KR100797406B1 - 이방 도전성 시트 - Google Patents

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conductive sheet
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elastic polymer
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정영배
최성현
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주식회사 아이에스시테크놀러지
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Abstract

본 발명은 이방 도전성 시트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 절연성을 가지며 탄성변형 가능한 탄성 고분자 시트와, 상기 탄성 고분자 시트 내에 그 탄성 고분자 시트의 두께방향에 대해 수직인 방향으로 상호 이격되게 다수 배치되며 그 각각은 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향으로 연장되어 있는 다수의 도전부를 구비하여, 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향으로의 전기적 흐름은 허용하고 상기 두께방향과 수직인 방향으로의 전기적 흐름은 차단할 수 있는 이방 도전성 시트에 있어서,
상기 각 도전부는, 곡선형으로 형성된 섬유상 도전체를 다수개 포함하여 이루어지는 이방 도전성 시트에 관한 것이다.
도전부, 섬유상 도전체, 탄성 고분자 시트

Description

이방 도전성 시트{Anisotropic conductive sheet}
도 1은 종래 기술에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면.
도 2는 도 1과 다른 종래 기술에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면.
도 3은 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 단면도.
도 5는 성형을 위한 시트에 자장을 작용시키기 전 상태를 나타내는 도면.
도 6은 도 5의 시트에 자장을 작용시킨 후를 나타내는 도면.
도 7은 도 3에 도시된 이방 도전성 시트를 전자부품 및 테스트 장비 사이에 배치한 모습을 나타낸 도면.
도 8은 도 7에 도시한 전자부품을 테스트 장비방향으로 가압하였을 때 이방 도전성 시트의 모습을 나타낸 도면.
도 9는 다른 실시예에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면.
도 10은 다른 실시예에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면.
<도면부호의 상세한 설명>
1... 이방 도전성 시트 2... 시트 성형 재료
10... 탄성 고분자 시트 20... 도전부
21... 섬유상 도전체 22... 도전체 본체
23... 니켈층 24... 도금층
25... 구형 도전체 30... 상부금형
34... 하부금형 40... 전자부품
41... 단자 50... 테스트 장비
51... 단자
본 발명은 이방 도전성 시트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시트의 두께방향으로 충분히 압축될 수 있는 도전부를 가진 이방 도전성 시트에 관한 것이다.
일반적으로 전자부품의 제조가 완료되면, 그 전자부품의 성능을 시험하기 위한 전기적 검사가 수행된다. 이러한 전기적 검사를 위하여 테스트 장비와 전자부품 사이에 이방 도전성 시트를 마련해 두고, 상기 테스트 장비와 전자부품의 단자를 서로 전기적으로 연결시킨다. 이후, 테스트 장비의 단자로부터 전류를 이방 도전성 시트를 통하여 전자부품의 리드단자로 흘려보내고, 이후 각 전자부품의 단자로부터 출력되는 신호를 테스트 장치가 분석하여 전자부품의 이상유무를 판별한다.
이러한 이방 도전성 시트에 대한 종래의 기술로는 대한민국 공개특허 제2001- 0050489호가 있다. 이러한 이방 도전성 시트(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 절연성을 가지며 탄성변형 가능한 탄성 고분자 시트(110)와, 상기 탄성 고분자 시트(110) 내에 그 탄성 고분자 시트(110)의 두께방향에 대해 수직인 방향으로 상 호 이격되게 다수 배치되며, 그 각각은 상기 탄성 고분자 시트(110)의 두께방향으로 연장되어 있는 다수의 도전부(120)로 이루어진다.
이때, 상기 다수의 도전부(120)는 다수의 구형상의 도전체(121)로 이루어진다. 이러한 이방 도전성 시트(100)는 두께 방향으로 가압되었을 때 상기 다수의 도전체(121)들이 서로 접촉함으로서, 두께방향으로의 전기적 흐름을 허용한다.
이러한 종래의 이방 도전성 시트는 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 상기 도전체들은 각각 수십㎛ 크기를 가지고 있다. 이러한 작은 직경을 갖는 도전체는 탄성 고분자와의 접촉면적이 작기 때문에 탄성 고분자에 의하여 충분한 지지를 받기 어렵다. 이에 따라 전자부품의 단자가 수만회 이상 반복하여 상기 이방 도전성 시트를 가압하게 되면, 각각의 도전체가 탄성 고분자로부터 이탈되거나, 탄성 고분자가 함몰되는 경우가 발생한다. 이로 인하여 이방 도전성 시트는 전체적으로 그 성능이 저하된다. 한편, 최근 제작되는 전자부품의 단자는 경도가 높은 무연(lead-free)소재로 이루어진다. 이와 같이 전자부품의 단자의 경도가 높아진 만큼 도전부는 더욱 손상을 쉽게 입는다.
