JP7248282B2 - 光音響顕微鏡および音響波測定方法 - Google Patents
光音響顕微鏡および音響波測定方法 Download PDFInfo
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Description
まず、本発明に至る経緯について、図1~図3を参照しながら説明する。
[1-1.光音響顕微鏡の構成]
本実施の形態に係る光音響顕微鏡について、図4を参照しながら説明する。
次に、光音響顕微鏡1を用いた音響波測定方法について、図5を参照しながら説明する。
本実施の形態に係る光音響顕微鏡1は、励起光ELを出射する励起光出射部10と、励起光出射部10および測定対象S1を結ぶ励起光ELの光路Op上に配置された屈折率可変デバイス41と、屈折率可変デバイス41を介して励起光ELが照射された測定対象S1から発生した音響波を検知する音響波検知部31と、励起光出射部10から出射される励起光ELの波長を変更し、変更した励起光ELの波長に応じて屈折率可変デバイス41の屈折率を制御する制御部50とを備える。
[2-1.光音響顕微鏡の構成]
実施の形態2に係る光音響顕微鏡について、図6を参照しながら説明する。実施の形態2では、屈折率可変デバイスを用いるのでなく、ステージ60および音響波検知部31の高さ位置を変えることで焦点合わせを行う例について説明する。なお、実施の形態2では、実施の形態1と同じ構成要素について、説明を省略する場合がある。
次に、光音響顕微鏡1Aを用いた音響波測定方法について、図8および図9を参照しながら説明する。
本実施の形態に係る光音響顕微鏡1Aは、励起光ELを出射する励起光出射部10と、励起光出射部10および測定対象S1を結ぶ励起光ELの光路Op上に配置された光学系20と、光学系20を介して励起光ELが照射された測定対象S1から発生した音響波を検知する音響波検知部31と、測定対象S1および音響波検知部31を励起光ELの照射方向に沿う第1方向D1に移動させる少なくとも1つのアクチュエータ(例えばアクチュエータ61、62)と、励起光出射部10から出射される励起光ELの波長を変更し、変更した励起光ELの波長に応じてアクチュエータ61、62の駆動を制御する制御部50とを備える。
以上、本発明の実施の形態に係る光音響顕微鏡等ついて説明したが、本発明は、上記実施の形態には限定されない。例えば、上記実施の形態に次のような変形を施した態様も、本発明に含まれ得る。
10 励起光出射部
20 光学系
21、22、23 光学部品
24 レンズ
25 プリズム
31 音響波検知部
32 レシーバ
41 屈折率可変デバイス
42 電圧出力部
50 制御部
51 パワーメータ
52 データ集録部
60 ステージ
61 第1のアクチュエータ
62 第2のアクチュエータ
63 アクチュエータ
64 連結部材
66 ウォータプール
D1 第1方向
EL 励起光
F1 励起光の焦点
F2 音響波検知部の焦点
L1、L2、L11、L21、L22 距離
Op 光路
P1 測定点
S1 測定対象
Claims (13)
- 励起光を出射する励起光出射部と、
前記励起光出射部および測定対象を結ぶ前記励起光の光路上に配置された屈折率可変デバイスと、
前記屈折率可変デバイスを介して前記励起光が照射された前記測定対象から発生した音響波を検知する音響波検知部と、
前記励起光出射部から出射される前記励起光の波長を変更し、変更した前記励起光の波長に応じて前記屈折率可変デバイスの屈折率を制御する制御部と
を備える光音響顕微鏡。 - 前記制御部は、前記励起光の焦点が前記音響波検知部の焦点に近づくように、前記屈折率可変デバイスの屈折率を制御する
請求項1に記載の光音響顕微鏡。 - 前記制御部は、前記励起光の波長が長なるように変更した場合に前記屈折率可変デバイスの屈折率が大きくなるように変更し、前記励起光の波長が短くなるように変更した場合に前記屈折率可変デバイスの屈折率が小さくなるように変更する
請求項1または2に記載の光音響顕微鏡。 - 前記屈折率可変デバイスは、前記屈折率可変デバイスに印加される電圧によって屈折率が変わる光学素子である
請求項1~3のいずれか1項に記載の光音響顕微鏡。 - 前記屈折率可変デバイスは、液体レンズである
請求項1~4のいずれか1項に記載の光音響顕微鏡。 - 前記制御部は、400nm以上2000nm以下の範囲で前記励起光の波長が変更されるように、前記励起光出射部を制御する
請求項1~4のいずれか1項に記載の光音響顕微鏡。 - 励起光を出射する励起光出射部と、
前記励起光出射部および測定対象を結ぶ前記励起光の光路上に配置された光学系と、
前記光学系を介して前記励起光が照射された前記測定対象から発生した音響波を検知する音響波検知部と、
前記測定対象および前記音響波検知部を前記励起光の照射方向に沿う第1方向に移動させる少なくとも1つのアクチュエータと、
前記励起光出射部から出射される前記励起光の波長を変更し、変更した前記励起光の波長に応じて前記アクチュエータの駆動を制御する制御部と
を備える光音響顕微鏡。 - 前記少なくとも1つのアクチュエータは、前記測定対象を前記第1方向に移動させる第1のアクチュエータと、前記音響波検知部を前記第1方向に移動させる第2のアクチュエータとを有し、
前記制御部は、前記励起光の波長に応じて前記第1のアクチュエータおよび前記第2のアクチュエータのそれぞれの駆動を制御する
請求項7に記載の光音響顕微鏡。 - 前記制御部は、測定すべき前記測定対象の測定点が前記励起光の焦点に近づくように、前記第1のアクチュエータの駆動を制御し、かつ、前記音響波検知部の焦点が前記測定点に近づくように、前記第2のアクチュエータの駆動を制御する
請求項8に記載の光音響顕微鏡。 - 前記制御部は、前記励起光の波長が長くなるように変更した場合に前記光学系と前記測定対象との距離が大きくなるように前記第1のアクチュエータの駆動を制御し、前記励起光の波長が短くなるように変更した場合に、前記光学系と前記測定対象との距離が小さくなるように前記第1のアクチュエータの駆動を制御する
請求項8または9に記載の光音響顕微鏡。 - 前記制御部は、400nm以上2000nm以下の範囲で前記励起光の波長が変更されるように、前記励起光出射部を制御する
請求項7~10のいずれか1項に記載の光音響顕微鏡。 - 励起光の波長を変更するステップと、
変更した前記励起光の波長に応じて、前記励起光の光路上に配置された屈折率可変デバイスの屈折率を変更するステップと、
前記屈折率可変デバイスを介して前記励起光を測定対象に照射するステップと、
前記励起光が照射された前記測定対象から発生した音響波を検知するステップと
を含む音響波測定方法。 - 励起光の波長を変更するステップと、
変更した前記励起光の波長に応じて、励起光の光路上に配置された光学系と測定対象との距離および前記測定対象に対して間隔をあけて配置された音響波検知部と前記測定対象との距離を変更するステップと、
前記光学系を介して前記励起光を前記測定対象に照射するステップと、
前記励起光が照射された前記測定対象から発生した音響波を、前記音響波検知部を用いて検知するステップと
を含む音響波測定方法。
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