JP6857184B2 - 親水性有機溶媒のための精製プロセス - Google Patents

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Description

本発明は、概して、親水性有機溶媒からの汚染物質の除去のための方法に関する。具体的には、本発明は、イオン交換樹脂の混床を使用する親水性有機溶媒から金属及び非金属イオン性汚染物質を除去するための方法に関する。
序論
イオン性汚染物質を含まない純溶媒が、医薬品及び電子材料の製造などといった多くの工業目的のために必要とされる。特に、金属イオン性汚染物質のレベルがかなり低い有機溶媒が半導体製作プロセスに必要とされており、これは金属イオンによる汚染が半導体装置の性能に悪影響を与えることを理由とする。例えば、プロピレングリコールメチルエーテル(PGME)などのアルコール及びエーテルを含むいくつかの親水性有機溶媒が、半導体製作プロセスに有用である。したがって、親水性有機溶媒を半導体製作プロセスで使用する場合、かかる溶媒がかなり低いレベルの金属イオン性汚染物質を有することが望ましいであろう。
イオン交換樹脂は、イオン性汚染物質を水から除去することによる水の精製のために使用されてきた。近年、かかるイオン交換技術は、電子材料を製造するのに使用される有機溶媒の精製に適用されている。しかしながら、有機溶媒中のイオン性汚染物質の挙動は、極性の差異を理由に水中でのその挙動とは異なると考えられているため、イオン交換樹脂を使用する水の精製のための技術は、直接的に有機溶媒における使用に好適であるとは概して期待できない。
有機溶媒からの金属イオン除去のための従来的方法が開示されている。米国特許第7,329,354号は、イオン交換樹脂による有機溶媒の精製のためのシステムを開示している。日本国特許第JP5,096,907B号は、陰イオン交換樹脂中のOH基がキャッピングされ不活性化される弱陰イオン交換樹脂または陰イオン交換樹脂による、エステルからの陰イオン不純物の除去のための方法を開示している。米国特許第6,123,850号は、ジビニルベンゼンの含有量がかなり高い(50〜60%)ポリスチレンジビニルベンゼンコポリマーに基づく陽イオン交換樹脂による、実質的に無水の有機液体の精製のための方法を開示している。JP2009/057286Aは、架橋が8重量%以下の陽イオン交換樹脂によって陽イオン性不純物をアルコールから除去するための方法を開示している。米国特許第5,518,628号は、混床イオン交換樹脂の強塩基陰イオン交換樹脂が弱有機酸のアンモニウム塩によって修飾される混床イオン交換樹脂を使用する、有機溶液からのイオン性汚染物質の除去のための方法を開示している。
しかしながら、これらのプロセスは、かなり高いレベルの純度を必要とする用途に使用される有機溶媒からのイオン性汚染物質の除去には不十分である。したがって、高レベルのイオン性汚染物質を親水性有機溶媒から除去するための新たなプロセスが所望されている。
本発明は、溶媒が極めて低いレベルのイオン性汚染物質を有するように、親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するためのプロセスを提供する。いくつかの実施形態において、本プロセスは、特定の保水力(40〜55重量%)を有するゲル型強酸陽イオン性イオン交換樹脂及びゲル型陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床を使用する。イオン交換樹脂の混床を使用すると、金属及び非金属イオン性汚染物質が少ない、極めて純粋な親水性有機溶媒を得ることができる。
したがって、本発明の一態様は、親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法に関し、本方法は、親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、ここで、(a)陽イオン性イオン交換樹脂は、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、(b)陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する。
本発明の別の態様は、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、本明細書に記載される方法によって得られる親水性有機溶媒に関する。
別の態様では、本発明は、親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法に関し、本方法は、(i)陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床を調製するステップであって、(a)陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、(b)陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する、調製するステップと、(ii)親水性有機溶媒をイオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む。
また、本明細書には以下の態様の発明も開示する。
[1]
親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記方法が、
