JP7257415B2 - 異方導電性シート、異方導電性複合シート、異方導電性シートセット、電気検査装置および電気検査方法 - Google Patents

Description

本開示は、異方導電性シート、異方導電性複合シート、異方導電性シートセット、電気検査装置および電気検査方法に関する。

厚み方向に導電性を有し、面方向には絶縁性を有する異方導電性シートが知られている。そのような異方導電性シートは、種々の用途、例えばプリント基板などの検査対象物の複数の測定点間の電気的特性を測定するための電気検査装置のプローブ（接触子）として用いられている。

電気検査に用いられる異方導電性シートとしては、例えば絶縁層と、その厚み方向に貫通するように配置された複数の金属ピンとを有する異方導電性シートが知られている（例えば特許文献１および２）。金属ピンは、絶縁層の厚み方向に沿って直線状に形成されている。

特開平４－１７２８２号公報 特開２０１６－２１３１８６号公報

しかしながら、特許文献１や２に示される異方導電性シートの表面には、金属ピンが露出している。そのため、これらの異方導電性シート上に、検査対象物である半導体パッケージの端子を位置合わせする際や、電気的接続を行うために半導体パッケージを押圧する際に、半導体パッケージの端子が、異方導電性シートの表面から露出した金属ピンと接触して損傷しやすいという問題があった。

本開示は、上記課題に鑑みてなされたものであり、検査対象物の端子の損傷を抑制できる異方導電性シート、電気検査装置および電気検査方法を提供することを目的とする。

上記課題は、以下の構成によって解決することができる。

本開示の異方導電性シートは、複数の導電路と、前記複数の導電路の間を埋めるように配置され、第１面と第２面とを有する絶縁層と、を有し、前記導電路は、前記絶縁層の厚み方向に延在しており、かつ前記第１面側の第１端部と、前記第２面側の第２端部とを有し、前記第１端部の中心と前記第２端部の中心とが重なるように前記導電路を透視したとき、前記導電路の少なくとも一部は、前記第１端部および前記第２端部と重ならない。

本開示の異方導電性複合シートは、厚み方向に貫通する複数の第１導電路と、前記複数の第１導電路の間を埋めるように配置され、第３面と第４面とを有する第１絶縁層とを有する第１異方導電性シートと、厚み方向に延設された複数の第２導電路と、前記複数の第２導電路の間を埋めるように配置され、第５面と第６面とを有する第２絶縁層とを有する第２異方導電性シートとを有し、前記第１異方導電性シートと前記第２異方導電性シートとは、前記第１絶縁層の前記第３面と前記第２絶縁層の前記第６面とが向かい合うように積層されており、前記第１異方導電性シートと前記第２異方導電性シートの少なくとも一方が、本開示の異方導電性シートであり、前記第５面側における前記複数の第２導電路の中心間距離ｐ２は、前記第３面側における前記複数の第１導電路の中心間距離ｐ１よりも小さく、かつ前記第２異方導電性シートの前記第５面の前記ロックウェル硬度は、前記第１異方導電性シートの前記第３面の前記ロックウェル硬度よりも低い。

本開示の異方導電性シートセットは、厚み方向に貫通する複数の第１導電路と、前記複数の第１導電路の間を埋めるように配置され、第３面と第４面とを有する第１絶縁層とを有する第１異方導電性シートと、厚み方向に延設された複数の第２導電路と、前記複数の第２導電路の間を埋めるように配置され、第５面と第６面とを有する第２絶縁層とを有する第２異方導電性シートとを有し、前記第１異方導電性シートと前記第２異方導電性シートとは、前記第１絶縁層の前記第３面と前記第２絶縁層の前記第６面とが向かい合うように積層されるためのものであり、前記第１異方導電性シートと前記第２異方導電性シートの少なくとも一方が、本開示の異方導電性シートであり、前記第５面側における前記複数の第２導電路の中心間距離ｐ２は、前記第３面側における前記複数の第１導電路の中心間距離ｐ１よりも小さく、かつ前記第２異方導電性シートの前記第５面の前記ロックウェル硬度は、前記第１異方導電性シートの前記第３面の前記ロックウェル硬度よりも低い。

本開示の電気検査装置は、複数の電極を有する検査用基板と、前記検査用基板の前記複数の電極が配置された面上に配置された、本開示の異方導電性シート、本開示の異方導電性複合シート、または本開示の異方導電性シートセットの積層物とを有する。

本開示の電気検査方法は、複数の電極を有する検査用基板と、端子を有する検査対象物とを、本開示の異方導電性シート、本開示の異方導電性複合シート、または本開示の異方導電性シートセットの積層物を介して積層して、前記検査用基板の前記電極と、前記検査対象物の前記端子とを、前記異方導電性シートを介して電気的に接続する工程を有する。

本開示によれば、検査対象物の端子の損傷を抑制できる異方導電性シート、電気検査装置および電気検査方法を提供することができる。

図１Ａは、実施の形態１に係る異方導電性シートを示す平面図であり、図１Ｂは、図１Ａの１Ｂ－１Ｂ線の断面図である。 図２Ａは、図１Ｂの拡大図であり、図２Ｂは、図２Ａにおいて、異方導電性シートを第１面側から平面透視したときの透視図である。 図３Ａは、比較用の異方導電性シートの拡大断面図であり、図３Ｂは、図３Ａにおいて、異方導電性シートを第１面側から平面透視したときの透視図である。 図４Ａ～Ｃは、実施の形態１に係る異方導電性シートの製造工程を示す模式図である。 図５は、実施の形態１に係る電気検査装置を示す断面図である。 図６Ａは、変形例に係る異方導電性シートの部分拡大断面図であり、図６Ｂは、図６Ａにおいて、第１端部の中心と第２端部の中心とが重なるように導電路を透視したときの透視図である。 図７Ａ～Ｇは、変形例に係る異方導電性シートを示す部分断面図である。 図８は、変形例に係る異方導電性シートの断面図である。 図９Ａは、変形例に係る異方導電性シートの水平断面の部分拡大図であり、図９Ｂは、変形例に係る異方導電性シートの縦断面の部分拡大図である。 図１０Ａ～Ｃは、図９Ｂの異方導電性シートの製造工程を示す模式図である。 図１１Ａは、実施の形態２に係る異方導電性複合シートを示す平面図であり、図１１Ｂは、図１１Ａの１１Ｂ－１１Ｂ線の断面図である。 図１２は、実施の形態２に係る異方導電性シートセットを示す断面図である。 図１３は、実施の形態２に係る電気検査装置を示す断面図である。 図１４ＡおよびＢは、変形例に係る異方導電性複合シートを示す図である。 図１５Ａ～Ｃは、変形例に係る異方導電性複合シートを示す図である。 図１６Ａ～Ｃは、変形例に係る異方導電性シートを示す図である。 図１７Ａは、変形例に係る異方導電性複合シートを示す断面図であり、図１７Ｂは、変形例に係る異方導電性シートセットを示す断面図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。

１．実施の形態１
［異方導電性シート］
図１Ａは、実施の形態１に係る異方導電性シート１０を示す平面図であり、図１Ｂは、図１Ａの１Ｂ－１Ｂ線の断面図である。図２Ａは、図１Ｂの拡大図であり、図２Ｂは、図２Ａにおいて、異方導電性シート１０を第１面１２ａ側から平面透視したときの透視図である。

図１ＡおよびＢに示されるように、異方導電性シート１０は、複数の導電路１１と、それらの間を埋めるように配置され、かつ第１面１２ａと第２面１２ｂとを有する絶縁層１２とを有する（図１Ｂ参照）。本実施の形態では、第１面１２ａに、検査対象物が配置されることが好ましい。

（導電路１１）
導電路１１は、絶縁層１２の厚み方向に延在しており、かつ第１面１２ａ側の第１端部１１ａと、第２面側の第２端部１１ｂとを有する（図１Ｂ参照）。具体的には、導電路１１は、絶縁層１２の厚み方向に貫通しており、かつ第１端部１１ａは、第１面１２ａ側に露出しており、第２端部１１ｂは、第２面１２ｂ側に露出していることが好ましい。

導電路１１が絶縁層１２の厚み方向に延在しているとは、具体的には、導電路１１の第１端部１１ａと第２端部１１ｂとを結ぶ方向が、絶縁層１２の厚み方向と略平行であることをいう。略平行とは、絶縁層１２の厚み方向に対して±１０°以下をいう。

導電路１１の第１端部１１ａが絶縁層１２の第１面１２ａ側に露出している場合、導電路１１の第１端部１１ａは、絶縁層１２の第１面１２ａと面一であってもよいし、絶縁層１２の第１面１２ａよりも突出していてもよい。同様に、導電路１１の第２端部１１ｂが絶縁層１２の第２面１２ｂ側に露出している場合、導電路１１の第２端部１１ｂは、絶縁層１２の第２面１２ｂと面一であってもよいし、絶縁層１２の第２面１２ｂよりも突出していてもよい。

