23と、ポンプ24,25と、一次噴流ノズル26と、二次噴流ノズル27と、ヒータ28と、温度計29とを含む。
はんだ槽21は、はんだSを収容する。はんだ槽21内には、はんだ槽21内のはんだを加熱するためのヒータ28が設置される。ヒータ28に通電することにより、はんだ槽21内のはんだSは、加熱されて融解する。
はんだ槽21には温度計29が取り付けられている。温度計29は、例えば熱電対によって構成され、はんだ槽21に収容されるはんだSの温度を所定周期(例えば1秒)ごとに計測する。
ダクト22,23は、はんだ槽21内に設置される。ポンプ24,25は、ダクト22,23内に溶融したはんだSをそれぞれ圧送する。ポンプ24は、例えばモータ24aと、モータ24aによって回転する羽根車24bとを有する。ポンプ25は、例えばモータ25aと、モータ25aによって回転する羽根車25bとを有する。
一次噴流ノズル26はダクト22に接続される。一次噴流ノズル26は、ダクト22内で圧送されたはんだSの流れを鉛直方向上向きに変え、上端の開口部からはんだSを噴出させる。一次噴流ノズル26は、表面が波状の一次噴流を生成する。
二次噴流ノズル27はダクト23に接続される。二次噴流ノズル27は、ダクト23内で圧送されたはんだSの流れを鉛直方向上向きに変え、上端の開口部からはんだSを噴出させる。二次噴流ノズル27は、表面が平坦な二次噴流を生成する。
搬送装置10は、はんだ付けの対象となる基板Wを一次噴流ノズル26および二次噴流ノズル27の上方に向けて搬送する。搬送装置10は、搬送ベルト11と、複数の予備加熱装置(プリヒータ)12と、フレーム13と、冷却装置14とを含む。
搬送ベルト11は、基板Wを搬送方向Dに沿って一定速度で搬送する。複数の予備加熱装置12は、搬送ベルト11における一次噴流ノズル26および二次噴流ノズル27の上方よりも上流側に配置され、基板Wを予備加熱する。
フレーム13は、一次噴流ノズル26および二次噴流ノズル27の上方に設置される。フレーム13には観察窓13aが形成されており、観察窓13aを通して、一次噴流ノズル26からの一次噴流および二次噴流ノズル27の二次噴流を上方から観察できる。
冷却装置14は、搬送ベルト11における一次噴流ノズル26および二次噴流ノズル27の上方よりも下流側に配置され、基板Wを冷却する。
コントローラ30は、噴流式はんだ付け装置20を制御する温度調節装置である。噴流式はんだ付け装置20の起動指示が入力されると、コントローラ30は、温度計29によって計測される温度が設定温度になるようにヒータ28への通電を開始する。コントローラ30は、温度計29によって計測される温度が設定温度に到達したタイミングまたは噴流開始指示が入力されたタイミングで、モータ24a,25aを回転させ、一次噴流ノズル26および二次噴流ノズル27からはんだSを噴出させる。噴流式はんだ付け装置20の停止指示が入力されると、コントローラ30は、モータ24a,25aの回転を停止させるとともに、ヒータ28への通電を停止する。
コントローラ30は、温度計29によって所定周期ごとに計測された温度を検出装置40に出力する。
検出装置40は、はんだ槽21内のはんだSの銅濃度の変動を検出する。検出装置40は、取得部402と、測定部404と、検出部406とを備える。
取得部402は、温度計29によって所定周期ごとに計測された、はんだ槽21内のはんだの温度をコントローラ30から取得する。取得部402は、所定周期ごとに計測された温度を温度計29から直接取得してもよい。
測定部404は、取得部402が取得した温度の時間変化からはんだSの融点(液相線温度)を測定する。具体的には、測定部404は、ヒータ28への通電開始後の昇温過程における温度の時間変化からはんだの融点を測定する。もしくは、測定部404は、ヒータ28への通電停止後の降温過程における温度の時間変化からはんだSの融点を測定する。
