JP6857184B2 - Purification process for hydrophilic organic solvents - Google Patents

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Description

本発明は、概して、親水性有機溶媒からの汚染物質の除去のための方法に関する。具体的には、本発明は、イオン交換樹脂の混床を使用する親水性有機溶媒から金属及び非金属イオン性汚染物質を除去するための方法に関する。 The present invention generally relates to methods for removing contaminants from hydrophilic organic solvents. Specifically, the present invention relates to a method for removing metal and non-metal ionic contaminants from a hydrophilic organic solvent using a mixed bed of ion exchange resins.

序論
イオン性汚染物質を含まない純溶媒が、医薬品及び電子材料の製造などといった多くの工業目的のために必要とされる。特に、金属イオン性汚染物質のレベルがかなり低い有機溶媒が半導体製作プロセスに必要とされており、これは金属イオンによる汚染が半導体装置の性能に悪影響を与えることを理由とする。例えば、プロピレングリコールメチルエーテル(PGME)などのアルコール及びエーテルを含むいくつかの親水性有機溶媒が、半導体製作プロセスに有用である。したがって、親水性有機溶媒を半導体製作プロセスで使用する場合、かかる溶媒がかなり低いレベルの金属イオン性汚染物質を有することが望ましいであろう。
Introduction Pure solvents free of ionic pollutants are required for many industrial purposes such as the manufacture of pharmaceuticals and electronic materials. In particular, organic solvents with fairly low levels of metal ionic contaminants are required in the semiconductor manufacturing process because contamination by metal ions adversely affects the performance of semiconductor devices. For example, some hydrophilic organic solvents containing alcohols and ethers such as propylene glycol methyl ether (PGME) are useful in semiconductor manufacturing processes. Therefore, when hydrophilic organic solvents are used in semiconductor manufacturing processes, it would be desirable for such solvents to have fairly low levels of metal ionic contaminants.

イオン交換樹脂は、イオン性汚染物質を水から除去することによる水の精製のために使用されてきた。近年、かかるイオン交換技術は、電子材料を製造するのに使用される有機溶媒の精製に適用されている。しかしながら、有機溶媒中のイオン性汚染物質の挙動は、極性の差異を理由に水中でのその挙動とは異なると考えられているため、イオン交換樹脂を使用する水の精製のための技術は、直接的に有機溶媒における使用に好適であるとは概して期待できない。 Ion exchange resins have been used for the purification of water by removing ionic contaminants from the water. In recent years, such ion exchange techniques have been applied to the purification of organic solvents used to produce electronic materials. However, the behavior of ionic pollutants in organic solvents is believed to be different from that in water due to differences in polarity, so techniques for water purification using ion exchange resins are Generally not expected to be suitable for use directly in organic solvents.

有機溶媒からの金属イオン除去のための従来的方法が開示されている。米国特許第7,329,354号は、イオン交換樹脂による有機溶媒の精製のためのシステムを開示している。日本国特許第JP5,096,907B号は、陰イオン交換樹脂中のOH基がキャッピングされ不活性化される弱陰イオン交換樹脂または陰イオン交換樹脂による、エステルからの陰イオン不純物の除去のための方法を開示している。米国特許第6,123,850号は、ジビニルベンゼンの含有量がかなり高い(50〜60%)ポリスチレンジビニルベンゼンコポリマーに基づく陽イオン交換樹脂による、実質的に無水の有機液体の精製のための方法を開示している。JP2009/057286Aは、架橋が8重量%以下の陽イオン交換樹脂によって陽イオン性不純物をアルコールから除去するための方法を開示している。米国特許第5,518,628号は、混床イオン交換樹脂の強塩基陰イオン交換樹脂が弱有機酸のアンモニウム塩によって修飾される混床イオン交換樹脂を使用する、有機溶液からのイオン性汚染物質の除去のための方法を開示している。 Conventional methods for removing metal ions from organic solvents have been disclosed. U.S. Pat. No. 7,329,354 discloses a system for the purification of organic solvents with ion exchange resins. Japanese Patent No. JP5,096,907B is for removing anionic impurities from the ester by a weak anion exchange resin or anion exchange resin in which OH groups in the anion exchange resin are capped and inactivated. The method of is disclosed. US Pat. No. 6,123,850 is a method for purifying a substantially anhydrous organic liquid with a cation exchange resin based on a polystyrene divinylbenzene copolymer having a considerably high content of divinylbenzene (50-60%). Is disclosed. JP2009 / 057286A discloses a method for removing cationic impurities from alcohols with a cationic exchange resin having a crosslink of 8% by weight or less. US Pat. No. 5,518,628 uses a mixed bed ion exchange resin in which the strong base anion exchange resin of the mixed bed ion exchange resin is modified with an ammonium salt of a weak organic acid, and ionic contamination from an organic solution. It discloses a method for removing substances.

しかしながら、これらのプロセスは、かなり高いレベルの純度を必要とする用途に使用される有機溶媒からのイオン性汚染物質の除去には不十分である。したがって、高レベルのイオン性汚染物質を親水性有機溶媒から除去するための新たなプロセスが所望されている。 However, these processes are inadequate for removing ionic contaminants from organic solvents used in applications that require fairly high levels of purity. Therefore, a new process for removing high levels of ionic contaminants from hydrophilic organic solvents is desired.

本発明は、溶媒が極めて低いレベルのイオン性汚染物質を有するように、親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するためのプロセスを提供する。いくつかの実施形態において、本プロセスは、特定の保水力(40〜55重量%)を有するゲル型強酸陽イオン性イオン交換樹脂及びゲル型陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床を使用する。イオン交換樹脂の混床を使用すると、金属及び非金属イオン性汚染物質が少ない、極めて純粋な親水性有機溶媒を得ることができる。 The present invention provides a process for removing ionic contaminants from hydrophilic organic solvents such that the solvent has very low levels of ionic contaminants. In some embodiments, the process is a mixed bed of gel-type strong acid cationic ion exchange resins having a specific water retention capacity (40-55% by weight) and ion exchange resins containing gel-type anionic ion exchange resins. To use. By using a mixed bed of ion exchange resins, it is possible to obtain an extremely pure hydrophilic organic solvent with less metal and non-metal ionic contaminants.

したがって、本発明の一態様は、親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法に関し、本方法は、親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、ここで、(a)陽イオン性イオン交換樹脂は、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、(b)陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する。 Therefore, one aspect of the present invention relates to a method for removing an ionic contaminant from a hydrophilic organic solvent, and the present method uses a hydrophilic organic solvent, a cationic ion exchange resin and an anionic ion exchange resin. Including contacting with a mixed bed of an ion exchange resin containing, (a) the cation exchange resin is a hydrogen (H) type strong acid cation exchange resin having a water retention capacity of 40 to 55% by weight. (B) Both the cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin have a porosity of 0.001 to 0.1 cm 3 / g, an average pore size of 0.001 to 1.7 nm, and 0. It has a BET surface area of .001 to 10 m 2 / g.