複数の導電路１１の第１端部１１ａの中心間距離（ピッチ）ｐは、特に制限されず、検査対象物の端子のピッチに対応して適宜設定されうる（図１Ｂ参照）。検査対象物としてのＨＢＭ（Ｈｉｇｈ Ｂａｎｄｗｉｄｔｈ Ｍｅｍｏｒｙ）の端子のピッチは５５μｍであり、ＰｏＰ（Ｐａｃｋａｇｅ ｏｎ Ｐａｃｋａｇｅ）の端子のピッチは４００～６５０μｍであることなどから、複数の導電路１１の中心間距離ｐは、例えば５～６５０μｍでありうる。中でも、検査対象物の端子の位置合わせを不要とする（アライメントフリーにする）観点では、複数の導電路１１の中心間距離ｐは、５～５５μｍであることがより好ましい。複数の導電路１１の中心間距離ｐは、複数の導電路１１の第１端部１１ａの中心間距離のうち最小値をいう。導電路１１の第１端部１１ａの中心は、第１端部１１ａの重心である。

複数の導電路１１の第１端部１１ａの中心間距離ｐと、第２端部１１ｂの中心間距離とは、同じであってもよいし、異なってもよい。本実施の形態では、複数の導電路１１の第１端部１１ａの中心間距離ｐと、第２端部１１ｂの中心間距離とは同じであり、これらは、複数の導電路１１の中心間距離ともいう。

導電路１１の第１端部１１ａの円相当径は、複数の導電路１１の第１端部１１ａの中心間距離ｐを上記範囲に調整でき、かつ検査対象物の端子との導通を確保できる程度であればよい。具体的には、導電路１１の第１端部１１ａの円相当径は、例えば２～２０μｍであることが好ましい。導電路１１の第１端部１１ａの円相当径とは、絶縁層１２の厚み方向に沿って見たときの、導電路１１の第１端部１１ａの円相当径をいう。

導電路１１の第１端部１１ａの円相当径と第２端部１１ｂの円相当径とは、同じであってもよいし、異なってもよい。本実施の形態では、導電路１１の第１端部１１ａの円相当径と第２端部１１ｂの円相当径とは同じであり、これらは、導電路１１の円相当径ともいう。

そして、異方導電性シート１０を、第１端部１１ａの中心と第２端部１１ｂの中心とが重なるように透視したとき、第１端部１１ａと第２端部１１ｂとの間の導電路１１の少なくとも一部（すなわち、異方導電性シート１０の内部にある導電路１１の少なくとも一部）は、第１端部１１ａおよび第２端部１１ｂとは重ならないように配置されている（図２ＡおよびＢ参照）。上記透視したときに、導電路１１の少なくとも一部が第１端部１１ａおよび第２端部１１ｂと重ならないとは、上記透視したときに、導電路１１の少なくとも一部が、第１端部１１ａおよび第２端部１１ｂから離れていることを意味する（図２Ｂ参照）。

具体的には、異方導電性シート１０を、第１端部１１ａの中心と第２端部１１ｂの中心とを結ぶ仮想直線Ａ－Ａ’に沿って見たとき（図２Ａ参照）、第１端部１１ａと第２端部１１ｂとの間の導電路１１の少なくとも一部は、仮想直線Ａ－Ａ’上にはなく、仮想直線Ａ－Ａ’から外れるように配置されている（図２Ｂの点線部分）。

すなわち、絶縁層１２の厚み方向に沿った断面において、第１端部１１ａと第２端部１１ｂとの間の導電路１１の少なくとも一部は、非直線部１１ｃを有する（図２Ａ参照）。

非直線部１１ｃは、具体的には、絶縁層１２の厚み方向に沿った断面において、導電路１１が、直線状ではない部分（曲がった部分）をいう。非直線部１１ｃの形状は、非直線部１１ｃが絶縁層１２の厚み方向にバネのような弾性を発現しうる形状であればよく、特に制限されないが、例えば波形、ジグザグ形状、またはアーチ状でありうる。本実施の形態では、非直線部１１ｃは、ジグザグ形状を有する。

このような形状の非直線部１１ｃを有する導電路１１は、絶縁層１２の厚み方向にバネのような弾性を発現しうる。それにより、検査対象物を異方導電性シート１０の表面に配置する際の衝撃や、電気的接続を行うために検査対象物の上から押圧したときの力を吸収または分散させるため、検査対象物の端子が、異方導電性シート１０の導電路１１の第１端部１１ａとの接触により傷付くのを抑制することができる。

非直線部１１ｃは、導電路１１の少なくとも一部に配置されている。中でも、非直線部１１ｃは、第１端部１１ａと第２端部１１ｂとの間の中間点よりも第１端部１１ａ側に位置する導電路１１の少なくとも一部に配置されていること（すなわち、第１面１２ａ側に配置されていること）が好ましい。検査対象物を異方導電性シート１０の表面に配置したときの衝撃を吸収しやすくして、検査対象物の端子が、異方導電性シート１０の導電路１１の第１端部１１ａとの接触によって傷付くのを抑制するためである。本実施の形態では、非直線部１１ｃは、第１端部１１ａと第２端部１１ｂとの間の導電路１１のうち、中央部全体に配置されている（図１Ｂおよび２Ａ参照）。

絶縁層１２の厚み方向に沿った断面における、導電路１１の非直線部１１ｃのジグザグの間隔ｄ（隣り合う山同士の間隔）や高さｈは、検査対象物を異方導電性シート１０の表面に配置したときの衝撃を吸収できる程度のバネ弾性を発現する程度であればよく、特に制限されない。

例えば、絶縁層１２の厚み方向に沿った断面における、導電路１１の非直線部１１ｃのジグザグの間隔ｄ（隣り合う山の頂点同士の間隔）は、絶縁層１２の厚みの５～５０％程度としうる（図２Ａ参照）。

また、絶縁層１２の厚み方向に沿った断面における、導電路１１の非直線部１１ｃのジグザグの高さｈは、絶縁層１２の厚みの２～２０％程度としうる。ジグザグの高さｈは、隣接する２つの山の頂点を結ぶ直線と、この２つの山の間に形成される谷の底点とその両側に形成される２つの谷の底点とを結ぶ直線との間の距離をいう（図２Ａ参照）。

導電路１１を構成する材料は、導電性を有する材料であればよく、特に制限されない。導電路１１を構成する材料の体積抵抗値は、例えば１．０×１０×１０^－４Ω・ｃｍ以下であることが好ましく、１．０×１０×１０^－６～１．０×１０^－９Ω・ｃｍであることがより好ましい。

導電路１１を構成する材料は、体積抵抗値が上記範囲を満たすものであればよく、その例には、銅、金、ニッケル、錫、鉄またはこれらの合金などの金属材料や、カーボンブラックなどのカーボン材料が含まれる。中でも、導電路１１を構成する材料は、金属材料であることが好ましい。すなわち、導電路１１は、金属材料で構成された金属線であることが好ましい。

金属線は、単層で構成されてもよいし、複数層で構成されてもよい。例えば、金属線は、芯材として銅合金層、中間被覆材としてニッケルもしくはニッケル合金層、最表面被覆材としての金層の多層構造を有してもよい。例えば、中間被覆材を有することで、最表面被覆材の芯材への内部拡散を防止しやすくすることができる。

（絶縁層１２）
絶縁層１２は、複数の導電路１１の間を埋めるように配置され、複数の導電路１１同士の間を絶縁する。そのような絶縁層１２は、異方導電性シート１０の一方の面をなす第１面１２ａと、他方の面をなす第２面１２ｂとを有する。

絶縁層１２は、第１樹脂組成物で構成されうる。第１樹脂組成物のガラス転移温度は、－４０℃以下であることが好ましく、－５０℃以下であることがより好ましい。第１樹脂組成物のガラス転移温度は、ＪＩＳ Ｋ ７０９５：２０１２に準拠して測定することができる。

第１樹脂組成物の２５℃における貯蔵弾性率は、１．０×１０^７Ｐａ以下であることが好ましく、１．０×１０^５～９．０×１０^６Ｐａであることがより好ましい。特に、加圧と除圧の繰り返しによる導電路１１と絶縁層１２との境界面の剥がれやすいことから、そのような場合に接着層１４を設けることが特に有効である。第１樹脂組成物の貯蔵弾性率は、ＪＩＳ Ｋ ７２４４－１：１９９８／ＩＳＯ６７２１－１：１９９４に準拠して測定することができる。

第１樹脂組成物のガラス転移温度や貯蔵弾性率は、当該樹脂組成物に含まれるエラストマーの種類やフィラーの添加量などにより調整されうる。また、第１樹脂組成物の貯蔵弾性率は、当該樹脂組成物の形態（多孔質かどうかなど）によっても調整されうる。

第１樹脂組成物は、絶縁性が得られるものであればよく、特に制限されないが、上記ガラス転移温度または貯蔵弾性率を満たしやすくする観点では、エラストマー（ベースポリマー）と架橋剤とを含む組成物（以下、「第１エラストマー組成物」ともいう）の架橋物であることが好ましい。

エラストマーの例には、シリコーンゴム、ウレタンゴム（ウレタン系ポリマー）、アクリル系ゴム（アクリル系ポリマー）、エチレン－プロピレン－ジエン共重合体（ＥＰＤＭ）、クロロプレンゴム、スチレン－ブタジエン共重合体、アクリルニトリル－ブタジエン共重合体、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマーなどのエラストマーであることが好ましい。中でも、シリコーンゴムが好ましい。

架橋剤は、エラストマーの種類に応じて適宜選択されうる。例えば、シリコーンゴムの架橋剤の例には、ベンゾイルパーオキサイド、ビス－２，４－ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイドなどの有機過酸化物が含まれる。アクリル系ゴム（アクリル系ポリマー）の架橋剤の例には、エポキシ化合物、メラミン化合物、イソシアネート化合物などが含まれる。