前記親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm /gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m /gのBET表面積を有する、方法。
[2]
前記イオン交換樹脂の混床が、以下の方法:
前記イオン交換樹脂の混床を、25床体積(BV)の超純粋水で24時間洗浄した後、前記超純粋水の総有機炭素を分析すること、によって測定して、10ppb以下の総有機炭素を示す、上記[1]に記載の方法。
[3]
前記H型強陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、各々、前記イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として10mg/kg以下である、上記[1]に記載の方法。
[4]
前記イオン交換樹脂の混床と接触させた後の前記親水性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、上記[1]に記載の方法によって得られる親水性有機溶媒。
[5]
親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
(i)水素(H)型強陽イオン性イオン交換樹脂及び強陰イオン性イオン交換樹脂を含む交換樹脂の混床イオンを調製するステップであって、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が40〜55重量%の保水力を有し、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm /gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m /gのBET表面積を有する、調製するステップと、
(ii)親水性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む、方法。
[6]
前記方法が、(iii)前記イオン交換樹脂の混床を、1〜50BV/時間の流量で30〜50床体積(BV)の前記親水性有機溶媒によってすすぐことを更に含み、ステップ(iii)がステップ(i)と(ii)との間に実施される、上記[5]に記載の方法。
本明細書全体で使用する場合、以下に与えられる略記は、文脈上他の意味であることが明白な場合を除き、次の意味を有する:g=グラム、mg=ミリグラム、L=リットル、mL=ミリリットル、ppm=100万分の1、ppb=10億分の1、m=メートル、mm=ミリメートル、cm=センチメートル、min.=分、s=秒、hr.=時間、℃=C度=セ氏度、vol%=体積パーセント、wt%=重量パーセント。
本発明の方法は、概して、親水性有機溶媒に適用可能である。具体的には、方法は、親水性有機溶媒などの水混和性プロトン性溶媒に有用である。親水性有機溶媒の例としては、アルコール、エーテル、及びそれらの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。本発明の方法を使用することができるアルコールの例としては、メタノール、エタノール、プロパノール、i−プロパノール、及びそれらの混合物が挙げられる。本発明の方法を使用することができるエーテルの例としては、プロピレングリコールモノ−メチルエーテル(PGME)、ジプロピレングリコールモノ−メチエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ブチルエーテル、及びそれらの混合物が挙げられる。
本発明の方法はイオン交換樹脂の混床を使用する。イオン交換樹脂の混床は、陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂との混合物を指す。イオン交換樹脂の混床において使用される陽イオン性イオン交換樹脂は、水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、これらは、樹脂ビーズを形成するポリマー分子に結合した陽イオン交換基である。かかるH型強酸陽イオン交換基の例としてはスルホン酸が挙げられる。H型強酸陽イオン交換基、例えば、スルホン酸は、親水性有機溶媒中で陽イオン不純物と交換にプロトン(H)を放出する。陽イオン交換樹脂の樹脂ビーズは、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成される、通常は球形のポリマーである。このため、いくつかの実施形態では、H型強酸陽イオン交換樹脂は、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成されるポリマー分子に結合したスルホン酸を含む。
イオン交換樹脂の混床で使用される陽イオン性イオン交換樹脂の保水力は、40〜55重量%である。保水力は、イオン交換樹脂が含水状態にある(水で膨潤している)ときのイオン交換樹脂内の水分量を指す。保水力は、多くの要因、主に、ベース樹脂の化学構造(スチレン型またはアクリル型)、ベース樹脂の架橋の程度、ベース樹脂ビーズの形態型(ゲル型またはMR型)、及びイオン交換ビーズのサイズ、陽イオン交換基の数により変動する。いくつかの好ましい実施形態では、陽イオン性イオン交換樹脂の保水力は、含水状態で45〜50重量%である。本明細書で使用される場合、保水力は、以下の方法により計算される:陽イオン交換樹脂中の含水量を、乾燥前後のイオン交換樹脂の重量を比較することによって計算する。乾燥条件は20mmHgの真空下で15時間105℃であり、デシケータにおける2時間の冷却が続く。含水状態のイオン交換樹脂に基づく乾燥後の減少した重量を使用し、以下の式に基づいて保水力を決定する:
