JP7236230B2 - 光学素子、液晶表示装置および投射型画像表示装置 - Google Patents
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Description
本発明の光学素子は、透明基板と、透明基板の一面に偏光子を有し、透明基板の偏光子とは反対の面に位相差補償素子を有する。なお、本発明の光学素子は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、透明基板と偏光子との間、あるいは、透明基板と位相差補償素子との間に、他の層が存在していてもよい。
透明基板(図1における透明基板11)としては、使用帯域の光に対して透光性を示す基板であれば特に制限されず、目的に応じて適宜選択することができる。「使用帯域の光に対して透光性を示す」とは、使用帯域の光の透過率が100%であることを意味するものではなく、偏光子としての機能を保持可能な透光性を示せばよい。使用帯域の光としては、例えば、波長380nm~810nm程度の可視光が挙げられる。
本発明の光学素子を構成する偏光子は、ワイヤグリッド構造を有する偏光子であって、透明基板と、使用帯域の光の波長よりも短いピッチ(周期)で透明基板上に配列されて所定方向に延在する格子状凸部と、を有することが好ましい。また、この格子状凸部は、透明基板側から順に、少なくとも、線状金属層と、第1の誘電体層と、吸収層と、を有するか、線状金属層と、誘電吸収層と、を有することが好ましい。なお、本発明の光学素子を構成する偏光子は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、線状金属層、第1の誘電体層、吸収層、誘電吸収層以外の層が存在していてもよい。
図1に示される本発明の一実施形態である光学素子100を構成する偏光子101は、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで配列された格子状凸部を有し、格子状凸部は、透明基板11側から順に、線状金属層17と、第1の誘電体層18と、吸収層19と、第2の誘電体層20と、を有する。すなわち、偏光子101は、線状金属層17と、第1の誘電体層18と、吸収層19と、第2の誘電体層20とが、透明基板11側からこの順に積層されて形成された格子状凸部が、透明基板11上に一次元格子状に配列されたワイヤグリッド構造となっている。
線状金属層(図1における線状金属層17)は、透明基板の片側面に形成され、吸収軸であるY軸方向に、帯状に延びた金属膜が配列されたものである。なお、本発明においては、透明基板と線状金属層との間には、別の層が存在していてもよい。例えば、図1に示される本発明の一実施形態に係る偏光子101は、透明基板11と線状金属層17との間に、第3の誘電体層16を有する。
第1の誘電体層(図1における第1の誘電体層18)は、線状金属層上に形成され、吸収軸であるY軸方向に帯状に延びて配列されたものである。なお、本発明においては、線状金属層と第1の誘電体層との間には、別の層が存在していてもよい。
吸収層(図1における吸収層19)は、第1の誘電体層上に形成され、吸収軸であるY軸方向に帯状に延びて配列されたものである。なお、本発明においては、第1の誘電体層と吸収層との間には、別の層が存在していてもよい。
本発明の光学素子を構成する偏光子の第2の実施形態は、格子状凸部が、透明基板側から順に、線状金属層と、誘電吸収層と、を有する構成である。すなわち、偏光子は、少なくとも、線状金属層と、誘電吸収層とが、透明基板側からこの順に積層されて形成された格子状凸部が、透明基板上に一次元格子状に配列されたワイヤグリッド構造となっている。
本発明の光学素子を構成する偏光子は、線状金属層、第1の誘電体層、吸収層、誘電吸収層以外の層が存在していてもよい。以下に、任意の層について説明する。
本発明の光学素子を構成する偏光子は、吸収層または誘電吸収層の上に、第2の誘電体層を有していてもよい。第2の誘電体層の膜厚、材料、屈折率、形状等については、上述した第1の誘電体層と同様である。
さらに、本発明の光学素子を構成する偏光子は、光の入射側の表面、すなわち第2の誘電体層の表面が、撥水層により覆われていてもよい。撥水層は、純水を用いたθ/2法による測定で、例えば接触角90°以上を示す層であることが好ましい。