第１エラストマー組成物は、例えば粘着性や貯蔵弾性率を上記範囲に調整しやすくする観点などから、必要に応じて粘着付与剤、シランカップリング剤、フィラーなどの他の成分もさらに含んでもよい。

第１エラストマー組成物は、例えば貯蔵弾性率を上記範囲に調整しやすくする観点から、多孔質であってもよい。すなわち、多孔質シリコーンを用いることもできる。

（厚み）
絶縁層１２の厚みは、絶縁性を確保できる程度であればよく、特に制限されないが、例えば２０～１００μｍでありうる。絶縁層１２の厚みは、ＡＳＴＭ Ｄ６９８８に準拠して測定することができる。

（他の層）
本実施の形態に係る異方導電性シート１０は、必要に応じて上記以外の他の層をさらに有してもよい。例えば、異方導電性シート１０の、第１面１２ａ側の面上（または導電路１１の第１端部１１ａ上）に配置された電解質層１３（後述の図８参照）や、複数の導電路１１と絶縁層１２との間に配置された複数の接着層１４（後述の図９ＡおよびＢ参照）をさらに有してもよい。

（作用）
本実施の形態に係る異方導電性シート１０の作用について、比較用の異方導電性シート１と対比しながら説明する。図３Ａは、比較用の異方導電性シート１の部分拡大断面図であり、図３Ｂは、図３Ａの平面図である。

図３ＡおよびＢに示されるように、比較用の異方導電性シート１では、絶縁層３の厚み方向に沿った断面において、導電路２が、直線状に形成されている。すなわち、導電路２が、非直線部を有しない。そのため、検査対象物を異方導電性シート１の表面に配置して押圧した時などに、押圧力を分散させにくい。そのため、検査対象物の端子が、異方導電性シート１の導電路２の第１端部２ａとの接触により傷付くことがある。

これに対して、本実施の形態に係る異方導電性シート１０では、導電路１１が、非直線部１１ｃを有する（図２ＡおよびＢ参照）。非直線部１１ｃは、絶縁層１２の厚み方向に伸縮するような（バネのような）弾性を発現しうる。それにより、検査対象物を異方導電性シート１０の表面に配置して押圧したときの力を、非直線部１１ｃの部分で分散させることができる。それにより、検査対象物の端子が、異方導電性シート１０の導電路１１の第１端部１１ａとの接触により傷付くのを抑制することができる。

また、非直線部１１ｃの部分では、導電路１１と絶縁層１２との接触面積が増えるため、導電路１１と絶縁層１２との接着性も高めることができる。それにより、導電路１１が、絶縁層１２から剥がれるのを抑制することもできる。

［異方導電性シートの製造方法］
図４Ａ～Ｃは、本実施の形態に係る異方導電性シート１０の製造工程を示す模式図である。

図４Ａ～Ｃに示されるように、本実施の形態に係る異方導電性シート１０は、例えば、１）絶縁シート２１の表面に、複数の導電線２２を配置した複合シート２０を複数準備する工程（図４Ａ参照）、２）複数の複合シート２０を積層しながら、順次、一体化させて、積層体２３を得る工程（図４ＡおよびＢ参照）、３）得られた積層体２３を、所定の間隔ごとにカットして、異方導電性シート１０を得る工程（図４ＢおよびＣ参照）を経て得ることができる。

１）の工程について
絶縁シート２１の表面に、複数の導電線２２を配置した複合シート２０を複数準備する。

絶縁シート２１は、絶縁層１２を構成する第１樹脂組成物からなる樹脂シート（シリコーンシートなど）でありうる。

複数の導電線２２を、絶縁シート２１の表面に一定の間隔をあけて配置する。絶縁シート２１の表面への導電線２２の配置は、任意の方法で行うことができる。例えば、導電線２２が金属線である場合、金属線をそのまま配置してもよいし、金属ペーストをディスペンサーなどで描画して形成してもよいし、インクジェット方式などで金属インクを印刷してもよい。

２）の工程について
得られた複合シート２０を積層しながら、順次、一体化させる（図４ＡおよびＢ）。一体化させる方法は、特に制限されないが、通常、熱圧着や圧着などでありうる。

複合シート２０の積層と一体化を順次繰り返して、ブロック状の積層体２３を得る（図４Ｂ参照）。

３）の工程について
得られた積層体２３を、導電線２２の延びる方向に対して交差し（好ましくは直交し）、かつ積層方向に沿って、所定の間隔（ｔ）ごとにカットする（図４Ｂの破線）。それにより、所定の厚み（ｔ）を有する異方導電性シート１０を得ることができる（図４Ｃ）。すなわち、異方導電性シート１０における複数の導電路１１は、複数の導電線２２に由来し、絶縁層１２は、絶縁シート２１に由来する。

４）他の工程について
本実施の形態に係る異方導電性シート１０の製造方法は、異方導電性シート１０の構成に応じて、上記１）～３）以外の他の工程をさらに含みうる。例えば、得られた異方導電性シート１０の表面に、電解質層１３を形成する工程をさらに有してもよい（後述の図８参照）。

本実施の形態に係る異方導電性シート１０は、電気検査などに用いることができる。

［電気検査装置および電気検査方法］
（電気検査装置）
図５は、本実施の形態に係る電気検査装置１００を示す断面図である。

電気検査装置１００は、図１Ｂの異方導電性シート１０を用いたものであり、例えば検査対象物１３０の端子１３１間（測定点間）の導通などの電気的特性を検査する装置である。なお、同図では、電気検査方法を説明する観点から、検査対象物１３０も併せて図示している。

図５に示されるように、電気検査装置１００は、保持容器（ソケット）１１０と、検査用基板１２０と、異方導電性シート１０とを有する。

保持容器（ソケット）１１０は、検査用基板１２０や異方導電性シート１０などを保持する容器である。

検査用基板１２０は、保持容器１１０内に配置されており、検査対象物１３０に対向する面に、検査対象物１３０の各測定点に対向する複数の電極１２１を有する。

異方導電性シート１０は、検査用基板１２０の電極１２１が配置された面上に、当該電極１２１と、異方導電性シート１０における第２面１２ｂ側の電解質層１３とが接するように配置されている。

検査対象物１３０は、特に制限されないが、例えばＨＢＭやＰｏＰなどの各種半導体装置（半導体パッケージ）または電子部品、プリント基板などが挙げられる。検査対象物１３０が半導体パッケージである場合、測定点は、バンプ（端子）でありうる。また、検査対象物１３０がプリント基板である場合、測定点は、導電パターンに設けられる測定用ランドや部品実装用のランドでありうる。

（電気検査方法）
図５の電気検査装置１００を用いた電気検査方法について説明する。

図５に示されるように、本実施の形態に係る電気検査方法は、電極１２１を有する検査用基板１２０と、検査対象物１３０とを、異方導電性シート１０を介して積層して、検査用基板１２０の電極１２１と、検査対象物１３０の端子１３１とを、異方導電性シート１０を介して電気的に接続させる工程を有する。

上記工程を行う際、検査用基板１２０の電極１２１と検査対象物１３０の端子１３１とを、異方導電性シート１０を介して十分に導通させやすくする観点から、必要に応じて、検査対象物１３０を押圧するなどして加圧したり（図５参照）、加熱雰囲気下で接触させたりしてもよい。

上記工程では、異方導電性シート１０の表面（第１面１２ａ）が、検査対象物１３０の端子１３１と接触する。本実施の形態に係る異方導電性シート１０では、導電路１１が、非直線部１１ｃを有する。非直線部１１ｃは、絶縁層１２の厚み方向に上下するようなバネのような弾性を発現しうる。それにより、直線状に形成され、非直線部１１ｃを有しない金属ピンを有する従来の異方導電性シートよりも、検査対象物を異方導電性シート１０の表面に配置して押圧したときの力を、非直線部１１ｃの部分で分散させることができる。それにより、検査対象物の端子が、異方導電性シート１０の導電路１１の第１端部１１ａとの接触により傷付くのを抑制することができる。

［変形例］
なお、上記実施の形態では、異方導電性シート１０として、導電路１１の第１端部１１ａと第２端部１１ｂとを結ぶ仮想線Ａ－Ａ’が、絶縁層１２の厚み方向と平行である例（図２Ａ参照）を示したが、これに限定されない。

図６Ａは、変形例に係る異方導電性シート１０を示す部分断面図であり、図６Ｂは、図６Ａにおいて、第１端部１１ａの中心と第２端部１１ｂの中心とが重なるように、導電路１１を透視したときの透視図である。

図６Ａに示されるように、導電路１１の第１端部１１ａと第２端部１１ｂとを結ぶ仮想線Ａ－Ａ’は、絶縁層１２の厚み方向と完全に平行でなくてもよい。

また、上記実施の形態では、異方導電性シート１０として、導電路１１の非直線部１１ｃの形状がジグザグ形状である例を示したが、これに限定されない。

図７Ａ～Ｇは、変形例に係る異方導電性シート１０を示す部分断面図である。図７Ａ～Ｇに示されるように、導電路１１の非直線部１１ｃの形状は、波形であってもよいし（図７Ａ参照）、アーチ状であってもよいし（図７Ｂ参照）、Ｖ字状であってもよい（図７Ｃ参照）。また、波形、ジグザグ形状、アーチ状またはＶ字状と、直線部とを組み合わせた形状であってもよい（図７Ａ～Ｇ参照）。これらの非直線部１１ｃの間隔ｄと高さｈは、上記と同様に定義される。

