JP7265867B2 - 加水分解性有機溶媒のための精製プロセス - Google Patents

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Description

本発明は、概して、加水分解性有機溶媒からの汚染物質の除去のための方法に関する。具体的には、本発明は、実質的な加水分解反応を伴わない、イオン交換樹脂による加水分解性有機溶媒からの金属及び非金属イオン性汚染物質の除去のための方法に関する。
序論
イオン性汚染物質を含まない純溶媒は、医薬品及び電子材料の製造などといった多くの工業目的のために必要とされている。特に、金属イオン性汚染物質のレベルがかなり低い有機溶媒が半導体製作プロセスに必要とされており、これは金属イオンの汚染が半導体装置の性能に悪影響を与えることを理由とする。一部の加水分解性有機溶媒は、半導体製作プロセスに有用である。例えば、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)は、半導体製作プロセスにおけるリソグラフィープロセスに一般に使用される。したがって、加水分解性有機溶媒を半導体製作プロセスで使用するのであれば、かかる溶媒がかなり低いレベルの金属イオン性汚染物質を有することが望ましいであろう。
イオン交換樹脂は、イオン性汚染物質を水から除去することによる水の精製のために使用されてきた。近年、かかるイオン交換技術は、電子材料を製造するのに使用される有機溶媒の精製に適用されている。しかしながら、有機溶媒中のイオン性汚染物質の挙動は、極性の差異を理由に水中でのその挙動とは異なると考えられているため、イオン交換樹脂を使用する水の精製のための技術は、直接的に有機溶媒における使用に好適であるとは概して期待できない。
有機溶媒からの金属イオン除去のための従来的方法が開示されている。米国特許第7,329,354号は、イオン交換樹脂による有機溶媒の精製のためのシステムを開示している。日本国特許第JP5,096,907B号は、陰イオン交換樹脂中のOH基がキャッピングされ不活性化される弱陰イオン交換樹脂または陰イオン交換樹脂による、エステルからの陰イオン不純物の除去のための方法を開示している。米国特許第6,123,850号は、ジビニルベンゼンの含有量がかなり高い(50~60%)ポリスチレンジビニルベンゼンコポリマーに基づく陽イオン交換樹脂による、実質的に無水の有機液体の精製のための方法を開示している。米国特許第5,518,628号は、有機溶液からのイオン性汚染物質の除去のための方法を開示しており、これにおいては、イオン交換樹脂の混床の強塩基性陰イオン交換樹脂が弱有機酸のアンモニウム塩によって修飾される。
しかしながら、これらのプロセスは、イオン性汚染物質の除去には不十分であり、かつ/または加水分解反応を起こすことから、得られる有機溶媒は、かなり高いレベルの純度を必要とする用途には好適ではない。したがって、加水分解性有機溶媒から高レベルのイオン性汚染物質を除去するためのプロセスが所望されている。
本発明は、加水分解反応を伴わずに、加水分解性有機溶媒からかなり高いレベルを持つイオン性汚染物質を除去するためのプロセスを提供する。本プロセスは、陽イオン交換樹脂と弱塩基性陰イオン交換樹脂とを含むイオン交換樹脂の混床を使用する。イオン交換樹脂の混床中の弱塩基性陰イオン交換樹脂の使用においては、イオン交換樹脂の混床のイオン交換能力を減少させることなく、加水分解性有機溶媒の加水分解反応を回避することができる。
したがって、本発明の一態様は、加水分解性有機溶媒を、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含む、加水分解性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法に関し、ここで、陰イオン交換樹脂は、弱塩基性陰イオン交換樹脂から選択される。好ましくは、弱塩基性陰イオン交換樹脂は第3級アミン基を有する。
本発明の別の態様は、本明細書に記載の方法のうちのいずれかによって得られるエステル結合を有する化合物に関し、ここで、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度は、それぞれ0.1ppb以下である。