이러한 문제를 해결하고자 도 2에 도시한 바와 같이 도전부에 구형상의 도전체) 대신 직선형의 섬유상 도전체를 사용한 대한민국 공개특허 제2001-0090778호가 있다. 이러한 이방 도전성 시트(100)는 탄성 고분자 시트(110)와, 도전부(120)로 구성되며, 상기 도전부(120)가 직선형 섬유상 도전체(122)로 이루어진다. 상기 직선형의 섬유상 도전체(122)는 탄소소재의 도전체 본체와, 그 도전체 본체의 주위에 피복된 니켈층으로 이루어져 있다.
이러한 섬유상 도전체는 탄성 고분자와의 접촉면적이 커서 상기 탄성 고분자에 안정적으로 지지된다. 이에 따라 전자부품의 단자가 수만회 이상 반복하여 상기 이방 도전성 시트를 가압하여도 각각의 섬유상 도전체가 탄성 고분자로부터 이탈될 염려가 적다.
그러나, 이방 도전성 시트에 사용되는 상기 섬유상 도전체가 직선형으로 되어 있어 시트의 두께방향으로 쉽게 구부려지지 않는다. 이에 따라 전자부품의 단자를 이용하여 이방 도전성 시트를 가압하면, 상기 이방 도전성 시트가 쉽게 압축되지 않게 된다. 더욱이, 상기 섬유상 도전체에 사용되는 도전체 본체는 인성이나 전성이 거의 없는 탄소소재로 이루어지기 때문에 전자부품이 이방 도전성 시트를 가압하기 위하여 상당한 정도의 가압력을 이방 도전성 시트에 가하게 되면, 상기 섬유상 도전체가 부러지게 되는 문제점도 있다.
이와 같이 이방 도전성 시트가 충분히 압축되지 않는 경우, 섬유상 도전체와 전자부품의 단자 간의 접촉이 잘 이루어지지 않는다. 이에 따라 테스트 장비로부터 나오는 전류가 전자부품에 원활하게 공급되지 않아 전체적인 검사의 신뢰성에 문제가 생긴다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 다수회 반복하여 이방 도전성 시트를 가압하여도 도전체가 탄성 고분자로부터 이탈되지 않으며, 전자부품으로부터의 가압력에 따라 충분히 압축될 수 있는 이방 도전성 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 이방 도전성 시트는, 절연성을 가지며 탄성변형 가능한 탄성 고분자 시트와, 상기 탄성 고분자 시트 내에 그 탄성 고분자 시트의 두께방향에 대해 수직인 방향으로 상호 이격되게 다수 배치되며 그 각각은 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향으로 연장되어 있는 다수의 도전부를 구비하여, 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향으로의 전기적 흐름은 허용하고 상기 두께방향과 수직인 방향으로의 전기적 흐름은 차단할 수 있는 이방 도전성 시트에 있어서,
상기 각 도전부는, 곡선형으로 형성된 섬유상 도전체를 다수개 포함하여 이루어진다.
상기 이방 도전성 시트는, 상기 각 도전부의 다수의 섬유상 도전체 중 적어도 2개는 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향을 따라 배치되는 것이 바람직하다.
상기 이방 도전성 시트는, 상기 각 섬유상 도전체는, 금속소재의 도전체 본체와, 그 도전체 본체 주위에 피복된 니켈층을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 이방 도전성 시트는, 상기 니켈층의 표면에 금(Au), 은(Ag), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd) 중 어느 하나가 도금되어 이루어진 도금층이 더 구비되어 있는 것이 바람직하다.
상기 이방 도전성 시트에서, 상기 섬유상 도전체의 양 끝단은 뾰족하게 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 이방 도전성 시트에서, 상기 각 섬유상 도전체는, 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향에 대해 수직인 방향으로 볼록한 곡선형으로 형성된 것이 바람직하 다.
상기 이방 도전성 시트에서, 상기 각 섬유상 도전체는 "C" 또는 "S"의 형상을 이루도록 구부러진 것이 바람직하다.
상기 이방 도전성 시트에서, 상기 각 도전부는, 다수의 구형의 도전체를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 단면도이며, 도 5는 성형을 위한 시트에 자장을 작용시키기 전 상태를 나타내는 도면이고, 도 6은 도 5의 시트에 자장을 작용시킨 후를 나타내는 도면이며, 도 7은 도 3에 도시된 이방 도전성 시트를 전자부품 및 테스트 장비 사이에 배치한 모습을 나타낸 도면이고, 도 8은 도 7에 도시한 전자부품을 테스트 장비방향으로 가압하였을 때 이방 도전성 시트의 모습을 나타낸 도면이다.