保水力=(含水イオン交換樹脂の重量−乾燥後のイオン交換樹脂の重量)×100/含水イオン交換樹脂の重量。
イオン交換樹脂の混床中で使用される陰イオン交換樹脂は、好ましくは、強塩基陰イオン性イオン交換樹脂である。陰イオン性イオン交換樹脂は、樹脂ビーズに結合した陰イオン交換基を有する。いくつかの実施形態では、強塩基陰イオン性イオン交換樹脂は、陰イオン性イオン交換樹脂を形成するポリマー分子に結合するトリメチルアンモニウム基(I型と呼ばれる)またはジメチルエタノールアンモニウム基(II型)を含む。強塩基陰イオン性イオン交換樹脂は、親水性有機溶媒中で陰イオン性汚染物質と交換にヒドロキシルイオン(OH)を放出する。陰イオン性イオン交換樹脂の樹脂ビーズも、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成される、通常は球形のポリマーである。このため、いくつかの実施形態では、強塩基陰イオン交換樹脂は、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成された樹脂ビーズ上にトリメチルアンモニウム基及び/またはジメチルエタノールアンモニウム基を含む。陰イオン性イオン交換樹脂の保水力は特に限定されないが、いくつかの好ましい実施形態では、保水力は、上述のように測定する場合、55〜65重量%である。
本発明の発明者らは、本明細書に記載されるイオン交換樹脂の混床が、陽イオン単一床と比較してより効果的に金属を除去し得ること、また特定の陽イオン性イオン交換樹脂(即ち、保水力が40〜55重量%であるH型強酸陽イオン性イオン交換樹脂)を組み込むかかるイオン交換樹脂の混床が、イオン性汚染物質がより少ない極めて純粋な親水性有機溶媒を提供し得ることを発見した。
上述のように、H型強酸陽イオン交換基は、親水性有機溶媒中で陽イオン性不純物と交換にプロトン(H)を放出する。本発明の発明者らは、保水力が40〜55重量%であるH型強酸陽イオン性イオン交換樹脂が、親水性有機溶媒中で最も高いイオン交換能力を有することを発見した。イオン交換樹脂が有機溶媒中で膨潤すると、より少ない立体障害に起因して、より大量の親水性溶媒が樹脂ビーズの内部に浸透し得る。結果として、ビーズ内部に位置するイオン交換基もイオン交換反応に寄与し得るため、イオン交換反応の頻度が増加する。対照的に、高密度状態の樹脂は、溶媒の透過を低下させ、樹脂ビーズの表面上に位置する表面イオン交換部位のみがイオン交換反応に寄与する。その一方で、混床で使用される強塩基陰イオン性イオン交換樹脂は、陰イオン性不純物と交換にヒドロキシルイオン(OH)を放出する。放出されたプロトン及びヒドロキシルイオンは、親水性有機溶媒中で水(HO)を形成する。親水性有機溶媒は水との強力な親和性を有するため、形成された水は親水性有機溶媒と混合され、その結果、水がイオン交換樹脂の混床の近傍から除去される。プロトンの存在下では、カチオン交換反応は、平衡反応の理論により進行しない。強酸陽イオン交換樹脂と強塩基陰イオン交換樹脂との混床を使用することにより、プロトンは水としてより効果的に除去され、その結果、より多くのイオン性不純物がイオン交換樹脂の混床中でイオン交換樹脂と結合するようになる。
陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、本発明の実施形態においてはゲル型樹脂である。本明細書で使用される場合、またイオン交換樹脂の分野において一般に理解されるように、ゲル型樹脂は、非常に低い多孔性(0.1cm/g未満)、小さい平均孔径(1.7nm未満)、及び低いBET表面積(10m/g未満)を有する樹脂を指す。多孔性、平均孔径、及びBET表面積は、ISO 15901−2に示される窒素吸着方法によって測定され得る。かかるイオン交換樹脂は、マクロ網状構造(MR型イオン交換樹脂)とゲル型イオン交換樹脂の多孔性よりも明らかに大きいマクロ孔径とを有するマクロ多孔質型イオン交換樹脂とは異なる。
ゲル型イオン交換樹脂が本発明における使用に好ましく、これは、いくつかの理由による:(1)ゲル型イオン交換樹脂は、高い形態安定性を目指して設計される典型的な市販のマクロ多孔質またはマクロ網状(MR)型イオン交換樹脂よりも架橋が少ないため、親水性有機溶媒によって容易に膨潤するため、及び(2)ゲル型イオン交換樹脂に含有されるイオン性不純物が、MR型イオン交換樹脂に含有されるイオン性不純物よりも一般に少ないため。イオン交換樹脂の混床で使用されるイオン交換樹脂、樹脂は、好ましくは、保水力が40〜55重量パーセントである。保水力が高い(例えば、55重量%超)樹脂については、有機物がイオン交換樹脂から浸出するリスクがより高い。保水力が低い(例えば、40重量%未満)樹脂については、典型的なすすぎ手順を使用してイオン交換樹脂から汚染物質をすすぎ落とすことは困難であり、イオン交換基の活性は、親水性有機溶媒における高い立体障害に起因して低い。
イオン交換樹脂の混床における陽イオン交換樹脂の陰イオン交換樹脂に対する比率は概して、いくつかの実施形態ではイオン交換基の当量比で1:9〜9:1である。好ましくは、比率は2:8〜8:2である。