別の態様では、本発明は、加水分解性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法に関し、本方法は、(a)陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床を調製するステップであって、陰イオン交換樹脂が弱塩基性陰イオン交換樹脂から選択されるステップと、(b)加水分解性有機溶媒をイオン交換樹脂の混床と接触させるステップとを含む。
また、本明細書には以下の態様の発明も開示する。
[1]
加水分解性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記加水分解性有機溶媒を、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、前記陰イオン交換樹脂が、弱塩基性陰イオン交換樹脂から選択される、前記方法。
[2]
前記弱塩基性陰イオン交換樹脂が第3級アミン基を有する、上記[1]に記載の前記方法。
[3]
前記陽イオン交換樹脂及び前記陰イオン交換樹脂中の含水量がそれぞれ5重量%以下である、上記[1]に記載の前記方法。
[4]
前記陽イオン交換樹脂及び前記陰イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、前記陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として5ppm以下である、上記[1]に記載の前記方法。
[5]
前記イオン交換樹脂の混床が、次の方法、即ち、
前記イオン交換樹脂を50BV/時間の超純水流によって2時間洗浄し、前記洗浄したイオン交換樹脂と接触させる前後の水の全有機炭素値を分析し、次に、前記イオン交換樹脂と接触させた後の前記水の全有機炭素値を、前記イオン交換樹脂と接触させる前の前記水の全有機炭素値から減算することで、前記水の前記全有機炭素値の差異を計算する方法、によって測定して、10ppb以下の低分子有機化合物の溶出性種を含む、上記[1]に記載の前記方法。
[6]
前記加水分解性有機溶媒が、エステル結合を有する化合物である、上記[1]に記載の前記方法。
[7]
上記[6]に記載の前記方法によって得られたエステル結合を有し、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、それぞれ0.1ppb以下である、化合物。
[8]
加水分解性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
(a)陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床を調製するステップであって、前記陰イオン交換樹脂が弱塩基性陰イオン交換樹脂である、ステップと、
(b)加水分解性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む、前記方法。
[9]
前記ステップ(b)が、前記イオン交換樹脂の混床を充填したカラム中で前記加水分解性有機溶媒を流すことによって実施され、前記加水分解性有機溶媒の流速が1~100BV/時間である、上記[8]に記載の前記方法。
[10]
前記方法が、前記含水量が5重量%以下になるまで前記陽イオン交換樹脂及び前記陰イオン交換樹脂を乾燥させるステップ(c)を有し、前記ステップ(c)が前記ステップ(a)の前に実施される、上記[8]に記載の前記方法。
[11]
前記ステップ(c)が、前記陰イオン交換樹脂及び前記陽イオン交換樹脂を、減圧条件下で1~48時間、60~120℃のオーブン中で乾燥させることによって実施される、上記[10]に記載の前記方法。
これら及び他の実施形態を、発明を実施するための形態において更に詳述する。
本明細書全体で使用する場合、以下に与えられる略記は、文脈上他の意味であることが明白な場合を除き、次の意味を有する:g=グラム、mg=ミリグラム、L=リットル、mL=ミリリットル、ppm=100万分の1、ppb=10億分の1、m=メートル、mm=ミリメートル、cm=センチメートル、min.=分、s=秒、hr.=時間、℃=C度=セ氏度、vol%=体積パーセント、wt%=重量パーセント。