본 실시예에 따른 이방 도전성 시트(1)는, 탄성 고분자 시트(10)의 두께방향으로의 전기적 흐름은 허용하고 상기 두께방향과 수직인 방향으로의 전기적 흐름은 차단할 수 있는 것이다. 이러한 이방 도전성 시트(1)는, 탄성 고분자 시트(10)와 도전부(20)로 구성된다.
상기 탄성 고분자 시트(10)는 소정의 두께를 가지는 시트로서, 절연성을 가지면 탄성 변형이 가능한 탄성 고분자 물질로 이루어진다.
탄성 고분자 물질로서는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 가교 고분자 물질을 얻기 위해서 사용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는 여러가지의 것을 사용할 수 있으며, 그 구체예로서는 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중 합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피크롤히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.
이상에서 얻어지는 이방 도전성 시트(1)에 내구성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 사용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서는 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하다.
실리콘 고무로서는 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 그 점도가 왜곡 속도 10-1 sec이고 105 포아즈 이하인 것이 바람직하며, 축합형인 것, 부가형인 것, 비닐기나 히드록실기를 함유하는 것 중 어느 하나일 수 있다. 구체적으로는 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 들 수 있다.
상기 도전부(20)는 상기 탄성 고분자 시트(10)의 두께방향으로 연장되도록 상기 탄성 고분자 시트(10)내에 배치된다. 상기 도전부(20)는 다수개가 탄성 고분자 시트(10) 내에 배치되며, 그 각각의 도전부(20)는 탄성 고분자 시트(10)의 두께 방향에 대해 수직인 방향으로 상호 이격된다.
상기 각 도전부(20)는 상기 탄성 고분자 물질로 이루어진 기재 중에서, 곡선형으로 형성된 다수의 섬유상 도전체(21)가 마련된다. 이러한 다수의 섬유상 도전체(21) 중에서 적어도 2개는 상기 탄성 고분자 시트(10)의 두께방향을 따라 배치된다. 도 3에서는 3개의 섬유상 도전체(21)가 상기 탄성 고분자 시트(10)의 두께방향을 따라 배치되어 있다.
이러한 섬유상 도전체(21)는 금속소재의 도전체 본체(22)와, 그 도전체 본체 (22)주위에 피복된 니켈층(23)과, 상기 니켈층(23)의 표면에 금, 은, 로듐, 팔라듐 중 어느 하나가 도금되어 이루어진 도금층(24)으로 이루어진다.
상기 섬유상 도전체(21)는 수십㎛ 의 굵기를 가지며, 소정의 절단기에 의하여 0.1mm ~ 수mm 범위의 길이로 절단하여 제작된다.
상기 도전체 본체(22)는 피아노강, 텅스텐, 황동 등 도전성과 자성이 좋은 금속소재로 이루어진다.
상기 도전체 본체(22)의 표면에 니켈층(23)을 피복시키는 방법은, 예를 들면 화학 도금 또는 전해 도금에 의하여 이루어질 수 있다. 또한, 금, 은, 로듐, 팔라듐 등의 귀금속은 공기 중 산화에 내성이 있고 높은 전기전도성이 좋은 것으로서, 화학 도금 또는 전해 도금에 의하여 니켈층의 표면에 도금된다.
상기 섬유상 도전체(21)는 그 양끝단이 뾰족하게 형성되어 있으며, 구체적으로는 산형을 이루고 있는 것이 바람직하다.
이러한 섬유상 도전체(21)는 상기 탄성 고분자 시트(10)의 두께방향에 대해 수직인 방향으로 볼록한 곡선형으로 형성되며, 바람직하게는 전체적으로 "C"형상을 이루는 것이 좋다.
이러한 구성을 갖는 이방 도전성 시트(1)는 다음과 같은 순서에 의하여 제작된다.
먼저, 서로 마주보도록 배치된 상부금형(30)과 하부금형(34)을 준비한다. 상기 상부금형(30)은 도전부(20)의 배치 패턴에 맞추어 강자성체 부분(31)이 형성되고, 이 강자성체 부분(31) 이외의 부분에는 비자성체 부분(32)이 형성된다. 상기 하부금형(34)에도 상기 상부금형(30)과 대응되도록 강자성체 부분(35)과 비자성체 부분(36)이 형성된다.
상기 상부금형(30)의 상단과, 하부금형(34)의 하단에는 각각 한 쌍의 전자석(33, 37)이 배치한다.