本発明の別の態様は、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、本明細書に記載される方法によって得られる親水性有機溶媒に関する。 Another aspect of the present invention is according to the method described herein, wherein the concentrations of Na, K, Ca, Al, Fe, Ni, Zn, Cu, Cr, and Sn are each 0.1 ppb or less. Regarding the obtained hydrophilic organic solvent.

別の態様では、本発明は、親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法に関し、本方法は、(i)陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床を調製するステップであって、(a)陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、(b)陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する、調製するステップと、(ii)親水性有機溶媒をイオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む。
また、本明細書には以下の態様の発明も開示する。
[1]
親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記方法が、
前記親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm /gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m /gのBET表面積を有する、方法。
[2]
前記イオン交換樹脂の混床が、以下の方法:
前記イオン交換樹脂の混床を、25床体積(BV)の超純粋水で24時間洗浄した後、前記超純粋水の総有機炭素を分析すること、によって測定して、10ppb以下の総有機炭素を示す、上記[1]に記載の方法。
[3]
前記H型強陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、各々、前記イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として10mg/kg以下である、上記[1]に記載の方法。
[4]
前記イオン交換樹脂の混床と接触させた後の前記親水性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、上記[1]に記載の方法によって得られる親水性有機溶媒。
[5]
親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
(i)水素(H)型強陽イオン性イオン交換樹脂及び強陰イオン性イオン交換樹脂を含む交換樹脂の混床イオンを調製するステップであって、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が40〜55重量%の保水力を有し、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm /gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m /gのBET表面積を有する、調製するステップと、
(ii)親水性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む、方法。
[6]
前記方法が、(iii)前記イオン交換樹脂の混床を、1〜50BV/時間の流量で30〜50床体積(BV)の前記親水性有機溶媒によってすすぐことを更に含み、ステップ(iii)がステップ(i)と(ii)との間に実施される、上記[5]に記載の方法。
In another aspect, the present invention relates to a method for removing an ionic contaminant from a hydrophilic organic solvent, wherein the method comprises (i) a cationic ion exchange resin and an anionic ion exchange resin. In the step of preparing a mixed bed of resins, (a) the cationic ion exchange resin is a hydrogen (H) type strong acid cationic ion exchange resin having a water retention capacity of 40 to 55% by weight, and (b). ) Both the cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin have a porosity of 0.001 to 0.1 cm 3 / g, an average pore size of 0.001 to 1.7 nm, and 0.001 to 10 m. It comprises a step of preparing having a BET surface area of 2 / g and (ii) a step of contacting a hydrophilic organic solvent with a mixed bed of ion exchange resins.
The present specification also discloses inventions of the following aspects.
[1]
A method for removing ionic contaminants from a hydrophilic organic solvent, wherein the method is:
Including contacting the hydrophilic organic solvent with a mixed bed of an ion exchange resin containing a cationic ion exchange resin and an anionic ion exchange resin.
(A) The cationic ion exchange resin is a hydrogen (H) type strong acid cationic ion exchange resin having a water retention capacity of 40 to 55% by weight.
(B) Both the cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin have a porosity of 0.001 to 0.1 cm 3 / g, an average pore size of 0.001 to 1.7 nm, and 0. A method having a BET surface area of 001 to 10 m 2 / g.
[2]
The mixed bed of the ion exchange resin is described by the following method:
The mixed bed of the ion exchange resin is washed with 25 bed volumes (BV) of ultrapure water for 24 hours, and then the total organic carbon of the ultrapure water is analyzed. The method according to the above [1].
[3]
The contents of Na, K, Ca, Al, Fe, Ni, Zn, Cu, Cr, and Sn in the H-type strongly cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin are the ion exchanges, respectively. The method according to the above [1], wherein the dry weight of the resin is 10 mg / kg or less as a reference.
[4]
The concentrations of Na, K, Ca, Al, Fe, Ni, Zn, Cu, Cr, and Sn in the hydrophilic organic solvent after contact with the mixed bed of the ion exchange resin are 0.1 ppb or less, respectively. The hydrophilic organic solvent obtained by the method according to the above [1].
[5]
A method for removing ionic contaminants from hydrophilic organic solvents.
(I) A step of preparing mixed bed ions of an exchange resin containing a hydrogen (H) type strongly cationic ion exchange resin and a strongly anionic ion exchange resin.
(A) The cationic ion exchange resin has a water retention capacity of 40 to 55% by weight.
(B) Both the cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin have a porosity of 0.001 to 0.1 cm 3 / g, an average pore size of 0.001 to 1.7 nm, and 0. With a step of preparation, having a BET surface area of 001 to 10 m 2 / g,
(Ii) A method comprising contacting a hydrophilic organic solvent with the mixed bed of the ion exchange resin.
[6]
The method further comprises rinsing (iii) the mixed bed of the ion exchange resin with the hydrophilic organic solvent in a volume of 30-50 bed volumes (BV) at a flow rate of 1-50 BV / hour, step (iii). The method according to [5] above, which is carried out between steps (i) and (ii).

本明細書全体で使用する場合、以下に与えられる略記は、文脈上他の意味であることが明白な場合を除き、次の意味を有する:g=グラム、mg=ミリグラム、L=リットル、mL=ミリリットル、ppm=100万分の1、ppb=10億分の1、m=メートル、mm=ミリメートル、cm=センチメートル、min.=分、s=秒、hr.=時間、℃=C度=セ氏度、vol%=体積パーセント、wt%=重量パーセント。 As used throughout this specification, the abbreviations given below have the following meanings, unless the context clearly indicates that they have other meanings: g = gram, mg = milligram, L = liter, mL. = Milliliter, ppm = one millionth, ppb = one billionth, m = meter, mm = millimeter, cm = centimeter, min. = Minutes, s = seconds, hr. = Time, ° C = C degrees = Celsius, vol% = volume percent, wt% = weight percent.

本発明の方法は、概して、親水性有機溶媒に適用可能である。具体的には、方法は、親水性有機溶媒などの水混和性プロトン性溶媒に有用である。親水性有機溶媒の例としては、アルコール、エーテル、及びそれらの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。本発明の方法を使用することができるアルコールの例としては、メタノール、エタノール、プロパノール、i−プロパノール、及びそれらの混合物が挙げられる。本発明の方法を使用することができるエーテルの例としては、プロピレングリコールモノ−メチルエーテル(PGME)、ジプロピレングリコールモノ−メチエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ブチルエーテル、及びそれらの混合物が挙げられる。 The methods of the present invention are generally applicable to hydrophilic organic solvents. Specifically, the method is useful for water-miscible protic solvents such as hydrophilic organic solvents. Examples of hydrophilic organic solvents include, but are not limited to, alcohols, ethers, and mixtures thereof. Examples of alcohols for which the methods of the invention can be used include methanol, ethanol, propanol, i-propanol, and mixtures thereof. Examples of ethers which may be used the method of the present invention, propylene glycol monomethyl - methyl ether (PGME), dipropylene glycol mono - methylation ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono - butyl ether, and mixtures thereof Can be mentioned.