また、上記実施の形態において、異方導電性シート１０は、前述の通り、上記以外の他の層、例えば電解質層１３や接着層１４をさらに有してもよい。

（電解質層１３）
図８は、変形例に係る異方導電性シート１０の断面図である。図８に示されるように、異方導電性シート１０は、第１面１２ａ側の面上に配置された電解質層１３をさらに有しうる。

電解質層１３は、例えば潤滑剤を含む被膜であり、導電路１１の第１端部１１ａ上に配置されうる。それにより、第１面１２ａ上に検査対象物を配置した際に、検査対象物の端子との電気的接続を損なうことなく、検査対象物の端子の変形を抑制したり、検査対象物の電極物質が導電路１１の第１端部１１ａの表面に付着したりするのを抑制することができる。

電解質層１３に含まれる潤滑剤の例には、フッ素樹脂系潤滑剤、窒化ホウ素、シリカ、ジルコニア、炭化珪素、黒鉛などの無機材料を主剤とした潤滑剤；パラフィン系ワックス、金属セッケン、天然、合成パラフィン類、ポリエチレンワックス類、フルオロカーボン類などの炭化水素系離型剤；ステアリン酸、ヒドロキシステアリン酸などの高級脂肪酸、オキシ脂肪酸類などの脂肪酸系離型剤；ステアリン酸アミド、エチレンビスステアロアミドなどの脂肪酸アミド、アルキレンビス脂肪酸アミド類などの脂肪酸アミド系離型剤；ステアリルアルコール、セチルアルコールなどの脂肪族アルコール、多価アルコール、ポリグリコール、ポリグリセロール類などのアルコール系離型剤；ブチルステアレート、ペンタエリスリトールテトラステアレートなどの脂肪族酸低級アルコールエステル、脂肪酸多価アルコールエステル、脂肪酸ポリグリコールエステル類などの脂肪酸エステル系離型剤；シリコーンオイル類などのシリコーン系離型剤；アルキルスルホン酸金属塩などが挙げられる。中でも、検査対象物の電極が汚染されるなどの悪影響が少なく、特に高温での使用時の悪影響が少ない観点で、アルキルスルホン酸金属塩が好ましい。

アルキルスルホン酸の金属塩は、アルキルスルホン酸のアルカリ金属塩であることが好ましい。アルキルスルホン酸のアルカリ金属塩の例には、１－デカンスルホン酸ナトリウム、１－ウンデカンスルホン酸ナトリウム、１－ドデカンスルホン酸ナトリウム、１－トリデカンスルホン酸ナトリウム、１－テトラデカンスルホン酸ナトリウム、１－ペンタデカンスルホン酸ナトリウム、１－ヘキサデカンスルホン酸ナトリウム、１－ヘプタデカンスルホン酸ナトリウム、１－オクタデカンスルホン酸ナトリウム、１－ノナデカンスルホン酸ナトリウム、１－エイコサンデカスルホン酸ナトリウム、１－デカンスルホン酸カリウム、１－ウンデカンスルホン酸カリウム、１－ドデカンスルホン酸カリウム、１－トリデカンスルホン酸カリウム、１－テトラデカンスルホン酸カリウム、１－ペンタデカンスルホン酸カリウム、１－ヘキサデカンスルホン酸カリウム、１－ヘプタデカンスルホン酸カリウム、１－オクタデカンスルホン酸カリウム、１－ノナデカンスルホン酸カリウム、１－エイコサンデカスルホン酸カリウム、１－デカンスルホン酸リチウム、１－ウンデカンスルホン酸リチウム、１－ドデカンスルホン酸リチウム、１－トリデカンスルホン酸リチウム、１－テトラデカンスルホン酸リチウム、１－ペンタデカンスルホン酸リチウム、１－ヘキサデカンスルホン酸リチウム、１－ヘプタデカンスルホン酸リチウム、１－オクタデカンスルホン酸リチウム、１－ノナデカンスルホン酸リチウム、１－エイコサンデカスルホン酸リチウムおよびこれらの異性体が含まれる。これらのうち、耐熱性が優れている点で、アルキルスルホン酸のナトリウム塩が特に好ましい。これらは、１種類を単独で使用してもよく、２複類以上を組み合わせて使用してもよい。

なお、第１面１２ａ側の表面における導電路１１の導電性は、電解質層１３の厚みを極薄くすることで、確保することができる。

電解質層１３の形成は、任意の方法で行うことができ、例えば電解質層１３の溶液を塗布する方法によって行うことができる。電解質層１３の溶液の塗布方法は、スプレー法や刷毛による塗布、電解質層１３の溶液の滴下、異方導電性シート１０の当該溶液へのディッピングなどの公知の方法でありうる。

これらの塗布方法においては、電解質層１３の材料をアルコールなどの溶剤で希釈し、この希釈液（電解質層１３の溶液）を異方導電性シート１０（導電路１１）の表面に塗布した後、溶剤を蒸発させる方法を適宜利用することができる。それにより、異方導電性シート１０の表面（の導電路１１上）に、電解質層１３を均一に形成することができる。

また、常温において固体粉末状態の電解質層１３の材料を用いた場合については、異方導電性シート１０の表面上に適量を配置した後、異方導電性シート１０を高温に加熱して当該材料を融解させることにより塗布する方法も使用できる。

（接着層１４）
図９Ａは、変形例に係る異方導電性シート１０の水平断面の部分拡大図であり（厚み方向に対して直交する方向に沿った部分断面図）、図９Ｂは、図９Ａの異方導電性シート１０の縦断面の部分拡大図（厚み方向に沿った部分断面図）である。

図９ＡおよびＢに示されるように、異方導電性シート１０は、複数の導電路１１と絶縁層１２との間に配置された複数の接着層１４をさらに有してもよい。

接着層１４は、導電路１１と絶縁層１２との間の少なくとも一部（導電路１１の側面の少なくとも一部）に配置されている。本実施の形態では、接着層１４は、導電路１１の側面を取り囲むように配置されている（図９Ｂ）。接着層１４は、導電路１１と絶縁層１２との間の接着性を高めて、これらの境界面で剥がれにくくする。すなわち、接着層１４は、導電路１１と絶縁層１２との間の接着性を高めるような接合層としても機能しうる。

接着層１４を構成する材料は、導電路１１の機能を損なわない範囲で、導電路１１と絶縁層１２との間を十分に接着させうるものであればよく、特に制限されない。接着層１４を構成する材料は、アルコキシシランまたはそのオリゴマーの重縮合物を含む有機－無機複合組成物であってもよいし、第２樹脂組成物であってもよい。

有機－無機複合組成物について：
有機－無機複合組成物は、アルコキシシランまたはそのオリゴマーの重縮合物を含む。

アルコキシシランは、２～４個のアルコキシ基がケイ素に結合したアルコキシシラン化合物である。すなわち、アルコキシシランは、２官能のアルコキシシラン、３官能のアルコキシシラン、４官能のアルコキシシランまたはこれらの一以上の混合物でありうる。中でも、三次元架橋物を形成し、十分な接着性を得やすくする観点から、アルコキシシランは、３官能または４官能のアルコキシシランを含むことが好ましく、４官能のアルコキシシラン（テトラアルコキシシラン）を含むことがより好ましい。アルコキシシランのオリゴマーは、アルコキシシランの部分加水分解および重縮合させたものでありうる。

すなわち、アルコキシシランまたはそのオリゴマーは、例えば下記式（１）で示される化合物を含むことが好ましい。

式（１）中、Ｒは、それぞれ独立にアルキル基である。ｎは、０～２０の整数である。式（１）で表されるアルコキシシランの例には、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン，テトラブトキシシなどが含まれる。

アルコキシシランまたはそのオリゴマーは、市販品であってもよい。アルコキシシランのオリゴマーの市販品の例には、コルコート社製のコルコートＮ－１０３ＸやコルコートＰＸなどが含まれる。

有機－無機複合組成物は、必要に応じて導電材やシランカップリング剤、界面活性剤などの他の成分をさらに含んでもよい。

第２樹脂組成物について：
接着層１４を構成する第２樹脂組成物のガラス転移温度は、特に限定されないが、絶縁層１２を構成する第１樹脂組成物のガラス転移温度よりも高いことが好ましい。

例えば、第２樹脂組成物のガラス転移温度は、１５０℃以上であることが好ましく、１６０～６００℃であることがより好ましい。第２樹脂組成物のガラス転移温度は、前述と同様の方法で測定することができる。

接着層１４を構成する第２樹脂組成物は、特に制限されないが、接着性を発現しやすくする観点では、第２樹脂組成物は、エラストマーと架橋剤とを含む組成物（以下、「第２エラストマー組成物」ともいう）の架橋物であってもよいし、エラストマーではない樹脂を含む樹脂組成物またはエラストマーではない硬化性樹脂と硬化剤とを含む樹脂組成物の硬化物であってもよい。

第２エラストマー組成物に含まれるエラストマーとしては、第１エラストマー組成物に含まれるエラストマーとして挙げたものと同様のものを用いることができる。第２エラストマー組成物に含まれるエラストマーの種類は、第１エラストマー組成物に含まれるエラストマーの種類と同じであってもよいし、異なってもよい。例えば、絶縁層１２と接着層１４との間の親和性や密着性を高めやすくする観点では、第２エラストマー組成物に含まれるエラストマーの種類は、第１エラストマー組成物に含まれるエラストマーの種類と同じであってよい。