検出部406は、測定部404によって測定された融点の変動に基づいて、はんだSの銅濃度の変動を検出する。検出部406は、検出結果を表示装置50に表示する。これにより、作業者は、はんだの銅濃度の変動を確認し、必要に応じて、はんだ槽21のメンテナンスを行なう。例えば、作業者は、はんだ槽21内のはんだの一部または全部を廃棄し、適切な銅濃度の新しいはんだを供給する。もしくは、作業者は、はんだ槽21内のはんだの一部を廃棄し、銅濃度の低いはんだを供給してもよい。
本実施の形態によれば、昇温過程および降温過程の少なくとも一方におけるはんだSの温度の時間変化に基づいて、はんだSの銅濃度の変動を容易に検出できる。はんだSの銅濃度の変動は、ヒータ28への通電開始または通電停止のタイミングで検出され得る。そのため、例えば月曜日に噴流式はんだ付け装置20を起動し、金曜日に噴流式はんだ付け装置20を停止する場合、一週間に2回の頻度で、はんだSの銅濃度の変動を検出できる。このように、はんだSの銅濃度の変動を容易にかつ高頻度で検出できる。
<具体例>
(検出装置のハードウェア構成)
図2は、検出装置のハードウェア構成を示す模式図である。検出装置40は、例えば汎用のコンピュータによって実現される。図2に示されるように、検出装置40は、CPU(Central Processing Unit)41と、ROM(Read Only Memory)42と、RAM(Random Access Memory)43と、ハードディスク(HDD)44と、表示インターフェース(IF)45と、入力IF46と、通信IF47とを含む。これらの各部は、バス48を介して、互いにデータ通信可能に接続される。
CPU41は、OSを含む各種プログラムを実行する。ROM42は、BIOSや各種データを格納する。RAM43は、CPU41でのプログラムの実行に必要なデータを格納するための作業領域を提供する。HDD44は、CPU41で実行されるプログラムなどを不揮発的に格納する。図1に示す測定部404および検出部406は、CPU41がプログラムを実行することにより実現される。
表示IF45は、CPU41の指示に従って、表示装置50へデータを出力するインターフェースである。入力IF46は、マウス、キーボードなどの入力装置からデータを受信するインターフェースである。通信IF47は、CPU41の指示に従って、ネットワークを介してコントローラ30との間でデータを送受信するインターフェースである。通信IF47は、例えばコントローラ30から計測された温度を受信する。図1に示す取得部402は、通信IF47によって実現される。
(融点の測定方法)
次に図3を参照して、測定部404による融点の測定方法について説明する。図3は、昇温過程および降温過程におけるはんだSの温度の時間変化の一例を示す図である。図3には、はんだSが常温であるときにヒータ28への通電を開始し、設定温度260℃で約1時間保持した後にヒータ28への通電を停止したときの温度波形が示される。
図3に示されるように、ヒータ28への通電を開始してからはんだSの温度が設定温度260℃に到達するまでの昇温過程において、はんだSの温度が一定(図3に示す例では約220℃)に保たれる期間が存在する。これは、ヒータ28からの発熱がはんだSの融解に費やされるためである。全てのはんだSが融解したタイミングP1の後、はんだSの温度は再び上昇する。タイミングP1における温度波形の2回微分値は極大を示す。
タイミングP1は、はんだSの温度が設定温度260℃に到達したタイミングから所定時間(図3に示す例では1時間)だけ過去の期間内に現れる。当該所定時間は、ヒータ28の能力、はんだ槽21の収容量等に応じて定められる。測定部404は、はんだSの温度が設定温度260℃に初めて到達したタイミングから所定時間だけ過去の期間の中から温度波形の2回微分値が最大となる時点をタイミングP1として抽出する。測定部404は、抽出したタイミングP1における温度をはんだSの融点として決定すればよい。
図3に示されるように、ヒータ28への通電を停止した後の降温過程において、はんだSの温度が一定(図3に示す例では約220℃)に保たれる期間が存在する。これは、はんだSの凝固による熱(凝固熱)が放出されるためである。すなわち、ヒータ28への通電を停止するとはんだSの温度が低下するが、はんだSが凝固し始めるタイミングP2以降、はんだSの温度が一定に保たれる。タイミングP2における温度波形の2回微分値は極大を示す。