本発明の方法はイオン交換樹脂の混床を使用する。イオン交換樹脂の混床は、陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂との混合物を指す。イオン交換樹脂の混床において使用される陽イオン性イオン交換樹脂は、水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、これらは、樹脂ビーズを形成するポリマー分子に結合した陽イオン交換基である。かかるH型強酸陽イオン交換基の例としてはスルホン酸が挙げられる。H型強酸陽イオン交換基、例えば、スルホン酸は、親水性有機溶媒中で陽イオン不純物と交換にプロトン(H)を放出する。陽イオン交換樹脂の樹脂ビーズは、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成される、通常は球形のポリマーである。このため、いくつかの実施形態では、H型強酸陽イオン交換樹脂は、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成されるポリマー分子に結合したスルホン酸を含む。 The method of the present invention uses a mixed bed of ion exchange resins. A mixed bed of ion exchange resins refers to a mixture of cation exchange resins and anion exchange resins. The cationic ion exchange resin used in the mixed bed of the ion exchange resin is a hydrogen (H) type strong acid cationic ion exchange resin, and these are cationic exchange groups bonded to the polymer molecules forming the resin beads. Is. An example of such an H-type strong acid cation exchange group is sulfonic acid. H-type strong acid cation exchange groups, such as sulfonic acids, release protons (H +) in exchange for cation impurities in hydrophilic organic solvents. Resin beads of cation exchange resins are usually spherical polymers formed from compositions containing styrene and divinylbenzene. Thus, in some embodiments, the H-strong acid cation exchange resin comprises a sulfonic acid attached to a polymer molecule formed from a composition comprising styrene and divinylbenzene.

イオン交換樹脂の混床で使用される陽イオン性イオン交換樹脂の保水力は、40〜55重量%である。保水力は、イオン交換樹脂が含水状態にある(水で膨潤している)ときのイオン交換樹脂内の水分量を指す。保水力は、多くの要因、主に、ベース樹脂の化学構造(スチレン型またはアクリル型)、ベース樹脂の架橋の程度、ベース樹脂ビーズの形態型(ゲル型またはMR型)、及びイオン交換ビーズのサイズ、陽イオン交換基の数により変動する。いくつかの好ましい実施形態では、陽イオン性イオン交換樹脂の保水力は、含水状態で45〜50重量%である。本明細書で使用される場合、保水力は、以下の方法により計算される:陽イオン交換樹脂中の含水量を、乾燥前後のイオン交換樹脂の重量を比較することによって計算する。乾燥条件は20mmHgの真空下で15時間105℃であり、デシケータにおける2時間の冷却が続く。含水状態のイオン交換樹脂に基づく乾燥後の減少した重量を使用し、以下の式に基づいて保水力を決定する:
保水力=(含水イオン交換樹脂の重量−乾燥後のイオン交換樹脂の重量)×100/含水イオン交換樹脂の重量。
The water retention capacity of the cationic ion exchange resin used in the mixed bed of the ion exchange resin is 40 to 55% by weight. The water retention capacity refers to the amount of water in the ion exchange resin when the ion exchange resin is in a water-containing state (swells with water). Water retention is a number of factors, primarily the chemical structure of the base resin (styrene or acrylic), the degree of cross-linking of the base resin, the morphology of the base resin beads (gel or MR), and the ion exchange beads. It varies depending on the size and the number of cation exchange groups. In some preferred embodiments, the water retention capacity of the cationic ion exchange resin is 45-50% by weight in the water-containing state. As used herein, water retention is calculated by the following method: the water content in a cation exchange resin is calculated by comparing the weight of the ion exchange resin before and after drying. The drying conditions are 105 ° C. for 15 hours under a vacuum of 20 mmHg, followed by cooling in a desiccator for 2 hours. Using the reduced weight after drying based on the hydrous ion exchange resin, the water retention capacity is determined based on the following formula:
Water retention capacity = (weight of hydrous ion exchange resin-weight of ion exchange resin after drying) x 100 / weight of hydrous ion exchange resin.

イオン交換樹脂の混床中で使用される陰イオン交換樹脂は、好ましくは、強塩基陰イオン性イオン交換樹脂である。陰イオン性イオン交換樹脂は、樹脂ビーズに結合した陰イオン交換基を有する。いくつかの実施形態では、強塩基陰イオン性イオン交換樹脂は、陰イオン性イオン交換樹脂を形成するポリマー分子に結合するトリメチルアンモニウム基(I型と呼ばれる)またはジメチルエタノールアンモニウム基(II型)を含む。強塩基陰イオン性イオン交換樹脂は、親水性有機溶媒中で陰イオン性汚染物質と交換にヒドロキシルイオン(OH)を放出する。陰イオン性イオン交換樹脂の樹脂ビーズも、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成される、通常は球形のポリマーである。このため、いくつかの実施形態では、強塩基陰イオン交換樹脂は、スチレン及びジビニルベンゼンを含む組成物から形成された樹脂ビーズ上にトリメチルアンモニウム基及び/またはジメチルエタノールアンモニウム基を含む。陰イオン性イオン交換樹脂の保水力は特に限定されないが、いくつかの好ましい実施形態では、保水力は、上述のように測定する場合、55〜65重量%である。 The anion exchange resin used in the mixed bed of the ion exchange resin is preferably a strong base anion exchange resin. The anion exchange resin has an anion exchange group bonded to the resin beads. In some embodiments, the strong base anionic ion exchange resin has a trimethylammonium group (called type I) or a dimethylethanolammonium group (type II) that binds to the polymer molecules that form the anionic ion exchange resin. Including. Strong base anionic ion exchange resins release hydroxyl ions (OH − ) in exchange for anionic contaminants in hydrophilic organic solvents. Resin beads of anionic ion exchange resins are also usually spherical polymers formed from compositions containing styrene and divinylbenzene. Thus, in some embodiments, the strong base anion exchange resin comprises a trimethylammonium group and / or a dimethylethanolammonium group on resin beads formed from a composition comprising styrene and divinylbenzene. The water retention capacity of the anionic ion exchange resin is not particularly limited, but in some preferred embodiments, the water retention capacity is 55 to 65% by weight as measured as described above.