本発明の方法は、概して、加水分解性有機溶媒に適用可能である。本明細書で使用する場合、「加水分解性有機溶媒」は、触媒の有無に関わらず水によって酸成分と塩基成分とに分解され得る化合物を含む溶媒を意味する。加水分解性有機溶媒としては、エステル、アミド、炭酸塩、及びこれらの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。エステルの例としては、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチル、及びガンマ-ブチロラクトンが挙げられる。アミドの例としては、N-メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロピオンアミド、N-(2-ヒドロキシエチル)プロピオンアミド、及びガンマブチロラクタムが挙げられる。炭酸塩の例としては、炭酸エチレン及び炭酸プロピレン、炭酸ジメチル及び炭酸ジエチルが挙げられる。
本発明の方法はイオン交換樹脂の混床を使用する。イオン交換樹脂の混床は、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂の混合物を指す。イオン交換樹脂の混床中で使用される陽イオン交換樹脂は、通常、官能基の負電荷を中和するための対となる陽イオンとして水素イオンを有する。イオン交換樹脂の混床中で使用される陰イオン交換樹脂は、弱塩基性陰イオン交換樹脂である。
当技術分野で既知のように、2種類の陰イオン交換樹脂、即ち、強塩基性陰イオン交換樹脂及び弱塩基性陰イオン交換樹脂が存在する。強塩基性陰イオン交換樹脂は、塩基性樹脂ビーズの表面上にトリメチルアンモニウム基(I型と呼ばれる)またはジメチルエタノールアンモニウム基(II型)を有する。本明細書では、これらの基を「強塩基性基(複数可)」と呼称する。かかる強塩基性基は、基の正電荷を中和するための対となる陰イオン(例えば、ヒドロキシルイオン(OH))を有する。
発明者らは、望ましくない加水分解を伴わずに加水分解性有機溶媒を精製するために、イオン交換樹脂の混床中で弱塩基性陰イオン交換樹脂を使用する技術的アプローチを発見した。
弱塩基性陰イオン交換樹脂は、塩基性樹脂ビーズの表面上に第1級、第2級、または第3級アミン(典型的にはジメチルアミン)基を有することができる。本明細書で使用する場合は、かかる基を「弱塩基性基(複数可)」と呼称する。精製される溶媒が陽イオン交換樹脂と接触すると、水素イオンが通常通り放出され、放出された水素イオンは弱塩基性基内で窒素原子の非共有電子対と会合する。次に陰イオン不純物は、電荷中性要件に起因して、弱塩基性基と結合する。その結果、水などの所望されない成分がこの精製プロセスによって生成されることはない。
イオン交換樹脂の混床も陽イオン交換樹脂を含む。強陽イオン交換樹脂と弱陽イオン交換樹脂との両方が、本発明の種々の実施形態におけるイオン交換樹脂の混床のために使用され得る。強陽イオン交換樹脂としては、強酸性(例えばスルホン酸)基を持つ陽イオン交換樹脂が挙げられる。弱陽イオン交換樹脂としては、弱酸性カルボン酸基、弱酸性ホスホン酸基、及び/または弱酸性フェノール基を持つ陽イオン交換樹脂が挙げられる。
イオン交換樹脂の混床における陽イオン交換樹脂の陰イオン交換樹脂に対する比率は概して、いくつかの実施形態ではイオン交換基の当量比で1:9~9:1である。好ましくは、比率は2:8~8:2である。
陽イオン交換樹脂及び/または陰イオン交換樹脂は、その製造プロセスから生じる金属不純物を含有する場合がある。かかる金属不純物は樹脂から出て、処理済みの溶媒中で金属イオン汚染を引き起こす。いかなる特定の理論にも束縛されるものではないが、発明者らは、かかる金属不純物が、樹脂の反応副生成物または未反応生成物としてイオン交換樹脂中に含有される低分子量有機化合物と結びつくと考える。かかる金属有機化合物複合体はより容易に有機溶媒に溶解し、その結果、有機化合物が金属不純物を有機溶媒中に持ち込むようになる。したがって、発明者らは、処理される溶媒におけるイオン汚染の可能性を減少させるためには、イオン交換樹脂中の低分子量有機化合物の金属不純物及び/または溶出性種の量を最小限にすることが望ましいと考える。
イオン交換樹脂中に含有される金属不純物としては、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Sn、及びCrを挙げることができる。イオン交換樹脂の金属イオン汚染を防止するためには、本発明のいくつかの実施形態で使用するイオン交換樹脂中のこれらの金属不純物の含有量は、イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として、それぞれ5ppm以下であることが好ましい。より好ましくは、これらの金属イオンの含有量は、イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として、3ppm以下である。金属の含有量は、樹脂試料のアッシングの後、ICP-MSによって分析することができる(即ち、イオン交換樹脂を燃焼させ、残留した灰を塩酸水溶液に溶解させ、次にICP-MSによって金属イオンの濃度を分析する)。