이러한 상부금형(30)과 하부금형(34)의 사이에 이방 도전성 시트(1)를 제작하기 위한 시트 성형 재료(2)를 주입한다. 상기 시트 성형 재료(2)는 유동성의 탄성 고분자 물질 내에, 자성 및 도전성을 가지는 섬유상 도전체(21)가 분산되어 있다. 상부금형(30)과 하부금형(34) 사이에 시트 성형 재료(2)가 주입된 모습은 도 5에 도시된다.
이후, 한 쌍의 전자석(37)을 작동시켜 두께방향으로 강한 자기장이 형성되도록 한다. 그 결과, 시트 성형 재료(2)는 섬유상 도전체(21)가 상부금형(30)의 강자성체 부분(31) 및 하부금형(34)의 강자성체 부분(35) 사이에 위치되도록 배열된다. 도 6에는 시트 성형 재료(2)에서 두께방향으로 배열되어 있는 섬유상 도전체(21)를 도시된다. 가열 등에 의하여 상기 시트 성형 재료(2)를 경화시키면 이방 도전성 시트(1)가 완성된다.
이러한 방법에 의하여 제작된 이방 도전성 시트는 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이 사용된다.
먼저, 이방 도전성 시트(1)를 테스트 장비(50) 위에 설치한다. 구체적으로는 테스트 장비(50)의 단자(51) 위에 상기 이방 도전성 시트(1)의 도전부(20)가 위치할 수 있도록 배치시킨다. 이후, 전자부품(40)의 단자(41)가 상기 이방 도전성 시트(1)의 도전부(20)에 위치할 수 있도록 상기 전자부품(40)을 이방 도전성 시트(1) 위에 올려놓는다. 설치가 완료된 모습은 도 7에 도시된다. 이러한 설치작업이 완료되면, 도 8에 도시한 바와 같이 전자부품(40)을 하방향으로 눌러 상기 전자부품(40)의 단자(41)가 이방 도전성 시트(1)의 도전부(20)와 확실하게 전기적으로 접촉될 수 있도록 한다.
이와 같이 전자부품(40)을 하방향으로 누르면, 이방 도전성 시트(1)의 도전부(20)에서 그 각각의 섬유상 도전체(21)는 서로 접촉하는데, 각각의 섬유상 도전체(21)가 곡선형을 이루고 있으므로 상기 전자부품(40)의 누름에 대하여 충분하게 구부러진다.
한편, 상기 섬유상 도전체(21)는 양 끝단이 뾰쪽하게 형성되어 있으므로, 상기 전자부품의 단자 표면에 이물질이 뭍어 있어도, 상기 섬유상 도전체(21)가 그 이물질을 뚫고 상기 전자부품의 단자와 접촉하게 된다.
이러한 작동을 하는 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트(1)는 다음과 같은 효과를 갖는다.
먼저, 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트(1)는 탄성 고분자 시트(10)가 섬유상을 이루고 있어 종래의 구형 도전체(121)에 비하여 탄성 고분자와의 접촉면적이 크다. 이에 따라 전자부품의 단자가 수만회 이상 반복하여 상기 이방 도전성 시트(1)를 가압하여도 각각의 섬유상 도전체(21)가 탄성 고분자로부터 이탈될 염려가 적다.
또한, 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트(1)는 섬유상 도전체(21)가 곡선형으로 이루어져 있어, 전자부품(40)이 이방 도전성 시트(1)를 가압하면 상기 섬유상 도전체(21)는 구부러지면서 상기 이방 도전성 시트(1)의 압축을 허용한다.
이에 반하여 직선형 섬유상 도전체(122)를 가진 이방 도전성 시트(100)는 전자부품이 이방 도전성 시트(100)를 가압하여도 상기 섬유상 도전체(122)가 쉽게 구부러지지 않기 때문에 이방 도전성 시트(100)가 충분히 압축되지 않는다.
또한, 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트(1)는 탄성 고분자 시트(10)의 두께방향을 따라 적어도 2개 이상의 섬유상 도전체(21)가 마련되며, 이에 따라 이방 도전성 시트(1)의 압축정도를 쉽게 조정할 수 있다. 즉, 상기 직선형 섬유상 도전체(122)를 가진 이방 도전성 시트(100)는 두께방향을 따라 1개의 섬유상 도전체(122)가 마련되어 있다. 1개의 섬유상 도전체(122)는 전자부품의 가압력을 흡수하는데 미흡하고, 더욱이 상기 종래의 기술은 직선형으로 되어있어 더더욱 가압력을 흡수하기 어렵다.