本発明の発明者らは、本明細書に記載されるイオン交換樹脂の混床が、陽イオン単一床と比較してより効果的に金属を除去し得ること、また特定の陽イオン性イオン交換樹脂(即ち、保水力が40〜55重量%であるH型強酸陽イオン性イオン交換樹脂)を組み込むかかるイオン交換樹脂の混床が、イオン性汚染物質がより少ない極めて純粋な親水性有機溶媒を提供し得ることを発見した。 The inventors of the present invention have shown that a mixed bed of ion exchange resins described herein can remove metals more effectively than a single cation bed, and that certain cationic ions. A mixed bed of such ion exchange resins incorporating an exchange resin (ie, an H-type strong acid cationic ion exchange resin having a water retention capacity of 40 to 55% by weight) is an extremely pure hydrophilic organic solvent with less ionic contaminants. I found that it could provide.

上述のように、H型強酸陽イオン交換基は、親水性有機溶媒中で陽イオン性不純物と交換にプロトン(H)を放出する。本発明の発明者らは、保水力が40〜55重量%であるH型強酸陽イオン性イオン交換樹脂が、親水性有機溶媒中で最も高いイオン交換能力を有することを発見した。イオン交換樹脂が有機溶媒中で膨潤すると、より少ない立体障害に起因して、より大量の親水性溶媒が樹脂ビーズの内部に浸透し得る。結果として、ビーズ内部に位置するイオン交換基もイオン交換反応に寄与し得るため、イオン交換反応の頻度が増加する。対照的に、高密度状態の樹脂は、溶媒の透過を低下させ、樹脂ビーズの表面上に位置する表面イオン交換部位のみがイオン交換反応に寄与する。その一方で、混床で使用される強塩基陰イオン性イオン交換樹脂は、陰イオン性不純物と交換にヒドロキシルイオン(OH)を放出する。放出されたプロトン及びヒドロキシルイオンは、親水性有機溶媒中で水(HO)を形成する。親水性有機溶媒は水との強力な親和性を有するため、形成された水は親水性有機溶媒と混合され、その結果、水がイオン交換樹脂の混床の近傍から除去される。プロトンの存在下では、カチオン交換反応は、平衡反応の理論により進行しない。強酸陽イオン交換樹脂と強塩基陰イオン交換樹脂との混床を使用することにより、プロトンは水としてより効果的に除去され、その結果、より多くのイオン性不純物がイオン交換樹脂の混床中でイオン交換樹脂と結合するようになる。 As described above, the H-type strong acid cation exchange group releases a proton (H +) in exchange for a cationic impurity in a hydrophilic organic solvent. The inventors of the present invention have discovered that an H-type strong acid cationic ion exchange resin having a water retention capacity of 40 to 55% by weight has the highest ion exchange capacity among hydrophilic organic solvents. When the ion exchange resin swells in an organic solvent, a larger amount of hydrophilic solvent can penetrate inside the resin beads due to less steric hindrance. As a result, the ion exchange group located inside the bead can also contribute to the ion exchange reaction, so that the frequency of the ion exchange reaction increases. In contrast, the high density resin reduces the permeation of the solvent and only the surface ion exchange sites located on the surface of the resin beads contribute to the ion exchange reaction. On the other hand, the strong base anionic ion exchange resin used in the mixed bed releases hydroxyl ions (OH − ) in exchange for anionic impurities. The released protons and hydroxyl ions form water (H 2 O) in a hydrophilic organic solvent. Since the hydrophilic organic solvent has a strong affinity for water, the formed water is mixed with the hydrophilic organic solvent, and as a result, the water is removed from the vicinity of the mixed bed of the ion exchange resin. In the presence of protons, the cation exchange reaction does not proceed according to the theory of equilibrium reaction. By using a mixed bed of strong acid cation exchange resin and strong base anion exchange resin, protons are removed more effectively as water, and as a result, more ionic impurities are in the mixed bed of the ion exchange resin. Comes to bond with the ion exchange resin.

陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、本発明の実施形態においてはゲル型樹脂である。本明細書で使用される場合、またイオン交換樹脂の分野において一般に理解されるように、ゲル型樹脂は、非常に低い多孔性(0.1cm/g未満)、小さい平均孔径(1.7nm未満)、及び低いBET表面積(10m/g未満)を有する樹脂を指す。多孔性、平均孔径、及びBET表面積は、ISO 15901−2に示される窒素吸着方法によって測定され得る。かかるイオン交換樹脂は、マクロ網状構造(MR型イオン交換樹脂)とゲル型イオン交換樹脂の多孔性よりも明らかに大きいマクロ孔径とを有するマクロ多孔質型イオン交換樹脂とは異なる。 Both the cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin are gel-type resins in the embodiment of the present invention. As used herein and generally understood in the field of ion exchange resins, gel-type resins have very low porosity ( less than 0.1 cm 3 / g) and a small average pore size (1.7 nm). Less than) and a resin with a low BET surface area ( less than 10 m 2 / g). Porosity, average pore size, and BET surface area can be measured by the nitrogen adsorption method set forth in ISO 15901-2. Such an ion exchange resin is different from a macroporous ion exchange resin having a macronet structure (MR type ion exchange resin) and a macropore diameter clearly larger than the porosity of the gel type ion exchange resin.

ゲル型イオン交換樹脂が本発明における使用に好ましく、これは、いくつかの理由による:(1)ゲル型イオン交換樹脂は、高い形態安定性を目指して設計される典型的な市販のマクロ多孔質またはマクロ網状(MR)型イオン交換樹脂よりも架橋が少ないため、親水性有機溶媒によって容易に膨潤するため、及び(2)ゲル型イオン交換樹脂に含有されるイオン性不純物が、MR型イオン交換樹脂に含有されるイオン性不純物よりも一般に少ないため。イオン交換樹脂の混床で使用されるイオン交換樹脂、樹脂は、好ましくは、保水力が40〜55重量パーセントである。保水力が高い(例えば、55重量%超)樹脂については、有機物がイオン交換樹脂から浸出するリスクがより高い。保水力が低い(例えば、40重量%未満)樹脂については、典型的なすすぎ手順を使用してイオン交換樹脂から汚染物質をすすぎ落とすことは困難であり、イオン交換基の活性は、親水性有機溶媒における高い立体障害に起因して低い。 Gel-type ion exchange resins are preferred for use in the present invention, for several reasons: (1) Gel-type ion exchange resins are typical commercially available macroporous designs designed for high morphological stability. Alternatively, since it has less cross-linking than the macro-reticulated (MR) type ion exchange resin, it easily swells with a hydrophilic organic solvent, and (2) the ionic impurities contained in the gel type ion exchange resin are MR type ion exchange. Because it is generally less than the ionic impurities contained in the resin. The ion exchange resin and resin used in the mixed bed of ion exchange resins preferably have a water retention capacity of 40 to 55% by weight. For resins with high water retention (eg, greater than 55% by weight), the risk of organic matter leaching out of the ion exchange resin is higher. For resins with low water retention (eg, less than 40% by weight), it is difficult to rinse off contaminants from the ion exchange resin using typical rinsing procedures, and the activity of the ion exchange groups is hydrophilic organic. Low due to high steric hindrance in solvent.