タイミングP2は、ヒータ28への通電を停止したタイミングから所定時間(図3に示す例では1時間)経過するまでの期間に現れる。当該所定時間は、はんだ槽21の収容量等に応じて定められる。測定部404は、ヒータ28への通電を停止したタイミングから所定時間経過するまでの期間の中から温度波形の2回微分値が最大となる時点をタイミングP2として抽出する。測定部404は、抽出したタイミングP2における温度をはんだSの融点として決定すればよい。
なお、測定部404は、微小な温度変化の影響を除外するために、温度波形に対してスムージング処理を施してもよい。測定部404は、スムージング処理が施された温度波形の中から2回微分値が最大となるタイミングをタイミングP1またはタイミングP2として抽出すればよい。これにより、微小な温度変化の影響による融点の測定精度の低下を抑制できる。
(銅濃度の変動の検出方法)
次に図4を参照して、検出部406による銅濃度の変動の検出方法について説明する。図4は、はんだの銅濃度と融点との関係を示す図である。図4に示されるように、はんだSの銅濃度が増加するにつれて、はんだSの融点も上昇する。そのため、検出部406は、測定部404によって測定された融点と予め定められた閾値とを比較することにより、はんだSの銅濃度の変動を検出すればよい。
例えば、はんだSの銅濃度を1.0at%(原子パーセント)以下に管理したい場合、銅濃度が1.0at%のときのはんだSの融点が閾値Th1として予め定められる。検出部406は、測定部404によって測定された融点が閾値Th1を超える場合に、はんだSの銅濃度の異常を検出すればよい。つまり、検出部406は、銅濃度が管理基準(=1.0at%)を超えている異常状態の発生を検出する。
検出部406は、銅濃度の異常を検出した場合に、はんだSの銅濃度の異常を通知する通知画面を表示装置50に表示させる。これにより、作業者は、通知画面を確認することにより、銅濃度が異常であることを即座に把握できる。その結果、作業者は、はんだSの入れ替え等のメンテナンスを実施することができる。
さらに、図4に示されるように、閾値Th1よりも低い閾値Th2が予め定められてもよい。検出部406は、測定部404によって測定された融点が閾値Th2を超える場合に、はんだSの銅濃度の異常予兆を検出すればよい。つまり、検出部406は、近い将来に銅濃度が管理基準(=1.0at%)を超える予兆を検出する。
検出部406は、銅濃度の異常予兆を検出した場合に、はんだSの銅濃度の異常予兆を通知する通知画面を表示装置50に表示させる。これにより、作業者は、通知画面を確認することにより、近い将来にはんだSの入れ替え等のメンテナンスが必要であることを認識でき、当該メンテナンスの準備を前もって行なうことができる。
(検出処理の流れ)
次に図5および図6を参照して、検出装置40における検出処理の流れについて説明する。図5は、ヒータへの通電を開始したときにおける銅濃度の変動の検出処理の流れを示すフローチャートである。
ヒータ28への通電が開始されると、検出装置40は、温度計29によって計測されたはんだ槽21内のはんだSの温度を所定周期ごとに取得する(ステップS1)。検出装置40は、はんだSの温度が設定温度に到達するまでの昇温過程において、所定周期ごとにはんだSの温度を取得する。
次に、検出装置40は、昇温過程におけるはんだSの温度の時間変化から融点を測定する(ステップS2)。例えば、検出装置40は、はんだSの温度が設定温度に到達したタイミングから所定時間だけ過去の期間の中から温度波形の2回微分値が最大となる時点の温度を融点として決定する。
次に、検出装置40は、測定した融点が閾値Th1を超えるか否かを判断する(ステップS3)。融点が閾値Th1を超える場合(ステップS3でYES)、検出装置40は、はんだSの銅濃度の異常を検出し、銅濃度の異常を通知する通知画面を表示装置50に表示する(ステップS4)。ステップS4の後、検出処理は終了する。