陽イオン交換樹脂及び/または陰イオン交換樹脂は、その製造プロセスから生じる金属不純物を含有する場合がある。かかる金属不純物は樹脂から出て、処理済みの溶媒中で金属イオン汚染を引き起こす。いかなる特定の理論にも束縛されるものではないが、発明者らは、かかる浸出している金属不純物が、樹脂の反応副生成物または未反応/未架橋生成物としてイオン交換樹脂中に含有される低分子量有機化合物と結びつくと考える。かかる金属有機化合物複合体はより容易に有機溶媒に溶解し、その結果、有機化合物が金属不純物を有機溶媒中に持ち込むようになる。したがって、発明者らは、処理される溶媒におけるイオン汚染の可能性を減少させるためには、イオン交換樹脂中の低分子量有機化合物の金属不純物及び/または溶出性種の量を最小限にすることが望ましいと考える。
イオン交換樹脂中に含有される金属不純物としては、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Sn、及びCrを挙げることができる。イオン交換樹脂の金属イオン汚染を防止するためには、本発明のいくつかの実施形態で使用するイオン交換樹脂中のこれらの個々の金属不純物の含有量は、イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として、それぞれ10mg/Kg以下であることが好ましい。より好ましくは、これらの金属イオンの含有量は、イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として、5mg/Kg以下である。金属の含有量は、樹脂試料のアッシングの後、ICP−MSによって分析することができる(即ち、イオン交換樹脂を燃焼させ、残留した灰を塩酸水溶液に溶解させ、ICP−MSによって金属イオンの濃度を分析する)。
イオン交換樹脂中に含まれる低分子有機化合物の溶出性種の含有量は、以下の方法によって評価することができる。まず、超純粋水を25BV/時間でイオン交換樹脂カラム中に連続的に流し、次に、24時間の流し込みの後、流入超純粋水(UPWと称する)及び流出UPWのTOC(総有機炭素)値を測定する。次に、差異(あるいはデルタ(Δ)TOC値)を2つのTOC値から算出する。ΔTOC値は、流入TOC値を流出TOC値から減算することによって算出する。本発明のいくつかの実施形態では、上記の方法によって測定したΔTOC値は10ppb以下であることが好ましい。より好ましくは、ΔTOC値は5ppb以下である。TOCは、当業者に既知の技法を使用して市販のTOC分析器によって分析することができる。
陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂は、元々は水を含有する(水との平衡状態で水によって膨潤する)。本発明では、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂中の含水量は、使用前、それぞれ(即ち、各樹脂について)5重量%以下に減少する。好ましくは、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂中の含水量は、各樹脂中で3重量%以下である。樹脂床を乾燥樹脂によって始めることで、イオン交換樹脂の溶媒化時間を節約することができ、また水を置き換えるのに必要な溶媒体積を最小限に抑えることができる。含水量を減少させるために、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂は、加水分解性有機溶媒と接触させる前に乾燥させることができる。イオン交換樹脂を乾燥させるための、乾燥用機器、ならびに温度、時間、及び圧力などの条件は、当業者に既知の技法を使用して選択することができる。例えば、イオン交換樹脂は、減圧条件下で1〜48時間、60〜120℃のオーブン中で加熱し得る。含水量は、20mmHg未満の真空オーブンにて15時間105℃で加熱した後、デシケータ中で2時間冷却する前後のイオン交換樹脂の重量を比較することによって算出することができる。
親水性有機溶媒をイオン交換樹脂の混床と接触させるときは、液体をイオン交換樹脂と接触させるための任意の既知の方法を使用することができる。例えば、混床イオン交換樹脂はカラム中に詰めることができ、溶媒は、混床イオン交換樹脂を通してカラムの上部から注入することができる。溶媒の流量は、1〜100BV/時間、好ましくは1〜50BV/時間であり得る。本明細書で使用する場合、「BV」は、床体積を意味し、同体積の含水湿式混床イオン交換樹脂と接触させた液体量を指す。例えば、120mlの含水湿式混床イオン交換樹脂を使用する場合、1BVは、120mlの親水性有機溶媒が混床イオン交換樹脂と接触することを意味する。「BV/時間」は、流量(mL/時間)を床体積(mL)で割ることによって算出した。
親水性有機溶媒を混床イオン交換樹脂と接触させる間の温度は、種々の実施形態において、0〜100℃、好ましくは10〜60℃、より好ましくは20〜40℃であり得る。
得られる親水性有機溶媒は、かなり低いレベルの金属及び非金属イオン性汚染物質を含む。汚染物質としては、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Sn、及びCrを挙げることができる。これらの汚染物質の濃度は、種々の実施形態において、それぞれ0.1ppb以下であり得る。したがって、本発明の方法を使用して得られる親水性有機溶媒は、医薬品及び電子材料の製造のため、ならびに特に半導体製作プロセスにおける使用のためなど、かなり高いレベルの純溶媒を必要とする用途において有用であり得る。