イオン交換樹脂の混床における陽イオン交換樹脂の陰イオン交換樹脂に対する比率は概して、いくつかの実施形態ではイオン交換基の当量比で1:9〜9:1である。好ましくは、比率は2:8〜8:2である。 The ratio of the cation exchange resin to the anion exchange resin in the mixed bed of the ion exchange resin is generally 1: 9 to 9: 1 in the equivalent ratio of the ion exchange groups in some embodiments. Preferably, the ratio is 2: 8-8: 2.

陽イオン交換樹脂及び/または陰イオン交換樹脂は、その製造プロセスから生じる金属不純物を含有する場合がある。かかる金属不純物は樹脂から出て、処理済みの溶媒中で金属イオン汚染を引き起こす。いかなる特定の理論にも束縛されるものではないが、発明者らは、かかる浸出している金属不純物が、樹脂の反応副生成物または未反応/未架橋生成物としてイオン交換樹脂中に含有される低分子量有機化合物と結びつくと考える。かかる金属有機化合物複合体はより容易に有機溶媒に溶解し、その結果、有機化合物が金属不純物を有機溶媒中に持ち込むようになる。したがって、発明者らは、処理される溶媒におけるイオン汚染の可能性を減少させるためには、イオン交換樹脂中の低分子量有機化合物の金属不純物及び/または溶出性種の量を最小限にすることが望ましいと考える。 The cation exchange resin and / or the anion exchange resin may contain metal impurities resulting from the manufacturing process thereof. Such metal impurities come out of the resin and cause metal ion contamination in the treated solvent. Without being bound by any particular theory, we found that such leached metal impurities were contained in the ion exchange resin as reaction by-products or unreacted / uncrosslinked products of the resin. It is considered to be associated with low molecular weight organic compounds. Such metal-organic compound complexes are more easily dissolved in organic solvents, so that the organic compounds carry metal impurities into the organic solvent. Therefore, the inventors should minimize the amount of metal impurities and / or elution species of low molecular weight organic compounds in the ion exchange resin in order to reduce the possibility of ion contamination in the solvent being treated. Is desirable.

イオン交換樹脂中に含有される金属不純物としては、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Sn、及びCrを挙げることができる。イオン交換樹脂の金属イオン汚染を防止するためには、本発明のいくつかの実施形態で使用するイオン交換樹脂中のこれらの個々の金属不純物の含有量は、イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として、それぞれ10mg/Kg以下であることが好ましい。より好ましくは、これらの金属イオンの含有量は、イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として、5mg/Kg以下である。金属の含有量は、樹脂試料のアッシングの後、ICP−MSによって分析することができる(即ち、イオン交換樹脂を燃焼させ、残留した灰を塩酸水溶液に溶解させ、ICP−MSによって金属イオンの濃度を分析する)。 Examples of the metal impurities contained in the ion exchange resin include Na, K, Ca, Al, Fe, Ni, Zn, Cu, Sn, and Cr. In order to prevent metal ion contamination of the ion exchange resin, the content of these individual metal impurities in the ion exchange resin used in some embodiments of the present invention is based on the dry weight of the ion exchange resin. , Each is preferably 10 mg / Kg or less. More preferably, the content of these metal ions is 5 mg / Kg or less based on the dry weight of the ion exchange resin. The metal content can be analyzed by ICP-MS after ashing the resin sample (ie, the ion exchange resin is burned, the residual ash is dissolved in hydrochloric acid aqueous solution, and the concentration of metal ions by ICP-MS. Analyze).

イオン交換樹脂中に含まれる低分子有機化合物の溶出性種の含有量は、以下の方法によって評価することができる。まず、超純粋水を25BV/時間でイオン交換樹脂カラム中に連続的に流し、次に、24時間の流し込みの後、流入超純粋水(UPWと称する)及び流出UPWのTOC(総有機炭素)値を測定する。次に、差異(あるいはデルタ(Δ)TOC値)を2つのTOC値から算出する。ΔTOC値は、流入TOC値を流出TOC値から減算することによって算出する。本発明のいくつかの実施形態では、上記の方法によって測定したΔTOC値は10ppb以下であることが好ましい。より好ましくは、ΔTOC値は5ppb以下である。TOCは、当業者に既知の技法を使用して市販のTOC分析器によって分析することができる。 The content of the elution species of the low molecular weight organic compound contained in the ion exchange resin can be evaluated by the following method. First, ultrapure water was continuously flowed into an ion exchange resin column at 25 BV / hour, and then after 24 hours of pouring, the inflow ultrapure water (referred to as UPW) and the outflow UPW TOC (total organic carbon). Measure the value. Next, the difference (or delta (Δ) TOC value) is calculated from the two TOC values. The ΔTOC value is calculated by subtracting the inflow TOC value from the outflow TOC value. In some embodiments of the present invention, the ΔTOC value measured by the above method is preferably 10 ppb or less. More preferably, the ΔTOC value is 5 ppb or less. TOCs can be analyzed by commercially available TOC analyzers using techniques known to those of skill in the art.

陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂は、元々は水を含有する(水との平衡状態で水によって膨潤する)。本発明では、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂中の含水量は、使用前、それぞれ(即ち、各樹脂について)5重量%以下に減少する。好ましくは、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂中の含水量は、各樹脂中で3重量%以下である。樹脂床を乾燥樹脂によって始めることで、イオン交換樹脂の溶媒化時間を節約することができ、また水を置き換えるのに必要な溶媒体積を最小限に抑えることができる。含水量を減少させるために、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂は、加水分解性有機溶媒と接触させる前に乾燥させることができる。イオン交換樹脂を乾燥させるための、乾燥用機器、ならびに温度、時間、及び圧力などの条件は、当業者に既知の技法を使用して選択することができる。例えば、イオン交換樹脂は、減圧条件下で1〜48時間、60〜120℃のオーブン中で加熱し得る。含水量は、20mmHg未満の真空オーブンにて15時間105℃で加熱した後、デシケータ中で2時間冷却する前後のイオン交換樹脂の重量を比較することによって算出することができる。 The cation exchange resin and the anion exchange resin originally contain water (swell with water in an equilibrium state with water). In the present invention, the water content in the cation exchange resin and the anion exchange resin is reduced to 5% by weight or less, respectively (that is, for each resin) before use. Preferably, the water content in the cation exchange resin and the anion exchange resin is 3% by weight or less in each resin. By starting the resin bed with a dry resin, the solventization time of the ion exchange resin can be saved and the solvent volume required to replace the water can be minimized. To reduce the water content, the cation exchange resin and the anion exchange resin can be dried prior to contact with the hydrolyzable organic solvent. The drying equipment and conditions for drying the ion exchange resin, such as temperature, time, and pressure, can be selected using techniques known to those of skill in the art. For example, the ion exchange resin can be heated in an oven at 60-120 ° C. for 1-48 hours under reduced pressure conditions. The water content can be calculated by comparing the weights of the ion exchange resins before and after heating in a vacuum oven of less than 20 mmHg at 105 ° C. for 15 hours and then cooling in a desiccator for 2 hours.