イオン交換樹脂中に含まれる低分子有機化合物の溶出性種の含有量は、以下の方法によって評価することができる。まず、超純水を50BV/時間でイオン交換樹脂カラム中に連続的に流し、次に、2時間の流し込みの後、流入超純水及び流出超純水のTOC(全有機炭素)値を測定する。次に、差異(あるいはデルタ(Δ)TOC値)を2つのTOC値から算出する。ΔTOC値は、流入TOC値を流出TOC値から減算することによって算出する。本発明のいくつかの実施形態では、上記の方法によって測定したΔTOC値は10ppb以下であることが好ましい。より好ましくは、ΔTOC値は5ppb以下である。TOCは、当業者に既知の技法を使用して市販のTOC分析器によって分析することができる。
陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂は、元々は水を含有する(水との平衡状態で水によって膨潤する)。本発明のいくつかの実施形態では、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂中の含水量は、使用前、それぞれ(即ち、各樹脂について)5重量%以下に減少する。より好ましくは、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂中の含水量は、各樹脂中で3重量%以下である。含水量を減少させるために、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂は、加水分解性有機溶媒と接触させる前に乾燥させることができる。イオン交換樹脂を乾燥させるための、乾燥用機器、ならびに温度、時間、及び圧力などの条件は、当業者に既知の技法を使用して選択することができる。例えば、イオン交換樹脂は、減圧条件下で1~48時間、60~120℃のオーブン中で加熱し得る。含水量は、15時間105℃で加熱する前後のイオン交換樹脂の重量を比較することによって算出することができる。
加水分解性有機溶媒をイオン交換樹脂の混床と接触させるときは、液体をイオン交換樹脂と接触させるための任意の既知の方法を使用することができる。例えば、イオン交換樹脂の混床はカラム中に詰めることができ、溶媒は、イオン交換樹脂の混床を通してカラムの上部から注入することができる。溶媒の流量は、1~100BV/時間、好ましくは1~50BV/時間であり得る。本明細書で使用する場合、「BV」は、床体積を意味し、同量のイオン交換樹脂の含水湿式混床と接触させた液体量を指す。例えば、120mlのイオン交換樹脂の含水湿式混床を使用する場合、1BVは、120mlの加水分解性有機溶媒がイオン交換樹脂の混床と接触することを意味する。「BV/時間」は、流量(mL/時間)を床体積(mL)で割ることによって算出した。
加水分解性有機溶媒をイオン交換樹脂の混床と接触させる間の温度は、種々の実施形態において、0~100℃、好ましくは10~60℃、より好ましくは20~40℃であり得る。
得られる加水分解性有機溶媒は、かなり低いレベルの金属及び非金属イオン性汚染物質を含む。汚染物質としては、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Sn、及びCrを挙げることができる。これらの汚染物質の濃度は、種々の実施形態において、それぞれ0.1ppb以下であり得る。したがって、本発明の方法を使用して得られる加水分解性有機溶媒は、医薬品及び電子材料の製造のため、ならびに特に半導体製作プロセスにおける使用のためなど、かなり高いレベルの純溶媒を必要とする用途において有用であり得る。
これから、本発明のいくつかの実施形態を以下の実施例において詳述する。
比較例1:強陽イオン交換樹脂DOWEX(商標)MONOSPHERE(商標)650C UPW(H)と、強陰イオン交換樹脂AMBERJET(商標)UP4000との混床。