これから、本発明のいくつかの実施形態を以下の実施例において詳述する。
以下のイオン交換樹脂を使用した。
[表]
Figure 0006857184
[表]
Figure 0006857184
[表]
Figure 0006857184
比較例1:強陽イオン交換樹脂DOWEX(商標)MONOSPERE(商標)650 C UPW
120mL(94g)の含水状態のDOWEX(商標)MONOSPERE(商標)650 C UPW(MS650C UPW、ゲル型強陽イオン交換樹脂)を、内径20mm及び長さ500mmのTeflonカラムに充填した。水をPMで置き換えるために、DOWANOL(商標)PM(PM)を40mL/分で3時間流す。次いで、流量を変化させながらサンプリングを開始する。
比較例2:強陽イオン交換樹脂床MS650C UPWをPM流ですすぐ。
「比較例1」の試験を実施した後、流量を減少させ、2BV/時間でPMの供給を継続する。2BV/時間で48時間流した後、流量を16BV/時間に増加させ、試料を採取する。
樹脂体積は、比較例1及び2について、PMによる溶媒和状態で約100mLに収縮する。
比較例3:弱陽イオン交換樹脂DOWEX(商標)MAC−3
含水状態のMAC−3樹脂(ゲル型弱陽イオン交換樹脂)を、内径20mm及び長さ500mmのTEFLONカラムに充填した。16BV/時間で3時間のPM流によって水を置き換えた後、第1のPM試料を採取する。
樹脂体積は、含水状態での120mlから、PMによる溶媒和状態では150mLに膨張する。
比較例4:高い保水力を有する強陽イオン交換樹脂及びMR型強陰イオン樹脂の乾燥混床
40mlの含水状態のAMBERLYST(商標)31WET(ゲル型強陽イオン交換樹脂)と80mlの含水状態のAMBERJET(商標)9000 OH(MR型強陰イオン交換樹脂)とを混合する。ΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で12.8ppb、24時間流した後では2.3ppbと測定される。
混合樹脂を真空オーブン(60℃、20mmHg、15時間)中で乾燥させる。PMを16BV/時間の流量で2時間流した後、第1の試料を採取する。次いで、流量を変化させながら他の試料を採取する。120mLの含水樹脂体積は、PMによる溶媒和状態で96mLに収縮する。
比較例5:MR型強陽イオン交換樹脂とMR型強陰イオン樹脂との混床
AMBERLITE 904Cl(MR型Cl型強陽イオン交換樹脂)を、以下の様式でOH型に変換する。
500mLのAMBERLITE(商標)904 Clを、直径50mm及び長さ800mmのステンレス鋼製カラムに充填する。4重量%の苛性ソーダ水溶性を60℃の温度制御タンク中で加熱する。加熱した4%苛性ソーダ溶液を、カラムの上部から10BV/時間で2時間流し、塩素型をヒドロキシル型に変換する。次いで、UPW流によるすすぎを、室温で2時間、10BV/時間で行う。カラムから採取した樹脂は、含水状態のOH変換陰イオン交換樹脂である。
混床を以下の様式で構築する。
40mlの含水AMBERLYST(商標)15WET(MR型H型強陽イオン交換樹脂)と80mlの含水状態のOH変換AMBERLITE(商標)904 Clとを均一に混合する。カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との上記の体積に基づく混合比は、当量比で1:1である。含水状態の混合樹脂のΔTOCは、25BV/時間の流量で2時間UPWを流した後で98ppb、24時間流した後では30ppbと測定される。
混合樹脂を真空オーブン(60℃、20mmHg)中で15時間乾燥させる。乾燥した混合樹脂を内径20mm及び長さ500mmのTeflonカラムに充填する。PMを16BV/時間の流量で2時間流す。120mLの含水樹脂体積は、PMによる溶媒和状態で108mLに収縮する。流量を変化させながら、試料を採取する。
実施例1:強陽イオン交換樹脂MS650C UPWと強陰イオン交換樹脂AMBERJET(商標)UP4000との混床
含水湿式陽イオン樹脂MS650 C UPWと、含水湿式陰イオン樹脂AMBERJET(商標)UP4000とを、当量比では1:1として、39:61の重量比で混合する。ΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で8.2ppb、UPWを24時間流した後では0.7ppbと測定される。混合樹脂中の乾燥樹脂に基づく金属含量は、Naについて0.13mg/Kg、Alについて0.12mg/Kg、Caについて0.17mg/Kg、Feについて1.44mg/Kg、Cuについて0.01mg/Kgと測定される。
120mLの混合樹脂を、内径20mm及び長さ500mmのTeflonカラムに充填する。
PMを16BV/時間で3時間流して、水をPMで置き換えた後、一晩流れを止める。樹脂体積は、含水状態での120mLから、PMによる溶媒和状態で114mLに収縮する。次いで、翌日に16BV/時間で1時間流した後で、第1の試料を採取する。流量を変化させながら、他の試料を採取する。
実施例2:混合樹脂AMBERLITE(商標)UP6040(乾燥樹脂)
試験した樹脂のΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で1.9ppb、24時間UPWを流した後では0.1ppb未満と測定される。