融点が閾値Th1を超えていない場合(ステップS3でNO)、検出装置40は、測定した融点が閾値Th2(<Th1)を超えるか否かを判断する(ステップS5)。融点が閾値Th2を超える場合(ステップS5でYES)、検出装置40は、はんだSの銅濃度の異常予兆を検出し、銅濃度の異常予兆を通知する通知画面を表示装置50に表示する(ステップS6)。ステップS6の後、検出処理は終了する。
図6は、ヒータへの通電を停止したときにおける銅濃度の変動の検出処理の流れを示すフローチャートである。図6に示すフローチャートは、図5に示すフローチャートと比較して、ステップS2の代わりにステップS12を含む点で相違する。
ステップS12において、検出装置40は、降温過程におけるはんだSの温度の時間変化から融点を測定する。例えば、検出装置40は、ヒータ28への通電を停止したタイミングから所定時間経過するまでの期間の中から温度波形の2回微分値が最大となる時点の温度を融点として決定する。そして、ステップS12で測定された融点に基づいて、ステップS3~S6が実行されることにより、はんだSの銅濃度の変動が検出される。
(利点)
以上のように、本実施の形態に係る検出装置40は、取得部402と測定部404と検出部406とを備える。取得部402は、はんだ槽21内のはんだSの温度を取得する。測定部404は、昇温過程および降温過程の少なくとも一方における温度の時間変化からはんだSの融点を測定する。検出部406は、融点の変動に基づいて、はんだSの銅濃度の変動を検出する。
上記の構成により、昇温過程および降温過程の少なくとも一方におけるはんだSの温度の時間変化に基づいて、はんだSの銅濃度の変動を容易に検出できる。はんだSの銅濃度の変動は、ヒータ28への通電開始または通電停止のタイミングで検出され得る。そのため、高頻度で、はんだSの銅濃度の変動を検出できる。このように、はんだSの銅濃度の変動を容易にかつ高頻度で検出できる。
検出部406は、融点が閾値Th1を超える場合に、銅濃度の異常を検出する。さらに、検出部406は、融点が閾値Th1よりも小さい閾値Th2を超える場合に、銅濃度の異常予兆を検出する。このように、融点と閾値Th1、Th2との比較により容易に銅濃度の異常または異常予兆を検出できる。これにより、作業者は、適切なタイミングでメンテナンス等の実施することができる。
取得部402は、はんだ槽21内のはんだSを加熱するためのヒータ28への通電開始後に温度を所定周期ごとに取得する。これにより、測定部404は、昇温過程の温度の時間変化から融点を測定できる。もしくは、取得部402は、ヒータ28への通電停止後に温度を所定周期ごとに取得してもよい。これにより、測定部404は、降温過程の温度の時間変化から融点を測定できる。
(変形例)
上記の説明では、検出装置40は、タイミングP1またはタイミングP2(図2参照)の温度を融点として決定するものとした。しかしながら、検出装置40は、タイミングP1から所定時間(例えば1分)だけ過去の期間における温度の平均値を融点として決定してもよい。同様に、検出装置40は、タイミングP2から所定時間(例えば1分)だけ経過するまでの期間における温度の平均値を融点として決定してもよい。これにより、温度計29による計測ばらつきの影響を抑制できる。
上記の説明では、昇温過程および降温過程の各々において、温度の時間変化から融点を測定し、はんだSの銅濃度の変動を検出するものとした。しかしながら、昇温過程および降温過程のいずれか一方においてのみ温度の時間変化から融点を測定し、はんだSの銅濃度の変動を検出してもよい。
あるいは、昇温過程の温度の時間変化から測定した融点と直近の降温過程の温度の時間変化から測定した融点との平均値を用いて、はんだSの銅濃度の変動を検出してもよい。すなわち、平均値が閾値Th1,Th2と比較され、比較結果に応じて銅濃度の変動が検出されてもよい。
上記の説明では、検出装置40とコントローラ30とが別体であるものとした。しかしながら、検出装置40とコントローラ30とは一体化されていてもよい。