第２エラストマー組成物に含まれるエラストマーの重量平均分子量は、特に制限されないが、上記ガラス転移温度を満たしやすくする観点では、第１エラストマー組成物に含まれるエラストマーの重量平均分子量よりも高いことが好ましい。エラストマーの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によりポリスチレン換算にて測定することができる。

第２エラストマー組成物に含まれる架橋剤は、エラストマーの種類に応じて適宜選択すればよく、第１エラストマー組成物に含まれる架橋剤として挙げたものと同様のものを用いることができる。第２エラストマー組成物中の架橋剤の含有量は、特に制限されないが、上記ガラス転移温度を満たしやすくする観点では、第１エラストマー組成物中の架橋剤の含有量よりも多いことが好ましい。また、第２エラストマー組成物の架橋物の架橋度（ゲル分率）は、第１エラストマー組成物の架橋物の架橋度（ゲル分率）よりも高いことが好ましい。

第２樹脂組成物に含まれるエラストマーではない樹脂（硬化性樹脂も含む）や硬化剤としては、第１樹脂組成物に含まれるエラストマーではない樹脂や硬化剤として挙げたものとそれぞれ同様のものを用いることができる。第２樹脂組成物に含まれるエラストマーではない樹脂は、ポリイミド、ポリアミドイミド、アクリル樹脂、エポキシ樹脂が好ましい。

中でも、第２樹脂組成物は、上記ガラス転移温度を満たしやすくする観点では、エラストマーではない樹脂を含む樹脂組成物またはエラストマーではない硬化性樹脂と硬化剤とを含む樹脂組成物の硬化物であることが好ましい。

（厚み）
接着層１４の厚みは、導電路１１の機能を損なわない範囲で、導電路１１と絶縁層１２との間を十分に接着させうる程度であればよく、特に制限されない。接着層１４の厚みは、通常、導電路１１の円相当径の厚みよりも小さいことが好ましい。具体的には、接着層１４の厚みは、１μｍ以下であることが好ましく、０．５μｍ以下であることがより好ましい。

また、接着層１４は、導電路１１と絶縁層１２との間以外の領域にもさらに配置されてもよい。図９Ａでは、隣り合う２つの導電路１１のうち一方の導電路１１の側面上の接着層１４と、他方の導電路１１の側面上の接着層１４とを結ぶように、接着層１４がさらに配置されている。それにより、導電路１１と絶縁層１２との間の接着性だけでなく、絶縁層１２を構成する後述の絶縁シート２１同士の間の接着性も高めることができる（後述の図１０ＡおよびＢ参照）。それにより、電気検査を行う際に、加圧と除圧を繰り返しても、異方導電性シート１０の導電路１１と絶縁層１２との境界面で剥がれにくくしうるだけでなく、絶縁層１２を構成する絶縁シート２１同士の間の界面でも剥がれにくくしうる。また、上記３）の工程でカットする際にも、導電路１１と絶縁層１２との境界面での剥離や、絶縁層１２を構成する絶縁シート２１同士の界面での剥離を生じにくくしうる。

接着層１４を有する異方導電性シート１０は、以下の方法で製造することができる。

図１０Ａ～Ｃは、変形例に係る異方導電性シート１０の製造工程を示す模式図である。なお、図１０Ｃにおいて、第１面１１ａにおける導電路１１の図示は省略する。

上記１）の工程において、絶縁シート２１と、複数の導電線２２と、その側面の少なくとも一部を覆う接着層２４とをこの順に有する複合シート２０を準備するとともに（図１０Ａ参照）、上記２）の工程において、一方の複合シート２０の接着層２４と、他方の複合シート２０の絶縁シート２１とが接するように、複数の複合シート２０を積層しながら、順次、一体化する以外は前述と同様に製造することができる（図１０Ａ～Ｃ参照）。

１）の工程では、複合シート２０は、任意の方法で得ることができる。例えば、絶縁シート２１の表面に、接着層２４で被覆された複数の導電線２２を所定の間隔を空けて配置して得てもよいし；絶縁シート２１の表面に、複数の導電線２２を所定の間隔を空けて配置した後、当該複数の導電線２２を覆うように接着層２４を形成して得てもよい。接着層２４の形成は、前述のアルコキシシランまたはそのオリゴマーを含む溶液または前述のエラストマー組成物を塗布して行ってもよいし、それらのシートを積層して行ってもよい。本実施の形態では、絶縁シート２１の表面に、複数の導電線２２を所定の間隔を空けて配置した後、上記溶液または組成物をさらに塗布して、複合シート２０を得ることができる（図７Ａ参照）。

２）の工程と３）の工程は、前述と同様に行うことができる。それにより、所定の厚み（ｔ）を有する異方導電性シート１０を得ることができる（図１０Ｃ参照）。すなわち、異方導電性シート１０において、導電路１１は、導電線２２に由来し、絶縁層１２は、複数の絶縁シート２１の一体化物に由来し、接着層１４は、接着層２４に由来する。

２．実施の形態２
［異方導電性複合シート］
本実施の形態に係る異方導電性複合シートは、第１異方導電性シート（第１異方導電性層）と、その上に積層（固定）された第２異方導電性シート（第２異方導電性層）とを有する。異方導電性複合シートは、電気検査に用いることができ、第１異方導電性シートが検査用基板側、第２異方導電性シートが検査対象物側となるように配置されることが好ましい。そして、第１異方導電性シートと第２の異方導電性シートのうち少なくとも一方が、前述の異方導電性シート（実施の形態１に係る異方導電性シート１０）でありうる。

中でも、実施の形態１に係る異方導電性シート１０は、前述したように、厚み方向に伸縮するような弾性を発現しやすく、検査対象物の端子を傷付きにくくしうることから、第２の異方導電性シート５０として用いられることが好ましい。

図１１Ａは、本実施の形態に係る異方導電性複合シート３０を示す平面図であり、図１１Ｂは、図１１Ａの１１Ｂ－１１Ｂ線の断面図である。

図１１Ｂに示されるように、異方導電性複合シート３０は、第１異方導電性シート（第１異方導電性層）４０と、それに積層された第２異方導電性シート（第２異方導電性層）５０とを有する。そして、第２異方導電性シート５０が、前述の異方導電性シート（実施の形態１に係る異方導電性シート１０）である。

（第１異方導電性シート）
第１異方導電性シート４０は、厚み方向に貫通する複数の導電路４１（第１導電路）と、それらの間を絶縁し、かつ第３面４２ａと第４面４２ｂとを有する絶縁層４２（第１絶縁層）とを有する（図１１Ｂ参照）。

導電路４１は、第１異方導電性シート４０の厚み方向に貫通しており、かつ第３面４２ａ側に露出した第３端部４１ａと、第４面４２ｂ側に露出した第４端部４１ｂとを有する（図１１Ｂ参照）。なお、「厚み方向」とは、前述と同様に、絶縁層４２の厚み方向に対して±１０°以下をいう。

複数の導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１（ピッチ）は、厚み方向の導電性を確保しやすくする観点から、第２異方導電性シート５０の複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２（ピッチ）よりも大きいことが好ましい（図１１Ｂ参照）。具体的には、第２異方導電性シート５０の第５端部５１ａの複数の導電路５１の中心間距離ｐ２によるが、第１異方導電性シート４０の複数の導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１は、例えば５５～６５０μｍとしうる。

なお、実施の形態１と同様に、複数の導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１と第４端部４１ｂの中心間距離（または複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２と第６端部５１ｂの中心間距離）とは、同じであってもよいし、異なってもよい。本実施の形態では、複数の導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１（または複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２）と、第４端部４１ｂの中心間距離（または第６端部５１ｂの中心間距離）とは同じであり、これらは、複数の導電路４１の中心間距離（または複数の導電路５１の中心間距離）ともいう。

導電路４１は、第１異方導電性シート４０の両方の面に露出している。本実施の形態では、第２異方導電性シート５０との電気的コンタクトを高める観点から、第１異方導電性シート４０の第２異方導電性シート５０が積層される面において、第１異方導電性シート４０の導電路４１は、絶縁層４２よりも厚み方向に突出していることが好ましい（図６Ｂ参照）。導電路４１の突出高さは、特に制約されないが、例えば１０～４０μｍ、好ましくは１５～３０μｍとしうる。導電路４１の円相当径は、導通可能な程度であればよく、例えば２０～２００μｍ程度としうる。

導電路４１を構成する材料は、導電路１１を構成する材料として挙げたものと同様のもの、好ましくは金属材料を用いることができる。

絶縁層４２は、複数の導電路４１の間を埋め込むように配置され、複数の導電路４１間を絶縁する（図１１Ｂ参照）。

絶縁層４２を構成する材料の例には、絶縁層１２を構成する材料として挙げたものと同様のもの、好ましくは第１エラストマー組成物の架橋物を用いることができる。

第１異方導電性シート４０の表面のロックウェル硬さは、特に制限されないが、通常、導電路４１のロックウェル硬さと実質的に同じ（例えば導電路４１のロックウェル硬さの９０～１００％）でありうる。これは、導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１や円相当径が相対的に大きいことから、（導電路４１の断面中心に測定用の圧子を当てた際に）圧子と接触する絶縁層４２の表面積の割合が少ないことや、第１異方導電性シート４０の、第２異方導電性シート５０が積層される面（絶縁層４２の第３面４２ａ）において、導電路４１が絶縁層４２よりも突出していることなどによると考えられる。第１異方導電性シート４０の表面のロックウェル硬さは、後述するように、ＡＳＴＭ Ｄ７８５に従い、硬度計により測定することができる。