120mlの含水状態AMBERLITE(商標)UP6040(1:1の強陽イオン交換樹脂と弱陰イオン交換樹脂との定比混合物)を、15時間20mmHg、105℃で乾燥させる。混合樹脂中の乾燥樹脂に基づく金属含量は、Naについて0.18mg/Kg、Alについて0.12mg/Kg、Caについて0.18mg/Kg、Feについて3.42mg/Kg、Cuについて0.00mg/Kg及びZnについて0.02mg/Kgと測定される。
乾燥樹脂をTeflonカラムに充填し、溶媒和のためにPMを16BV/時間で3時間流し、一晩流れを止める。樹脂体積は、含水状態の125mLから、PMによる溶媒和状態では131mLに膨張する。
翌日に16BV/時間で1時間流した後で、第1の試料を採取する。流量を変化させながら、他の試料を採取する。
分析
溶媒試料中の金属の濃度をICP−MS(誘導結合プラズマ質量分析)によって分析し、分析結果を表1〜6に示す。元の金属レベル(濃度)及び金属元素比は、供給溶媒ロット(feed solvent lot)により異なる。
1−メトキシ−2−プロパノール(PM中の主要成分)の濃度を、GC−FID(炎イオン化検出器付きガスクロマトグラフィー)で評価し、結果を表1〜6に示す。純度の定義は、1−メトキシ−2プロパノールの面積%である。
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Claims (9)

  1. エーテルを含む親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記方法が、
    前記親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、
    (a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、
    (b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する、方法。
  2. 前記イオン交換樹脂の混床が、以下の方法:
    前記イオン交換樹脂の混床を、25床体積(BV)の超純粋水で24時間洗浄した後、前記超純粋水の総有機炭素を分析すること、によって測定して、10ppb以下の総有機炭素を示す、請求項1に記載の方法。
  3. 前記H型強陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、各々、前記イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として10mg/kg以下である、請求項1又は2に記載の方法。
  4. 前記イオン交換樹脂の混床と接触させた後の前記親水性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法によって得られる親水性有機溶媒。
  5. エーテルを含む親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
    (i)水素(H)型強陽イオン性イオン交換樹脂及び強陰イオン性イオン交換樹脂を含む交換樹脂の混床イオンを調製するステップであって、
    (a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が40〜55重量%の保水力を有し、
    (b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する、調製するステップと、
    (ii)親水性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む、方法。
  6. 前記方法が、(iii)前記イオン交換樹脂の混床を、1〜50BV/時間の流量で30〜50床体積(BV)の前記親水性有機溶媒によってすすぐことを更に含み、ステップ(iii)がステップ(i)と(ii)との間に実施される、請求項5に記載の方法。
  7. 前記親水性有機溶媒が、エーテルからなる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
  8. 前記エーテルが、プロピレングリコールモノ−メチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−メチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ブチルエーテル、又はそれらの混合物である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
  9. 前記エーテルが、プロピレングリコールモノ−メチルエーテルである、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017119234A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー 親水性有機溶媒のための精製プロセス
JP7083633B2 (ja) * 2017-12-21 2022-06-13 オルガノ株式会社 非水液状物質の精製方法及び外気遮断部材付きイオン交換樹脂充填カートリッジ
CN111065462A (zh) * 2017-12-21 2020-04-24 奥加诺株式会社 非水液状物质的精制方法和带外部气体阻隔部件的离子交换树脂填充筒
JP6819713B2 (ja) * 2019-03-27 2021-01-27 栗田工業株式会社 有機溶媒の処理方法及び処理材