親水性有機溶媒をイオン交換樹脂の混床と接触させるときは、液体をイオン交換樹脂と接触させるための任意の既知の方法を使用することができる。例えば、混床イオン交換樹脂はカラム中に詰めることができ、溶媒は、混床イオン交換樹脂を通してカラムの上部から注入することができる。溶媒の流量は、1〜100BV/時間、好ましくは1〜50BV/時間であり得る。本明細書で使用する場合、「BV」は、床体積を意味し、同体積の含水湿式混床イオン交換樹脂と接触させた液体量を指す。例えば、120mlの含水湿式混床イオン交換樹脂を使用する場合、1BVは、120mlの親水性有機溶媒が混床イオン交換樹脂と接触することを意味する。「BV/時間」は、流量(mL/時間)を床体積(mL)で割ることによって算出した。 When contacting the hydrophilic organic solvent with the mixed bed of the ion exchange resin, any known method for contacting the liquid with the ion exchange resin can be used. For example, the mixed bed ion exchange resin can be packed in the column and the solvent can be injected from the top of the column through the mixed bed ion exchange resin. The flow rate of the solvent can be 1-100 BV / hour, preferably 1-50 BV / hour. As used herein, "BV" means the floor volume and refers to the amount of liquid in contact with the hydrous wet mixed bed ion exchange resin of the same volume. For example, when using 120 ml of a hydrous wet mixed bed ion exchange resin, 1 BV means that 120 ml of the hydrophilic organic solvent comes into contact with the mixed bed ion exchange resin. "BV / hour" was calculated by dividing the flow rate (mL / hour) by the floor volume (mL).

親水性有機溶媒を混床イオン交換樹脂と接触させる間の温度は、種々の実施形態において、0〜100℃、好ましくは10〜60℃、より好ましくは20〜40℃であり得る。 The temperature during contact of the hydrophilic organic solvent with the mixed bed ion exchange resin can be 0 to 100 ° C., preferably 10 to 60 ° C., more preferably 20 to 40 ° C. in various embodiments.

得られる親水性有機溶媒は、かなり低いレベルの金属及び非金属イオン性汚染物質を含む。汚染物質としては、Na、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Sn、及びCrを挙げることができる。これらの汚染物質の濃度は、種々の実施形態において、それぞれ0.1ppb以下であり得る。したがって、本発明の方法を使用して得られる親水性有機溶媒は、医薬品及び電子材料の製造のため、ならびに特に半導体製作プロセスにおける使用のためなど、かなり高いレベルの純溶媒を必要とする用途において有用であり得る。 The resulting hydrophilic organic solvent contains fairly low levels of metal and non-metal ionic contaminants. Examples of the pollutant include Na, K, Ca, Al, Fe, Ni, Zn, Cu, Sn, and Cr. The concentration of these contaminants can be 0.1 ppb or less, respectively, in various embodiments. Therefore, the hydrophilic organic solvents obtained using the methods of the present invention are used in applications that require fairly high levels of pure solvent, such as for the production of pharmaceuticals and electronic materials, and especially for use in semiconductor manufacturing processes. Can be useful.

これから、本発明のいくつかの実施形態を以下の実施例において詳述する。 Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail in the following examples.

以下のイオン交換樹脂を使用した。 The following ion exchange resins were used.

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比較例1:強陽イオン交換樹脂DOWEX(商標)MONOSPERE(商標)650 C UPW
120mL(94g)の含水状態のDOWEX(商標)MONOSPERE(商標)650 C UPW(MS650C UPW、ゲル型強陽イオン交換樹脂)を、内径20mm及び長さ500mmのTeflonカラムに充填した。水をPMで置き換えるために、DOWANOL(商標)PM(PM)を40mL/分で3時間流す。次いで、流量を変化させながらサンプリングを開始する。
Comparative Example 1: Strong cation exchange resin DOWNEX ™ MONOSPERE ™ 650 C UPW
120 mL (94 g) of DOWNEX ™ MONOSPER ™ 650 C UPW (MS650C UPW, gel-type strong cation exchange resin) in a water-containing state was filled in a Teflon column having an inner diameter of 20 mm and a length of 500 mm. To replace the water with PM, DOWNOL ™ PM (PM) is run at 40 mL / min for 3 hours. Then, sampling is started while changing the flow rate.

比較例2:強陽イオン交換樹脂床MS650C UPWをPM流ですすぐ。
「比較例1」の試験を実施した後、流量を減少させ、2BV/時間でPMの供給を継続する。2BV/時間で48時間流した後、流量を16BV/時間に増加させ、試料を採取する。
Comparative Example 2: Rinse the strong cation exchange resin floor MS650C UPW with PM flow.
After performing the test of "Comparative Example 1", the flow rate is reduced and the PM supply is continued at 2 BV / hour. After flowing at 2 BV / hour for 48 hours, the flow rate is increased to 16 BV / hour and a sample is taken.

樹脂体積は、比較例1及び2について、PMによる溶媒和状態で約100mLに収縮する。 The resin volume of Comparative Examples 1 and 2 shrinks to about 100 mL in a solvated state with PM.

比較例3:弱陽イオン交換樹脂DOWEX(商標)MAC−3
含水状態のMAC−3樹脂(ゲル型弱陽イオン交換樹脂)を、内径20mm及び長さ500mmのTEFLONカラムに充填した。16BV/時間で3時間のPM流によって水を置き換えた後、第1のPM試料を採取する。
Comparative Example 3: Weak cation exchange resin DOWNEX ™ MAC-3
A water-containing MAC-3 resin (gel-type weak cation exchange resin) was filled in a TEFLON column having an inner diameter of 20 mm and a length of 500 mm. After replacing the water with a PM stream of 16 BV / hour for 3 hours, a first PM sample is taken.

樹脂体積は、含水状態での120mlから、PMによる溶媒和状態では150mLに膨張する。 The resin volume expands from 120 ml in the water-containing state to 150 mL in the solvated state with PM.

比較例4:高い保水力を有する強陽イオン交換樹脂及びMR型強陰イオン樹脂の乾燥混床
40mlの含水状態のAMBERLYST(商標)31WET(ゲル型強陽イオン交換樹脂)と80mlの含水状態のAMBERJET(商標)9000 OH(MR型強陰イオン交換樹脂)とを混合する。ΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で12.8ppb、24時間流した後では2.3ppbと測定される。
Comparative Example 4: Dry mixed bed of strong cation exchange resin and MR type strong anion resin having high water retention capacity AMBERLYST ™ 31WET (gel type strong cation exchange resin) in a water-containing state of 40 ml and 80 ml of water-containing state Mix with AMBERJET ™ 9000 OH (MR type strong anion exchange resin). ΔTOC is measured at 12.8 ppb after running UPW for 2 hours at 25 BV / hour and 2.3 ppb after running for 24 hours.