（第２異方導電性シート）
第２異方導電性シート５０は、厚み方向に沿って形成された複数の導電路５１（第２導電路）と、それらの間を埋めるとともに第５面５２ａおよび第６面５２ｂとを有する絶縁層５２（第２絶縁層）とを有する（図１１ＡおよびＢ参照）。具体的には、第１異方導電性シート４０の第１絶縁層４２の第３面４２ａと、第２異方導電性シート５０の第２絶縁層５２の第６面５２ｂとが向かい合うように積層されている（図１１Ｂ参照）。

そして、第２異方導電性シート５０は、実施の形態１に係る異方導電性シート１０でありうる。すなわち、第２異方導電性シート５０における導電路５１（第２導電路）は、上記異方導電性シート１０における導電路１１に対応し、絶縁層５２（第２絶縁層）は、上記異方導電性シート１０における絶縁層１２に対応する。同様に、導電路５１の第５端部５１ａ、第６端部５１ｂは、導電路１１の第１端部１１ａ、第２端部１１ｂにそれぞれ対応し、絶縁層５２の第５面５２ａ、第６面５２ｂは、絶縁層１２の第１面１２ａ、第２面１２ｂにそれぞれ対応する。

第２異方導電性シート５０における複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２（ピッチ）は、第１異方導電性シート４０における複数の導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１（ピッチ）よりも小さい。具体的には、複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２は、複数の導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１の１８～３１％であることが好ましい。このように、複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２を、複数の導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１よりも十分小さくすることで、検査対象物のアライメントを不要にすることができる。複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２は、例えば１０～２００μｍとしうる。また、導電路５１の第５端部４１ａの円相当径は、通常、導電路４１の第３端部４１ａの円相当径よりも小さい。

絶縁層５２は、複数の導電路５１の間を埋め込むように配置され、それらの間を絶縁する。絶縁層５２を構成する材料は、第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬度が後述する範囲を満たすように選択される以外は、絶縁層４２を構成する材料と同様のものを用いることができる。例えば、第２異方導電性シート５０と第１異方導電性シート４０とを一体化させやすくする観点などから、絶縁層５２を構成する材料と、絶縁層４２を構成する材料とは、同じであってもよい。

第２異方導電性シート５０の表面（好ましくは第５面５２ａ）のロックウェル硬さは、第１異方導電性シート４０の表面（好ましくは第３面４２ａ）のロックウェル硬さよりも低いことが好ましい。前述の通り、第１異方導電性シート４０は、導電路４１の第３端部４１ａの中心間距離ｐ１や円相当径が相対的に大きいことから、圧子と接触する絶縁材料の表面積の割合が少ないのに対し；第２異方導電性シート５０は、導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２や円相当径が相対的に小さいことから、圧子と接触する絶縁材料の表面積の割合が多くなりやすい。その結果、第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬さは、金属線と絶縁材料との間（好ましくは絶縁材料）のロックウェル硬さと実質的に同じになり、導電路４１のロックウェル硬さと実質的に同じである第１異方導電性シート４０の表面のロックウェル硬さよりも低くなると考えられる。具体的には、第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬さは、Ｍ１２０以下であることが好ましい。そのような第２異方導電性シート５０は適度な柔軟性を有するため、第１異方導電性シート４０を直接、検査対象物と接触させる場合と比べて、検査対象物の端子が導電路５１などによって傷付けられにくくすることができる。

第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬さは、ＡＳＴＭ Ｄ７８５に準拠して測定することができる。具体的には、第２異方導電性シート５０を所定の大きさにカットした後、得られた試験片のＭスケールのロックウェル硬さを、ＡＳＴＭ Ｄ７８５に従い、硬度計により測定する。

第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬さは、第２異方導電性シート５０の表面積に占める絶縁材料（絶縁層５２）の面積の割合によって調整することができる。

第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬さをＭ１２０以下とするためには、例えば、１）第２異方導電性シート５０の表面積に対する絶縁材料（絶縁層５２）の表面積の割合を多くする、例えば第１異方導電性シート４０のそれよりも多くすることが好ましい。具体的には、第２異方導電性シート５０の表面積に対する絶縁層５２の表面積の割合を７５％以上とすることが好ましい。絶縁層５２の表面積の割合は、第２異方導電性シート５０の表面を走査電子顕微鏡により観察して得られる２次元情報から算出することができる。
式（１） 絶縁層５２の表面積の割合（％）＝絶縁層５２の表面積／第２異方導電性シート５０の表面積×１００

絶縁材料（絶縁層５２）の表面積の割合は、導電路５１が金属線である場合は、例えば金属線の円相当径や中心間距離ｐ２によって調整されうる。絶縁材料（絶縁層５２）の表面積の割合を高くするためには、例えば金属線の円相当径は小さくし、中心間距離ｐ２を（中心間距離ｐ１よりも小さい範囲で）大きくすることが好ましい。

また、第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬さをＭ１２０以下とするためには、２）導電路５１が金属線である場合、金属線の第２異方導電性シート５０の表面からの突出高さを低くすること、例えば第１異方導電性シート４０のそれよりも低くすることが好ましい。具体的には、導電路５１は、第２異方導電性シート５０の表面から突出しないことが好ましい。第２異方導電性シート５０の表面から突出した導電路５１は、ロックウェル硬度に影響しやすいからである。

第２異方導電性シート５０の第２絶縁層５２の厚みは、第１異方導電性シート４０の第１絶縁層４２の厚みよりも小さいことが好ましい。すなわち、第２異方導電性シート５０は、通常、第１異方導電性シート４０よりも、導通抵抗値が大きい。そのため、第２異方導電性シート５０の厚みの比率が適度に小さいと、異方導電性複合シート３０全体の導通抵抗値が高くなりすぎないため、検査精度が損なわれにくい。第２異方導電性シート５０の第２絶縁層５２の厚みは、異方導電性複合シート３０全体の導通抵抗値が高くなりすぎないようにする観点などから、例えば２０～１００μｍであることが好ましい。第２絶縁層５２および第１絶縁層４２の厚みは、前述と同様の方法でそれぞれ測定されうる。

第２異方導電性シート５０の第２絶縁層５２の厚みＴ２と、第１異方導電性シート４０の第１絶縁層４２の厚みＴ１との比Ｔ２／Ｔ１は、１／４～１／１０程度としうる。

（層構成）
第２異方導電性シート５０は、第１異方導電性シート４０の一方の面のみに積層されてもよいし、両方の面に積層されてもよい。本実施の形態では、第２異方導電性シート５０は、第１異方導電性シート４０の一方の面（検査対象物の端子と接触させる側）に積層されている。そして、第２異方導電性シート５０の表面（第１異方導電性シート４０とは反対側の面）に、検査対象物が配置される。

（作用）
本実施の形態に係る異方導電性複合シート３０によれば、上記実施の形態１で述べた効果に加えて、以下の効果を有しうる。

すなわち、従来の一般的な異方導電性シートは、厚み方向に良好な導電性を有するものの、導電路である金属ピン（金属線という）が、異方導電性シートの表面に露出しているか、または突出している。そのため、異方導電性シート上に検査対象物の端子を位置合わせや電気検査を行う際に、検査対象物の端子が、露出または突出した金属線と接触して損傷しやすい。また、検査対象物の高密度配線化、すなわち、端子間のピッチの微細化に伴い、検査対象物の端子の位置合わせ（アライメント）を高精度に行うことが難しい。

これに対して本実施の形態では、例えば従来の異方導電性シート（第１異方導電性シート４０）上に、実施の形態１に係る異方導電性シート１０（第２異方導電性シート５０）を有する。実施の形態１に係る異方導電性シート１０は、前述したように、厚み方向に伸縮するような弾性を発現しやすく、検査対象物の端子を傷付きにくくしうるため、金属線との接触による検査対象物の損傷を抑制しうる。また、実施の形態１に係る異方導電性シート１０（第２異方導電性シート５０）の導電路１１の第１端部１１ａの中心間距離ｐ２を小さくすることで、位置合わせ（アライメント）を不要にすることができる。

［異方導電性複合シートの製造方法］
本開示の異方導電性複合シート３０は、任意の方法で製造することができる。例えば、異方導電性複合シート３０は、１）第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０をそれぞれ準備する工程と、２）第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０とを積層した後、熱圧着などにより一体化する工程と、を経て得ることができる。

１）の工程について
第１異方導電性シート４０は、任意の方法で製造することができる。例えば、図１１ＡおよびＢに示されるような第１異方導電性シート４０は、複数の長い金属線を互いに接触しないように所定のピッチで並べた層（金属線からなる層）と絶縁シートとを交互に積層して積層体を得た後、得られた積層体を積層方向に平行な方向（金属線に対して垂直な方向）に所定の厚みに切断することによって得ることができる。

第２異方導電性シート５０の導電路５１が金属線である場合（図１１Ｂ参照）、前述と同様の方法で製造することができる。

２）の工程について
第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０との一体化は、例えば熱圧着などの任意の方法で行うことができる。

なお、図１１ＡおよびＢでは、第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０とが一体化された例（複合シート）を示したが、これに限定されず、第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０は、一体化されていなくてもよく、使用時に積層されてもよい。