WO2021000318A1 (en) * 2019-07-04 2021-01-07 Dow Global Technologies Llc Process for purifying organic solvents
JP7379170B2 (ja) * 2020-01-07 2023-11-14 オルガノ株式会社 非水溶媒の精製方法及び非水溶媒の精製用のイオン交換樹脂の前処理方法
JP7437276B2 (ja) 2020-09-18 2024-02-22 オルガノ株式会社 イオン交換体の分析方法及びイオン交換体の前処理装置

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01228560A (ja) * 1988-03-08 1989-09-12 Hitachi Chem Co Ltd 不純金属成分の低減された溶液の製造法
US5446125A (en) * 1991-04-01 1995-08-29 Ocg Microelectronic Materials, Inc. Method for removing metal impurities from resist components
US5192446A (en) * 1992-01-24 1993-03-09 The Graver Company Cation exchange resins having an enhanced capacity for iron oxides
US5518628A (en) 1993-11-08 1996-05-21 Shipley Company Inc. Purification process
JPH07208166A (ja) 1994-01-11 1995-08-08 Tokyo Kaken:Kk エンジン冷却排液の回生方法
US5500127A (en) * 1994-03-14 1996-03-19 Rohm And Haas Company Purification process
JP3715371B2 (ja) * 1996-04-08 2005-11-09 三菱化学株式会社 過酸化水素水の精製方法
US6576139B1 (en) * 1996-07-30 2003-06-10 Kenneth C. Hou Process for purifying photoresist composition employing a filter sheet
US6200479B1 (en) * 1997-01-14 2001-03-13 Shipley Company, L.L.C. Phenolic resin purification
FR2763330B1 (fr) 1997-05-15 1999-07-30 Atochem Elf Sa Procede de purification de liquides organiques quasi anhydres
US7329354B2 (en) 1998-06-09 2008-02-12 Ppt Technologies, Llc Purification of organic solvent fluids
JP4321792B2 (ja) 2000-03-06 2009-08-26 オルガノ株式会社 復水脱塩装置の運転方法
US6733637B1 (en) 2000-06-02 2004-05-11 Exxonmobil Chemical Patents Inc. Process for producing ultra-high purity isopropanol
KR100390567B1 (ko) 2000-12-30 2003-07-07 주식회사 동진쎄미켐 근적외선 분광기를 이용한 포토레지스트 박리공정제어방법 및 포토레지스트 박리액 조성물의 재생방법
WO2003020393A1 (en) 2001-08-29 2003-03-13 Ppt Technologies, Llc Purification of organic solvent fluids
KR20070087702A (ko) * 2005-04-04 2007-08-29 주식회사 하이닉스반도체 금속 오염 억제를 위한 반도체웨이퍼의 세정방법
JP5308645B2 (ja) 2007-08-29 2013-10-09 オルガノ株式会社 陽イオン性不純物を含むアルコールの精製方法
JP5096907B2 (ja) * 2007-12-25 2012-12-12 オルガノ株式会社 エステルの精製方法
JP5762863B2 (ja) 2011-07-15 2015-08-12 オルガノ株式会社 アルコールの精製方法及び装置
JP5762862B2 (ja) 2011-07-15 2015-08-12 オルガノ株式会社 アルコールの精製方法及び装置
JP6760299B2 (ja) * 2015-10-02 2020-09-23 三菱瓦斯化学株式会社 高純度カルボン酸エステルおよびその製造方法
CN108367286A (zh) * 2015-12-28 2018-08-03 陶氏环球技术有限责任公司 用于可水解有机溶剂的纯化方法
JP2017119234A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー 親水性有機溶媒のための精製プロセス

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