本発明の光学素子を構成する偏光子は、第1の誘電体層と吸収層との間に、拡散バリア層を有していてもよい。すなわち図1に示される偏光子101を例にすると、格子状凸部は、透明基板11側から順に、線状金属層17と、第1の誘電体層18と、拡散バリア層と、吸収層19と、を有する構成となる。拡散バリア層を有することにより、吸収層における光の拡散を防止することができる。拡散バリア層は、Ta、W、Nb、Ti等の金属膜で構成することができる。
本発明の光学素子を構成する偏光子は、透明基板と格子状凸部との間に、第3の誘電体層を有していてもよい。第3の誘電体層を設けることにより、耐熱性と耐湿性を向上させることができる。なお、第3の誘電体層の膜厚、材料、屈折率、形状等については、上述した第1の誘電体層と同様である。
本発明の光学素子を構成する偏光子は、金属膜形成工程と、第1誘電体膜形成工程と、吸収膜形成工程と、エッチング工程と、を経ることにより、製造することができる。
本発明の光学素子を構成する位相差補償素子は、液晶セルで生じる光の位相差を補償する機能を有し、少なくとも、光学異方性層と、位相差付与マッチング層とを有する。
本発明の光学素子を構成する位相差補償素子において、光学異方性層は、無機材料が堆積された複数の複屈折膜を含む。光学異方性層と位相差付与マッチング層は、本発明の光学素子を構成する位相差補償素子において位相差を補償する機能を有し、コントラストを改善することに寄与する層である。
位相差付与マッチング層は、本発明の光学素子を構成する位相差補償素子において、必須の層である。位相差付与マッチング層は、透明基板と、光学異方性層との間に設けられる。
反射防止層は、必要に応じて設けられ、所望の使用波長帯域における反射防止の作用を有する層である。反射防止層は、例えば誘電体膜が積層されたものであり、必要とする特性と生産性に応じて、用いる誘電体と層数とを適宜設定することができる。
保護層は、本発明の光学素子においては任意の層であり、光学素子の反りを防止し、かつ、光学異方性層の耐湿性を向上するために設けられる。保護層の材料としては、光学素子にかかる応力が調整可能であり、かつ、耐湿性向上に寄与するものであれば特に限定されるものではない。例えばSiO2等の薄膜が挙げられる。
本発明の液晶表示装置は、液晶セルと、上記の本発明の光学素子と、を有する。本発明においては、液晶セルはVAモードであることが好ましい。
また、本発明の投射型画像表示装置は、光を出射する光源と、変調された光を投射する投射光学系と、光源と投射光学系との間の光路に配置された上記の液晶表示装置と、を有する。
実施例1においては、図1に示す構成の光学素子を作製した。
(第3の誘電体層の形成)
ガラス基板(平均厚み0.7mm)の一面に、Si02膜をスパッタ法で成膜することにより、第3の誘電体層(図1における第3の誘電体層16)を形成した。
続いて、第3の誘電体層上に、Al膜をスパッタ法で成膜することにより、金属膜を形成した。
続いて、金属膜上に、SiO2膜をスパッタ法で成膜することにより、第1の誘電体膜を形成した。
続いて、第1の誘電体膜上に、Siをスパッタ法で成膜することにより、吸収膜を形成した。
続いて、吸収膜上にレジストを塗布し、露光および現像を実施することにより、レジストパターンを形成した。しかる後、レジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことにより、線状金属層、第1の誘電体層、吸収層からなる格子状凸部を形成した(図1における、線状金属層17、第1の誘電体層18、吸収層19)。
その後、TEOS(テトラエトキシシラン)ガスとO2を用い、プラズマCVD法により、格子状凸部が形成された面全体に対してSiO2膜を成膜することにより、第2の誘電体層(図1における第2の誘電体層20)を形成した。
最後に、FDTS(パーフルオロデシルトリクロロシラン)を原料として、第2の誘電体層の上に、撥水層(図1には記載なし)を形成した。
(位相差付与マッチング層の形成)
ガラス基板の偏光子が作製されていない面上に、Nb2O5とSiO2とを用いて、34層をスパッタ法により積層することにより、位相差付与マッチング層(図1における位相差付与マッチング層15)を形成した。付与した位相差は、基板の法線方向から15°傾斜した入射光に対して、7.0nmとなるようにした。