混合樹脂を真空オーブン(60℃、20mmHg、15時間)中で乾燥させる。PMを16BV/時間の流量で2時間流した後、第1の試料を採取する。次いで、流量を変化させながら他の試料を採取する。120mLの含水樹脂体積は、PMによる溶媒和状態で96mLに収縮する。 The mixed resin is dried in a vacuum oven (60 ° C., 20 mmHg, 15 hours). After flowing PM at a flow rate of 16 BV / hour for 2 hours, a first sample is taken. Then, another sample is collected while changing the flow rate. The 120 mL hydrous resin volume shrinks to 96 mL in a solvated state with PM.

比較例5:MR型強陽イオン交換樹脂とMR型強陰イオン樹脂との混床
AMBERLITE 904Cl(MR型Cl型強陽イオン交換樹脂)を、以下の様式でOH型に変換する。
Comparative Example 5: A mixed bed of MR type strong cation exchange resin and MR type strong anion resin AMBERLITE 904Cl (MR type Cl type strong cation exchange resin) is converted into OH type in the following manner.

500mLのAMBERLITE(商標)904 Clを、直径50mm及び長さ800mmのステンレス鋼製カラムに充填する。4重量%の苛性ソーダ水溶性を60℃の温度制御タンク中で加熱する。加熱した4%苛性ソーダ溶液を、カラムの上部から10BV/時間で2時間流し、塩素型をヒドロキシル型に変換する。次いで、UPW流によるすすぎを、室温で2時間、10BV/時間で行う。カラムから採取した樹脂は、含水状態のOH変換陰イオン交換樹脂である。 500 mL of AMBERLITE ™ 904 Cl is filled into a stainless steel column 50 mm in diameter and 800 mm in length. 4% by weight caustic soda water soluble is heated in a temperature controlled tank at 60 ° C. A heated 4% caustic soda solution is run from the top of the column at 10 BV / hour for 2 hours to convert the chlorine form to the hydroxyl form. Rinsing with UPW flow is then performed at room temperature for 2 hours at 10 BV / hour. The resin collected from the column is a water-containing OH-converted anion exchange resin.

混床を以下の様式で構築する。
40mlの含水AMBERLYST(商標)15WET(MR型H型強陽イオン交換樹脂)と80mlの含水状態のOH変換AMBERLITE(商標)904 Clとを均一に混合する。カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との上記の体積に基づく混合比は、当量比で1:1である。含水状態の混合樹脂のΔTOCは、25BV/時間の流量で2時間UPWを流した後で98ppb、24時間流した後では30ppbと測定される。
Construct a mixed floor in the following style.
40 ml of hydrous AMBERLYST ™ 15 WET (MR type H type strong cation exchange resin) and 80 ml of OH-converted AMBERLITE ™ 904 Cl in a hydrous state are uniformly mixed. The mixing ratio of the cation exchange resin and the anion exchange resin based on the above volume is 1: 1 in the equivalent ratio. The ΔTOC of the water-containing mixed resin is measured as 98 ppb after flowing UPW for 2 hours at a flow rate of 25 BV / hour and 30 ppb after flowing for 24 hours.

混合樹脂を真空オーブン(60℃、20mmHg)中で15時間乾燥させる。乾燥した混合樹脂を内径20mm及び長さ500mmのTeflonカラムに充填する。PMを16BV/時間の流量で2時間流す。120mLの含水樹脂体積は、PMによる溶媒和状態で108mLに収縮する。流量を変化させながら、試料を採取する。 The mixed resin is dried in a vacuum oven (60 ° C., 20 mmHg) for 15 hours. The dried mixed resin is filled in a Teflon column having an inner diameter of 20 mm and a length of 500 mm. PM is flowed at a flow rate of 16 BV / hour for 2 hours. The 120 mL hydrous resin volume shrinks to 108 mL in a solvated state with PM. Samples are taken while changing the flow rate.

実施例1:強陽イオン交換樹脂MS650C UPWと強陰イオン交換樹脂AMBERJET(商標)UP4000との混床
含水湿式陽イオン樹脂MS650 C UPWと、含水湿式陰イオン樹脂AMBERJET(商標)UP4000とを、当量比では1:1として、39:61の重量比で混合する。ΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で8.2ppb、UPWを24時間流した後では0.7ppbと測定される。混合樹脂中の乾燥樹脂に基づく金属含量は、Naについて0.13mg/Kg、Alについて0.12mg/Kg、Caについて0.17mg/Kg、Feについて1.44mg/Kg、Cuについて0.01mg/Kgと測定される。
Example 1: A mixed bed of a strong cation exchange resin MS650C UPW and a strong anion exchange resin AMBERJET (trademark) UP4000. An equivalent amount of a water-containing wet cation resin MS650C UPW and a water-containing wet anion resin AMBERJET (trademark) UP4000. The ratio is 1: 1 and the mixture is mixed in a weight ratio of 39:61. ΔTOC is measured at 8.2 ppb after running UPW for 2 hours at 25 BV / hour and 0.7 ppb after running UPW for 24 hours. The metal content based on the dry resin in the mixed resin is 0.13 mg / Kg for Na, 0.12 mg / Kg for Al, 0.17 mg / Kg for Ca, 1.44 mg / Kg for Fe, and 0.01 mg / Kg for Cu. Measured as Kg.

120mLの混合樹脂を、内径20mm及び長さ500mmのTeflonカラムに充填する。
PMを16BV/時間で3時間流して、水をPMで置き換えた後、一晩流れを止める。樹脂体積は、含水状態での120mLから、PMによる溶媒和状態で114mLに収縮する。次いで、翌日に16BV/時間で1時間流した後で、第1の試料を採取する。流量を変化させながら、他の試料を採取する。
120 mL of mixed resin is filled in a Teflon column having an inner diameter of 20 mm and a length of 500 mm.
Run PM at 16 BV / hour for 3 hours, replace the water with PM, and then stop the flow overnight. The resin volume shrinks from 120 mL in the water-containing state to 114 mL in the solvated state with PM. Then, the first sample is taken after flowing at 16 BV / hour for 1 hour the next day. Collect other samples while changing the flow rate.

実施例2:混合樹脂AMBERLITE(商標)UP6040(乾燥樹脂)
試験した樹脂のΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で1.9ppb、24時間UPWを流した後では0.1ppb未満と測定される。
Example 2: Mixed resin AMBERLITE ™ UP6040 (dry resin)
The ΔTOC of the tested resin is measured to be 1.9 ppb after running UPW for 2 hours at 25 BV / hour and less than 0.1 ppb after running UPW for 24 hours.