이에 반하여, 본 실시예는 2개 이상의 섬유상 도전체(21)를 탄성 고분자 시 트(10)의 두께방향으로 배열하였기 때문에, 각각의 섬유상 도전체(21)가 가압력을 흡수할 수 있어 이방 도전성 시트(1)가 충분하게 압축될 수 있다. 본 실시예에서 도 7에서는 두께방향으로 3개의 섬유상 도전체(21)가 마련되어 있는 것이 도시되었으나, 더욱 이방 도전성 시트(1)를 압축하기 위하여 상기 섬유상 도전체(21)의 수를 증대할 수도 있다.
또한, 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트(1)의 섬유상 도전체(21)는 그 양단이 뾰족하게 형성되어 있기 때문에, 전자부품의 단자에 이물질이 뭍어있어도 상기 단자와 접촉하는 데 문제가 없다. 이에 반하여 상기 직선형 섬유상 도전체(122)를 가진 종래의 이방 도전성 시트(100)는 전자부품의 단자와 접촉하는 섬유상 도전체(122)가 뭉툭하게 되어 있기 때문에, 전자부품의 단자에 이물질이 뭍어있는 경우 전기적 연결이 용이하지 않다. 이에 반하여 본 실시예에 따른 이방 도전성 시트(1)의 섬유상 도전체(21)는 양단이 뾰죡하므로, 이물질층을 뚫고 단자와 접촉할 수 있어 언제나 안정적인 전기적 연결을 가능하게 한다.
이상에서 살펴본 본 발명의 이방 도전성 시트(1)는 다음과 같은 변형이 가능하다.
먼저, 섬유상 도전체(21)가 "S" 자형으로 구부러지도록 하는 것도 가능하다. 이러한 "S"자형으로 구부러진 섬유상 도전체(21)가 마련된 이방 도전성 시트(1)는 도 9 에 도시되어 있다. 한편, 섬유상 도전체(21)의 형상은 "C", "S" 이외에도 설계자의 필요에 따라 다양한 형상의 곡선이 되도록 하는 것도 가능하다.
또한, 상술한 실시예에서는 도전부(20)가 곡선형의 섬유상 도전체(21)로만 이루어진 것을 기술하였으나, 상기 곡선형과 직선형이 함께 혼재되어 있는 것을 고려할 수 있다.
또한, 상술한 실시예에서는 섬유상 도전체(21)로만 이루어진 도전부(20)에 관하여 기술하였으나, 구형의 도전체(25)를 포함하는 것도 가능하다. 구형의 도전체와 섬유상 도전체(21)가 함께 마련되어 있는 이방 도전성 시트(1)는 도 10에 도시되어 있다. 이때, 구형 도전체는 상기 도전부(20)의 하부을 이루는 것이 바람직하다. 그 이유는 통상적으로 전자부품에 의하여 압축이 되는 부분이 이방 도전성 시트(1)의 상부측이기 때문에, 상기 상부에 섬유상 도전체(21)를 위치시켜 쉽게 이방 도전성 시트(1)가 압축되도록 하기 위함이다.
이상에서 실시예 및 다양한 변형예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 의한 이방 도전성 시트는, 다수회 반복하여 이방 도전성 시트를 가압하여도 도전체가 탄성 고분자로부터 이탈되지 않으며, 전자부품으로부터의 가압력에 따라 충분히 압축될 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 절연성을 가지며 탄성변형 가능한 탄성 고분자 시트와, 상기 탄성 고분자 시트 내에 그 탄성 고분자 시트의 두께방향에 대해 수직인 방향으로 상호 이격되게 다수 배치되며 그 각각은 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향으로 연장되어 있는 다수의 도전부를 구비하여, 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향으로의 전기적 흐름은 허용하고 상기 두께방향과 수직인 방향으로의 전기적 흐름은 차단할 수 있는 이방 도전성 시트에 있어서,
    상기 각 도전부는, 곡선형으로 형성된 섬유상 도전체를 다수개 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 도전부의 다수의 섬유상 도전체 중 적어도 2개는 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 섬유상 도전체는, 금속소재의 도전체 본체와, 그 도전체 본체 주위에 피복된 니켈층을 포함하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 니켈층의 표면에는 금(Au), 은(Ag), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd) 중 어느 하나가 도금되어 이루어진 도금층이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 섬유상 도전체의 양 끝단은 뾰족하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 섬유상 도전체는, 상기 탄성 고분자 시트의 두께방향에 대해 수직인 방향으로 볼록한 곡선형으로 형성된 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 각 섬유상 도전체는 "C" 또는 "S"의 형상을 이루도록 구부러진 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 도전부는, 다수의 구형의 도전체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
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