<付記>
以下のように、本実施の形態は、以下のような開示を含む。
(構成1)
はんだ槽(40)内のはんだ(S)の温度を取得するための取得部(402,47)と、
昇温過程および降温過程の少なくとも一方における前記温度の時間変化から前記はんだ(S)の融点を測定するための測定部(404,41)と、
前記融点の変動に基づいて、前記はんだ(S)の銅濃度の変動を検出するための検出部(406,41)とを備える、検出装置(40)。
(構成2)
前記検出部(406,41)は、前記融点が第1閾値を超える場合に、前記銅濃度の異常を検出する、構成1に記載の検出装置(40)。
(構成3)
前記検出部(406,41)は、前記融点が前記第1閾値よりも小さい第2閾値を超える場合に、前記銅濃度の異常予兆を検出する、構成2に記載の検出装置(40)。
(構成4)
前記取得部(402,47)は、前記はんだ槽(21)内のはんだ(S)を加熱するためのヒータ(28)への通電開始後に前記温度を所定周期ごとに取得する、構成1から3のいずれか記載の検出装置(40)。
(構成5)
前記取得部(402,47)は、前記はんだ槽(21)内のはんだ(S)を加熱するためのヒータ(28)への通電停止後に前記温度を所定周期ごとに取得する、構成1から3のいずれかに記載の検出装置。
(構成6)
はんだ槽(21)内のはんだ(S)の温度を取得するステップと、
昇温過程および降温過程の少なくとも一方における前記温度の時間変化から前記はんだ(S)の融点を測定するステップと、
前記融点の変動に基づいて、前記はんだの銅濃度の変動を検出するステップとを備える、検出方法。
(構成7)
構成6に記載の検出方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 はんだ付けシステム、10 搬送装置、11 搬送ベルト、12 予備加熱装置、13 フレーム、13a 観察窓、14 冷却装置、20 噴流式はんだ付け装置、21 はんだ槽、22,23 ダクト、24,25 ポンプ、24a,25a モータ、24b,25b 羽根車、26 一次噴流ノズル、27 二次噴流ノズル、28 ヒータ、29 温度計、30 コントローラ、40 検出装置、41 CPU、42 ROM、43 RAM、44 HDD、45 表示IF、46 入力IF、47 通信IF、48 バス、50 表示装置、402 取得部、404 測定部、406 検出部、S はんだ、W 基板。

Claims (7)

  1. はんだ槽内のはんだの温度を取得するための取得部と、
    昇温過程および降温過程の少なくとも一方における前記温度の時間変化から前記はんだの融点を測定するための測定部と、
    前記融点の変動に基づいて、前記はんだの銅濃度の変動を検出するための検出部とを備える、検出装置。
  2. 前記検出部は、前記融点が第1閾値を超える場合に、前記銅濃度の異常を検出する、請求項1に記載の検出装置。
  3. 前記検出部は、前記融点が前記第1閾値よりも小さい第2閾値を超える場合に、前記銅濃度の異常予兆を検出する、請求項2に記載の検出装置。
  4. 前記取得部は、前記はんだ槽内のはんだを加熱するためのヒータへの通電開始後に前記温度を所定周期ごとに取得する、請求項1から3のいずれか1項に記載の検出装置。
  5. 前記取得部は、前記はんだ槽内のはんだを加熱するためのヒータへの通電停止後に前記温度を所定周期ごとに取得する、請求項1から3のいずれか1項に記載の検出装置。
  6. はんだ槽内のはんだの温度を取得するステップと、
    昇温過程および降温過程の少なくとも一方における前記温度の時間変化から前記はんだの融点を測定するステップと、
    前記融点の変動に基づいて、前記はんだの銅濃度の変動を検出するステップとを備える、検出方法。
  7. 請求項6に記載の検出方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
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