120mlの含水状態AMBERLITE(商標)UP6040(1:1の強陽イオン交換樹脂と弱陰イオン交換樹脂との定比混合物)を、15時間20mmHg、105℃で乾燥させる。混合樹脂中の乾燥樹脂に基づく金属含量は、Naについて0.18mg/Kg、Alについて0.12mg/Kg、Caについて0.18mg/Kg、Feについて3.42mg/Kg、Cuについて0.00mg/Kg及びZnについて0.02mg/Kgと測定される。 120 ml of a water-containing state AMBERLITE ™ UP6040 (a constant ratio mixture of a 1: 1 strong cation exchange resin and a weak anion exchange resin) is dried at 20 mmHg for 15 hours at 105 ° C. The metal content based on the dry resin in the mixed resin is 0.18 mg / Kg for Na, 0.12 mg / Kg for Al, 0.18 mg / Kg for Ca, 3.42 mg / Kg for Fe, and 0.00 mg / Kg for Cu. It is measured as 0.02 mg / Kg for Kg and Zn.

乾燥樹脂をTeflonカラムに充填し、溶媒和のためにPMを16BV/時間で3時間流し、一晩流れを止める。樹脂体積は、含水状態の125mLから、PMによる溶媒和状態では131mLに膨張する。 The Teflon column is filled with dry resin, PM is allowed to flow at 16 BV / hour for 3 hours for solvation, and the flow is stopped overnight. The resin volume expands from 125 mL in the water-containing state to 131 mL in the solvated state with PM.

翌日に16BV/時間で1時間流した後で、第1の試料を採取する。流量を変化させながら、他の試料を採取する。 The first sample is taken the next day after running at 16 BV / hour for 1 hour. Collect other samples while changing the flow rate.

分析
溶媒試料中の金属の濃度をICP−MS(誘導結合プラズマ質量分析)によって分析し、分析結果を表1〜6に示す。元の金属レベル(濃度)及び金属元素比は、供給溶媒ロット(feed solvent lot)により異なる。
Analysis The concentration of metal in the solvent sample was analyzed by ICP-MS (inductively coupled plasma mass spectrometry), and the analysis results are shown in Tables 1-6. The original metal level (concentration) and metal element ratio vary depending on the feed solvent lot.

1−メトキシ−2−プロパノール(PM中の主要成分)の濃度を、GC−FID(炎イオン化検出器付きガスクロマトグラフィー)で評価し、結果を表1〜6に示す。純度の定義は、1−メトキシ−2プロパノールの面積%である。 The concentration of 1-methoxy-2-propanol (main component in PM) was evaluated by GC-FID (gas chromatography with flame ionization detector), and the results are shown in Tables 1-6. The definition of purity is the area% of 1-methoxy-2 propanol.

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Claims (9)

エーテルを含む親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記方法が、
前記親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する、方法。
A method for removing ionic contaminants from a hydrophilic organic solvent containing ether, wherein the method is:
Including contacting the hydrophilic organic solvent with a mixed bed of an ion exchange resin containing a cationic ion exchange resin and an anionic ion exchange resin.
(A) The cationic ion exchange resin is a hydrogen (H) type strong acid cationic ion exchange resin having a water retention capacity of 40 to 55% by weight.
(B) Both the cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin have a porosity of 0.001 to 0.1 cm 3 / g, an average pore size of 0.001 to 1.7 nm, and 0. A method having a BET surface area of 001 to 10 m 2 / g.
前記イオン交換樹脂の混床が、以下の方法:
前記イオン交換樹脂の混床を、25床体積(BV)の超純粋水で24時間洗浄した後、前記超純粋水の総有機炭素を分析すること、によって測定して、10ppb以下の総有機炭素を示す、請求項1に記載の方法。
The mixed bed of the ion exchange resin is described by the following method:
The mixed bed of the ion exchange resin is washed with 25 bed volumes (BV) of ultrapure water for 24 hours, and then the total organic carbon of the ultrapure water is analyzed. The method according to claim 1.
前記H型強陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、各々、前記イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として10mg/kg以下である、請求項1又は2に記載の方法。 The contents of Na, K, Ca, Al, Fe, Ni, Zn, Cu, Cr, and Sn in the H-type strongly cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin are the ion exchanges, respectively. The method according to claim 1 or 2 , wherein the dry weight of the resin is 10 mg / kg or less as a reference. 前記イオン交換樹脂の混床と接触させた後の前記親水性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法によって得られる親水性有機溶媒。 The concentrations of Na, K, Ca, Al, Fe, Ni, Zn, Cu, Cr, and Sn in the hydrophilic organic solvent after contact with the mixed bed of the ion exchange resin are 0.1 ppb or less, respectively. The hydrophilic organic solvent obtained by the method according to any one of claims 1 to 3. エーテルを含む親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
(i)水素(H)型強陽イオン性イオン交換樹脂及び強陰イオン性イオン交換樹脂を含む交換樹脂の混床イオンを調製するステップであって、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が40〜55重量%の保水力を有し、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m/gのBET表面積を有する、調製するステップと、
(ii)親水性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む、方法。
A method for removing ionic contaminants from hydrophilic organic solvents containing ethers.
(I) A step of preparing mixed bed ions of an exchange resin containing a hydrogen (H) type strongly cationic ion exchange resin and a strongly anionic ion exchange resin.
(A) The cationic ion exchange resin has a water retention capacity of 40 to 55% by weight.
(B) Both the cationic ion exchange resin and the anionic ion exchange resin have a porosity of 0.001 to 0.1 cm 3 / g, an average pore size of 0.001 to 1.7 nm, and 0. With a step of preparation, having a BET surface area of 001 to 10 m 2 / g,
(Ii) A method comprising contacting a hydrophilic organic solvent with the mixed bed of the ion exchange resin.
前記方法が、(iii)前記イオン交換樹脂の混床を、1〜50BV/時間の流量で30〜50床体積(BV)の前記親水性有機溶媒によってすすぐことを更に含み、ステップ(iii)がステップ(i)と(ii)との間に実施される、請求項5に記載の方法。 The method further comprises rinsing (iii) the mixed bed of the ion exchange resin with the hydrophilic organic solvent in a volume of 30-50 bed volumes (BV) at a flow rate of 1-50 BV / hour, step (iii). The method of claim 5, performed between steps (i) and (ii). 前記親水性有機溶媒が、エーテルからなる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 8, wherein the hydrophilic organic solvent is composed of ether. 前記エーテルが、プロピレングリコールモノ−メチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−メチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ブチルエーテル、又はそれらの混合物である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 7, wherein the ether is propylene glycol mono-methyl ether, dipropylene glycol mono-methyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-butyl ether, or a mixture thereof. .. 前記エーテルが、プロピレングリコールモノ−メチルエーテルである、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 7, wherein the ether is propylene glycol mono-methyl ether.
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