位相差付与マッチング層の上に、Ta205とTi02の混合物を蒸着材料として、基板法線方向に対して70度傾斜した位置に蒸着源を配置して、斜方蒸着を実施し、2枚の複屈折膜を成膜することにより光学異方性層(図1における光学異方性層13)を形成した。
次いで、TEOS(テトラエトキシシラン)ガスとO2を用い、プラズマCVD法により、SiO2膜を成膜することにより、保護層(図1における保護層14)を形成した。
次いで、Nb2O5とSiO2とを用いて、7層をスパッタ法により交互積層することにより、反射防止層(図1における反射防止層12)を形成した。
実施例1において、ガラス基板の片面に偏光子のみを作製し、位相差補償素子を作製しない光学素子を、比較例1とした。
実施例1および比較例1の光学素子について、コントラストを測定した。比較例1の光学素子の平均コントラストは398.8であったのに対し、実施例1の光学素子の平均コントラストは630.4であった。
101 偏光子
102 位相差補償素子
11 透明基板
12 反射防止層
13 光学異方性層
131 複屈折膜
14 保護層
15 位相差付与マッチング層
151 第1の誘電体膜
152 第2の誘電体膜
16 第3の誘電体層
17 線状金属層
18 第1の誘電体層
19 吸収層
20 第2の誘電体層
S 基板法線
D 複屈折膜の成膜方向
d 複屈折膜の成膜方向を透明基板の表面に投影した線分の向き
p1 複屈折膜1の成膜方向
p2 複屈折膜2の成膜方向
l 液晶分子を透明基板の表面に投影した線分の向き
Claims (9)
- 透明基板と、
前記透明基板の一面に、偏光子を有し、
前記透明基板の前記偏光子とは反対の面に、位相差補償素子を有し、
前記偏光子は、ワイヤグリッド構造を有し、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで前記透明基板上に配列され、所定方向に延在する格子状凸部を有し、
前記格子状凸部は、前記透明基板側から順に、線状金属層と、第1の誘電体層と、吸収層と、を有し、
前記偏光子は、前記格子状凸部が形成されている表面の全面が、第2の誘電体層および撥水層で順次被覆されているとともに、前記透明基板と前記格子状凸部との間に、第3の誘電体層を有し、
前記位相差補償素子は、前記透明基板側から順に、位相差付与マッチング層と、光学異方性層と、保護層と、反射防止層と、を有し、
前記位相差付与マッチング層は、屈折率の異なる2種以上の誘電体からなる誘電体膜の積層体であり、
前記光学異方性層は、無機材料が堆積された複数の複屈折膜を含み、
前記複屈折膜は、斜方蒸着膜である、光学素子。 - 前記第1の誘電体層は、Si酸化物またはAl酸化物である、請求項1に記載の光学素子。
- 前記格子状凸部は、前記第1の誘電体層と、前記吸収層の代わりに、誘電吸収層を有する、請求項1に記載の光学素子。
- 前記線状金属層は、Al、Ag、Cu、Mo、Cr、Ti、Ni、W、Fe、Si、Ge、Te、およびこれらのうちの2以上からなる合金からなる群より選ばれる少なくとも1種である、請求項1から3いずれか記載の光学素子。
- 前記無機材料は、Si、Nb、Zr、Ti、La、Ta、Al、Hf、およびCeからなる群より選択される少なくとも1種を含有する酸化物である、請求項1から4いずれかに記載の光学素子。
- 前記誘電体膜は、TiO2、SiO2、Ta2O5、Al2O3、CeO2、ZrO2、ZrO、Nb2O5、およびHfO2からなる群より選択される少なくとも1種を含む、請求項1から5いずれかに記載の光学素子。
- 前記透明基板は、ガラス、石英、水晶、またはサファイアからなる群から選ばれる1種である、請求項1から6いずれか記載の光学素子。
- 液晶セルと、
請求項1から7いずれか記載の光学素子と、を有する、液晶表示装置。 - 光を出射する光源と、
変調された光を投射する投射光学系と、
前記光源と前記投射光学系との間の光路に配置された請求項8に記載の液晶表示装置と、を有する、投射型画像表示装置。
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