含水湿式陽イオン樹脂MS650 C UPWと、含水湿式陰イオン樹脂UP4000とを、理論混合比では1:1として、39:61の重量比で混合する。120mLの混合樹脂をテフロンカラム中に充填する。DOWANOL(商標)PMA溶媒(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、PGMEA)は水との相溶性がないため、まずDOWANOL(商標)PM溶媒(プロピレングリコールモノメチルエーテル、PGME)でのすすぎを3日間行って(6時間/日、15mL/分で流し、夜間は流れを止める)、水をPGMEで置き換え、かつ有機溶出性物質を除去する。113mLで樹脂収縮が停止し、床体積が安定したことを確認する。次に、DOWANOL(商標)PMA溶媒を15mL/分で8時間流し、その後、一晩流れを停止して、DOWANOL(商標)PM溶媒をDOWANOL(商標)PMA溶媒で置き換える。樹脂の床体積は89mLで安定した。次に、種々の流量(12BV/時間、6BV/時間、及び1.5BV/時間)でサンプリングを行う。
比較例2:弱陽イオン交換樹脂DOWEX(商標)MAC-3
120mL(88g)の湿式弱陽イオン樹脂MAC-3をテフロンカラムに充填する。まず、DOWANOL(商標)PM溶媒でのすすぎを1日行う(32mL/分で6時間流す)。樹脂体積が150mLに膨張したことを見出した。次に、DOWANOL(商標)PMA溶媒を32mL/分で2時間流し、一晩流れを停止する。翌日、DOWANOL(商標)PMA溶媒流を16mL/分で再開し、7時間維持する。樹脂体積収縮が100mLで停止したことを確認する。次に、一晩流れを停止する。後日、DOWANOL(商標)PMA溶媒流を再開し、種々の流量(16BV/時間及び4BV/時間)で試料を採取する。
発明実施例1:弱陽イオン交換樹脂DOWEX(商標)MAC-3と、弱陰イオン交換樹脂AMBERITE(商標)IRA98との混床。
60mL(46.5g)の含水湿式DOWEX(商標)MAC-3と、60mL(41.0g)の含水湿式AMBERLITE(商標)IRA98とを均質に混合する。当量を基準とする混合比は1:0.28である。混合樹脂を、105~110℃、40mmHgの真空オーブン中に15時間静置して、乾燥樹脂を調製する。残留含水量が1重量%を下回ることを確認する。乾燥樹脂をテフロンカラム中に装填する。DOWANOL(商標)PMA溶媒を8mL/分で8時間流す。一晩流れを停止し、その後再開する。PMA溶媒和状態の樹脂体積は150mLである。種々の流量(18BV/時間、9BV/時間、及び5BV/時間)で試料を採取する。
発明実施例2:強陽イオン交換樹脂AMBERJET(商標)1024UP Hと、弱陰イオン交換樹脂AMBERITE(商標)IRA98との混床。
陽イオン樹脂を40mLの含水湿式AMBERJET(商標)1024 UP Hに変更し、AMBERLITE(商標)IRA98の量を80mLに変更することを除いて、発明実施例1の手順と同一の手順を実施する。当量を基準とする混合比は1:1である。残留含水量が1重量%を下回ることを確認する。金属(Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSn)の含有量は、イオン交換樹脂の混床の乾燥重量を基準として、5ppm未満である。ΔTOCは5ppbを下回った。樹脂床体積は、PMA溶媒和状態であり、96mLであった。
分析
試料中の金属の濃度をICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析)によって分析し、分析結果を表1及び2に示す。元の金属レベル(濃度)及び金属元素比は、供給溶媒ロット(feed solvent lot)により異なる。除去の難しさは金属元素に影響され得ると考えられる。処置済みの溶媒中に50%超の金属が残留した比較例1及び2においては、金属削減能力は低い。いくつかの金属はほとんど全く除去されない。反対に、発明実施例1及び2では、金属残留物は、10種類の金属の合計で20%未満である。
PGMEAの加水分解をGC-FID(炎イオン化検出器付きガスクロマトグラフィー)で評価し、結果を表3に示す。表3では、「純度」は、異性体を含むPGMEA、即ち、酢酸1-メトキシ-2-プロピルと酢酸2-メトキシ-1-プロピルとの合計の百分率である。PGMEAは加水分解を通してPGMEと酢酸とに分解され、結果として、PGME及び酢酸が増加し、純度(PGMEAの百分率)が減少する。GC-FID分析では、PGME増加及び純度減少が観察される。比較例1及び2は、PGMEの増加及び純度の減少を示す。反対に、発明実施例1及び2は、GC結果におけるいかなる変化も示さなかった。