［異方導電性シートセット］
図１２は、本実施の形態に係る異方導電性シートセット６０を示す断面図である。

異方導電性シートセット６０は、第１異方導電性シート４０と、その少なくとも一方の面に積層されるための第２異方導電性シート５０とを有する。具体的には、異方導電性シートセット６０は、異方導電性シート４０の第１絶縁層４２の第３面４２ａと、第２異方導電性シート５０の第２絶縁層５２の第６面５２ｂとが向かい合うように積層して使用される（図１２参照）。第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０は、前述の第１異方導電性異シート４０と第２異方導電性シート５０とそれぞれ同様に構成される。

第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０との間の界面抵抗を低減する観点などから、第２異方導電性シート５０の第１異方導電性シート４０と接する面には、第１異方導電性シート４０の表面形状と嵌合するような表面形状（例えば凸凹）が付与されていてもよい。

また、前述と同様に、第２異方導電性シート５０の表面（第１異方導電性シート４０とは反対側の面）に、検査対象物が配置されることが好ましい。

このように、第１異方導電性シート４０と第２異方導電性シート５０とが一体化されていないことにより、検査対象物の種類に応じて、異方導電性シートの構成を自在に変えることができる。また、一体化していなくても、検査対象物の端子と接触させる際に、加圧することで、電気的な接続は十分に行うことができる。

これらの異方導電性複合シート３０および異方導電性シートセット６０は、前述と同様に、半導体装置などの検査対象物の電気検査に好ましく用いることができる。

［電気検査装置および電気検査方法］
図１３は、本実施の形態に係る電気検査装置１００を示す断面図である。

図１３に示されるように、電気検査装置１００は、異方導電性複合シート３０または異方導電性シートセット６０の積層体が、検査用基板１２０の電極１２１が配置された面上に、当該電極１２１と金属線１１とが接するように配置される以外は上記実施の形態１と同様に構成されている。そして、異方導電性複合シート３０または異方導電性シートセット６０の積層体を構成する第２異方導電性シート２０の表面が、検査対象物１３０の端子と接するように配置されている。

そして、本実施の形態では、検査対象物１３０の端子１３１と接触する第２異方導電性シート５０の表面のロックウェル硬さが、好ましくはＭ１２０以下と低く、適度な柔軟性を有する。それにより、検査対象物１３０の端子１３１を載せて押圧しても、当該検査対象物１３０の端子１３１が、第２異方導電性シート５０によって傷付けられるのを抑制できる。また、第２異方導電性シート５０の複数の導電路５１の第５端部５１ａの中心間距離ｐ２は、第１異方導電性シート４０のそれと比べて極めて小さいことから、検査対象物１３０の端子１３１の位置合わせ（アライメント）を不要にすることができる。

［変形例］
上記実施の形態では、第２異方導電性シート５０が、実施の形態１に係る異方導電性シート１０である例を示したが、これに限定されず、第１異方導電性シート４０が、実施の形態１に係る異方導電性シート１０であってもよい。

図１４Ａは、変形例に係る異方導電性複合シート３０を示す断面図であり、図１４Ｂは、変形例に係る異方導電性シートセット６０を示す断面図である。図１５は、変形例に係る異方導電性複合シート３０を示す断面図である。このうち、図１５Ａは、図１４Ａにおいて、第２異方導電性シート５０を分散型の異方導電シートとした例を示す図であり、図１５Ｂは、図１５Ａの破線部１５Ｂの拡大図であり、図１５Ｃは、図１４Ａにおいて、第２異方導電性シート５０を偏在型の異方導電性シートとした例を示す図である。

このように、第１異方導電性シート４０を、実施の形態１に係る異方導電性シート１０としてもよい（図１４ＡおよびＢ、図１５Ａ～Ｃ参照）。

また、第２異方導電性シート５０の導電路５１は、絶縁材料中に分散され、加圧状態または無加圧状態で厚み方向に導電路を形成する複数の導電性粒子で構成されてもよい（図１５Ａ～Ｃ参照）。具体的には、図１５ＡおよびＢに示されるように、第２異方導電性シート５０は、絶縁材料と、それに分散した複数の導電性粒子とを含むものであってもよい。アライメントしなくても、十分な導通が得られるようにする観点では、複数の導電性粒子は、シートの厚み方向に配向していることが好ましい。厚み方向に配向した導電性粒子の数は、１つであってもよいし、複数であってもよい。厚み方向に配向した導電性粒子は、シートの全体にわたって分散していてもよいし（分散型、図１５ＡおよびＢ参照）、規則的に偏在していてもよい（偏在型、図１５Ｃ参照）。

第２異方導電性シート５０の導電路５１は、無加圧状態または加圧状態で厚み方向に導通する部材であればよい（図１５Ａ～Ｃ参照）。導電路５１は、アライメントを不要にする観点では、導通した状態での体積抵抗値が、前述の範囲、好ましくは１．０×１０×１０^－４～１．０×１０×１０^－５Ω・ｃｍを満たすものである。

第２異方導電性シート５０は、導電路５１として厚み方向に配向した複数の導電性粒子Ｐを含む（図１５Ａ～Ｃ参照）。そして、厚み方向に配向した複数の導電性粒子Ｐが、シートの全体にわたって分散している。

導電性粒子Ｐは、特に制限されないが、厚み方向に配向させる観点などから、例えば導電性磁性体粒子であることが好ましい。導電性磁性体粒子の例には、鉄、ニッケル、コバルトなどの磁性金属またはこれらの合金からなる粒子、あるいはこれらを金、銀、銅、錫、パラジウム、ロジウムなどの導電性金属でメッキしたものなどが含まれる。

導電性粒子Ｐのメジアン径（ｄ５０）は、特に制限されないが、例えば５～１００μｍ、好ましくは１０～５０μｍである。導電性粒子Ｐのメジアン径は、光散乱法、例えばレーザー解析・散乱式粒度分布計にて測定することができる。

導電路５１が、厚み方向に配向した複数の導電性粒子Ｐで構成される場合、複数の導電路５１の中心間距離ｐ２は、以下のように特定される。すなわち、図１５ＡおよびＢのような分散型の場合は、厚み方向に配向した複数の導線性粒子Ｐの中心線（厚み方向に配向した複数の導線性粒子Ｐの中心同士を結ぶ線）間の距離を、複数の導電路５１の中心間距離ｐ２とする（図１５Ｂ参照）。一方、図１５Ｃのような偏在型の場合は、偏在部を１つの導電路１１とみなして、当該偏在部の中心線間の距離を、複数の導電路５１の中心間距離ｐ２とする（図１５Ｃ参照）。

このような、導電路５１が導電性粒子Ｐで構成された第２異方導電性シート５０（図１５Ａ～Ｃ参照）は、以下の手順で製造することができる。
ｉ）まず、絶縁性材料と、磁性を示す導電性粒子Ｐとを含む導電性エラストマー組成物を調製する。そして、離型性支持板上に、導電性エラストマー組成物を塗布して、導電性エラストマー組成物層を形成する。
ｉｉ）次いで、導電性エラストマー組成物層の厚み方向に磁場を作用させて、導電性エラストマー組成物層中に分散された導電性粒子Ｐを、厚み方向に並ぶよう配向させる。そして、導電性エラストマー組成物層に対する磁場の作用を継続しながら、または磁場の作用を停止した後、導電性エラストマー組成物層を硬化させて、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した導電性エラストマー層を得る。
ｉｉｉ）そして、離型性支持板を剥離して、導電性エラストマー層からなる第２異方導電性シート５０を得る。

ｉ）の工程で用いられる離型性支持板としては、金属板、セラミックス板、樹脂板およびこれらの複合材などを用いることができる。導電性エラストマー組成物の塗布は、スクリーン印刷などの印刷法、ロール塗布法、またはブレード塗布法により行うことができる。導電性エラストマー組成物層の厚みは、形成すべき導電路の厚みに応じて設定される。導電性エラストマー組成物層に磁場を作用させる手段は、電磁石、永久磁石などを用いることができる。

ｉｉ）の工程における、導電性エラストマー組成物層に作用させる磁場の強度は、０．２～２．５テスラとなる大きさが好ましい。導電性エラストマー組成物層の硬化は、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー組成物層を構成するエラストマー組成物の種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜設定される。

３．その他
なお、上記実施の形態では、いずれも非直線部１１ｃを有する導電路を有する異方導電性シートを用いた例について説明したが、目的に応じて、非直線部１１ｃを有しない導電路を有する異方導電性シートを用いてもよい（図１６および１７参照）。

図１６Ａ～Ｃは、変形例に係る異方導電性シートを示す図である。このうち、図１６Ａは、斜視図であり、図１６Ｂは、水平断面の部分拡大図であり、図１６Ｃは、縦断面の部分拡大図である。

例えば、導電路１１と絶縁層１２との間の剥離は、非直線部１１ｃを有しない導電路１１において生じやすいことから、接着層１４は、非直線部１１ｃを有しない導電路１１と絶縁層１２との間に配置されてもよい（図１６Ａ～Ｃ参照）。

図１７Ａは、変形例に係る異方導電性複合シートを示す部分拡大断面図であり、図１７Ｂは、変形例に係る異方導電性シートセットを示す部分拡大断面図である。例えば、導電路１１が非直線部１１ｃを有しない異方導電性シートは、厚み方向に撓みにくく、検査対象物の端子を傷付けやすいことから、異方導電性複合シートや異方導電性シートセットとして好ましく用いることができる（図１７ＡおよびＢ参照）。