Figure 0007265867000001
Figure 0007265867000002
Figure 0007265867000003

Claims (11)

  1. 加水分解性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記加水分解性有機溶媒を、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、前記陰イオン交換樹脂が、弱塩基性陰イオン交換樹脂から選択され、
    前記イオン交換樹脂の混床と接触後、前記加水分解性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度がそれぞれ0.1ppb以下であり、
    前記陽イオン交換樹脂及び前記陰イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、前記陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂の乾燥重量を基準としてそれぞれ5ppm以下である、前記方法。
  2. 前記弱塩基性陰イオン交換樹脂が第3級アミン基を有する、請求項1に記載の前記方法。
  3. 前記陽イオン交換樹脂及び前記陰イオン交換樹脂中の含水量がそれぞれ5重量%以下である、請求項1又は2に記載の前記方法。
  4. 前記イオン交換樹脂の混床が、次の方法、即ち、
    前記イオン交換樹脂を50BV/時間の超純水流によって2時間洗浄し、前記洗浄したイオン交換樹脂と接触させる前後の水の全有機炭素値を分析し、次に、前記イオン交換樹脂と接触させた後の前記水の全有機炭素値を、前記イオン交換樹脂と接触させる前の前記水の全有機炭素値から減算することで、前記水の前記全有機炭素値の差異を計算する方法、によって測定して、10ppb以下の低分子有機化合物の溶出性種を含む、請求項1~3のいずれか一項に記載の前記方法。
  5. 前記加水分解性有機溶媒が、エステル結合を有する化合物である、請求項1~4のいずれか一項に記載の前記方法。
  6. 加水分解性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
    (a)陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床を調製するステップであって、前記陰イオン交換樹脂が弱塩基性陰イオン交換樹脂である、ステップと、
    (b)加水分解性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含み、
    前記イオン交換樹脂の混床と接触後、前記加水分解性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度がそれぞれ0.1ppb以下であり、
    前記陽イオン交換樹脂及び前記陰イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、前記陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂の乾燥重量を基準としてそれぞれ5ppm以下である、前記方法。
  7. 前記ステップ(b)が、前記イオン交換樹脂の混床を充填したカラム中で前記加水分解性有機溶媒を流すことによって実施され、前記加水分解性有機溶媒の流速が1~100BV/時間である、請求項6に記載の前記方法。
  8. 前記方法が、前記含水量が5重量%以下になるまで前記陽イオン交換樹脂及び前記陰イオン交換樹脂を乾燥させるステップ(c)を有し、前記ステップ(c)が前記ステップ(a)の前に実施される、請求項6又は7に記載の前記方法。
  9. 前記加水分解性有機溶媒が、エステル、アミド、炭酸塩及びそれらの混合物からなる群から選択される、請求項1又は6に記載の前記方法。
  10. 前記弱塩基性陰イオン交換樹脂が、塩基性樹脂ビーズの表面上に第1級、第2級、又は第3級アミン基を有する、請求項1又は6に記載の前記方法。
  11. 前記陽イオン交換樹脂が、弱陽イオン交換樹脂から選ばれる、請求項1~10のいずれか一項に記載の前記方法。
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