また、上記実施の形態では、異方導電性シート１０が配置された検査用基板１２０に対して、検査対象物１３０を押圧して電気検査を行う例を示したが、これに限定されず、検査対象物１３０に対して、異方導電性シート１０が配置された検査用基板１２０を押圧して電気検査を行ってもよい。

また、上記実施の形態では、異方導電性シートを電気検査に用いる例を示したが、これに限定されず、２つの電子部材間の電気的接続、例えばガラス基板とフレキシブルプリント基板との間の電気的接続や、基板とそれに実装される電子部品との間の電気的接続などに用いることもできる。

本出願は、２０１８年１１月２１日出願の特願２０１８－２１８２８１、２０１９年３月２２日出願の特願２０１９－５４５３８、および２０１９年５月２７日出願の特願２０１９－９８８１４に基づく優先権を主張する。当該出願明細書および図面に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。

本開示によれば、検査対象物の損傷を抑制できる異方導電性シート、電気検査装置および電気検査方法を提供することができる。

１０ 異方導電性シート
１１、４１、５１ 導電路
１１ａ 第１端部
１１ｂ 第２端部
１１ｃ 非直線部
１２、４２、５２ 絶縁層
１２ａ 第１面
１２ｂ 第２面
１３ 電解質層
１４、２４ 接着層
２０ 複合シート
２１ 絶縁シート
２２ 導電線
２３ 積層体
３０ 異方導電性複合シート
４０ 第１異方導電性シート
４１ａ 第３端部
４１ｂ 第４端部
４２ａ 第５端部
４２ｂ 第６端部
５０ 第２異方導電性シート
５１ａ 第３面
５１ｂ 第４面
５２ａ 第５面
５２ｂ 第６面
６０ 異方導電性シートセット
１００ 電気検査装置
１１０ 保持容器
１２０ 検査用基板
１２１ 電極
１３０ 検査対象物
１３１ （検査対象物の）端子

Claims (18)

1. 複数の導電路と、
   前記複数の導電路の間を埋めるように配置され、第１面と第２面とを有する絶縁層と、
   前記複数の導電路と前記絶縁層との間の少なくとも一部にそれぞれ配置された複数の接着層と、
   を有し、
   前記絶縁層は、エラストマー組成物の架橋物で構成されており、
   前記導電路は、前記絶縁層の厚み方向に延在しており、かつ前記第１面側の第１端部と、前記第２面側の第２端部とを有し、
   前記第１端部の中心と前記第２端部の中心とが重なるように前記導電路を透視したとき、前記導電路の少なくとも一部は、前記第１端部および前記第２端部とは重ならず、
   前記接着層は、アルコキシシランまたはそのオリゴマーの重縮合物を含む、
   異方導電性シート。
2. 前記第１端部は、前記第１面側に露出しており、
   前記第２端部は、前記第２面側に露出している、
   請求項１に記載の異方導電性シート。
3. 前記絶縁層の厚み方向に沿って平面透視したときに、
   前記第１端部の中心と前記第２端部の中心とは重なっており、かつ
   前記導電路の少なくとも一部は、前記第１端部および前記第２端部とは重ならない、
   請求項１または２に記載の異方導電性シート。
4. 前記絶縁層の厚み方向に沿った断面において、
   前記導電路の少なくとも一部は、波形、ジグザグ形状、アーチ状、またはＶ字状を有する、
   請求項１～３のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
5. 前記絶縁層の厚み方向に沿った断面において、
   前記第１端部と前記第２端部との間の中間点よりも前記第１端部側に位置する前記導電路の少なくとも一部は、波形、ジグザグ形状、アーチ状、またはＶ字状を有する、
   請求項４に記載の異方導電性シート。
6. 前記複数の導電路の第１端部の中心間距離は、５～５５μｍである、
   請求項１～５のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
7. 前記複数の導電路の第１端部の円相当径は、２～２０μｍである、
   請求項６に記載の異方導電性シート。
8. 前記絶縁層は、エラストマー組成物の架橋物からなり、
   前記接着層は、第２樹脂組成物からなり、
   前記第２樹脂組成物のガラス転移温度は、前記エラストマー組成物の架橋物のガラス転移温度よりも高い、
   請求項１～７のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
9. 検査対象物の電気検査に用いられる異方導電性シートであって、
   前記検査対象物は、前記第１面上に配置される、
   請求項１～８のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
10. 厚み方向に貫通する複数の第１導電路と、前記複数の第１導電路の間を埋めるように配置され、第３面と第４面とを有する第１絶縁層とを有する第１異方導電性シートと、
    厚み方向に延設された複数の第２導電路と、前記複数の第２導電路の間を埋めるように配置され、第５面と第６面とを有する第２絶縁層とを有する第２異方導電性シートと
    を有し、
    前記第１異方導電性シートと前記第２異方導電性シートとは、前記第１絶縁層の前記第３面と前記第２絶縁層の前記第６面とが向かい合うように積層されており、
    前記第１導電路は、前記第３面側の第３端部と、前記第４面側の第４端部とを有し、前記第１導電路の前記第３端部の中心と前記第４端部の中心とが重なるように前記第１導電路を透視したとき、前記第１導電路の少なくとも一部は、前記第３端部および前記第４端部とは重なっていないか、および／または、
    前記第２導電路は、前記第５面側の第５端部と、前記第６面側の第６端部とを有し、前記第２導電路の前記第５端部の中心と前記第６端部の中心とが重なるように前記第２導電路を透視したとき、前記第２導電路の少なくとも一部は、前記第５端部および前記第６端部とは重なっておらず、
    前記第５面側における前記複数の第２導電路の中心間距離ｐ２は、前記第３面側における前記複数の第１導電路の中心間距離ｐ１よりも小さく、かつ
    前記第２異方導電性シートの前記第５面のロックウェル硬度は、前記第１異方導電性シートの前記第３面のロックウェル硬度よりも低い、
    異方導電性複合シート。
11. 前記第２異方導電性シートの前記第５面の前記ロックウェル硬度は、Ｍ１２０以下である、
    請求項１０に記載の異方導電性複合シート。
12. 前記第５面側における前記複数の第２導電路の中心間距離ｐ２は、前記第３面側における前記複数の第１導電路の中心間距離ｐ１の１８～３１％である、
    請求項１０または１１に記載の異方導電性複合シート。
13. 前記第２絶縁層の厚みは、前記第１絶縁層の厚みよりも小さい、
    請求項１０～１２のいずれか一項に記載の異方導電性複合シート。
14. 検査対象物の電気検査に用いられる異方導電性複合シートであって、
    前記検査対象物は、前記第２異方導電性シートの前記第５面上に配置される、
    請求項１０～１３のいずれか一項に記載の異方導電性複合シート。
15. 厚み方向に貫通する複数の第１導電路と、前記複数の第１導電路の間を埋めるように配置され、第３面と第４面とを有する第１絶縁層とを有する第１異方導電性シートと、
    厚み方向に延設された複数の第２導電路と、前記複数の第２導電路の間を埋めるように配置され、第５面と第６面とを有する第２絶縁層とを有する第２異方導電性シートと
    を有し、
    前記第１異方導電性シートと前記第２異方導電性シートとは、前記第１絶縁層の前記第３面と前記第２絶縁層の前記第６面とが向かい合うように積層されるためのものであり、
    前記第１導電路は、前記第３面側の第３端部と、前記第４面側の第４端部とを有し、前記第１導電路の前記第３端部の中心と前記第４端部の中心とが重なるように前記第１導電路を透視したとき、前記第１導電路の少なくとも一部は、前記第３端部および前記第４端部とは重なっていないか、および／または、
    前記第２導電路は、前記第５面側の第５端部と、前記第６面側の第６端部とを有し、前記第２導電路の前記第５端部の中心と前記第６端部の中心とが重なるように前記第２導電路を透視したとき、前記第２導電路の少なくとも一部は、前記第５端部および前記第６端部とは重なっておらず、
    前記第５面側における前記複数の第２導電路の中心間距離ｐ２は、前記第３面側における前記複数の第１導電路の中心間距離ｐ１よりも小さく、かつ
    前記第２異方導電性シートの前記第５面のロックウェル硬度は、前記第１異方導電性シートの前記第３面のロックウェル硬度よりも低い、
    異方導電性シートセット。
16. 検査対象物の電気検査に用いられる異方導電性シートセットであって、
    前記検査対象物は、前記第２異方導電性シートの前記第５面上に配置される、
    請求項１５に記載の異方導電性シートセット。
17. 複数の電極を有する検査用基板と、
    前記検査用基板の前記複数の電極が配置された面上に配置された、請求項１～９のいずれか一項に記載の異方導電性シート、請求項１０～１４のいずれか一項に記載の異方導電性複合シート、または請求項１５～１６のいずれか一項に記載の異方導電性シートセットの積層物と
    を有する、
    電気検査装置。
18. 複数の電極を有する検査用基板と、端子を有する検査対象物とを、請求項１～９のいずれか一項に記載の異方導電性シート、請求項１０～１４のいずれか一項に記載の異方導電性複合シート、または請求項１５～１６のいずれか一項に記載の異方導電性シートセットの積層物を介して積層して、前記検査用基板の前記電極と、前記検査対象物の前記端子とを、前記異方導電性シートを介して電気的に接続する工程を有する、
    電気検査方法。

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